分子泵培训
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泵类培训内容-PPT精选文档
离心泵常见故障及解决措施
③离心泵转动后不出水 如转动正常但不出水，可能的原因有 1）吸入口被杂物堵塞，应清除后安装过滤装置； 2）吸入管或仪表漏气，可能由焊缝漏气，管子有 砂眼或裂缝，接合处垫圈密封不良等； 3）吸水高度过高，应将之降低 4）叶轮发生汽蚀； 5）注入泵的水量不够； 6）泵内有空气，排空方法为关闭泵出口调节阀， 打开回路阀； 7）出水阻力太大，应检查水管长度或清洗出水管； 8）水泵转速不够，应增加水泵转速。
离心泵的结构
离心泵的结构
泵壳
离心泵的结构
轴
滚动轴承
离心泵的构造
轴封一般有机械密封和填料密封两种。 一般泵均设计成既能装填料密封，又能装 机械密封
机械密封 填料密封
离心泵的构造
离心泵的工作原理
离心泵的工作原理是：离心泵之所以 能把水送出去是由于离心力的作用。 水泵在工作前，泵体和进水管必须灌 满水形成真空状态，当叶轮快速转动时， 叶片促使水快速旋转，旋转着的水在离心 力的作用下从叶轮中飞去，泵内的水被抛 出后，叶轮的中心部分形成真空区域。水 源的水在大气压力（或水压）的作用下通 过管网压到了进水管内。这样循环不已， 就可以实现连续抽水。
水泵的技术参数
反映水泵性能的技术参数有流量、扬 程、功率、效率等。 排放泵泵体铭牌 排放泵电机 铭牌
水泵的技术参数
铭牌解读：
离心泵的概念
什么是离心？ 离心其实是物体惯性的表现。比如雨伞上的水滴， 当雨伞缓慢转动时，水滴会跟随雨伞转动，这是因为雨 伞与水滴的摩擦力做为给水滴的向心力使然。但是如果 雨伞转动加快，这个摩擦力不足以使水滴在做圆周运动， 那么水滴将脱离雨伞向外缘运动。就象用一根绳子拉着 石块做圆周运动，如果速度太快，绳子将会断开,石块将 会飞出，这个就是所谓的离心。 离心泵就是根据这个原理设计的。高速旋转的叶轮 叶片带动水转动，将水甩出，从而达到输送的目的。 离心泵有好多种。从使用上可以分为民用与工业用 泵，从输送介质上可以分为清水泵、杂质泵、耐腐蚀泵 等。
泵如何拆卸与装配培训计划
泵如何拆卸与装配培训计划一、培训目的本培训旨在为学员提供泵拆卸与装配的基础知识与技能，使其能够独立完成泵设备的拆卸、检修和装配工作，提高工作效率和减少设备损坏，提升设备可靠性。
二、培训对象本培训对象为公司新员工或需要进行泵设备维护工作的技术人员。
无论是初学者还是有一定经验的员工，都可以参加这次培训。
三、培训内容1.泵的基础知识介绍-泵的结构及原理-泵的分类及工作原理-泵的工作性能参数2.泵的拆卸工作-拆卸前的准备工作-拆卸过程中注意事项-拆卸后的清洗和检查3.泵的装配工作-装配前的准备工作-装配过程中注意事项-装配后的调试和检查4.泵的维护与保养-泵设备的日常维护-泵设备的故障排除-泵设备的保养注意事项本培训采用理论讲解和实际操作相结合的方式，通过课堂教学、现场演示和实际操作，使学员对泵的拆卸与装配有系统的理论知识和实际操作经验。
五、培训周期本次培训为期两天，第一天为理论学习和现场演示，第二天为实际操作训练。
六、培训要求1.学员需具备一定的机械知识和操作技能，能够熟练使用常规工具。
2.学员需具备一定的工艺流程控制和质量控制能力，能够熟练操作设备进行生产作业。
3.学员需具备一定的团队协作和沟通能力，能够熟练运用团队协作精神协调解决问题。
七、培训效果通过本次培训，学员将能够熟练掌握泵的拆卸与装配技能，提高工作效率，减少设备维修成本，保障设备运行稳定性。
八、培训安排第一天上午-泵的基础知识介绍-泵的拆卸工作现场演示第一天下午-学员现场操作实践-拆卸后的清洗和检查第二天上午-泵的装配工作演示-装配后的调试和检查第二天下午-学员现场操作实践-测试结业成绩学员将根据培训成绩进行评估，合格者将颁发《泵拆卸与装配培训结业证书》，并记录在员工档案中。
未达标者需重新接受培训，直至通过为止。
十、培训资料培训课程材料由公司提供，包括课程大纲、教材资料和操作手册等内容。
十一、培训结束后学员将根据培训成绩进行评估，合格者将颁发《泵拆卸与装配培训结业证书》，并记录在员工档案中。
泵类培训PPT课件
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转子泵
转子泵缺点 齿轮泵因为液体是不可压缩的 ，泄漏大,尤其是齿轮端面 和端盖间的泄露最大,压力小 不能够用与高压的场合.而且还 容易引起困油现象 ；螺杆的加工和装配要求较高；泵的性能对 液体的粘度变化比较敏感。
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叶片泵
一、叶片泵分类： 叶片泵分类： 作用数－－单作用、双作用叶片泵泵 级－－单级、双级叶片泵 可否变量－－定量式、变量式
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往复泵
一、往复泵定义 利用依靠工作元件在泵缸内作往复运动，使工作容积交替地 增大和缩小，以实现液体的吸入和排出的泵。
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往复泵
二、往复泵工作原理 当曲柄以角速度ω逆时针旋转时,活塞向右移动,液缸容 积增大,压力降低，吸水池中液体在压力差的作用下克服吸 入管和吸入阀等的阻力损失进入到液缸中.当曲柄转过E点后 活塞向左移动,液体被挤出,液缸体内液体压力急剧增加,在 这一压力作用下吸入阀关闭而排出阀被打开,液缸内液体在 压力差的作用下被排送到排出管路中去.当往复泵的曲柄以 角速度ω不停地旋转时,往复泵就不断地吸入和排出液体。
