量块不确定度

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四等量块中心长度的测量值的不确定度分析

四等量块中心长度的测量值的不确定度分析

Me a s u r e me n t Unc e r t a i n t y Ana l y s i s i n Fo u r Eq u a l Bl o c k s Ce n t r a l Le ng t h
L i u Y u j i e 1 概 述
3 方 差和 传播 系数 由式 ( 3 ) , ( 4 ) 得:
“ ( 2 )=c u ( 2 )+c ( d )+c u ( O L )+c u ( △ )+c u ( 6 )+c 2 盈 “ ( 6 )
干 涉仪
( 4 )
1 . 4 测量方法依据 : J J G 1 4 6— 2 0 1 1 《 量块检定规程》
因此 , 由方程 ( 3 ) 知, 被 测量 Z 可 由简单 表 达式 f +d 表示 , 而f 为标 准量 块 证 书 所 给 2 0  ̄ C时 的标 准 的长 度 , d 为 = 2次独 立重 复测 量 的算术 平均 值 。Z 的合成 不确 定 度“ 由下 式表示 : 依u ( y )=∑ [ a f / a  ̄ ] 1 1 , 2 ( )

5 . 1 3等标准 量块 中心 长度测 量 不确定 度估 算 的分 量 M ( Z )
e 1 =±( 0 . 1 0+1 × L ) m
0. 0 0 7 +0. 0 08 +0 . 0 33 +0. 02 3
=0. 0 01 7 31l x m
d= Z ( 1+以 £ )一f ( 1十 O / A t ) ( 1 )

式中: C b =
f O / 。
1 ; C d =O f / O d=1 ; C = 融 =0 ;
C △ l = 8 f / S A t =0 ; C 融 =o f / a a  ̄= ~Z ; C &=a f /  ̄t = ( f )= ( f )+ ( d )+f △ u ( 6 )+f 2 u 2 ( 6 )

量块示值误差测量值的不确定度评定

量块示值误差测量值的不确定度评定

2 . 2 接 触式 干涉 仪 的读 数 r
《 计 童与测试技 术 0 1 5 年 第4 2 卷 第1期
接触 式 干涉 仪 的读 数 r 的不 确定 度确定 度 为 1 0 %, 即

稳定性和读数误差 , 可 以通过重复读数得到。取 l O O m m 量块 , 置于 干涉仪 上 进 行 2 0次 独 立 的 重 复测 量 , 测量 值
为 +0 . 9 、+0 . 8 、+1 . 0 、+0 . 9 、 +0 . 9 、+0 . 7 、+0 . 8 、+
0 .7 十0 8 十0 . 9 手1 0、十1 . 0、手0 .8 手0 .9 手0 8、手
( △ 0 c )
5 o
于 是对应 的不确定 度 分量 和 自由度 为 :
文献标识码 : A 国家标准学科分类代码 : 4 6 0 . 4 0 3 0
关键词 : 量块 ; 示值误 差 ; 不确定度 ; 自由度 中图分 类号 : T H 7 1 1
D OI : 1 0 . 1 5 9 8 8 / j . c n k i . 1 0 0 4— 6 9 4 1 . 2 0 1 5 . 0 1 . 0 2 9
由于 不确定 度 与量 块 长度有关 , 以l O O mm量 块 为 例 来 讨论 。
2 . 1 标 准量 块 的 中心长 度 z
2 等量块的测量不确定度 k= 2 . 7计算 。
= l O O n m, 包含 因子按
确定度评定 , 其余不确定度分量 均视为 B类不确定度 ,
并 且 相互 间基 本 独立 不相 关 。
则 标 准不确 定 度 ( z ): 1 0 0 — n m: 3 7 1nm

三等量块测量不确定度评定

三等量块测量不确定度评定

量块 中心长 度差 值 , m; 标 准量 块 的线膨胀 系数 , l 0 c l C ;

