半导体物理第5章非平衡载流子

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西电半导体物理课件—第5章 非平衡载流子

西电半导体物理课件—第5章 非平衡载流子
1. 定义
~ 指非平衡载流子在导带和价带中的平均生存时间,记为τ。
2. 非平衡载流子的复合
当产生非平衡载流子的外作用撤出后,由于半导体内部的作用,使 它由非平衡态恢复到平衡态,过剩载流子逐渐消失。这一过程称为非平 衡载流子的复合。
3. 非平衡载流子的复合率
~ 单位时间单位体积内复合消失的电子-空穴对数称为非平衡载流子 的复合率;很明显, △p/τ就代表了复合率。
① 在一个能带内,载流子跃迁十分频繁,碰撞多,能量交换充 分,故载流子间仍处于热平衡状态;
② 在能带之间,载流子跃迁非常稀少,碰撞少,能量交换不充 分,故载流子间处于不平衡状态。
可见,统计分布分别对于导带和价带仍然适用,即系统处于一种 准平衡态。
所以,对应于导带和价带,可以分别引入导带费米能级和价带费
间接复合:电子和空穴通过禁带中的局域能级(复合中 心)进行的复合。
发生位置
体内复合:在半导体体内发生的复合; 表面复合:在半导体表面发生的复合。
Ⅶ、复合过程中能量的释放
¾ 发射光子
——伴随着复合将会有发光现象,常称为发光复合或辐射复合。
¾ 发射声子
——载流子将多余的能量传递给晶格,加强晶格的振动。
¾ 俄歇复合
——将能量给予其它的载流子,增加它们的动能。
Ⅷ、直接复合
¾ 产生率G:单位时间单位体积内产生的电子-空穴对数,为温
度的函数,与载流子浓度无关。
¾ 复合率R:单位时间单位体积内复合掉的电子-空穴对数。
R = rnp
其中r为复合概率,是温度的函数,与载流子浓度 无关。
达到热平衡时, G = rn0 p0 = rni2

n
2 i
)
p
+

半导体物理第五章教材

半导体物理第五章教材
12
➢ 光照停止时,半导体中仍然存在非平衡载流子。由于电子 和空穴的数目比热平衡时的增多了,它们在热运动中相遇 而复合的机会也将增大。这时复合超过了产生而导致一定 的净复合,非平衡载流子逐渐消失,最后恢复到平衡值, 半导体又回到了热平衡状态。
13
思考题
1. 掺杂、改变温度和光照激发都可以改变半导体的 电导率,试从三者的物理过程说明其区别。
nt0 Nt f(Et)1expNEttk0TEF 45
用半导体的光磁电效应的原理,该方法适合于测量短的寿 命,在砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中用得最多; ✓还有扩散长度法、双脉冲法及漂移法等。
不同的材料寿命很不相同。纯度和完整性特别好硅、锗 材料,寿命分别可达103μs、104μs;砷化镓的寿命极短,约为 10-5~10-6μs,或更低。即使是同种材料,在不同的条件 下,寿命也可在—个很大的范围内变化。
电子在导带和价 带之间的直接跃 迁,引起电子和 空穴的直接复合
电子和空穴通过 禁带的能级(复合 中心)进行复合
27
28
二、非子复合时释放能量的方式
非平衡载流子复合时释放能量的方式有三种: ➢ 发射光子:伴随着复合,将有发光现象,常称为发光复合
或辐射复合; ➢ 发射声子:载流子将多余的能量传给晶格,加强晶格的振
nt0 Nt f(Et)1expNEttk0TEF
41
n1 Nc expEtk0TEc
费米能级EF与复合中 心能级Et重合时导带
的平衡电子浓度
srnNcexpEtk 0TEcrnn1 Gn snt
内在 联系
Gn rnn1nt
42
(二) 空穴俘获与发射
1.俘获空穴 电子由复合中心能级Et落入价带与空穴复合,或者说复合