4
泵的概述
3、转速 指泵轴每分钟转速,单位用r/min，符号用n表示。 4、功率 轴功率N---单位时间内,由原动机传递到泵主轴上的 功率.亦称输入功率. 有效功率Ne----单位时间泵排出口流出的液体从泵中取得 的能量,亦称输出功率. 其值可按下式计算:Ne=ρgQH/1000 kw
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泵的概述
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离心泵
四、离心泵的缺点 1、在一般情况下,离心泵启动前需先灌泵或用真空泵将泵内空 气抽出去. 2、液体粘度对泵的性能影响比较大.当液体粘度增加时,泵的流 量扬程、吸程和效率都会显著降低。因此，一般用来输送原油 的离心泵要求所输的油具有一定的温度，以降低油的粘度。 3、离心泵在小流量、高扬程的情况下应用，受到一定的限制。 因为小流量离心泵的泵流道很窄，制造起来困难，同时效率也 很低。因此，修井时用来泵送水泥浆的泵，一般采用往复泵而 不用离心泵。
分子泵简介讲义
管道连接
正确连接进气口、出气 口和其他相关管道，确
保密封良好。
校准与调试
按照厂家要求进行校准 和调试，确保分子泵正
常工作。
分子泵的日常维护保养
定期清洁
定期清洁分子泵的外部和内部 部件，保持其良好的工作状态
。
检查密封件
定期检查密封件是否老化或损 坏，及时更换。
润滑与保养
按照厂家要求进行润滑和保养 ，确保分子泵正常运行。
测试与验证
维修完成后进行测试和验证， 确保分子泵性能达标。
06
分子泵的发展趋势与展望
分子泵的发展趋势
高真空应用
随着科技的发展，高真空应用领域不断扩大，分子泵作为 高真空系统中的核心设备，其市场需求将持续增长。
节能环保
随着环保意识的提高，节能环保成为分子泵发展的重要趋 势。研发高效、低能耗的分子泵产品将成为行业发展的重 点。
分子泵简介讲义
汇报人： 日期:
目录
• 分子泵概述 • 分子泵的基本原理 • 分子泵的种类与结构 • 分子泵的性能参数与评价 • 分子泵的安装与维护 • 分子泵的发展趋势与展望
01
分子泵概述
定义与特点
定义
分子泵是一种利用分子之间的相互作用来传递能量的机械，其工作原理是通过 高速旋转的叶片或刷子将气体分子从入口加速到出口，从而实现气体压缩和排 放。
分子泵的种类与结构
分子泵的种类
干式真空泵
蒸汽喷射泵
利用机械方式直接将气体分子从真空 室中抽走，如旋片式真空泵、爪式真 空泵等。
利用高温蒸汽将气体分子从真空室中 抽走，如蒸汽喷射式真空泵等。
液环真空泵
利用液体在泵内形成液环，通过液环 与气体分子相互作用，将气体分子从 真空室中抽走，如水环式真空泵等。
泵培训(1)
双吸式 单吸式与双吸式叶轮
单吸式：结构简单，液体从叶轮一侧被吸入。 双吸式：吸液能力大，基本上消除轴向推力。
泵培训(1)
二、离心泵的主要部件 轴封装置
由于泵轴转动而泵壳固定不动，泵轴穿过泵壳处 必定会有间隙。为防止泵内高压液体由间隙漏出或外 界空气漏入泵内，必须设置轴封装置。
常用的轴封装置有填料密封和机械密封两种。
流体的 ρ↑，N↑，Ne↑，
而 η = Ne /N ，
∴ 对 η 基本无影响。
N— Q 曲线：Ne=HQρg∝ρ (泵的功率与液体密度成正比)
注意：流体密度变化时，应校正 N - Q 曲线 泵培训(1)
(2) 粘度对泵特性曲线的影响
定性分析：
流体的 m↑, N↑ ， h ↓ , H ↓,Q ↓ 。
m ↑ ，流体内摩擦力增大，能量损失增大，H ↓。 运动粘度 n = m /ρ < 20 cSt ， m 的影响可忽略不计；
n > 20 cSt 时， m 的影响不可忽略。
（1St = 10-4 m2/s)
校正方法：根据流量查离心泵的粘度换算系数图 (p94) (p95)
泵培训(1)
大
p94，例 2-3
气缚现象：泵内未充满液体，气体密度低，产生离心力 小，在叶轮中心形成的低压不足以将液体吸入泵壳。
注意：离心泵无自吸能力，启动前必须将泵体内充满液体。
泵培训(1)
3. 主要部件作用
泵壳：动能→静压能，提高液体压力, 能量转换装置。
叶轮：把原动机(电机)的机械能，传递给液体，提高 液体的动能和静压能。——供能装置
0
最高点ηmax——泵的最
Q/ m3/ h
佳工作点。选泵应选在高效区内—— 0.92 ηmax的区域。
泵培训精品课件
功率
表示泵的输出能量，通常以千 瓦（kW）为单位。
效率
表示泵的能量利用效率，通常 以百分比（%）为单位。
02
泵的选型与设计
泵的选型依据及原则
依据工艺流程和系统要求
根据生产工艺流程和系统要求，确定所需泵 的类型、流量、扬程、功率等参数。
考虑泵的可靠性和稳定性
选择可靠性高、稳定性好的泵，以确保生产 过程的连续性和安全性。
考虑介质特性和腐蚀性
根据介质特性（如腐蚀性、磨蚀性、毒性等 ）选择适合的泵材质和结构。
考虑经济性
在满足工艺要求的前提下，选择经济合理的 泵，降低生产成本。
泵的设计流程与注意事项
确定材料和密封形式
选择合适的结构形式
根据介质特性和工艺要求，选择 合适的泵结构形式，如离心泵、 往复泵、隔膜泵等。
根据介质特性和腐蚀性，选择合 适的泵材料和密封形式，以确保 泵的可靠性和稳定性。
泵泄漏严重：检查泵的密封件是否老化、泵体是否有裂纹等。
泵的运行与维护 泵的运行要求及操作规范
泵效率低
检查泵的叶轮是否磨损、管道是否堵 塞等。
泵轴功率过大
检查泵的负载是否过大、泵的转动部 件是否有摩擦等。
05
泵的安全与环保
泵的安全操作规程及注意事项
操作规程
熟悉泵的结构、性能和工作原理，严格按照操作规程进行操 作。
