数控机床反向间隙和定位精度的检测与补偿
浅谈反向间隙对数控加工精度的影响及解决办法
２ 反 向间 隙 补 偿 过 程
在数控系统没有补偿 （ 测量前应清除系统 间隙 补偿参数中的数值 ） 反向间隙的条件下 ， 在机床工作
轴的方法类似 ， 再次不再详细说明。 经过 上 述 步骤 方法 ，测 得数 据 如 下 ： （ 单位 ：
－
７ ７ 历 ７ ７ ７ ｊ ７ 】
，
Ｉ
图 ５ 齿差调隙式滚珠丝杠示意图
图 ３ 垫 片 调 隙 式 滚 珠 丝 杠 示 意 图
４ 结束语
采 用 上述 方 法 进行 补 偿 ，可 较 好 地 减少 反 向间
螺纹调隙（ 图４ ） 其中一个 螺母 的外端有 凸缘而
另 一个 螺 母 的外端 没 有 凸缘 而 制 有螺 纹 ，它 伸 出套 筒外 ， 并 用 两个 圆螺母 固定 着 。旋 转 圆螺母 时 ， 即可
垫片调隙（ 见图 ３ ） 通 常用螺钉来连接滚珠丝杠 转 动 相 同齿 数 时 ，一 个 滚珠 螺 母 对另 一 个 滚珠 螺 母 两个螺母的凸缘 ， 并在凸缘间加垫片。 调整垫片的厚 产 生 相 对 角位 移 ，从 而 使 滚珠 螺 母对 于滚 珠 丝杠 的 度使螺母产生轴向位移 ，以达到消除间隙和产生预 螺旋滚道相对移 动 ，达到消除间隙并施加预紧力 的 拉紧力 的目的。这种结构的特点是构造简单 、 可靠性 目的 。 好、 刚度高 以及装卸方便 。但调整费时 ， 并且在工作 中不能随意调整 ， 除非更换厚度不同的垫片删 。
０ ． ０ １ ａ ｒ ｍ）
收稿 日期 ： ２ ０ １ ５ — ０ ２ — １ ０ 作者简介 ： 苗喜荣 （ １ ９ ７ ４ 一） ， 女， 陕西西安人 ， 本科学历 ， 高级讲师 ， 研究方向 ： 机械加工技术 。
数控机床定位精度的补偿方法简述
设备管理与维修2021翼2（上-下）数控机床定位精度的补偿方法简述闫丽娟（常德纺织机械有限公司，湖南常德415004）摘要：数控机床的定位精度在很大程度上受滚珠丝杠精度影响，提高数控机床的定位精度，能有效地改善数控机床的加工精度[1]。
介绍提高数控机床定位精度的螺距误差补偿方法，并结合实例介绍Sodick LN1W 系统的螺距误差补偿方法。
关键词：数控机床；定位精度；螺距补偿；螺距补偿实例中图分类号：TG659文献标识码：BDOI ：10.16621/ki.issn1001-0599.2021.02.590引言数控机床的定位精度在很大程度上受滚珠丝杠精度影响，提高数控机床的定位精度，能有效地改善数控机床的加工精度[1]。
由于数控机床的长期使用，丝杆的磨损在所难免，随着丝杆的螺距误差增大，数控机床的定位精度也会下降。
使用数控系统的“螺距误差补偿”功能，对数控机床的定位精度进行补偿，能有效改善数控机床的定位精度。
数控机床根据加工工件的精度要求，需要定期进行定位精度检测和补偿。
由于每一种数控系统都有自己独特的操作方式，所以“螺距误差补偿”的方法也不一样。
以Sodick LN1W 系统为例，简单介绍该数控系统螺距误差补偿的方法，并通过激光干涉仪进行定位精度检测及螺距误差补偿。
螺距误差补偿前应先做机床几何精度（床身水平、平行度、垂直度等）调整，这样可以尽量减少几何精度对定位精度的影响。
然后使用激光干涉仪测量定位精度及重复定位精度，对测量数据进行分析，螺补参数进行补偿，补偿生效后再测量，多次测量和补偿，直到定位精度及重复定位精度满足要求。
