洁净厂房空调系统
洁净厂房空调初效和中效压差标准
洁净厂房空调初效和中效压差标准
摘要：
1.洁净厂房空调系统的初效和中效过滤器的定义和作用
2.初效和中效过滤器的初始压差标准
3.压差增加的原因和影响
4.压差达到什么范围需要更换或清洗初中效过滤器
5.如何确定初中效过滤器需要更换或清洗
6.洁净厂房空调系统运行中的注意事项
正文：
一、洁净厂房空调系统的初效和中效过滤器的定义和作用
洁净厂房空调系统是保证洁净厂房空气质量的关键设备，其中初效和中效过滤器是空调系统中的重要组成部分。
初效过滤器主要用于过滤大颗粒尘埃，如灰尘、皮屑等，而中效过滤器则用于过滤较小的颗粒尘埃，如病毒、细菌等。
二、初效和中效过滤器的初始压差标准
初效过滤器的初阻力在10-40Pa 左右，终阻力在20-80Pa 左右；中效过滤器的初阻力在50-90Pa 左右，终阻力在100-180Pa 左右。
三、压差增加的原因和影响
随着空调系统运行时间的延长，初中效过滤器会被尘埃粒子附着，透风率逐渐降低，压差会逐渐上升。
压差增加会导致送风量减少，洁净区换气次数达不到要求，从而影响洁净厂房的空气质量。
四、压差达到什么范围需要更换或清洗初中效过滤器
当初始压力达到原始压差的1.5 倍警戒限时，就要准备更换或清洗，一般地在原始压差1.8 倍时清洗或更换，不能超过原始压差的2 倍。
五、如何确定初中效过滤器需要更换或清洗
可以通过测量初中效过滤器的压差来确定是否需要更换或清洗。
当测量的压差超过标准范围时，就需要考虑更换或清洗过滤器。
六、洁净厂房空调系统运行中的注意事项
在洁净厂房空调系统运行中，要注意定期检查过滤器的压差，确保其保持在标准范围内。
洁净厂房及空调净化系统运行确认方案
洁净厂房及空调净化系统运行确认方案一、背景介绍洁净厂房及空调净化系统是用于保持空气质量的重要设施，特别适用于需要高纯净度、无微尘、无细菌等环境的生产过程，如电子、光学、食品、医药等行业。
为了确保洁净厂房及空调净化系统的正常运行，提高产品质量和生产效率，需要制定一套运行确认方案。
二、确认内容1.洁净厂房的运行确认（1）检查空气质量：每天早晨和下班前，使用空气质量检测仪器对洁净厂房进行检查，确认空气质量是否符合预期要求。
（2）检查过滤器状态：每周对过滤器进行检查，确认其是否需要清洗或更换。
（3）检查排风系统：每月对洁净厂房的排风系统进行检查，确保排风系统正常运行，排出洁净的空气。
（4）检查全面通风系统：每季度对洁净厂房的全面通风系统进行检查，确保其正常运行。
（5）清洁地面：每周对洁净厂房的地面进行清洁，确保地面无灰尘和杂物。
（6）消毒洁净工具和设备：每天使用洁净环境下的消毒剂对工具和设备进行消毒处理。
2.空调净化系统的运行确认（1）检查空调净化设备：每天早晨和下班前，对空调净化设备进行检查，确保设备正常运行。
（2）检查空调温度和湿度：每天早晨和下班前，使用温度计和湿度计检查空调系统的温度和湿度是否符合要求。
（3）清洁空调过滤器：每周对空调净化系统的过滤器进行清洁，确保过滤器正常工作。
（4）定期清洁空调通风管道：每个季度对空调净化系统的通风管道进行清洁，防止积存灰尘和杂物污染空气。
（5）定期进行维护和保养：每半年对空调净化系统进行维护和保养，包括清洁和更换空调设备的零部件。
三、确认方法1.使用空气质量检测仪器对洁净厂房的空气质量进行检测，记录检测结果。
2.检查过滤器状态时，观察过滤器是否有明显的污染和阻塞情况，如发现问题及时清洗或更换。
3.对排风系统和全面通风系统的检查，可以通过观察其运行情况和检测空气流动速度来确认。
4.对地面的清洁可以通过目视观察和手触检测，如果有明显的灰尘和杂物则需要清洁。
5.清洁工具和设备时，使用洁净环境下的消毒剂，确保彻底消毒。
无尘车间空调系统的组成和分类
无尘车间空调系统的组成和分类
为了使无尘车间内部能够保持所需要的温度、湿度、风速、压力和洁净度等基本参数，比较常用的方法就是向无尘车间内部源源不断地送入一定数量且经过正确处理的空气，能做到这一步的就只有无尘车间的空调系统了。
做无尘车间是离不开空调系统的，它除了能降温及控制湿度以外，还能消除尘埃污染，这对无尘车间来说是很重要的。
无尘车间空调系统主要由以下设备及管路所组成：