半导体物理课件非平衡载流子

半导体物理课件非平衡载流子

讨论:过剩载流子由外界的附加激发产生,
而且对其有一响应过程; 当外界激发在t1 时刻去除后,(n)t1个过剩载流子并不是 瞬间即消失的,n、 p 的物理意义是过剩 载流子的平均存在的时间,称为过剩载流
子寿命。
若取t1时刻开始记时,即t1=0,则 n (n)0et /n,p (p)0et / p
非平衡载流子的实验观察 • 设导平衡,态小时注半入导时体,电导= 率0+为0≈,光0,照引起的附加电 • 电阻率改变=1/-1/0- / 02, • 电阻改变为:r • V=I r 。
产生过剩载流子的方式有: 光注入, Δn= Δp 光照在n型材料上,电导率增量Δ
=q Δp( n + p) 电注入(金属探针与pn结正向导通)
• 在t > 0 时,由于G > R,故载流子浓度提高n、p ,由此将 引起复合率R 的上升。
• U = R - R0,为净复合率,显然,它可以被看成是由于过剩载 流子n、 p的存在而导致的复合率的增加。
• 故,光照开始后,载流子浓度的变化规律为:
dn dt
G
R
G0
G
(R0
Un)
G
Un
等式左边: dn d (n0 n) dn
非平衡载流子平均存在时间:
t
t
t tdp(t) / dp(t) te dt / e dt
0
0
0
0
• ,衰减越快。
大注入和小注入的概念 大注入:在某种注入下,产生的过剩载流子的数量显著高于
热平衡时的多子浓度,此时称大注入。 如在本例中,如果Gn>>n0 ,则是大注入的情况。发生大注
• 载流子在两带之间的热跃迁就要稀少得多,所以要达到两带 之间的平衡要慢一些,即过剩载流子寿命的量级在10-8~10-3 s。

半导体物理课件1-7章(第五章)

半导体物理课件1-7章(第五章)

n0
exp
EFn EF k0T
ni
exp
EFn Ei k0T
p
Nv
exp
EFp Ev k0T
p0
exp
EF EFp k0T
ni
exp
Ei EFp k0T
np
n
2 i
exp
E Fn E Fp k 0T
有非平衡载流子存在时,由于n>n0和p>p0,所 以无论是EFn还是EFp都偏离EF, EFn偏向导带 底Ec,而EFp则偏向价带顶Ev。但是,EFn和EFp 偏离EF的程度是不同的。
9
4、非平衡载流子的注入和检验:
•注入的非平衡载流子可以引起电导调制效应,
使半导体的电导率由平衡值σ0增加为σ0+Δσ,
附加电导率Δσ可表示为
nqn pq p
(n0 n)qn ( p0 p)q p
(n0qn p0q p ) (nqn pq p )
0
光注入Δp=Δn
nqn pq p pq(n p )
复合过程的性质
• 由于半导体内部的相互作用,使得任何半导体在 平衡态总有一定数目的电子和空穴。 •从微观角度讲: •平衡态指的是由系统内部一定的相互作用所引起的 微观过程之间的平衡;这些微观过程促使系统由非 平衡态向平衡态过渡,引起非平 衡载流子的复合; •因此,复合过程是属于统计性的过程。
复合理论
通过附加电导率的测量可以直接检验非平 衡载流子的存在。
小注入时 0 0
电阻率变化:
0
1/
1 / 0
/
2 0
电阻变化:
R
l
/
S
[l
/
(
S

5非平衡载流子的产生与复合

5非平衡载流子的产生与复合
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编著.电子工业出版社
29
(a)电子的俘获过程

Rn Cn n( N t nt )
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编著.电子工业出版社
30
(b)电子的产生过程

Gn Sn nt
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编著.电子工业出版社
31
(b)电子的产生过程
G G0 R0 rn0 p0 rn
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编著.电子工业出版社
2 i
23
净复合率、非平衡载流子寿命