1数控机床螺距误差检测及补偿原理数控机床某直线轴的指令位置A ，测量系统测量的实际位置B ，将A 和B 进行比较，计算出A 和B 的误差，根据误差绘制出误差曲线。
根据数控系统要求，将误差曲线数值化，输入数控系统的螺距补偿参数。
具体操作如下：第一步检测，用测量系统测量出数控机床的位置误差；第二步补偿，利用数控系统的“螺距误差补偿”功能，通过修改参数，对误差进行补偿；第三步检测，检测补偿后效果。
反向间隙的测定及补偿 电子教材
反向间隙的测定及补偿任务内容反向间隙值的测定反向间隙的补偿在数控机床上，由于各坐标轴进给传动链上驱动部位(如伺服电动机) 的反向死区、各机械运动传动副的反向间隙等误差的存在，造成各坐标轴在由正向运动转为反向运动时形成反向偏差，通常称为反向间隙或失动量。
对于采用半闭环伺服系统的数控机床，反向间隙的存在会影响到机床的定位精度和重复定位精度，从而影响产品的加工精度。
若反向间隙太大，经常在加工中出现圆不够圆，方不够方的废品零件。
而FANUC半闭环数控则有相应的系统参数可实现较高精度的反向间隙补偿。
即可实现切削进给和快速进给两种加工模式下的反向间隙补偿功能，从而可以提高轮廓加工和定位加工的精度。
一、反向间隙值的测定在半闭环系统中，系统接收的实际值来自于电机编码器，轴在反向运行时指令值和实际值之间会相差一个反向间隙值，这个值就是反向间隙误差值。
在全闭环系统中，系统接收的实际值来自于光栅尺，实际值中已包含反向间隙，故不存在反向间隙误差。
反向间隙补偿在坐标轴处于任何方式时均有效。
当系统进行了双向螺距补偿时，双向螺距补偿的值已经包含了反向间隙，此时不需设置反向间隙的补偿值。
按以下步骤为例，说明测量切削进给方式下离机床参考点100mm 位置处的间隙量。
(1) 机床回参考点。
(2) 运行程序：G01X100F350；使机床以切削进给速度移动到测量点。
安装千分表，将刻度对0，此时机床状态如图1所示。
图 1 设定机床测量点的位置示意图(3) 运行程序：G01X 200F350，使机床以切削进给沿相同方向移动。
此时机床状态如图2所示。
图 2 机床沿X 轴正向移动100mm 后的位置示意图。
FANUC系统数控车床精度的检测与补偿
FANUC系统数控车床精度的检测与补偿为了改善提高某台数控机床的位置精度，应用激光干涉仪对其定位精度和方向间隙进行了检测和补偿。
通过补偿数控机床的螺距误差最大值由原来的0.02mm降低到0.002mm。
机床的精度得到较大幅度的提高。
标签：激光干涉仪；定位精度；精度补偿1 精度检测与补偿的意义数控机床的定位精度是机床各个坐标轴在数控系统控制下达到的位置精度。
根据实测的定位精度数值，可以判断机床在加工中所能达到的最好加工精度。
同时数控机床各轴运动的准确程度，决定数控机床的定位精度，对数控加工质量至关重要。
国际标准化组织于1998年批准了“数控机床位置精度的评定”的有关标准（ISO230-2：1998）；我国制定的“数字控制机应酬位置精度的评定方法”（GB10931-89）都对其有明确的要求[2]。
现今的数控机床在检测精度时基本上都采用激光干涉仪对数控定位精度进行测量，以此来满足现今国内机床的精度要求。
在测量机床的螺距误差和进行反向间隙误差补偿时，必须要专业的人员进行操作。
2 精度检测的概念在实际中，通常对数控机床位置精度的检测和补偿主要包括直线轴定位精度、重复定位精度和反向间隙三个方面。
重复定位指的是同一个位置两次定位产生的误差。