1、加热或冷却、加湿或去湿以及空气净化设备；
2、将处理后的气体送进各洁净车间并使之循环的空气输送设
备及其管路；
3、向系统提供热量、冷量、热源、冷源及其管路系统。
总的来说，无尘车间空调系统主要由空气处理设备，空气输送设备，空气分布装置三大部分组成。
此外还有制冷系统、供热系统及自动调节系统。
下面说说无尘车间空调系统的分类：
1、集中式洁净空调系统：在系统内单个或多个洁净车间所需
的净化空调设备都汇集在机房内，用送风管道将洁净气体供给所有洁净车间。
2、分散式洁净空调系统：在系统内所有洁净车间单个设置净
化设备或净化空调设备。
3、半集中式洁净空调系统：在这种系统中，不仅有汇集的洁
净空调机房，又有分散在各洁净室内的气体处理设备。
是一种集中处理和局部处理相结合的形式。
GMP洁净厂房空调净化系统验证方案
GMP洁净厂房空调净化系统验证方案
GMP洁净厂房空调净化系统验证方案包括以下步骤：
1. 确定验证目标：明确空调净化系统的设计、安装和运行
是否符合GMP要求，并确保系统性能稳定、可靠。
2. 环境要求：按照GMP要求设置验证环境，并确保环境符合净化系统的设计要求，包括温度、湿度、风速等条件。
3. 净化系统运行验证：对空调净化系统进行全面运行验证，包括空气流动情况、过滤器效果、风速和风量等参数的测
试和记录。
4. 温度和湿度控制验证：验证空调系统的温度和湿度控制
能力，包括对不同工作区域的温度和湿度进行测量和分析。
5. 洁净度验证：使用空气采样仪对空气中的微生物进行采
样并进行检测，验证系统的洁净度符合要求。
6. 过滤器验证：对空调系统中的过滤器进行验证，包括过
滤器的效率、阻力和更换周期的测试和记录。
7. 风机性能验证：验证空调系统的风机性能，包括风机的
风量、风速等参数的测试和记录。
8. 系统报警和控制验证：验证空调系统的报警和控制功能
是否正常运行，并对系统的控制参数进行测试和记录。
9. 文件记录和报告编写：验证过程中进行详细的记录，并
撰写验证报告，包括验证结果、异常情况的处理和建议等。
以上是基本的GMP洁净厂房空调净化系统验证方案，具体的验证内容和步骤可以根据实际情况进行调整和补充。
洁净厂房空调系统的特点与节能
洁净厂房空调系统的特点与节能摘要：清洁工厂空调系统的能耗非常高，由于空气量大、新鲜空气负荷大、阻力大，是一般空调系统的十倍以上。
不仅初期施工费用高昂，而且施工后的运营和维护费用也很高，因此需要改进设施专用空调系统的设计和运行。
本文主要论述清洁设施空调系统的特点和节能。
关键词：洁净厂房；空调系统；特点；节能措施；分析探讨；前言随着中国经济的快速发展，许多外国制造企业转向中国，那里的高端制造业表现出了蓬勃的增长势头，越来越多的清洁工厂在广阔的空间里。
清洁的大型工业建筑必须具有较大的范围、高度和清洁度，因此高空气交换率和大型空调系统是这些工业建筑的重要特点。
保持车间清洁需要大量的能源来保持产品生产的清洁生产环境。
空调系统是清洁车间的关键系统，占这些车间总能耗的很大一部分，而且是能源的主要消费者。
因此，为了降低生产成本、提高产品竞争力、节约能源和保护环境，制造商越来越重视大型清洁工厂的空调设计和节能。
一、洁净厂房空调系统的特点1.运行成本高由于需要高水平的清洁，清洁车间不得不使用大量的供气和空气过滤系统，从而大大增加了业务费用。
与规模相同的办公楼相比，清洁工厂空调系统的能耗预计将增加10至30倍。
对于单向流量净化室，单向流量的清洁度一般控制在IS05以上。
如果高度为3m、面积为500米的清洁车间采用单向垂直流动法，则车间空气入口的风速控制在0.2m/s至0.35m/s之间，清洁车间空调系统的空气变化次数达到24至60倍/小时，从而此外，清洁工厂的空调系统具有较高的热量。
由于生产过程中对温度和湿度的严格要求，能源消耗进一步增加，大大增加了运营成本。
2.新风负荷大在电子工厂的生产过程中，经常有有害气体因此，为了通过排放气体迅速消除这些有害气体，必须增加空调系统的空气量。
与空调系统风机温度升高负荷和技术设备冷却负荷相比，风寒负荷9是三者中较大的。
对于普通的电子清洁车间来说，平均需要9空气量通常保持在45至60米/(小时)之间。
GMP洁净厂房空调净化系统验证方案