泵的特点
泵具有多种特点，如高效、可靠、安全、环保等。同时，不同类型和用途的泵 具有不同的特点和使用范围。
泵的主要性能参数
01
02
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04
流量
表示单位时间内泵输送的液体 量，通常以立方米/小时（
m³/h）或升/分钟（L/min） 为单位。
泵的安全教育培训(2篇)
第1篇一、培训目的为了提高员工对泵设备的安全意识，掌握泵设备的安全操作技能，预防和减少泵设备事故的发生，确保生产安全，特进行本次泵的安全教育培训。
二、培训对象公司全体员工，特别是从事泵设备操作、维护、管理等相关工作的员工。
三、培训时间XX年XX月XX日四、培训内容1. 泵设备的基本知识（1）泵设备的分类：按照泵的工作原理，可分为容积式泵和叶轮式泵两大类。
（2）泵设备的组成：泵设备主要由泵体、叶轮、轴、轴承、密封装置、进出口管道等组成。
（3）泵设备的性能参数：流量、扬程、功率、效率、转速等。
2. 泵设备的安全操作规程（1）操作前的准备工作1）检查设备外观，确保无损坏、松动、漏油等现象。
2）检查电机、电缆、仪表等辅助设备，确保正常工作。
3）检查泵进出口管道、阀门等，确保畅通无阻。
4）检查润滑油，确保油位正常。
（2）启动前的注意事项1）检查泵设备是否处于关闭状态。
2）确认泵进出口阀门是否打开。
3）检查泵设备是否处于水平位置。
4）确认启动按钮、紧急停止按钮等完好。
（3）启动操作1）按启动按钮，启动泵设备。
2）观察泵设备运行状态，确认无异常。
3）调整泵设备运行参数，如流量、扬程等。
（4）运行中的注意事项1）定期检查泵设备运行状态，如温度、振动、噪音等。
2）检查泵进出口阀门、管道等，确保畅通无阻。
3）检查润滑油，确保油位正常。
4）发现异常情况，立即采取措施处理。
（5）停机操作1）关闭泵进出口阀门。
2）按停机按钮，停泵设备。
3）确认泵设备已完全停止运行。
（6）操作后的注意事项1）关闭电源，确保设备处于关闭状态。
2）清理现场，确保无杂物。
3）做好设备保养，确保下次使用。
3. 泵设备的安全维护与保养（1）定期检查设备，发现问题及时处理。
（2）保持设备清洁，定期清理泵进出口管道、阀门等。
（3）定期更换润滑油，确保油质良好。
（4）定期检查电机、电缆、仪表等辅助设备，确保正常工作。
4. 泵设备事故案例分析通过分析泵设备事故案例，让员工了解事故发生的原因和预防措施，提高安全意识。
泵培训资料
泵的市场分析
市场规模
据市场调研数据显示，全球泵市场规模持续增长，其中增长的主要驱动力是 新兴市场国家的基础设施建设和工业发展。同时，随着环保意识的提高和新 能源技术的发展，泵在这些领域的应用也将进一步扩大。
市场竞争
在全球泵市场中，主要的竞争厂商包括跨国企业和国内企业。
THANKS
泵的性能曲线可以帮助操作员确定泵的最优运行点，以及预 测泵在特定条件下的性能。
泵的安装及操作
泵的安装位置应尽量靠近使用点，以减少管道阻力损 失。
泵的操作应遵循开泵前先关闭进出口阀门，然后启动 电动机，打开进出口阀门的原则。
泵的安装高度应满足泵的吸入高度和排出高度要求。
泵的操作过程中应注意观察泵的运行状态，如出现异 常应立即停泵检查。
补水泵、疏水泵等。
燃气供应
泵在燃气供应系统中用于输送 天然气，如天然气增压泵、城 市燃气高压管道的输配泵等。
泵在环保领域的应用
01
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03
污水处理
泵在污水处理系统中用于 输送污水、污泥等，如潜 水排污泵、液下污水泵等 。
垃圾处理
泵在垃圾处理系统中用于 输送垃圾、废液等，如垃 圾填埋场的渗滤液泵、垃 圾焚烧厂的循环水泵等。
泵的进出口压力
检查泵的进出口压力，确保压力在 正常范围内，同时要检查泵的密封 情况，防止泵发生泄漏。
泵的定期检修
检查泵的轴承和轴封
定期检查泵的轴承和轴封，确保轴承和轴封的正常运行，及时更换损坏的轴承和轴封。
检查泵的驱动装置
定期检查泵的驱动装置，包括电动机、减速机和联轴器等，确保驱动装置的正常运行。
03
泵的选用及设计
泵的选用原则
适用性
可靠性
根据使用要求，选择适用场合、介质特性、 扬程和流量的泵。
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子泵。 2007年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。 2008年：FF500G抗冲击复合分子泵 2009年：FF110脂润滑分子泵
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产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
5
主要内容
一． 二． 三．
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三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
分子泵（Molecular Pump）简介
——应用及维护
钱
浩
2
中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
使用。
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三、分子泵的应用、维护
进出口法兰、冷却水安装