定位精度指的是数控设备停止时实际到达的位置和要求到达的位置误差。
反向间隙是因为丝杠和丝母之间肯定存在一定的间隙，所以在正转后变换成反转的时候，在一定的角度内，尽管丝杠转动，但是丝母还要等间隙消除以后才能带动工作台运动，这个间隙就是反向间隙，但是要反映在丝杠的旋转角度上。
3 应用激光干涉仪对机床精度进行检测和补偿3.1 激光干涉仪简介激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
数控机床反向机械间隙的测量与补偿
２ 反 向间隙的测量及参数补偿法
数控 机床 的数 控 系统 都设 有机 械 间隙补偿 功 实际位移 ， 而随着机床使用时间的增长 ， 氧化和振动 能 ，即将实际测得 的反向间隙值输入到数控 系统相 等因素都会造成传动部件 的磨损变形 ， 从而造成各传 应的参数 中，使得各坐标轴只要产生反向运动时 即 动部件的间隙增大 ， 大大降低机床的加工精度 。所以 加走一个反向间隙值进行补偿。对 于经济型数控机 最大程度的减小数控机床进给系统机械间隙， 可 以大 床 ， 这种参数补偿法是 目前最常用 的补偿方法 ， 而且 幅度提高零件的加工质量 。 这种方法操作简单易于掌握 ，不影 响加工程序 的编 写 。经过补偿后可 以大幅度提高机床 的定位精度和 １ 机 床 反 向间 隙误 差产 生 的原 因及造 成 的 重复定位精度 ，减小或消除反 向间隙对机床加工精
收 稿 日期 ： ２ ０ １ ３ － １ ２ — ０ ３
作者简介 ： 杨晓晶（ １ ９ ８ ｏ ＿ － ） ， 女， 江苏徐州人 ， 讲师 ， 本科 ， 研究方 向： 数控。
１ ２ ０
《 装备制造技术） ） ２ ０ １ ４ 年第 ２ 期
段程序 ， 操作机床向 ｚ 轴负方 向移动 １ ～ ２ ｍ ｍ， 并读 间 隙 ； （ ６ ） 向下退刀 ， 主轴停转 ， 并测量 Ｑ Ｒ段的长度 ， 出百 分 表读 数 。 （ ５ ） 记录百分表读数 ， 将理论移 动数值减 去实测 将编程值减去实测值 即为 ｚ向反向间隙值 ； （ ７ ） ｘ向反 向间隙的测量原理与 ｚ向相同， 如图 移动距离即为反向间隙值 。 所示。先沿 一 ｘ方向向上进刀 ，此时丝杠丝母 Ａ ＿ ｘ （ ６ ） 为提高测量 的精度 ， 可以选取 ｚ向工作行程 ３ 然 后 切 削一 段 阶梯 轴 ， 在进行 Ｑ Ｒ段 加 工 时 中的多个位置分别进行多次测量 ，计算 出最终的平 面接 触 ， 均值作为反 向间隙值 ， 输入到 １ ８ ５ １ 的 ｚ向参数 中。 恰巧是沿 ＋ ｘ方 向走刀 ， 与进刀方 向相反 ， 因此需 待 ＋ ｘ 面接触后 ， 车刀才会开始切削 ， 从而引 （ ７ ） ｘ向传动 反 向间隙值 的测量与 ｚ向传 动反 丝杠丝母 Ａ 入 了 ｘ 向反 向 间隙 ； 向间隙值 的测量方法相同。
数控机床反向间隙检测与补偿
百 ： ∑Ｂ
ｍ ： １
构本 身的游 隙 、丝杠轴 向受 力变形等 因素仍 可造
成反 向间隙 的存在 反 向 间隙的存在 将影 响到机
２ 反 向 间 隙 的检 测
床 的定 位 精 度 和 重 复 定位 精 度 ．进 而 影 响到 产 品的 加 工质 量 。在 实 际 生产 过 程 中 ，机 床 生 产 企 业 通 常 采 用机 械 装 置 调 整和 软 件 补 偿相 结 合 的方 式来控 制反 向间 隙