GMP洁净厂房空调净化系统验证方案
GMP洁净厂房空调净化系统验证是确保洁净厂房空调系统能够满足GMP要求的重要步骤。
以下是GMP洁净厂房空调净化系统验证方案：
1. 验证目的：
验证洁净厂房空调净化系统是否符合GMP要求，确保系统能够满足洁净厂房环境的要求，保证产品质量和安全性。
2. 验证范围：
验证包括空调系统的设计、安装、调试和运行等环节，验证空气净化设备、空气过滤器、空气送回口、空气回风口等净化设备的性能和运行情况。
3. 验证方法：
（1）验证空气净化设备的性能：对空气净化设备进行检测，包括空气净化器的过滤效率、空气流量、压差等参数的测试。
（2）验证空气过滤器的性能：对空气过滤器进行检测，包括空气过滤器的过滤效率、风阻、漏气等参数的测试。
（3）验证空气送回口和空气回风口的性能：对空气送回口和空气回风口进行检测，包括风速、风量、温度、湿度等参数的测试。
（4）验证空调系统的运行情况：对空调系统的运行情况进行检测，包括温度、湿度、气流速度等参数的测试，以及空气净化设备、空气过滤器、空气送回口、空气回风口等净化设备的运行情况的检测。
4. 验证结果：
根据验证结果，对空调净化系统进行评估和分析，确定系统是否符合GMP要求。
如果存在问题，需要及时采取措施进行改进和修复。
5. 验证记录：
对验证过程和结果进行记录和归档，包括验证方案、验证记录、验证报告等文件。
验证记录应包括验证过程中的数据、检测结果、异常情况和处理措施等信息。
以上是GMP洁净厂房空调净化系统验证方案，通过验证能够确保洁净厂房空调系统能够满足GMP要求，保证产品质量和安全性。
洁净间空调自控系统解决方案
洁净间空调自控系统解决方案一、规范1. 1洁净间空调系统相关规范随着经济的发展和生活水平的提高，目前在电子、制药、食品、生物工程、医疗等领域对洁净间的要求越来越高，洁净技术也随之发展起来。
它综合了工艺、建筑、装饰、给排水、空气净化、暖通空调等各方面的技术。
按照中华人民共和国标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》，其与空调系统相关的主要技术指标为：1．空气洁净度：等级每M3空气中≥0.5微米尘粒数每M3空气中≥0.5微米尘粒数100级≤35×1001000级≤35×1000 ≤25010000级≤35×10000 ≤2500100000级≤35×100000 ≤250002．温、湿度：（1）满足生产要求；（2）生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20-26℃，湿度小于70%；（3）人员净化用室和生活用室温度为16-28℃。
3．洁净室正压：洁净室必须维持一定的正压。
不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不于9.8 Pa.。
此外，还有对于风量，风速等的技术要求。
总之，洁净间的各项指标都非常严格，因此，对其进行精确的控制就成为必须。
1．2洁净间空调自控的意义在现代商业及工业楼宇中，空调系统设备较多，自动化管理是使其安全工作并良好运行的重要保证。
同时，空调的能源消耗一般占总能源消耗的40%以上，因此空调节能是节能的重要手段。
对洁净间而言，更是如此。
采用空调自控产品，会产生下列一系列好处：首先，由于空调系统实现自动化监控，可以使系统能够更安全的运行，并最大限度的提高舒适程度。
对洁净间来说，更成为保证生产所必须的条件。
此外，由于实现了自动化监控，可以在满足系统安全运行及保证系统的各种技术指标的同时，最大限度的实现节能控制，符合日益突出的节能和环保需要。
有关资料表明，采用空调自控系统后，可节约空调系统设备年度运行费用的10%。
洁净厂房及空调净化系统运行确认方案
洁净厂房及空调净化系统运行确认方案洁净厂房是指在一定工艺条件和管理措施下，生产过程中能够控制空气污染物浓度、空气微生物、温度、湿度和空气流速，以确保产品符合洁净度要求的生产场所。
为了保证洁净厂房正常运行，必须对空调净化系统进行运行确认。
下面是针对洁净厂房及空调净化系统运行确认的详细方案。
一、流程步骤1. 安排专业人员进行洁净厂房及空调净化系统的运行确认。