U R G r (np n0 p0 ) U r (n0 p0 p)p
U p /

1 r (n0 p0 p)
n n 1 1 2 i i rp0 rNA
p0
ni 1 1 p 2 i rn0 rND n0
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编著.电子工业出版社
26
5.3 通过复合中心的复合
教学要求 1.说明通过复合中心复合的物理机制。 2.了解通过复合中心复合的四种过程。 3.熟悉肖克莱-瑞德公式(5.3-27)。 4.熟悉寿命公式(5.3-31)。 5.了解金在硅中的复合作用及掺金的实际意义。
15 4106 /106
《半导体物理学简明教程》孟庆巨等编 U p0 / 1015 /106 1021 (cm3s1 ) p 3.68 1014 (cm3 ) U 3.68 1014 /106 3.68 1020 (cm3s1 ) p 1.83 1013 cm3 U 1.83 1013 /106 1.83 1019 (cm3s1 )

Sn nt0 Cn n0 ( N t nt0 )

《半导体物理学》【ch05】 非平衡载流子 教学课件

《半导体物理学》【ch05】 非平衡载流子 教学课件

复合理论
1 直接复合——电子在导带和价带之间的直接跃迁, 引起电子和空穴的直接复合。
间接复合电子和空穴通过禁带的能级(复合中心)进行复合。根据间接复合过程发生的位置,又可以把
2 它分为体内复合和表面复合。载流子复合时, 一定要释放出多余的能量。放出能量的方法有三种:
1.发射光子,伴随着复合,将有发光现象,常称为发光复合或辐射复合; 2.发射声子,载流子将多余的能量传给晶格,加强晶格的振动; 3.将能量给予其他载流子,增大它们的动能,称为俄歇(Auger)复合。
集成电路科学与工程系列教材
第五章
非平衡载流子
半导体物理学
01
非平衡载流子 的注入与复合
非平衡载流子的注入与复合
处于热平衡状态的半导体在一定温度下,载流子浓度是一定的。这种处于热平衡状态下的载流子浓度, 称为平衡载流子浓度,前面各章讨论的都是平衡载流子。用no 和po分别表示平衡电子浓度和空穴浓 度,在非简并情况下,它们的乘积满足下式
当外界的影响破坏了热平衡,使半导体处于非平衡状态时,就不再存在统一的费米能级,因为前 面讲的费米能级和统计分布函数都指的是热平衡状态。事实上,电子系统的热平衡状态是通过热 跃迁实现的。在一个能带范围内,热跃迁十分频繁,在极短时间内就能形成一个能带内的热平衡。 然而, 电子在两个能带之间,例如,导带和价带之间的热跃迁就稀少得多,因为中间还隔着禁带。
非平衡载流子的注入与复合
最后, 载流子浓度恢复到平衡时的值,半导体又回到平衡态。由此得出结论,产生非平衡载流子的外 部作用撤除后,半导体的内部作用使它由非平衡态恢复到平衡态,过剩载流子逐渐消失。这一过程称为 非平衡载流子的复合。 然而,热平衡并不是一种绝对静止的状态。就半导体中的载流子而言,任何时候电子和空穴总是不断地 产生和复合, 在热平衡状态,产生和复合处于相对的平衡,每秒钟产生的电子和空穴数目与复合的数 目相等,从而保持载流子浓度稳定不变。 当用光照射半导体时,打破了产生与复合的相对平衡,产生超过了复合,在半导体中产生了非平衡载流 子, 半导体处于非平衡态。

