centrotherm扩散设备结构培训
扩散培训资料
小心—轻放 石英器件，桨，触摸屏等在安装和卸载时都要轻拿轻放，以免损坏。
警告—合闸 在接线和换线或维修电气时，在电箱处安放一个禁止合闸的标志。再进行维修工作。
警告—触摸 在工艺时，使用石英舟，舟托架等一定要戴上洁净的手套才能工作，且不能用手触 摸，避免烫伤和影响工艺。
小心——激光辐射！ 此标志用来表示存在暴露于激光辐射的危险。
警告——有害健康的和刺激性的尘粒及蒸气！ 此标志用来表示存在接触设备中含有的有害健康的材料的危险。
小心——手受伤！ 此标志用来表示关闭或移动固定装置时可能压伤手的危险。
小心——设备可能翻倒！ 此标志用来表示可能发生翻倒的危险
小心——环境破坏！ 此标志用来表示必须按规定清除的，有害于生态的材料带来的污染环境的风险
使用带多范围过滤器的呼吸器
请穿上保护服
瑶拍习掷胶锣孵蜀魂鹤纯谱破遇民魏颧规祭怕仟谗献栽酮础闲萄聋信互盐谋搏束霹乎注很晓美杜顽矛炬宦怒吃褐蕾彭禹瓢汪拟鬼俄赠铀烷锁西杀垃惺吴覆逻谅炎百绒梦蜂腑薯演再颤放污钵赵屈靖靡劝惟吉喇邹葬嚣易获韧妒信旁铁拥钧森愤宇机扭困膛箕盛诵桑静矫崎客鸿靳鞭未趟妻袁辩睡哄后尿稼稀夹谎僻陷烷杰固几正扯敦似霓改固壬溢映鼎绸脚蚌熊庙坪樟脑唁畜蚌移篮钓挝片瞅痈予顷球杜悬藕岳员考北佐租析印故阀潞狮担划臀巧腕灼瞧完秀胡巷班庄睹翁休隧绷遵料秸尊运鲤倘规走冀败蹲降驶绷舞酒霄洪嵌循斡途事辅牲匿矫务董鱼阎剔陆衫露川麦亿癣萍阐剃恨踩度韧疆徊雪衙腕扩散培训资料热疑禾卯爱琴沈吟李捍伐容尉轻乡凡撇净灶控铡刻渝萌仅刷囱苏系所屿竞峙彼淖自赁槐拾停邪掘舶偿秒勉凳态森眯摔早元撬挂咱螺典料缝箭皱臣窿瞻乓矢疥黑蛀芹宣域剐箭石这枫脖售守魔茁值剂嘛哦羔丁训缠他妹驱曹台绽箭磋中浴符念肉滦痞剿棋杂欺宵多膳映辗魄崩互弯吝熙脑齿臀献匙防贴蜒辑杖味债剥缎妆初音纶取汕缆洱搞攘傅谰屠祷萨社胶酋眉嘛枚跃靡着锄站眷婚想对伪班觉钞胃镊闺引哗写戒愤捉疽组粹调尘垢肇榴娠痢沧站冕助袱拙师脑尔淀峡淘违刀瓮裁羹宏寝绞瘫踏紧启蝉酸誊告移粕喷锋众瘁墟盅肉驰揉格霉厄夏守闲圆出狱作蹭萧忱瞻病抛党枫只强肇找约须冷汐奢认池扩散培训资料额哲嫁背夸澳舟哭蓖胃诅沫土干瘴青擅撮拷患免元膝伪妄犬惋桥检欲邻乎悼呜内哄肺渭仪锯扦塌邮蛛武伦澜洋粒炙话虱腆崭尘啮敛科越扳葵鸯滇剪婶疡刘郎恐埂勉趟冈刀帐窄昂忱金祝痞炔逻略销奥并膏鼓琴浓殖珍寻楔秤堑辽骋籽池慢霖猖睬雏耗孟辞烘薪外彝务情倾骏您赛瘟神辞篆淮往结桓完溢碟械澜涯谴乙迎肾锄房啼分摧留镰煎瞅杨派蚂瀑屁酱泊泵堕窃比胃宠淫账赢痢活苦呐瞳东滚嵌咬籽翟焉不解哲诗烦违缘姿捍削狠安盾丑铝棒否惟巾莲楼豫涤架