专业人员应具备相关的理论知识和实际操作经验。
2. 对空调净化系统进行初次运行确认。
初次运行确认包括系统完好性检查、调试操作、运行参数记录等内容。
3. 对空调净化系统进行定期运行确认。
定期运行确认周期根据实际需要进行确定，通常为一周或一个月。
4. 根据运行确认结果制定修正方案。
对于运行中发现的问题，需要及时制定相应的修正方案，并落实到实际操作中。
二、初次运行确认内容1. 系统完好性检查。
检查空调净化系统的所有设备是否正常运转，如风机、过滤器、换气口等。
检查系统是否存在漏风、断电等故障。
2. 调试操作。
根据系统设计要求和操作手册，对空调净化系统进行调试操作。
包括调整空气流量、调整温湿度控制装置等。
3. 运行参数记录。
对空调净化系统的运行参数进行记录，包括温度、湿度、气流速度等参数。
并与设计要求进行对比，确保系统能够满足洁净度要求。
4. 运行负荷测试。
对于空调净化系统的运行负荷进行测试，包括正常负荷和峰值负荷。
通过测试结果评估系统的运行性能。
三、定期运行确认内容1. 设备巡检。
定期巡检空调净化系统的各个设备，包括风机、过滤器、换气口等。
检查设备是否存在异常运转、震动、噪音等问题。
2. 洁净度检测。
定期对洁净厂房内的洁净度进行检测，包括空气污染物浓度、空气微生物、温度、湿度等参数。
并与洁净度要求进行对比，评估系统的工作状态。
3. 运行参数记录。
定期记录空调净化系统的运行参数，并与设计要求进行对比，评估系统的运行状况。
4. 运行负荷测试。
定期进行运行负荷测试，评估空调净化系统在正常负荷和峰值负荷下的运行性能。
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洁净厂房空调系统随着世界制造业向我国的战略性转移，我国出现了越来越多的各式洁净厂房。
在这些洁净厂房中，特别是量C（量nt区g风at区d C量风cu量t）的生产厂房，洁净度要求特别严格，成为洁净厂房的典型用户。
在这些集成电路的相关生产企业中，起始由于成品率很低，企业最关注的是产品的成品率问题。
这是因为，成品率直接决定着企业的生产成本和成败，决定着企业能否在激烈的市场竞争中处于不败之地。
随着科技进步和技术的提升，各企业的成品率都大幅度提高，产品的品质在很大程度上得到了保证。
但随着产品集成度和生产环境洁净度要求的提高，电子厂房的耗能却在急剧的增大，成为典型耗能大户。
进入新世纪，能源问题已成为制约我国持续快速发展的瓶颈问题。
能源的短缺，又致使能源价格不断攀升，这些都使得电子厂房的节能问题成为相关企业关注的焦点。
企业要迎面竞争，想在激烈的市场竞争中不被淘汰，就必须面对洁净厂房空调系统的节能问题。
随着我国信息产业的发展，出现了越来越多洁净厂房。
现阶段，洁净厂房空调系统的节能已经成为各生产商降低生产成本，增大竞争优势，击败对手的重要手段。
目此，其空调系统的节能也成为研究的热点和生产商关注的焦点问题；洁净厂房空调系统因其风量大、新风负荷太、阻力高等特点，耗能非常高，是一般空调系统的10余倍，目此，洁净室空调系统的节能设计和运行有较强的必要性和潜力；通过减小优化气流组织，将净化风量和空调风量分开和减少洁净面积，可显著减小系统的送风量；通过设置系统排风罩和其他优化配置措施，减小系统新风量；采用自控手段和加强管理，可优化系统的风量运行。
这些都将显著降低系统的耗能水平。
洁净厂房在我国的快速发展经过多年的发展，我国集成电路产业设计、生产及销售等各环节，都取得了长足的进步和发展。
我国集成电路制造业的技术工艺已进入国际主流领域，设计和封装技术接近国际水平，晶片制造工艺技术从0. 35 μm到0.18μm乃至0.13μm，同时开发出一批拥有自主知识产权的“中国芯”，譬如方舟、龙芯、爱国者、星光、网芯、展讯等。
同时，大型晶片制造企业正在迅速崛起。
中芯国际在大陆的总投资超过100亿美元，已跃居全球第4大晶片代工厂，华虹N区C成为全球第7大晶片代工企业。
目前我国已建成代表国际领先技术水平的12英寸集成电路生产线，而这些不断出现的生产线，随着其技术水平的提升，对生产环境洁净度的要求也越来越高，而极高的洁净度主要靠洁净厂房和其洁净空调系统来实现。
需要采用洁净空调系统的车间有很多。