半导体物理基础-非平衡载流子

半导体物理基础-非平衡载流子
Rnn0 n02 p0
Gnn
Gnn0
n n0
(3) 陷阱效应
一些杂质缺陷能级能够俘获载流子并长时 间的把载流子束缚在这些能级上。
产生原因:
俘获电子和俘获空穴的能力相差太大
电子陷阱 空穴陷阱
nt
Nt
(ncn p1cp ) cn (n n1) cp ( p
p1 )
例题1
解:温度改变时,费米能级位置要发生 变化,则与Et的相对位置也发生变化.
外部条件拆除后,
n p
光照引起的附加光电导:
qnn qpp
通过附加电导率测量可计算非 平衡载流子。
n, p nonequilibrium carriers
也称 excess carries (过剩载流子)
n型半导体:Δn=Δp《 n0, p型半导体 Δn=Δp《 p0
n1 p0, n0 , p1
1 Ntcp
n1 p0
p
n1 p0
(4)强p型区
p cn (n0 n1) cp ( p0 p1)
U
Ntcncp (n0 p0 )
p0 n1, p1, n0
1 NT cn
n
2. Et
U
np ni2
1 cp Nt
(n
n1 )
1 cn Nt
(
p
p1 )
复合
直接复合(direct recombination):导带电子与价带空 穴直接复合.
间接复合(indirect recombination):通过位于禁带中的 杂质或缺陷能级的中间过渡。
表面复合(surface recombination):在半导体表面发生 的 复合过程。
从释放能量的方法分:

半导体物理与器件 第五章非平衡载流子解读

半导体物理与器件 第五章非平衡载流子解读

D p
d 2p dx 2
p
Dn
d 2n dx 2
n
但p( x)、n( x)仍是空间x的函数
上述两个方程的解:
p(x) Aexp( x ) B exp( x )
Lp
Lp
n(x) C exp( x ) B exp( x )
Ln
Ln
Lp Dp p 空穴扩散长度 Ln Dn n 电子扩散长度
第五章非平衡载流子
5.1非平衡载流子的注入与复合 5.2 非平衡载流子的寿命 5.3准费米能级 *5.4复合理论 *5.5 陷阱效应 5.6 载流子的扩散方程 5.7 载流子的漂移运动,爱因斯坦关系式 5.8 连续性方程
5.1非平衡载流子的注入与复合
过剩载流子的产生: ①光注入
光照使半导体产生非平衡载流子
光照
1
1
0
2 0
R
L S
l
s
2 0
V IR p
半导体R1
V R2>>R1
5.1非平衡载流子的注入与复合
②电注入:
二极管加正向电场,n区的 电子扩散到p区,p区的空穴 扩散到n区
p
n
P区
p n
p0 n0
p n
n区
p n
p0 p n0 n
加反向电场,少子抽取,n区空穴飘移到p区,p 区的电子飘移到n区
5.1非平衡载流子的注入与复合
光生过剩电子和过剩空穴的浓度 非平衡载流子通常指非平衡少数载流子
5.1非平衡载流子的注入与复合
非简并半导体,处于热平衡时,电子浓度n0,空穴
浓度P0
Eg
n0 p0 ni2 Nc Nve k0T
如果对半导体施加外界作用,半导体处于非平衡状
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对于热平衡状态下的非简并系统,有:
EC E F n=N C exp - k 0T E F EV P=NV exp - k 0T
从另一角度理解上两式:两式各自独立地描 述导带中的电子分布和价带中的空穴分布情 况,不过它们的费米能级相同。

* 非平衡载流子: Δ n 和Δ p(过剩载流子)
过剩载流子
电中性:
载流子的产生和复合:电子和空穴增加和消失的过程 平衡载流子满足费米-狄拉克统计分布 过剩载流子不满足费米-狄拉克统计分布 且公式
np n
2 i
不成立
产生非平衡载流子的过程称为非平衡载流子注入 * 非平衡载流子注入条件: * 小注入条件: 光注入 电注入 高能粒子辐照 …


p
可以证明,在小注入条件下, 为一个不依赖 于非平衡载流子浓度的常数, 因此解上述方程得 到:
Δpt =Δp0)e (
t / p
同理对P型有
Δnt =Δn0)e (
-t/τ n
寿命的意义
p(t ) (p)0 e