1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20〒５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃
前级拧紧无 泄漏
高真空口对称 高真空口对称 均匀拧紧 均匀拧紧
循环水 不滴漏
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中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。 2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。
2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。 2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分
入口压强
强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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三、分子泵的应用、维护
冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处 于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电 机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。 对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或 腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度 较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分 子泵的工作环境温度为不大于40℃。 （2）风冷：用风机进行强制空冷，一般要求环境温度小于 32℃，用户直接将风机插头接通220V电源即可。
按冷却方式分类 风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
两用型：中小型分子泵
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
连续抽除气体
节省能源、运行成本低
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 牵引性分子泵有较强的抗大气冲击能力
三、分子泵应用及选型
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
三、分子泵应用及选型
柔性太阳能电池设备
三、分子泵应用及选型
科研装备
三、分子泵的应用、维护
制灯行业(500G)
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三、分子泵的应用、维护
500G特点： 在缩短叶齿的情况下，保留转子抽气最强的部分(外缘)还在，这样在 抽速减少不大的前提下大大增加了转子的强韧度，可以抗击突发气压冲 击。 同时转子中央的腔式设计一方面降低了转子的重量，另一方面大大 减小了异物的掉进对泵造成破坏的几率。
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——磁场屏蔽
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题： 1. 转子与定子间隙越来越小，造成碎片； 2. 转子温升过大造成磁性电机转子退磁； 3. 由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵； 4. 转子发热，改变转子和轴的相对位臵，造成碎泵。 分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于3mT （30Gs）。原则上，大于3mT应使用导磁材料屏蔽。
分子泵
G1,真空计
Rotary pump
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二、分子泵性能指标
2．抽速 流量法（>10-4Pa)：
流导法(<10-4Pa)：
T1 温度计，
G1,DL -7 调节阀 T2 温度计，
G2, L D -7
分子泵
前级泵
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二、分子泵性能指标
复合分子泵典型的抽速曲线
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二、分子泵性能指标
3．压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得 的分子泵出口、入口压强之比 分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小
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2．陶瓷轴承分子泵
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
3．磁悬浮分子泵 ① 无磨损，寿命长。
② 噪音小，运转可靠性高。
③ 全无油真空泵，可获得高清洁真空
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一、分子泵结构、特点