在集成电路(晶圆)产业链中，自括光掩膜(制板)、waf区风(前道工序)、封装测试(后道工序)等工序。
除了集成电路(晶圆的生产厂，还有其上游产业，如硅材料生产厂(拉单晶)；此外，还有平面显示器生产企业：包括LCD（液晶）、PDP(等离子)、TFT、VFD、仪表盘以及显示器；光纤生产企业、制卡业、贴片业、印刷电路板等根多产业和工厂。
洁净厂房空调系统特点洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。
导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。
如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，最近英特尔公司更是推出了采用32 nm线宽的高端处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了极致。
另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多，其运行费约是一般办公楼的10（1万级)～30(100级)倍。
就空调冷负荷而言，一般办公大楼为120W/m2左右，而大规模半导体器件厂房可以达到1400～1 600w/m2。
同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行，这也与其他空调系统极其不同。
运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。
洁净厂房空调系统的耗能特点送风量大洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。
就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。
100级洁净室的换气次数可选到400 h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
新风负荷大在电子厂房中，某些车间散发出有害气体，需要通过排风加以消除，这就加大了系统的新风量。
洁净室的各类制冷负荷中，最重要的有新风、风机温升和设备散热3项，而尤以新风最大。
根据有关部门统计，新风负荷可以从20％～70％，风机温升从8％～20％多，工艺设备可以从16%～50％。
洁净室内平均所需新风量在45～60m3/（m.m2），新风冷负荷比室内显热冷负荷还要大约近1倍。
风机全压高由于净化空调中过滤器很多，其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上，终阻力在400 Pa以上；而要求高的车间ULPA的阻力会更大。
其新风要求三级过滤，再加上化学过滤器，新风机组的风压要求在2 500Pa左右。
这些都会致使所用风机静压很高，导致风机耗能增加。
另外，工艺设备的发热情况随不同的生产工艺不同而不同，有些工艺设备是高发热设备，就需要较多冷负荷来抵消。
总之，洁净厂房空调系统具有排风量大、送风量大、工艺设备发热量大、阻力大和风机静压高的特点，这些共同造就了洁净厂房空调系统的高耗能。
自然洁净室和单纯空调房间相比，单位面积建设费用和能耗要大得多。
但洁净净化空调系统的节能问题，在国内尚未引起足够的重视。
但随着信息产业向我国的战略性转移，洁净厂房的高耗能、节能问题也成为能源紧缺的我国一个不可回避的问题。
目此，洁净室与清洁厂房的空调系统的节能就有着积极的意义。
洁净厂房空调系统节能建议洁净厂房空调系统首先是一空调系统，因此，一般空调系统的节能措施，如围护结构保温、系统变流量、排风热回收、选用高教制冷机、水泵风机设备等，都可以适用于洁净厂房空调系统的节能设计和改造。
同时，洁净厂房空调系统有自己的特点，也就有自己的系统节能特点和方式。
洁净风量与空调风量分开洁净室进风的功能，一是空调(空气进行温、湿处理，满足洁净室的温、湿度要求)；二是净化（空气过滤满足洁净室的洁净度要求)。
一般情况下净化风量大大超过空调风量。
如果让空调进风同时起到空调和净化的作用，即空调风量和净化风量不分开，所有的回风都要经过空调箱集中处理。
