★激光钻孔培训教材
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三菱镭射钻机培训教材
BM-R (右分光镜) Aperture-R RT-R (反射镜) SM1-R (反射镜) SM2-R(反射镜) Processing lens Window BM-L (左分光镜) Aperture-L RT-L (反射镜) SM1-L (反射镜) SM2-L(反射镜) Processing lens Window
检查方法 :
• 用２０-５０倍放大镜检查，用ＣＣＤ显微镜测量孔径
检测工具：
安全控制和环境要求
1. 安全控制 : a ) 机器安全及防护 : x、y、z 限位开关，水导电率控制。
发振器、光路为全密封设计。 ups停电保护、紧急按钮、故障指示灯。 b ) 人身安全：警示标志，防护装置，门感应开关。 c ) 生产控制：温度显示，吸尘范围控制，真空度控制。
发振器介绍 :
基本结构 :三菱雷射钻孔工机发振器主要由镜片（TR、PR）、 电极、热交换器、气体循环装置、散热装置等组成。
三菱CO2雷射发振器之特长: ・高峰値、短脉冲→高质量加工 ・长・短脉冲可变→广范围加工 ・高输出・高重复性→高生产性
主机介绍 :
• 主要利用光学原理将激光通过反射、折射、变焦、聚焦、分光到工作台 上,然后通过工作室内的能量表来检测、控制加工激光能 ，在PC控制相关 软件和条件下对加工板进行加工。
计算机 屏幕
触摸屏
光路位于机顶
自动吸板装置 ( 收板 )
自动收板 车
雷射钻孔室 ( 双台面 )
自动放板 车
自动吸板装置 ( 放板 )
雷射成孔的原理 :
雷射光是 : 当“射线”受到高压电的激发，而增大能量下 所产生的一种强力光束，其中红外光或可见光拥有热能， 紫外光则另具有化学能。当光束射到工作物表面时会发生 反射（Reflection）吸收（Absorption）及穿透 （Transmission） 三种现象，其中只有被吸收者才会发 生作用。
检查方法 :
• 用２０-５０倍放大镜检查，用ＣＣＤ显微镜测量孔径
检测工具：
安全控制和环境要求
1. 安全控制 : a ) 机器安全及防护 : x、y、z 限位开关，水导电率控制。
发振器、光路为全密封设计。 ups停电保护、紧急按钮、故障指示灯。 b ) 人身安全：警示标志，防护装置，门感应开关。 c ) 生产控制：温度显示，吸尘范围控制，真空度控制。
发振器介绍 :
基本结构 :三菱雷射钻孔工机发振器主要由镜片（TR、PR）、 电极、热交换器、气体循环装置、散热装置等组成。
三菱CO2雷射发振器之特长: ・高峰値、短脉冲→高质量加工 ・长・短脉冲可变→广范围加工 ・高输出・高重复性→高生产性
主机介绍 :
• 主要利用光学原理将激光通过反射、折射、变焦、聚焦、分光到工作台 上,然后通过工作室内的能量表来检测、控制加工激光能 ，在PC控制相关 软件和条件下对加工板进行加工。
计算机 屏幕
触摸屏
光路位于机顶
自动吸板装置 ( 收板 )
自动收板 车
雷射钻孔室 ( 双台面 )
自动放板 车
自动吸板装置 ( 放板 )
雷射成孔的原理 :
雷射光是 : 当“射线”受到高压电的激发，而增大能量下 所产生的一种强力光束，其中红外光或可见光拥有热能， 紫外光则另具有化学能。当光束射到工作物表面时会发生 反射（Reflection）吸收（Absorption）及穿透 （Transmission） 三种现象，其中只有被吸收者才会发 生作用。
镭射培训教材
加工孔径小
Min 1mil
孔径改变容易
工艺相对简单
依利安达（广州）电子科技有限公司
2001年9月13日
5
2020年5月31日
镭射钻孔的工艺原理
PCB成孔用激光的种类：
RF/CO2激光 TEA/CO2激光 Nd：YAG/UV激光 其他
依利安达（广州）电子科技有限公司
2001年9月13日
6
2020年5月31日
Laser钻孔培训教材 2004
雷 鸣 主讲 2020年5月31日
2020年5月31日
课程大纲
一、镭射钻孔的原理和流程 1、镭射钻孔的目的。 2、镭射钻孔的工艺原理。 3、镭射钻孔的工艺流程。 二、镭射钻孔工艺控制和主要品质缺陷 1、镭射钻孔的工艺。 2、镭射钻孔品质检查及控制。 3、镭射钻孔品质缺陷及原因分析。