经过机械 装置调整后 ，反 向间隙已符合机 床 组装 要求 。为 了进一 步减小反 向间隙 ，对数 控系 统进 行软件补偿是更 为方便 、快捷 的方式 。 根据实践 可知 ，反 向间隙的测 量值随着检 测 速 度 的不 同会 有 所 变化 。一 般 情况 。采 用 Ｇ０ １ 切 削运 动速 度 的测量 值 比 Ｇ０ ０快速运 动 速度 的
．
工 业 标 准
化
技 术人员在决定 采用何种检验 方法之前 ，应 根据机床 的具体 状况对反 向间 隙值进 行预判 。如 机 床传动机构 部装完毕或者 对丝杠施 加的预 紧力 调整之后 。反向间隙一般较 大。此 时对反 向间隙 的调 整属 于粗调 。强 调反 向 间隙值 的快速 检 出 ，
置 向同方 向给 出一定 的移 动指令值 ，停 止后 。向
某 一位 置 的 反 向差 值 指 从 两个 方 向趋 近
某一位 置 时两单 向平 均位置偏 差之 差 ：轴 线反 向
反 方向给 出同样 的移动 指令值 ．测量并 比较最后 停 止位置 与基 准位置 的差值 。至少在行 程的 中间 及 靠近 两端 的三 个位置 上分别进 行试验 ．每个位 置进 行多次测量 取平均值 ．并将 各个位 置处平均
数控机床反向间隙的测量及补偿
数控机床反向间隙的测量及补偿在数控机床的进给传动链中，联轴器、滚珠丝杆、螺母副、轴承等均存在反间间隙。
机床进给轴在换向运动的时候，在一定的角度内，尽管丝杆转动，但是丝杆螺母副还要等间隙消除以后才能带动工作台运动，这个间隙就是反向间隙。
对于采用半闭环控制的数控机床，反向间隙会影响到定位精度和重复定位精度。
反向间隙数值较小，对加工精度影响不大则不需要采取任何措施；若数值过大，则系统的稳定性明显下降，加工精度明显降低，尤其是曲线加工，会影响到尺寸公差和曲线的一致性，此时必须进行反向间隙的测定和补偿。
如在G01切削运动时，反向间隙会影响插补运动的精度，若偏差过大就会造成“圆不够圆，方不够方”的情形；而在G00快速定位运动中，反向偏差影响机床的定位精度，使得钻孔、镗孔等孔加工时各孔间的位置精度降低。
这就需要数控系统提供反向间隙补偿功能，以便在加工过程中自动补偿一些有规律的误差，提高加工零件的精度。
机床在出厂前已仔细的测量了进给系统中的间隙值，并进行了补偿。
随着数控机床使用时间的增长，反向间隙还会因为运动副的磨损而逐渐增加，所以需要定期对数控机床各进给轴的反向间隙进行测量和补偿。
当在数控系统中进行反向间隙补偿后，数控系统在控制进给轴反向运动时，自动先让该进给轴反向运动，然后再按编程指令进行运动。
即数控系统会控制伺服电机多走一段距离，这段距离等于反向补偿值，从而补偿反向间隙。
在不同的速度下测得的反向间隙是不同的，一般低速时的反向间隙值比高速时的反向间隙值在，尤其是在进给轴负荷较大，运动阻力较大时。
所以有的数控系统就提供了低速G01和高速G00两种补偿值。
FANU丝杆反向间隙调整步骤切削进给方式与快速进给方式可设定不同的间隙量。
用此功能可进行更高精度的定位。
相关参数按以下步骤，测量切削进给方式的进给量。
1.回参考点。
2.用切削进给使机床移动到测量点。
（G01 X100 F1000;）3.安装百分表或千分表，将刻度对0。
浅析数控机床坐标轴反向间隙对精度的影响及补偿
浅析数控机床坐标轴反向间隙对精度的影响及补偿
数控机床坐标轴反向间隙是指数控机床的导轨与滚珠丝杠副之间的松动。
这种松动和反向运动时导致的误差被称为“反向间隙误差”。