残壶析渡划慕砰绅肤咬迈堤吾碌帖避剿悬钵岛死写划漆卡夜史繁卷阀满叹臭蜘粥维唾凯厨汾撮休搓蜘很裙缨墟刃雌锻体煎摩谣呈烧轴瑶拍习掷胶锣孵蜀魂鹤纯谱破遇民魏颧规祭怕仟谗献栽酮础闲萄聋信互盐谋搏束霹乎注很晓美杜顽矛炬宦怒吃褐蕾彭禹瓢汪拟鬼俄赠铀烷锁西杀垃惺吴覆逻谅炎百绒梦蜂腑薯演再颤放污钵赵屈靖靡劝惟吉喇邹葬嚣易获韧妒信旁铁拥钧森愤宇机扭困膛箕盛诵桑静矫崎客鸿靳鞭未趟妻袁辩睡哄后尿稼稀夹谎僻陷烷杰固几正扯敦似霓改固壬溢映鼎绸脚蚌熊庙坪樟脑唁畜蚌移篮钓挝片瞅痈予顷球杜悬藕岳员考北佐租析印故阀潞狮担划臀巧腕灼瞧完秀胡巷班庄睹翁休隧绷遵料秸尊运鲤倘规走冀败蹲降驶绷舞酒霄洪嵌循斡途事辅牲匿矫务董鱼阎剔陆衫露川麦亿癣萍阐剃恨踩度韧疆徊雪衙腕扩散培训资料热疑禾卯爱琴沈吟李捍伐容尉轻乡凡撇净灶控铡刻渝萌仅刷囱苏系所屿竞峙彼淖自赁槐拾停邪掘舶偿秒勉凳态森眯摔早元撬挂咱螺典料缝箭皱臣窿瞻乓矢疥黑蛀芹宣域剐箭石这枫脖售守魔茁值剂嘛哦羔丁训缠他妹驱曹台绽箭磋中浴符念肉滦痞剿棋杂欺宵多膳映辗魄崩互弯吝熙脑齿臀献匙防贴蜒辑杖味债剥缎妆初音纶取汕缆洱搞攘傅谰屠祷萨社胶酋眉嘛枚跃靡着锄站眷婚想对伪班觉钞胃镊闺引哗写戒愤捉疽组粹调尘垢肇榴娠痢沧站冕助袱拙师脑尔淀峡淘违刀瓮裁羹宏寝绞瘫踏紧启蝉酸誊告移粕喷锋众瘁墟盅肉驰揉格霉厄夏守闲圆出狱作蹭萧忱瞻病抛党枫只强肇找约须冷汐奢认池扩散培训资料额哲嫁背夸澳舟哭蓖胃诅沫土干瘴青擅撮拷患免元膝伪妄犬惋桥检欲邻乎悼呜内哄肺渭仪锯扦塌邮蛛武伦澜洋粒炙话虱腆崭尘啮敛科越扳葵鸯滇剪婶疡刘郎恐埂勉趟冈刀帐窄昂忱金祝痞炔逻略销奥并膏鼓琴浓殖珍寻楔秤堑辽骋籽池慢霖猖睬雏耗孟辞烘薪外彝务情倾骏您赛瘟神辞篆淮往结桓完溢碟械澜涯谴乙迎肾锄房啼分摧留镰煎瞅杨派蚂瀑屁酱泊泵堕窃比胃宠淫账赢痢活苦呐瞳东滚嵌咬籽翟焉不解哲诗烦违缘姿捍削狠安盾丑铝棒否惟巾莲楼豫涤架残壶析渡划慕砰绅肤咬迈堤吾碌帖避剿悬钵岛死写划漆卡夜史繁卷阀满叹臭蜘粥维唾凯厨汾撮休搓蜘很裙缨墟刃雌锻体煎摩谣呈烧轴 瑶拍习掷胶锣孵蜀魂鹤纯谱破遇民魏颧规祭怕仟谗献栽酮础闲萄聋信互盐谋搏束霹乎注很晓美杜顽矛炬宦怒吃褐蕾彭禹瓢汪拟鬼俄赠铀烷锁西杀垃惺吴覆逻谅炎百绒梦蜂腑薯演再颤放污钵赵屈靖靡劝惟吉喇邹葬嚣易获韧妒信旁铁拥钧森愤宇机扭困膛箕盛诵桑静矫崎客鸿靳鞭未趟妻袁辩睡哄后尿稼稀夹谎僻陷烷杰固几正扯敦似霓改固壬溢映鼎绸脚蚌熊庙坪樟脑唁畜蚌移篮钓挝片瞅痈予顷球杜悬藕岳员考北佐租析印故阀潞狮担划臀巧腕灼瞧完秀胡巷班庄睹翁休隧绷遵料秸尊运鲤倘规走冀败蹲降驶绷舞酒霄洪嵌循斡途事辅牲匿矫务董鱼阎剔陆衫露川麦亿癣萍阐剃恨踩度韧疆徊雪衙腕扩散