依利安达（广州）电子科技有限公司
2001年9月13日
355nm Output
11
2020年5月31日
镭射钻孔的工艺原理
Co2激光器激发激光原理图：
Co2 Laser：Medium（介质）：Co2 Pumping（激发源）：Electrode（电极） Wave Length（波长）：9.3 - 10.6µm
Pumping
Laser Beam
Mirror
Medium
Mirror
依利安达（广州）电子科技有限公司
2001年9月13日
12
2020年5月31日
镭射钻孔的工艺原理
Nd:YAG/UV激光器：
ESI公司5200UV激光钻孔机激光器
依利安达（广州）电子科技有限公司
2001年9月13日
13
2020年5月31日
三菱镭射钻机培训教材---方正Ver4
(聚焦透鏡) CM3 (聚焦透鏡) Mask (光束孔徑) BM8 (銅反射鏡) BM9
(銅反射鏡) TFP (分光鏡)
BM-R (右分光鏡) Aperture-R RT-R (反射鏡) SM1-R (反射鏡) SM2-R(反射鏡) Processing lens Window
觸摸屏 電腦屏 幕
光路位於機頂
自動吸板裝置 ( 收板 ) 雷射鑽孔室 ( 雙臺面 ) 自動收板 車 自動放板 車 自動吸板裝置 ( 放板 )
雷射成孔的原理 :
雷射光是 : 當“射線”受到高壓電的激發，而增大能量下
所產生的一種強力光束，其中紅外光或可見光擁有熱能，
紫外光則另具有化學能。當光束射到工作物表面時會發生 反射（Reflection）吸收（Absorption）及穿透 （Transmission） 三種現象，其中只有被吸收者才會發 生作用。
程式圖形預覽
靶標對位 對位可用手動,也可通過CCD自動對位，靶標可爲十字 、 圓 、蝴蝶靶標 ,靶標可爲白色，底色爲黑色。機內設定十字 靶標線寬0.03mm,長0.4mm,圓形靶標直徑0.5mm,蝴蝶靶標1mm,可通 過更改機內設定更改靶標的識別大小，但由於受Camera觀看範圍限 制（最大範圍4mm）, 圓形靶標應小於2mm爲佳。每次改板時，需 手動按順序對好四個靶標，然後機器就可記憶下四個靶標的座標， 第二塊板開始就能按順序自動讀取靶標。由於從Loader上拿板時是 以板邊定位的，所以每塊板板邊到靶標的距離不能相差太大，機內 設定靶標移動範圍爲2*2mm，超出此範圍則不能讀取靶標。根據讀 取的靶標座標同程式四個靶標座標比較，得到板的漲縮數，機內設 定如漲縮超過0.8mm,則機器會報警不加工，如在範圍內則機器按此 漲縮數自動補償，也可手動設定板的漲縮數。
三菱镭射钻机培训教材-方正Ver
使用高级功能中的钻孔路径规划功能，根据实际需求选择最佳的钻孔路径。
多区域同时钻孔
通过控制面板上的多区域设置，可实现多个区域同时钻孔，提高工作效率。
高级操作
03
CHAPTER
维护与保养
每天工作结束后，使用干燥的抹布轻轻擦拭设备表面，保持清洁。
每日清洁
在开机前，检查设备各部件是否正常，如发现异常应及时处理。
高精度
设备采用高能激光器，加工速度快，可大幅提高生产效率。
高效加工
适用于各种材料，如金属、非金属、复合材料等。
材料适应性强
激光加工无噪音、无污染，且设备能耗低，符合环保要求。
环保节能
主要特点
02
CHAPTER
操作指南
按下开机按钮，等待机器自检完毕，即可开始使用。
开机
按下关机按钮，机器将自动关闭并切断电源。
关机
开机与关机
根据需要，使用控制面板上的调整按钮，调整钻头的位置。
调整钻头位置
设置钻孔深度
开始钻孔
在控制面板上输入需要钻孔的深度，确保钻孔深度符合要求。
按下开始按钮，机器将自动进行钻孔操作。
03
0201ຫໍສະໝຸດ 基础操作自动识别材料
通过机器的自动识别功能，识别不同材料的性质和厚度，以优化钻孔参数。
钻孔路径规划
检查设备状态
按照设备润滑要求，定期对需要润滑的部位进行润滑。
润滑
日常保养
每月进行一次全面检查，包括设备内部清洁、紧固件检查、润滑等。
月度检查
每半年进行一次深度维护，包括更换磨损件、清洗内部组件等。
半年度维护
每年进行一次全面保养，对设备进行全面检查和维修。
年度保养
定期维护
多区域同时钻孔
通过控制面板上的多区域设置，可实现多个区域同时钻孔，提高工作效率。
高级操作
03
CHAPTER