4．复合型分子泵 在1Pa左右的高压强工作段，与同 类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速 ，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的
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三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
★长时间不用请将水冷套内水清空，以防腐蚀水冷套★
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三、分子泵的应用、维护
换油
1、润滑油：普通润滑油和防腐油，不可混用 2、换油时间： 首次1000小时更换； 以后，每工作4000小时更换，即使工作时间不足4000小 时，一年内至少更换一次。 如果经常烘烤或大负载或抽除腐蚀性气体，润滑油充注 及更新时间间隔应缩短。 3、换油方式：油绳和油池 4、润滑油量：油标上下限之间 5、换油时，油池应清洗干净
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三、分子泵的应用、维护
使用中的注意事项： 防止大气冲击(少用玻璃真空计)★ 防止粉尘及颗粒进入. 防止有大的震动及开机移动. 工作场应避免与高压,高频设备共用电源. 应远离磁性缘,尤其110泵应采取隔离磁措施. ★ 冷却水应保持流量及温度. 分子泵本身具有高频振动,所以在安装时应考虑到共振问题.同 时,在应用于光学,电子,激光设备时,要注意振动的影响. ★ 注意润滑油的安装及定时更换. 运输中防止撞击及倒臵。 真空室内少用放气量大的材料40三、分Fra bibliotek泵的应用、维护
使用——大气载、热气体、突变气载
1. 引起问题： 温度升高 动静片变形 转子上移 润滑失效5℃原则 轴承失效 2. 措施： 加大水冷 增加冷却装臵 缩短换油时间
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
1. 分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。 对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使 用隔振器，以便最大可能的减少振动。 2. 冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑 机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等） 气体振动（气量突变、压强突变） 意外振动（掉入异物、碰撞等） 注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
四．
分子泵结构、特点 分子泵性能指标 分子泵应用及维护 常见问题及处理
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一、分子泵结构、特点
分子泵结构
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一、分子泵结构、特点
分子泵分类
按物理结构分类 按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 按功能分类 普通型 防腐型 防辐射型
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
涡轮级+拖动级
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二、分子泵性能指标
4．振动 位移的峰-峰值 5．噪声
分贝级
6．功率 电压表、钳流表
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二、分子泵性能指标
其他技术参数
建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L/s前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L/s前级 对于 >1000L/s泵，建议采用 >12L/s前级 对于3500L/s泵，建议30L/S前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃
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产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
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主要内容
一． 二． 三．
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三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
分子泵（Molecular Pump）简介
——应用及维护
钱
浩
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中科科仪分子泵的发展历程