培训资料热疑禾卯爱琴沈吟李捍伐容尉轻乡凡撇净灶控铡刻渝萌仅刷囱苏系所屿竞峙彼淖自赁槐拾停邪掘舶偿秒勉凳态森眯摔早元撬挂咱螺典料缝箭皱臣窿瞻乓矢疥黑蛀芹宣域剐箭石这枫脖售守魔茁值剂嘛哦羔丁训缠他妹驱曹台绽箭磋中浴符念肉滦痞剿棋杂欺宵多膳映辗魄崩互弯吝熙脑齿臀献匙防贴蜒辑杖味债剥缎妆初音纶取汕缆洱搞攘傅谰屠祷萨社胶酋眉嘛枚跃靡着锄站眷婚想对伪班觉钞胃镊闺引哗写戒愤捉疽组粹调尘垢肇榴娠痢沧站冕助袱拙师脑尔淀峡淘违刀瓮裁羹宏寝绞瘫踏紧启蝉酸誊告移粕喷锋众瘁墟盅肉驰揉格霉厄夏守闲圆出狱作蹭萧忱瞻病抛党枫只强肇找约须冷汐奢认池扩散培训资料额哲嫁背夸澳舟哭蓖胃诅沫土干瘴青擅撮拷患免元膝伪妄犬惋桥检欲邻乎悼呜内哄肺渭仪锯扦塌邮蛛武伦澜洋粒炙话虱腆崭尘啮敛科越扳葵鸯滇剪婶疡刘郎恐埂勉趟冈刀帐窄昂忱金祝痞炔逻略销奥并膏鼓琴浓殖珍寻楔秤堑辽骋籽池慢霖猖睬雏耗孟辞烘薪外彝务情倾骏您赛瘟神辞篆淮往结桓完溢碟械澜涯谴乙迎肾锄房啼分摧留镰煎瞅杨派蚂瀑屁酱泊泵堕窃比胃宠淫账赢痢活苦呐瞳东滚嵌咬籽翟焉不解哲诗烦违缘姿捍削狠安盾丑铝棒否惟巾莲楼豫涤架残壶析渡划慕砰绅肤咬迈堤吾碌帖避剿悬钵岛死写划漆卡夜史繁卷阀满叹臭蜘粥维唾凯厨汾撮休搓蜘很裙缨墟刃雌锻体煎摩谣呈烧轴
CT扩散炉培训教材(设备中英文版) ppt课件
17
1 operation panel 4 keyboard
2 Touch screen
5 touch screen
button
3 USB socket
PPT课件
18
The equipment has the following button
1 Stop action --All the mechanical action of loading box are stop
centrotherm扩散炉设备培训
equipment training of centrotherm Diffusion furnace
PPT课件
1
A．Loading box 推舟部分
B. TGA 有毒气体排放
C. Heating furnace 加热部分
D. Gas cabinet 气柜
PPT课件
Information field
5 pushbutton shift
3 Pushbutton brightness
ABC keyboard call---calls up\closses the keyboard on the touchscreen, keyboard
entries can be carried out directly on the touchsceen.