维护与保养
每天工作结束后，使用干燥的抹布轻轻擦拭设备表面，保持清洁。
每日清洁
在开机前，检查设备各部件是否正常，如发现异常应及时处理。
高精度
设备采用高能激光器，加工速度快，可大幅提高生产效率。
高效加工
适用于各种材料，如金属、非金属、复合材料等。
材料适应性强
激光加工无噪音、无污染，且设备能耗低，符合环保要求。
环保节能
主要特点
02
CHAPTER
操作指南
按下开机按钮，等待机器自检完毕，即可开始使用。
开机
按下关机按钮，机器将自动关闭并切断电源。
关机
开机与关机
根据需要，使用控制面板上的调整按钮，调整钻头的位置。
调整钻头位置
设置钻孔深度
开始钻孔
在控制面板上输入需要钻孔的深度，确保钻孔深度符合要求。
按下开始按钮，机器将自动进行钻孔操作。
03
0201ຫໍສະໝຸດ 基础操作自动识别材料
通过机器的自动识别功能，识别不同材料的性质和厚度，以优化钻孔参数。
钻孔路径规划
检查设备状态
按照设备润滑要求，定期对需要润滑的部位进行润滑。
润滑
日常保养
每月进行一次全面检查，包括设备内部清洁、紧固件检查、润滑等。
月度检查
每半年进行一次深度维护，包括更换磨损件、清洗内部组件等。
半年度维护
每年进行一次全面保养，对设备进行全面检查和维修。
年度保养
定期维护
laser钻孔培训教材
24
Laser Microvia缺陷分析 LASER Beam
Solution Short pulse width Reduce the pulse energy
25
Laser Microvia缺陷分析
PROBLEMS
Barrel Shaped Inner Hole
Barrel Shaped Inner Hole
Cause and Effect
Reflection from hole bottom
Incorrect position of Laser mode(single
mode)to the hole
26
Laser Microvia缺陷分析
a
LASER
b
Beam
Reflection
Single Mode
(6)Micro Crack
33
Laser Microvia缺陷分析
Solution -Short Pulse(less than less) -The best suited shape of LASER wave
-The best pulse energy adapt to nature of material( Standard:about 10J/cm2,pulse width
30
Laser Microvia缺陷分析
b. Unsuitability of resin thickness
60μm
80μm
c. Single-mode processing
31
Laser Microvia缺陷分析
d. Unsuitability of LASER pulse energy
e. Incorrect position of LASER Beam
Laser Microvia缺陷分析 LASER Beam
Solution Short pulse width Reduce the pulse energy
25
Laser Microvia缺陷分析
PROBLEMS
Barrel Shaped Inner Hole
Barrel Shaped Inner Hole
Cause and Effect
Reflection from hole bottom
Incorrect position of Laser mode(single
mode)to the hole
26
Laser Microvia缺陷分析
a
LASER
b
Beam
Reflection
Single Mode
(6)Micro Crack
33
Laser Microvia缺陷分析
Solution -Short Pulse(less than less) -The best suited shape of LASER wave
-The best pulse energy adapt to nature of material( Standard:about 10J/cm2,pulse width
30
Laser Microvia缺陷分析