这种误差在加工过程中会影响加工精度和重复定位精度。
1. 反向间隙误差对加工精度的影响
在数控机床加工过程中，由于反向间隙误差的存在，导致执行机构必须反向运动一定距离，才能达到准确的加工位置。
这种偏差会导致工件加工精度下降。
3. 反向间隙误差的补偿方法
为了解决反向间隙误差对加工精度和重复定位精度的影响，需要采取一些措施进行补偿。
常用的方法如下：
（1）空间轨迹补偿
空间轨迹补偿是通过调整机床轨道的轮廓，使得反向运动误差减小或者消除。
这种方法适用于机床结构固定的情况下。
（2）补偿循环
补偿循环可以在程序中加入一些指令，通过反向运动一段距离，再进行正向运动来消除反向间隙误差。
（3）伺服增益调节
通过调节伺服系统的增益参数，可以使反向运动误差减小，从而减少反向间隙误差对加工精度和重复定位精度的影响。
总之，反向间隙误差是数控机床加工过程中影响加工精度和重复定位精度的一个关键因素。
采取合适的方法进行补偿可以有效减少其影响，提高机床的加工精度和重复定位精度。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
CNC 系统，螺距自动补偿完成；
（5）重复（3）进行精度验证。
三、结语
采用以上方法对机床各坐标轴反向间隙、定位精度进行准
确测量和补偿，可以有效地减小或消除其对机床精度的不利影
响，提高机床的位置精度，从而保证零件的加工精度。
W11.12-15
—— —— —— ———— —— ———
作者通联：安徽国防科技职业学院 安徽六安市新河东路
工程序的编写也没有影响。
对于没有补偿功能的机床，可用编程法实现单向定位，清除
反向间隙，在机械部分不变的情况下，只要低速单向定位到达插
补起始点，然后再进行插补加工。插补进给中遇反向时，进给反
向间隙值再正式插补，即可提高插补加工的精度，基本上可以保
证零件的公差要求。
随着数控机床的长期使用，反向间隙会因运动副磨损而逐
反向间隙影响机床的定位精度，使得钻孔、镗孔等孔加工时各孔 表压住主轴的圆柱表面，然后可运行如下程序进行测量：
间的位置精度下降。若反向间隙数值较小，对加工精度影响不
N10 G91 G01 X50 F1000；工作台右移
大，则不需要采取任何措施；若数值较大，则系统的稳定性明显
N20 X-50；工作台左移，消除传动间隙
来，用 VB 编写的自动校准软件控制激光干涉仪与数控机床同
步工作，实现对数控机床定位精度的自动检测及自动螺距误差
补偿，其补偿方法如下：
（1）备份 CNC 控制系统中的已有补偿参数；
（2）由计算机产生进行逐点定位精度测量的机床 CNC 程
序，并传送给 CNC 系统；
（3）自动测量各点的定位误差；
（4）根据指定的补偿点产生一组新的补偿参数，并传送给
以所得平均值中的最大值为反向间隙测量值。在测量时一定要 运动阻力较大时，低速运动时工作台运动速度较低，运动惯性较
先移动一段距离，否则不能得到正确的反向间隙值。
低，因此测得值较大；在高速运动时，工作台运动速度较高，运动
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
N70 Z-50；Z 轴复位
距离并以此停止位置为基准，再在同一方向给予一定移动指令
N80 G04 X5；暂停以便观察
值，使之移动一段距离，然后再向相反方向移动相同距离，测量
N90 M99；
停止位置和基准位置之差。在靠近行程的中点及两端的 3 个位