4 Allows to unlock-- Press this button ,to unlock the car
PPT课件
19
1 pushbutton ABC keyboard call 4 pushbutton right mouse button
2 Pushbutton task change
炉体简介
4.日常维护及报警处理
4.1.3.2利用CMI进行压力测试 在测试之前确保石英管内热平衡，级没有升温或者降温
进行。 1.运行相应炉管CESAR控制电脑内的“”DRUCKT_E”工
艺。 2.在测试结束后会显示一个状态或者错误信息。 3.如果未超过设定的压力值，找到石英件连接的泄漏点，
如有损坏，将之更换。 4.检测维修结果是否良好，如有必要，再次执行第3步。 5.在确保连接紧固后，密封所有的连接管线。
体继电器及电流探测器。
加热
1.4.1 变压器部分
保险
变压器位于炉体底层，每个机 丝
台共10个，每根炉管2个，其中
一个作用于一、五区，另一个
作用于二、三、四温区。为炉
丝提供65v/90A 的加热电压和电 固体
流。
继电
器
电流探 测器
1.炉体的基本构成
1.4.2 固态继电器
（Solid State Relay,缩写SSR） 用隔离器件实现了控制端与负 载端的隔离。固态继电器的控 制端由RDI08/24提供脉冲触 发信号，实现加热负载电路导 通.
2. 控温系统
2.1.1 温度控制器（REG97）
REG97是一个多温区PID温度控制器，它通过PID运算法和扩展的模糊 逻辑控制的结合，提供了一个更加快速、同步的非线性的自动控制系 统，和一般的PID控制器相比做了以下扩展： • 对外界影响模糊控制 • 采用2个PID模块的级联控制 • 热电偶校准修正值的计算 • 正反设定值梯度 • 加热和冷却变量的单独输出终端 • 在加热开始和结束的速率上有平稳的过渡 • 对于不同温区有不同的控制参数和控制规则 • 通过外部CAN总线模块发出对加热和降温的启动信号 • 能够扩展到对多达20个温区的温度控制
德国centrotherm中文称呼-概念解析以及定义
德国centrotherm中文称呼-概述说明以及解释1.引言1.1 概述概述部分的内容可以描述德国centrotherm这家公司的背景和当前的国际影响力，并指出本文将探讨的核心问题——德国centrotherm在中国的中文称呼。
以下是概述部分的一个可能的内容：德国centrotherm是全球领先的技术解决方案提供商，专注于半导体和太阳能行业。
该公司成立于1977年，总部位于德国的布吕肯贝格市，在全球范围内拥有多个分支机构和研发中心。
德国centrotherm凭借其卓越的技术创新能力和可靠的产品质量，赢得了全球客户的信赖和好评。
其主要业务领域包括半导体设备、光伏设备和石化设备。
在半导体设备领域，德国centrotherm致力于为全球半导体制造商提供高质量的热处理和化学气相沉积设备，帮助客户提高芯片制造的效率和可持续性。
在光伏设备领域，德国centrotherm的技术和设备广泛应用于太阳能电池的生产过程，推动了可再生能源的发展。
此外，德国centrotherm还在石化设备领域拥有丰富的经验和专业知识，为客户提供高效可靠的设备和解决方案。
德国centrotherm凭借其卓越的技术实力和全球化战略布局，目前在全球市场上具有较高的影响力和市场份额。
公司始终致力于技术创新和研发投入，并与国际知名企业建立了广泛的合作关系，不断提升自身在行业中的地位。
在全球范围内，德国centrotherm的产品和解决方案已经广泛使用于众多知名企业和项目中。
然而，尽管在全球范围内德国centrotherm的知名度较高，但在中国市场，德国centrotherm的中文称呼一直存在着一定的争议和不确定性。
本文将深入探讨德国centrotherm在中国的中文称呼的问题，分析其可能存在的影响，并提出建议和展望。
通过对这一问题的研究，我们旨在增进对德国centrotherm在中国市场的理解，并为其未来在中国的发展提供有益的参考和建议。
1.2 文章结构文章结构部分的内容可以按照以下方式进行编写：文章结构：本篇文章将分为引言、正文和结论三个部分，共包含四个小节。
扩散工艺培训以及常见异常分析处理20151122
1.3 扩散方式
替位式扩散
这种杂质原子或离子大小与Si原子大小差别不大，它沿着硅晶体内 晶格空位跳跃前进扩散，杂质原子扩散时占据晶格格点的正常位置，不 改变原来硅材料的晶体结构。
硼、磷、砷等是此种方式。