1977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科 学院鉴定。 1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负 电子对撞机。 1986年：FF500复合型分子泵。 1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。 1999年： F3500涡轮分子泵。 2000年： FF620复合分子泵进入市场。
使用。
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三、分子泵的应用、维护
进出口法兰、冷却水安装
1.泵入口、出口：正确安装、 密封良好 2.冷却水：无漏水 入口水压0.2MPa 水温20〒５℃ 水质澄清无沉淀 注意： 环境温度 风冷需小于32℃;水冷可至40℃
前级拧紧无 泄漏
高真空口对称 高真空口对称 均匀拧紧 均匀拧紧
循环水 不滴漏
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中科科仪分子泵的发展历程
2001年：系列防腐蚀分子泵进入市场。 2002年： FF1200复合分子泵进入市场。
2003年：系列任意角度安装分子泵进入市场。
2004年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。 2005年： FF700任意角度安装分子泵。
2006年： FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分
入口压强
强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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三、分子泵的应用、维护
冷却要求： 由于轴承的高速旋转摩擦，加热器烘烤的热辐射及电机处 于真空环境中散热慢等原因，必须在分子泵工作时对轴承和电 机进行冷却。 （1）水冷：采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。 对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或 腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，温度不应高于25℃，温度 较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管内径为10mm, 分 子泵的工作环境温度为不大于40℃。 （2）风冷：用风机进行强制空冷，一般要求环境温度小于 32℃，用户直接将风机插头接通220V电源即可。
按冷却方式分类 风冷型：中小型分子泵
水冷型：中大型分子泵
两用型：中小型分子泵
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一、分子泵结构、特点
分子泵特点
连续抽除气体
节省能源、运行成本低
对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大 起停机时间短
振动小，噪音低
操作维护方便，免维护周期长 牵引性分子泵有较强的抗大气冲击能力
三、分子泵应用及选型
三、分子泵应用及选型
制灯、玻璃镀膜
三、分子泵应用及选型
柔性太阳能电池设备
三、分子泵应用及选型
科研装备
三、分子泵的应用、维护
制灯行业(500G)
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三、分子泵的应用、维护
500G特点： 在缩短叶齿的情况下，保留转子抽气最强的部分(外缘)还在，这样在 抽速减少不大的前提下大大增加了转子的强韧度，可以抗击突发气压冲 击。 同时转子中央的腔式设计一方面降低了转子的重量，另一方面大大 减小了异物的掉进对泵造成破坏的几率。
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
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三、分子泵的应用、维护
使用——磁场屏蔽
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题： 1. 转子与定子间隙越来越小，造成碎片； 2. 转子温升过大造成磁性电机转子退磁； 3. 由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵； 4. 转子发热，改变转子和轴的相对位臵，造成碎泵。 分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于3mT （30Gs）。原则上，大于3mT应使用导磁材料屏蔽。
分子泵
G1,真空计
Rotary pump
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二、分子泵性能指标
2．抽速 流量法（>10-4Pa)：
流导法(<10-4Pa)：
T1 温度计，
G1,DL -7 调节阀 T2 温度计，
G2, L D -7
分子泵
前级泵
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二、分子泵性能指标
复合分子泵典型的抽速曲线
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二、分子泵性能指标