工作台在不同的运行速度下所测出的结果会有所不同。一
置分别进行多次测定（一般为 7 次），求出各个位置上的平均值， 般情况下，低速时测出值要比高速的大，特别是在机床轴负荷和
度和重复定位精度，最后反映至工件的加工精度和误差。如在 准，补偿值也就不真实。若采用编程法实现测量，则能使测量过
G01 切削运动时，反向间隙会影响插补运动的精度，若偏差过大 程变得更便捷、更精确。
就会产生“圆不圆、方不方”的情况，而在 G00 快速定位运动中，
例如：在 3 坐标立式机床上测量 X 轴的反向间隙，可先将
下降，加工精度明显降低,尤其是曲线加工，会影响到尺寸公差
N30 G04 X5；暂停以便观察
和曲线的一致性，特别是采用半闭环控制的数控机床，必须进行
N40 Z50；Z 轴抬高
反向间隙的测定和补偿。
N50 X-50；工作台左移
1.反向间隙检测
N60 X50；工作台右移复位
在所测量的坐标轴的行程内，预先向正向或反向移动一个
（3）调整激光头，使测量轴线与机床移动轴线共线或平行；
（4）待激光预热后输入测量参数；
（5）按规定的测量程序运行机床进行测量；
（6）数据处理及结果输出。
作为一种检测仪器，它在运行过程中有些因素会影响到测
量数值，给测量结果带来负面影响。用双频激光干涉仪检验数控
机床定位的精度，其测量误差主要来源于双频激光干涉仪的极
一部分反射，经检偏器形成 f1、f2 拍频信号，接收器接收作为参 考信号，通过分光器的光束进入偏振分光器，偏振分光器让平行
于分光面的频率为 f2 的线偏振光完全通过，并到达可动反射镜， 当可动反射镜以速度 V 移动时，由于多普勒效应便可产生差频
Δf，f2 即变为 f2+Δf；偏振分光器把垂直于分光面的频率为 f1 的线 偏振光完全折反到固定反射镜，这两束光反射至偏振分光器的
分光面会合，经转向棱镜再经检偏器由接收器接收作为测量信
号，测量信号与参考信号相减即得多普勒频率差 Δf。计数器在
时间 t 内计取频率为 Δf 的脉冲数 N，相当于在 t 区间内对 Δf 的
t
乙 积分，即 N=
Δfdt，由于
Δf=2
V C
f，而
V=
dl dt
，f=
C λ
，所以 N=
0
t
乙 乙 Δfdt=
发现旧电源板上一个 12μf 小电容有轻微膨胀现象，膨胀原因是
E-mail：panchg@
〔编辑 叶允菁〕
维护与修理
设备管理与维修 2011 №12 跐賯
惯性较大，因此测得
值较小。
2.反向间隙补偿
一般数控机床
的数控系统都具有
常用的补偿功能，如
对刀点位置偏差补
偿、刀具半径补偿、 刀位半径补偿和机
由于机床传动链机械间隙的存在，机床在运动过程中，从正 或百分表，若条件允许，可使用双频激光干涉仪。当采用千分表
向运动变为反向运动时，执行件的运动量与理论值(编程值)存 或百分表进行测量时，需要注意的是表座和表杆不要伸出过高
在误差，形成反向间隙。反向间隙的存在会影响到机床的定位精 过长，因为测量时由于悬臂较长，表座易受力移动，造成计数不
器和滤光镜转轮电机故障的可能性较小，原因是传感器和电机的 在线红外水分仪和实验室台式水分仪的电源板也进行了更换，更
运行不可能发生突变，也将不可能有显示数据的突变，故将重点集 换后进行全面的跟踪分析，在半个月之内没有发现任何异常。
中在其他的 3 类故障分析上。主板故障有可能，因为数据的核心处
从第一台红外水分仪更换电源板至今已 6 月，运行均正常，