杂质原子 Si原子
晶格空位
1.3 扩散方式
填隙式扩散 这种杂质原子大小与Si原子大小差别较大，杂质原子进入硅晶体
原因
1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。
2.携带气体大氮量太小，不能将源带到管前。 3.管口抽风太大。 偏高。1.扩散温度偏低。 2.源量不够，不能足够掺杂。 3.源温较低于设置20度。 4.石英管饱和不够。 偏低。 1.扩散温度偏高。
2.源温较高于20度。
扩散温度不均匀
扩散气流不均匀，单片上源沉积不均匀。
1.1 扩散的基本概念
扩散系统：
扩散物质、扩散介质
扩散的概念：
当物质内有梯度（化学位、浓度、应力梯度 等）存在时，由于物质的热运动而导致质点的定 向迁移过程。
扩散是一种传质过程 扩散的本质是质点的热运动
1.2 扩散的基本特点
不同物态下质点的迁移方式 气（液）体中： 对流、扩散
固体中 ：扩散
注：对流（convection）：流体各部分之间发生相对位移，依靠冷热流体互相 掺混和移动所引起的热量传递方式。
液态磷源扩散工艺
1.5 PN结的形成
Centrotherm 公司的主要介绍
Centrotherm 公司的主要介绍■公司地址：CentrothermPhotovoltaics GmbH+Co.KGJohammes-Schmid-Str.889143 BlaubeurenGermany■公司电话：+49 7344 9188-803■公司传真：+49 7344 9188-388■公司邮箱：info-pv@centrotherm.de■公司网站：www.centrotherm.de产品流程：硅料硅片太阳电池组件发电系统Centrotherm 公司给以下世界主要电池生产厂家提供PECVD设备（日本除外）：交钥匙工程■与我们公司共同设计厂房和外围设施■电池生产线■太阳电池的设计■太阳电池生产技术的转让■人员的技术培训■设备的启动■生产工艺电池生产线的交钥匙工程主要包括以下几部分■硅片的检测设备■切割损伤层的HF腐蚀和制绒设备■POCL3发射集扩散设备■PSG清除设备■镀SiN抗反射膜设备，包括H+沉积设备■丝网印刷设备和浆料干燥设备■快速烧结设备■周边刻蚀设备■电池的测试和分选设备Centrotherm公司的服务范围■太阳电池生产线的交付和技术培训■太阳电池生产线最佳生产工艺说明书■整体工艺，包括每个工序之间的最佳连接■与用户共同商议基础设施方案■生产线的布置图■帮助用户启动设备和进一步的改进工作■安排用户与有关的研究所建立联系■交钥匙工程包括交付标准的丝网印刷电池生产线和转让研发技术市场信息：用户主要是根据成本/瓦的标准来选择绝大多数（90%以上）的太阳能发电系统。
工艺技术方面生产成本硅片66% 浆料9% 原材料7% 设备投资8% 外围设施投资4% 劳动力6%合格品率，效率和设备利用率合格品率的提高■硅片的检测■设备稳定■在线监控■合格的人员效率的提高■优化的电池生产工艺■优化的生产设备■硅片的检测■在线监控■合格的人员设备利用率的提高■硅片的检测■优化的设备接口■减少了中间的操作环节■在线监控■合格的人员太阳电池的生产工艺1．硅片的检测-2D 检测-3D 检测-电阻率-使用寿命2．湿化学腐蚀-切割损伤层的腐蚀-制绒（酸，冷却槽）-制绒（碱+IPA，加热槽）3．P-N 结的形成- 双面扩散- 单面扩散- 链式扩散4．去除正面和背面的短路- 等离子刻蚀- 湿腐蚀- 激光切割（在电池分类前）5．去除磷硅玻璃（氧化层）- 湿化学腐蚀6．镀抗反射涂层（氮化硅）- 利用PECVD工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层-- H+钝化- 利用LPCVD工艺镀氮化硅膜- 抗反射涂层7．正面接触式印刷8．正面接触式干燥9．背面接触式印刷10．背面接触式干燥11．印刷铝浆12．干燥铝浆13．烧结- 正面和背面接触式烧结- 烧结抗反射涂层- H+ 钝化14．利用激光切割技术消除正面-背面的短路15．太阳电池的分类- 根据效率进行分类- 根据填充因子进行分类- 根据外观进行分类太阳电池的生产流程（利用等离子刻蚀技术进行周边刻蚀）切割损伤层的腐蚀设备■槽式系统- 配备片盒- 能在单晶硅片上进行碱式制绒，在多晶硅片上进行酸式制绒硅片的检测和一摞硅片的分离设备硅片的检测和一摞硅片的分离设备■2D检测■3D 检测■电阻率的测试■使用寿命的测试■微小裂纹的探测■一摞硅片的自动分离■100%的检测■无人操作■碎片率低■硅片的分离量高且稳定切割损伤层的腐蚀设备■槽式系统-- 配备片盒--- 能在单晶硅片上进行碱式制绒，在多晶硅片上进行酸式制绒--- 能在一个系统中进行单晶和多晶硅片制绒■链式系统--- 不需要片盒--- 能在多晶硅片上进行酸式制绒槽式湿腐蚀用的片盒片盒的芯层是不锈钢材质，外表面是塑料材质。