b. Unsuitability of resin thickness
60μm
80μm
c. Single-mode processing
31
Laser Microvia缺陷分析
d. Unsuitability of LASER pulse energy
e. Incorrect position of LASER Beam
镭射钻孔培训
镭射钻孔培训一、镭射钻孔的基本原理镭射钻孔是利用激光光束对材料表面进行高能量、高密度的照射，使其瞬间融化并蒸发，从而形成钻孔。
在实际操作中，通常使用的是CO2激光器或者纤维激光器。
通过调节激光的功率、频率和聚焦等参数，可以对不同材料进行精确的钻孔加工。
镭射钻孔技术在微加工领域尤为突出，它可以实现微小孔径、高效率和高精度的加工，因此在电子、航天、医疗等领域都有着广泛的应用。
二、镭射钻孔培训内容1. 理论知识培训镭射钻孔培训的第一步就是对其基本原理和工艺进行详细讲解。
学员需要了解不同类型的激光器、钻孔参数的选择、材料的特性等相关知识。
此外，还需要学习镭射钻孔的适用范围、优缺点和发展趋势等内容。
这些理论知识对于后续的实际操作至关重要。
2. 设备操作培训镭射钻孔设备的操作对于培训课程来说也是至关重要的一环。
学员需要学习各种激光器的操作技巧，以及设备的维护和保养方法。
在实验室或工厂中，学员应该能够熟练地操作镭射钻孔设备，并且能够灵活应对各种情况。
3. 安全培训镭射钻孔是一项高能量的工艺，操作时必须要注意安全。
因此，在培训课程中，应该包含一些相关的安全知识，如激光辐射的危害、防护措施等。
学员需要了解镭射钻孔设备的安全操作规程，以及在紧急情况下的应急处理方法。
三、实践操作在掌握了相关的理论知识和实际操作技能后，学员需要进行一定的实践操作。
这可以在实验室或者工厂生产线上进行。
通过实际的操作，学员可以更加深入地了解镭射钻孔技术的应用和特点，丰富自己的经验，提高工作效率和准确性。
通过上述的镭射钻孔培训，学员可以全面掌握镭射钻孔的理论知识和实际操作技能，为日后的工作和研究打下良好的基础。
随着镭射技术的不断发展和应用，镭射钻孔技术也将逐渐成为各行业的主流加工方法。
因此，学员应该不断提升自己的技能，跟上时代的步伐，为企业的发展贡献自己的力量。
四、应用领域镭射钻孔技术在现代工业生产中有着广泛的应用领域，包括但不限于以下几个方面：1. 电子领域在电子元器件的制造过程中，通常需要进行微细加工，如 PCB 板的孔径加工、印刷电路板的加工等。
HDI制作及laser钻孔培训教材
HDI制作&镭射钻孔
培训教材
Prepared by: Bin Liu Date : 8/3/2007
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目录
前言 HDI工艺的发展趋势 HDI产品类型 HDI制作常见问题及解决方法 Laser钻孔简介 LASER钻机介绍 Microvia制作工艺 Microvia 常见缺陷分析
Two level HDI
v Type II :Two level HDI(Staggered via) Feature
Micro-section
P 12
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Two level HDI
P5
PDF created with pdfFactory trial version www.pdffaห้องสมุดไป่ตู้
HDI工艺发展趋势
Year Thickness between layers [um] Line/Space [um] Interstitial Via Hole (IVH) Diameter Hole/Land [um] Ball (Terminal) Pitch [um] 2005 80 to 40 75/75 100/250 500 2006 80 to 40 50/50 70/150 400 2007 80 to 30 35/35 50/100 300
Micro-section
UV +CO2 Laser drill Stack via
P 14
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培训教材