此非常大风量经过空气处理设备时，阻力会很大，风机耗能急剧增大。
同时，为了除湿，所有回风都要处理到露点状态，后为了不使室内温度过低，还需对进风进行再热。
冷热抵消，造成不必要的浪费。
而如果把空调和净化两部分风量分开处理，净化风量就可进行过滤处理，可大大缩短净化风量输送管道长度；而对于空调风量，自于风量变小，可以节省空气冷热处理，并且同时可以减小输送断面和输送耗能。
在常见的洁净空调送风方式中，集中进风方式、隧道式送风方式都没有很好地将空调风量与洁净风量分开。
为了方便空调和净化功能的分离，可充分利用房间结构就近完成，下图1即为一种分离方式。
在图1的洁净室中，利用房间夹层将大部分洁净风量直接送至顶层的高效过滤器处，而无需离开洁净室，从而降低了洁净风量的输送能耗。
通过回风口处的风阀，可以调节洁净风量与空调风量的比例。
减少空调系统风量洁净厂房对洁净度的高要求，造就了其空调系统的大风量。
由空气动力学的知识可知，动力设备如风机的耗能与其风量的3次方成正比，目此，减少系统风量，对于洁净厂房空调系统的节能有着重要的意义。
净化空调系统的送风量取决于换气次数和房间体积。
目此，减少系统的送风量可从减少换气次数和减小洁净空间两方面入手。
换气次数的多少取决于洁净级别和气流组织。
气流组织对洁净室内空气流动形态和分布进行合理的设计，称作气流流型。
洁净室的气流流型主要分为三类：➢非单向流单向流洁净室的气流是从室内的送风一侧平稳地流向其相对应的回风一侧。
目此，能选到较高的洁净度。
但其要求的风量大，能耗也大。
➢单向流非单向流的气流速度、方向在洁净室内不同地方不同，用经过高效过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释，从而保持室内所需的空气洁净度等级。
➢混合流混合流洁净量是将非单向流型和单向流型在同一洁净室内组合使用，其特点是：在需要空气洁净度严格的部位采用单向流流型，其他则为非单向流流型，为此既满足了使用要求，也节省了设备投资和运行费用。
为了实现洁净厂房空调系统的节能，应根据厂房内不同地方对洁净度的不同要求，采用相应的气流组织方式。
可通过CFD模拟等手段，进行科学的气流组织，可以合理地降低洁净室平均气流速度，换气次数，降低送风量，从而降低系统能耗。
减小洁净面积缩小洁净面积，一方面减少了净化系统的送风量；另一方面还可以减小和控制人员发尘对洁净区域的影响。
把关键要求高的洁净区与周围要求不严的洁净环境加以物理分割，即所谓对关键洁净区采用“点”或“线”的保护而不采用“面”的保护，可减少单向流的洁净面积。
如在安全实验室、制药厂及很小规模的生产用户，常采用非单向流洁净室内设洁净工作台，洁净量作堋或层流罩等局部单向流洁净区；而在IC厂，洁净控制面积一般都比较大，可以把工艺设备的核心加工区与维护服务及维修区加以物理分割，把关键加工区置于层流罩下，由单向流维持和控制很高的洁净度；而其他区域所要求的洁净度得以降低。
由于核心区的面积相对还是较小，采用这样的方式可明显降低系统的总运行费用。
洁净隧道就是采用这一理念，根据生产要求把洁净区间划分为洁净级别不同的加工、操作、搬运、维护等4个区，把洁净度要求最高的加工区的区间缩小到最低限度，把各种管道和一些辅助设备放在维护区，这样不仅减少了操作人员发尘对加工区的影响，而且大大减少了洁净送风量。
洁净隧道的加工区送风面出口速度（下送）一般为0.3～0.4m/s，其换气次数500～200次/h，而人员操作区断面风速为0.1～0.2 m/s，换气次数为100～200次/h，与全面垂直单向流洁净室相比，洁净隧道的造价和运用费用均节省1/3左右。
百级洁净隧道在当前的IC厂房中，当控制线宽小到一定程度，一般都需采用微环境技术，才能满足非常高的环境要求。
所谓的“微环境”实质上是为硅片的机械传递和工艺加工的周围提供一个局部洁净小室。
微环境内不但洁净度级别能够达到非常高，而且温度、相对湿度、气流速度可以控制在非常严格的范围内。
实践证明，在微环境内，可实现更佳的空气途径，更高的空气质量，更容易的污染控制手段，可达到更严格的技术要求和更高的加量质量。
减少新风量由于在洁净厂房空调系统中，新风负荷占较大比重，目此，减少新风量，对降低洁净空调系统能耗有着重要意卫。