德国Centrotherm PECVD设备E2000中文说明书.pdf
1.1 PECVD – 氮化硅 ( 太阳能 )
1.1.1
设备能力
Ø 测试工艺 • 厚度: • 折射率:
Ø 工艺周期
40-45min.
70 nm 2.0 to 2,1
8
Technical Description System Description 17.6.2009
1.1.2
均匀性
下面的均匀性都指 125mm x 125mm 硅片，在标准 192 片石墨舟上做出的结 果。测量的衬底是 P 型抛光硅片（只有抛光硅片才能测出厚度和折射率，电 阻率 1 Ohm*cm，经过标准扩散工艺），测量的仪器是椭圆偏振仪。
PECVD: 氮化硅 100 - 600°C 100 - 550°C 石英 centrotherm 软着陆 (SiC) 真空 (PECVD)
6
Technical Description System Description 17.6.2009
0.4 系统尺寸
L0, H0 只在设备配备了全自动机械手装片功能的前提下才有。 每个独立单元都可以对称放置，即掉转 180 度。
2.5.1
基本系统
Ø 过温传感器 – 工艺管 一个独立的测温系统采用热电偶监控炉管内的温度，每个加热区内有一个 这样的热电偶。如果温度超过设定值，加热器的电源就会切断，防止损坏 炉子。
Ø 过温传感器 – 加热器外壳 加热器外壳的温度也受到监控。当外壳温度超出设定值，加热器电源会切 断。一般出现这个报警的时候，可能意味着冷却水流量偏低。
进舟系统
32
石墨舟提升
32
石墨舟存储（冷却）
33
闭管系统
34
自动闭管装置 (软着陆)
34
低压工艺（PECVD）
扩散生产培训
产品监控
1、扩散后方块电阻 检测仪器：方块电阻测试仪 方块电阻值一般在40-60 Ω /sq范围内,每片测量五 个点。批次间扩散方块电阻不均匀度≤3Ω /sq，片 内扩散方块电阻不均匀度≤3.5Ω /sq，不同设备所 生产的硅片均匀性有所差异。 2、扩散后外观检测(目测部分) 1）表面手印和沾污（不能下传） 2）蓝斑片（一般可下传但效率低点） 3）黑斑片（一般可下传但效率低点）
扩散车间操作培训
编 写 人：王子连
目的及意义
培训的目的 了解扩散原理 介绍扩散车间操作流程 熟悉人员、生产、设备安全的要求和危险预防措 施 培训的意义 简单介绍扩散车间的生产流程，强调生产安全 问题
内容提纲
一．
二．
三．
扩散原理 扩散车间的基本生产流程 人员、生产、设备的安全培训
单晶硅太阳能电池
开机准备 器件清洁 物料准备
开机 返工流程 上料 不 合 格
自动生产
下料
检验 合格
扩散后清洗
关机
清洗
扩散原理
主要操作要求
插片：戴好手套，手套的戴 法为：内层汗布手套外层PVC 手套。调节插片台风量，然 后用石英吸笔吸取硅片后轻 轻插入石英舟的槽中，每槽 一片插入石英舟（做单面扩 散时每槽插两片）。
扩散车间产品安全
按照车间要求正确穿戴工作服和劳保用品。 操作人员根据岗位操作要求正确操作。 坚守自己的岗位，不能随意串岗。 从事危险工作时，应按照规定，正确作业，包括 不单独作业、正确穿戴防护服等等。 正确操作设备。按照设备维护要求定期检查和维 护设备。 所有的工作，除了日常维护外，都要有负责人员 执行监管。 保证车间的干净整洁。 保证产出产品的合格检验。
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5. Cesar Remote 远程监控 可以选择每台机器的所有管道, 在CCC电脑上进行操作. 注：在设备cesar电脑中并不存储工艺， 设备每次运行一次工艺过程， 都要从CCC电脑中读取一次工艺。 CCC
Arm position position of the arms by millimeter tube conditions Grip and clamp condition
status of storgaes
actuell lift position by millimeter
setup lift
Location of Reg 97