t

t 时,p( ) (p)0 / e
n Ec E F k 0T
Ec E F k 0T
e
n EF EF k 0T

p Nve p0 Nve
p E F Ev k 0T
E F Ev k 0T
e
p EF EF k 0T

n n 0 n n 0 1 n0 n0 n0
p p0 p p 1 p0 p0 p0
,故寿命标志着非平衡
载流子浓度减小到原值的1/e所经历的时间;寿命越短,
衰减越快
衰减过程中从t到t+dt内复合掉的过剩空穴
dpt =-
pt
p
dt
因此, p(0) 个过剩载流子的平均可生存时间为:

t= 0
0
tdpt dpt


tdpt
p NV e

p0e
k0T
ni e
k0T
注: 非平衡载流子越多,准费米能级偏离 EF 就越远。 在非平衡态时,一般情况下,少数载流子的 准费米能级偏离费米能级较大
EFn EFp
EFn EFp
np n0 p0e
此时
n F
k0T
ni e
2
k0T
np
2 ni
p E F 的偏离的大小直接反映出 np 可见,E 和 n 0 p 0)与 n i2 相差的程度,即反映出半导体 (或
1 n f n E E EF 1 e k 0T 1 f E p EF E p 1 e k 0T
n EF 电子准费米能级 p EF 空穴准费米能级
对于非简并系统,非平衡状态下的载流子浓度 也可以由与平衡态相类似的表达式来表示:
n 0 q n +p 0 q p nq n +pq p
0
故附加光电导:
=nqn +pqp
=nq n + p
第五章 非平衡载流子
• 5.1非平衡载流子的注入与复合 5.2非平衡载流子的寿命 5.3准费米能级 5.4复合理论 5.5陷阱效应 5.6载流子的扩散运动 5.7载流子的漂移运动,爱因斯坦关系式 5.8连续性方程式
§5.2 非平衡载流子的寿命
非平衡载流子的复合率:
单位时间单位体积净复合消失的电子-空穴对数
设单位时间内非平衡载流子的复合几率为 1/. 若t时刻的非平衡载流子浓度为p(t), 则非 平衡载流子的复合率为:
复合率=p/
1/n 和 1/p 分别表示非平衡电子和非平 衡空穴的复合几率.
对n型半导体, 设t时刻单位体积内的非 平衡载流子浓度为p(t); t=0时撤销注入条 件, 则有: pt d Δpt Δp = d pt =- dt dt τp
设半导体电阻为r, 且
R r
则通过回路的电流 I 近似不随 半导体的电阻r的改变而变化. 当加入非平衡作用时, 由于半导体的电阻发生改 变, 半导体两端的电压也发生改变, 由于电压的改变, 可以确定载流子浓度的变化.
注入的结果
产生附加光电导
nq n +pq p
=n 0+n q n+p 0+p q p
§5.1 非平衡载流子的注入与复合
1. 半导体的热平衡态与非平衡态
载流子的产生率: 单位时间单位体积内产 生的电子-空穴对数。 单位时间单位体积内复合 掉的电子-空穴对数。
载流子的复合率:
平衡载流子浓度:
在热平衡状态半导体中, 载流子的产生和复合 的过程保持动态平衡,从而使载流子浓度保持定 值。这时的载流子浓度称为平衡载流子浓度。
费米能级相同的原因:
半导体处于热平衡状态,即从价带激发 到导带的电子数等于从导带跃迁回价带的电子 数,使得导带中的电子的费米能级和和价带中 空穴的费米能级产生关联,即相等。
从而使得电子和空穴的浓度满足:
Eg np N C NV exp - KT 0 =n i2
当半导体处于非平衡态时,有附加的载流 子产生。此时电子和空穴间的激发和复合的 平衡关系被破坏,导带中的电子分布和价带 中的空穴分布不再有关联,也谈不上它们有 相同的费米能级。 由于同一能带内,电子的跃迁非常迅速和频 繁,因此,即使在非平衡状态下,导带中的电 子和价带中的电子分布仍满足费米分布,即当 处于非平衡状态时, 电子与空穴各自处于热平衡 态---准平衡态(同一能带内的热平衡)。 此时 电子和空穴有各自的费米能级----准费米能级。 即
半导体物理学
一.半导体中的电子状态
二.半导体中杂质和缺陷能级
三.半导体中载流子的统计分布
四.半导体的导电性
五.非平衡载流子
六.pn结
七.金属和半导体的接触 八.半导体表面与MIS结构
第五章 非平衡载流子
第五章 非平衡载流子
• 5.1非平衡载流子的注入与复合 5.2非平衡载流子的寿命 5.3准费米能级 5.4复合理论 5.5陷阱效应 5.6载流子的扩散运动 5.7载流子的漂移运动,爱因斯坦关系式 5.8连续性方程式
若用n0和p0分别表示平衡电子浓度和平衡空 穴浓度,在非简并情况下,有:
EC E F n 0=N C exp - k 0T EF EV ; p 0=NV exp - k 0T
它们乘积满足:
Eg =n i2 n 0 p 0 N C NV exp - KT 0
0