先对其中一台水分仪进行了主板更换，然后对其正常运行进 关电源板。
W11.12-14
行跟踪，结果在更换主板第三天和第八天分别出现了两次故障，这 —— —— —— —— —— —— —— —
说明仪器主板并非故障的根源。安装好原主板，准备更换电源板，
作者通联：潘成刚 甘肃烟草工业有限责任公司 兰州市
更换前测量了电源输出电压，±15V 电压输出正常。更换电源后， 南滨河中路 1111 号 730050
图 1 激光干涉测量原理
械反向间隙参数补偿等各种自动补偿功能。通常数控装置内存
中设有若干个地址，专供存储各轴的反向间隙值。当机床的某个
轴被指令改变运动方向时，数控装置会自动读取该轴的反向间
隙值，对坐标位移指令值进行补偿和修正，使机床准确地定位在
指令位置上，消除或减小反向间隙对机床精度的不利影响，对加
2 λ
Δdt=
2l λ
，故测量距离
l=
λ 2
N，其中 N 是累计脉冲
0
0
数，λ 是激光波长，C 是光速。
当可动反射镜移动时，可通过累计脉冲数得到移动距离，当
把该移动距离与被标测机床的光栅尺读数相比较，可得定位精
度误差。检测方法如下：
（1）安装双频激光干涉仪；
（2）在需要测量的机床坐标轴方向上安装光学测量装置；
3.故障分析处理
该电容旁有一个集成块散热片，可能是由于散热片的温度较高，
可能的故障点：①光电传感器故障；②主板故障；③开关电源 长时间对电容进行加温，导致电容温度较高，内部发生变化，充放
故障；④滤光镜转轮电机故障；⑤光学系统故障。经分析，认为传感 电不太稳定。在更换电源板后运行半月未发现故障，对另外一台
图 1 中 1 是激光器，2 是 λ/4 片，分光器 3、4 和 10 为检偏
器，5 和 11 是接受器，6 是偏振分光器，7 和 8 是反射镜，9 为棱
镜。单频 He-Ne 激光器置于永久磁场中，由于塞曼效应使激光
的原子谱线分裂为一对旋转方向相反的左右圆偏振光，若两束
光的振幅相同，其频率分别为 f1，f2，且相差很小，左右圆偏振光 经 λ/4 片后变为振动方向互相垂直的线偏振光，分光器将其中
理全部集中在主板上；电源故障有可能，因为电源输出电压的不稳 未发生任何数据波动现象。说明对故障分析是正确的，引起仪器
定会影响仪器的正常运行；光学系统故障有可能，因为外界光（例 异常跳动的原因是电源板。由于该仪器是美国进口的精密光学
如环境照明，电焊机电弧光等）会对水分仪反射光造成影响。
仪器，不主张对电源板的电子零部件进行维修，建议直接更换开
限误差、安装误差和温度误差。
2.定位精度的补偿
若测得数控机床的定位误差超出误差允许范围，则必须对
机床进行误差补偿。常用方法是计算出螺距误差补偿表，手动输
入机床 CNC 系统，从而消除定位误差，由于数控机床 3 轴或 4
轴补偿点可能有几百上千点，所以手动补偿需要花费较多时间，
并且容易出错。
现在通过 RS232 接口将计算机与机床 CNC 控制器连接起
2 号 237011
E-mail：ahhx6902@
〔编辑 利 文〕
跀賰 设备管理与维修 2011 №12
维护与修理
影响。一台数控机床可以从它所能达到的定位精度判断出它的
加工精度，所以对数控机床的定位精度进行检测和补偿是保证
加工质量的重要途径。
1.定位精度检测
目前多采用双频激光干涉仪对机床检测和处理分析，利用
激光干涉仪原理，以激光实时波长为测量基准，所以提高了测试
精度及增强了适用范围。激光干涉测量原理，如图 1 所示。