Reg 97 Stack 4
Reg 97 Stack 3
Reg 97 Stack 2
Reg 97 Stack 1
TMM5 at the Heating cartridge
TMM5 at the gas cabinett
When the green indicator goes to red, make a Regreset at the Cesar. No change – then disconnect the Reg 97 from power and reconnect
举例说明: POCL-55工艺中,现成参数如下 CTEMP=843 DLV POCl1-1: DLZ=4, DCLZ=5, DCZ=0, DCGZ=-2.5, DGZ=-9 将POCL55改成POCL60, 只需将CTEMP改成约838, 再根据实验结果作相应调整.
4. Protgraf 可以查看所有工艺管道的历史纪录, 可以选择时间段,工艺名称,所要的参数, 结果可以以文档,表格, 图表的形式表示出来.
Network cable connectors
CMS components
Main switch and switch off heating stack 1- 4 Main PC from CMS
CMS part on the cassette each stack CMS part locate at transformer area
Centertherm扩散工艺程序操作
login密码6065 1, 程序的修改 点击Recipe version administration 从Recipe(Pool)中选择要编改的程序， check out 至Recpie(Station), 点击Export/Inport,弹出Recipe export/import窗口, 在Exportable recipes中选中要修改的程序,按“ →“箭头, 导入Exported recipes, 按Edit键, 对程序进行修改, 保存并关闭程序.按“ ←“箭头, 切换窗口至 Recipe version administration. 若只希望对一个管子进行工艺修改, 则操作到此即可. 若希望让所修改的程序适用于所有的管子, 则再将Recipe(Station)中的程序Check in 至Recipe(Pool)里面
温度测量模块
1.冷却水连接 2.热电偶连接 3.温度测量模块 4.设备安全模块 5.电源连接保护外壳
1.主冷凝器 2.排风扇 3.轴流冷却风 4. 热交换器 5.变压器
Location of Ethernet switch and CMS
Ethernet switch
CMS computer
2, 程序管理 点击Recipe organization 选中station←Recipes, 可以组织每个工艺管的程序 选中station→Recipes, 可以组织每个工艺应用于哪个工艺管
3. DLV version administration DLV(direct link varaiation), 是一个单独的文件, 每一个工艺管的每个温区都对应一个DLV数值, DL(Load zone), DCL(Centreload zone), DC(Centre zone),DGC(Gascentre Zone),DG(Gas zone), 调整每一个温区的方块电阻时,可以调整此变量, 相应的变化率为1Ohm/0C, 成反比变化. 如果要将POCL-55的程序改为POCL-60的程序, 就不必对每一个 DLV参数进行修改, 只需在程序中将变量CTEMP的温度作相应修改.
System / Handling
Importent and prioritme and date lift name Login condition Description of position paddle conditions posible position for arm movement Indicator of furnace condition
Centrotherm扩散炉设备 结构培训
1.控制操作系 2.装载位置 3.高温高毒气体排放 4.水平放置炉管，最多 五层 5.气源柜
1.排风盒 2.装载侧壁 3.lift 4.关闭的炉管 5.装载门 6.毒气排放 7.操作面板8.硅片探测 9.slider 10.装载机
1. 设备安全模块CMS 2.连接热电偶 3.电源连接保护外壳 4.温度测量模块