p p0

tdpt
0
p0
p
也是非平衡载流子的平均生存时间,即非平 衡载流子的平均寿命.
不同材料的寿命差异较大. 锗比硅容易获 得较高的寿命, 而砷化镓的寿命要短得多.
较完整的锗单晶: 较完整的硅单晶: 砷化镓单晶:
10 4 s 10 3 s
载流子的产生率G:
载流子的复合率R:
单位时间单位体积内产 生的电子-空穴对数。
单位时间单位体积内复 合掉的电子-空穴对数。
不同状态时,载流子的产生率和复合率统计比较: 热平衡态 注入过程 注入稳定 注入撤销 产生率=复合率 产生率 >复合率 产生率=复合率 产生率 <复合率
5.3
准费米能级(Quasi-Fermi Level
)
费米能级:费米分布函数来描述是用来描 述“热”平衡状态下的电子按能级的分布 的。是“热”平衡下分布的参考点。也即 只有“热”平衡状态下才可能有“费米能 级”
半导体中电子的分布:稳定时用费米分布, 但若有外界因素(如光照,不是“热”)引 起电子激发,电子分布不再满足费米分布
所以
n p n 0 p0
n

e
n EF EF k 0T
e
p EF EF k 0T

EF - EF EF EF
p
5.4
复合理论
非平衡载流子的复合----产生非平衡载流子 的外部作用撤除后,半导体由非平衡态恢复 到平衡态,过剩载流子逐渐消失的过程。 1.复合过程的性质 非平衡载流子的复合过程具有统计性质: 产生非平衡载流子的外部作用撤除后, 系统由非平衡态向平衡态演变。我们无法确 定这种演变是由于原来平衡态的载流子复合 引起的,还是非平衡过程中产生的载流子复 合引起的, 只能统计地给出有多少载流子复合 了,还剩多少载流子等信息。
偏离热平衡态的程度。 若两者靠得越近,则说明非平衡态 越接近平衡态。
对于n型半导体,准费米能级偏离平衡费米能级 示意图如下图所示:
EC
EF
EFn
EFp
EV
特点:
EF - EF EF EF
n
p
课堂练习5
证明对于n型半导体,准费米能级偏离平衡费米能级满足
EF - EF EF EF
n
p
证明:由
n N c e p Nve

n Nce n0 Nce
n Ec E F k 0T p E F Ev

k 0T
n0 N c e p0 N v e
Ec E F k 0T E F Ev k 0T
* 平衡态与非平衡态间的转换过程:
热平衡态: 产生率等于复合率,△n =0; 外界作用: 非平衡态,产生率大于复合率,△n 增大; 稳定后: 稳定的非平衡态,产生率等于复合率,△n 不变; 撤销外界作用: 非平衡态,复合率大于产生率,△n 减小; 稳定后 : 初始的热平衡态(△n =0)。
2. 非平衡载流子的检验
当非平衡载流子的浓度△n(或 △p)<<平衡态 时的多子浓度n0(或p0)时,这就是小注入条件.
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