Prepared by: Bin Liu Date : 8/3/2007
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目录
前言 HDI工艺的发展趋势 HDI产品类型 HDI制作常见问题及解决方法 Laser钻孔简介 LASER钻机介绍 Microvia制作工艺 Microvia 常见缺陷分析
Two level HDI
v Type II :Two level HDI(Staggered via) Feature
Micro-section
P 12
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Two level HDI
P5
PDF created with pdfFactory trial version www.pdffaห้องสมุดไป่ตู้
HDI工艺发展趋势
Year Thickness between layers [um] Line/Space [um] Interstitial Via Hole (IVH) Diameter Hole/Land [um] Ball (Terminal) Pitch [um] 2005 80 to 40 75/75 100/250 500 2006 80 to 40 50/50 70/150 400 2007 80 to 30 35/35 50/100 300
Micro-section
UV +CO2 Laser drill Stack via
P 14
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三菱镭射钻机培训教材---方正Ver4
發振器介紹 :
基本結構 :三菱雷射鑽孔工機發振器主要由鏡片（TR、PR）、 電極、熱交換器、氣體循環裝置、散熱裝置等組成。
三菱CO2雷射發振器之特長: ・高峰値、短脈沖→高品質加工 ・長・短脈沖可變→廣範圍加工 ・高輸出・高重複性→高生産性
主機介紹 :
• 主要利用光學原理將激光通過反射、折射、變焦、聚焦、分光到工作台 上,然後通過工作室內的能量表來檢測、控制加工激光能量 ，在PC控制相關 軟件和條件下對加工板進行加工。
Energy值相近，再按主機面板上的“start”鍵完成單側能量測定；機器隨即自動
開始另一側能量測定，調整Collimation Mag.數值，使output(proc point)
變成綠色，使之與設定的Energy值相近，再按主機面板上的“start”鍵完成能量
測定。左右兩頭分別完成能量測定後，機器會自動優化、均衡兩個頭的能量輸出，
檢查方法 :
• 用２０-５０倍放大鏡檢查，用ＣＣＤ顯微鏡測量孔徑
檢測工具：
安全控制和環境要求
1. 安全控制 : a ) 機器安全及防護 : x、y、z 限位開關，水導電率控制。
發振器、光路為全密封設計。 ups停電保護、緊急按鈕、故障指示燈。 b ) 人身安全：警示標誌，防護装置，門感應開關。 c ) 生產控制：温度顯示，吸塵范圍控制，真空度控制。
關機程式
單擊 ＜＜
F1 on/off 工作臺轉動鑰匙至”Ready-off”位置，
等雷射發生器完全停頓後，按 Pc power 鍵，關閉PC電腦電
源；關閉機前後壓縮空氣開關，冷氣機出入水準開關及空氣
乾燥機電源。
程式圖形預覽
靶標對位
對位可用手動,也可通過CCD自動對位，靶標可爲十字 、 圓 、蝴蝶靶標 ,靶標可爲白色，底色爲黑色。機內設定十字 靶標線寬0.03mm,長0.4mm,圓形靶標直徑0.5mm,蝴蝶靶標1mm,可通 過更改機內設定更改靶標的識別大小，但由於受Camera觀看範圍限 制（最大範圍4mm）, 圓形靶標應小於2mm爲佳。每次改板時，需 手動按順序對好四個靶標，然後機器就可記憶下四個靶標的座標， 第二塊板開始就能按順序自動讀取靶標。由於從Loader上拿板時是 以板邊定位的，所以每塊板板邊到靶標的距離不能相差太大，機內 設定靶標移動範圍爲2*2mm，超出此範圍則不能讀取靶標。根據讀 取的靶標座標同程式四個靶標座標比較，得到板的漲縮數，機內設 定如漲縮超過0.8mm,則機器會報警不加工，如在範圍內則機器按此 漲縮數自動補償，也可手動設定板的漲縮數。