3．压缩比 分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得 的分子泵出口、入口压强之比 分子泵对大分子压缩比比较大，对小分子压缩比比较小
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2．陶瓷轴承分子泵
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
3．磁悬浮分子泵 ① 无磨损，寿命长。
② 噪音小，运转可靠性高。
③ 全无油真空泵，可获得高清洁真空
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一、分子泵结构、特点
4．复合型分子泵 在1Pa左右的高压强工作段，与同 类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速 ，有利于某些工艺过程。 前级耐压能力提高，可配某些类 型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的
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三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵型号及意义
F F - ×××/ ××× □ 特征代号（ 空、T、N、F、 Z……） 抽气速率, L/s 抽气口通径, mm 复合代号 分子泵代号
三、分子泵应用及选型
KYKY分子泵种类
涡轮泵 按结构分 复合泵 油润滑 润滑方式 脂润滑
F-100/110
★长时间不用请将水冷套内水清空，以防腐蚀水冷套★
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三、分子泵的应用、维护
换油
1、润滑油：普通润滑油和防腐油，不可混用 2、换油时间： 首次1000小时更换； 以后，每工作4000小时更换，即使工作时间不足4000小 时，一年内至少更换一次。 如果经常烘烤或大负载或抽除腐蚀性气体，润滑油充注 及更新时间间隔应缩短。 3、换油方式：油绳和油池 4、润滑油量：油标上下限之间 5、换油时，油池应清洗干净
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三、分子泵的应用、维护
使用中的注意事项： 防止大气冲击(少用玻璃真空计)★ 防止粉尘及颗粒进入. 防止有大的震动及开机移动. 工作场应避免与高压,高频设备共用电源. 应远离磁性缘,尤其110泵应采取隔离磁措施. ★ 冷却水应保持流量及温度. 分子泵本身具有高频振动,所以在安装时应考虑到共振问题.同 时,在应用于光学,电子,激光设备时,要注意振动的影响. ★ 注意润滑油的安装及定时更换. 运输中防止撞击及倒臵。 真空室内少用放气量大的材料40三、分Fra bibliotek泵的应用、维护
使用——大气载、热气体、突变气载
1. 引起问题： 温度升高 动静片变形 转子上移 润滑失效5℃原则 轴承失效 2. 措施： 加大水冷 增加冷却装臵 缩短换油时间
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三、分子泵的应用、维护
使用——振动隔离、冲击防护
1. 分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。 对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使 用隔振器，以便最大可能的减少振动。 2. 冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑 机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等） 气体振动（气量突变、压强突变） 意外振动（掉入异物、碰撞等） 注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
四．
分子泵结构、特点 分子泵性能指标 分子泵应用及维护 常见问题及处理
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一、分子泵结构、特点
分子泵结构
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一、分子泵结构、特点
分子泵分类
按物理结构分类 按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 按功能分类 普通型 防腐型 防辐射型
涡轮分子泵
涡轮级动、静叶列 复合型分子泵
涡轮级+拖动级
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二、分子泵性能指标
4．振动 位移的峰-峰值 5．噪声
分贝级
6．功率 电压表、钳流表
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二、分子泵性能指标
其他技术参数
建议前级泵规格 对于110/150L/s泵，建议采用2~4L/s前级 对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L/s前级 对于 >1000L/s泵，建议采用 >12L/s前级 对于3500L/s泵，建议30L/S前级 冷却条件 风冷 环境温度<32℃ 水冷 环境温度32℃以上，水温≤25℃