1 . 3 校准 ( 检定 ) 环境 条件
温度 要求 : 2 0 ℃; 湿度 要求 : ≤6 5 %。 实际 情况 : 温度 : 2 0 ℃; 湿度 : ≤6 5 %。
2 测 量 原 理
计 量与测试 技术 ̄ 2 o 1 5 丰第4 2豢 第3期
三等 量块 测 量 不 确 定 度 评 定
刘 桂 忠
( 中国科 学院长春光学精密机械与物理研究所 , 吉林 长春 1 3 0 0 3 3 )
摘 要: 不确定度是测量工作的质量和测量结果可信赖程度和评价 。按 J J F 1 0 5 9 . 1 — 2 0 1 2 标准规定 , 对三等量块不确定度评定 。
文 献标 识 码 : A 国家 标 准 学 科 分 类 代 码 : 4 1 0 . 5 5
关键词 : 量块 ; 不确定度 ; 评定
中 图分 类 号 : T B 9 3 2
D O I : 1 0 1 5 9 8 8 / j . c n k i . 1 0 0 4—6 9 4 1 . 2 0 1 5 . 0 3 . 0 3 9
心所 产生 的测量 误差 , m。
依据 J J G1 4 6— 2 0 0 3 ( 量块 检定 规 程 》 , 被 测 量量 块 的 中心长度 是 与相 同标称 尺寸 的标 准量 块 中心长 度 比较 测
量的, 在 电脑 量块 比较 仪 上 测量 头对 准 标 准 量块 中心 长
度 并读数 , 再 将测 量 头对 准 被 测 量块 中心 长 度 并 与标 准
量 块进 行 比较 , 计 算长 度差值 d , 被 测量 量块 的 中心 长度

四等量块标准装置测量结果的不确定度分析

四等量块标准装置测量结果的不确定度分析

四等量块标准装置测量结果的不确定度分析1.测量原理该标准装置以四等标准量块做标准器,立、卧式光学计为比较仪检定五等量块。

检定时确定被检量块与标准量块的差值,最后确定被检量块的实际尺寸。

通过同名义长度的已知标准比较,两量块直接比较可得长度差d为d=L(1+ α.△t)-L s (1+αs△t s )式中:△t s为标准量块温度与2O℃之差;αs为线膨胀系数;L s为20℃时中心长度。

待求被测量块中心长度L=f (L s dαs△t△α) = L s+d-L s△t△α-L sαsδt式中:△α=α一αs;δt=△t—△t s。

2.不确定度来源从上述公式可知影响被测量块测量结果的不确定度分量有:标准量块、比较仪器、标准与被测件的线膨胀系数、线膨胀系数差、偏离20℃温度差和测量点偏离量块中心偏差。

该文主要叙述量块标准装置到复现量值的不确定度,它包含了计量标准器和比较仪两部份组成,它不应当包含被测对象引入的不确定度。

固此该标准装置不确定度来源有:1)标准量块的不确定度;2)比较仪的不确定度;3)标准量块长度变动量引入的不确定度;4)标准量块膨胀系数误差△αs引入的不确定度;5)标准量块温度引入的不确定度。

3.测量标准不确定度评定1)标准量块不确定度u1根据JJG146—2003的规定,四等量块的不确定度为U=(0.20+2.0L) μm,L为量块的标称长度(m),P=0.99,k=2.58。

当L=0.1m 时:u1= (0.20+ 2.0×0.1)/2.58=0.155μmv1=∞2)光学计的不确定度u2立、卧式光学计检定规程规定,光学计示值误差为±0.2 μm。

u2=相对测量不确定度不可靠性为0.25时,查表得v2=83)量块长度变动量引起的不确定度u3量块长度变动量是指量块任意点中最大长度与最小长度之差,检定时测量点偏离中心±1mm ,引入的不确定度按均匀分布处理。

u 3 =ba h /3 式中:a ——测量点偏离中心范围(2 mm);b ——量块对角线长度mm(32或36);c ——标准量块长度变动量μ m 。

3等量块校准结果的不确定度评定

3等量块校准结果的不确定度评定

3等量块校准结果的不确定度评定文章结合量块的实际校准工作,采用电脑量块比较仪对3等量块的中心长度进行校准。

校准过程参照JJG146-2011《量块检定规程》进行,符合JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》的要求,对3等量块中心长度的校准结果进行了不确定度评定。

标签:量块校准;不确定度评定;数学模型;灵敏系数;合成标准不确定度;扩展不确定度1 概述量块的中心长度的校准是在电脑量块比较仪上用比较测量的方法实现的。

标准量块中心长度的实际值ls与电脑量块比较仪的读数?啄之和为被校准量块中心长度的实际值l。

文章选取标称尺寸为50mm的3等量块进行校准结果的不确定度评定。

2 数学模型2.1 量块的中心长度表示用电脑量块比较仪校准量块中心长度时,被校准量块的中心长度可表示为:式中:l,a,t-量块的中心长度,量块的线性热膨胀系数,被校准量块的温度;下标带s的为所对应的标准量块的值。

?啄-电脑量块比较仪的读数;-校准点偏离量块中心所产生的误差,量块中心的偏移量△Y影响该值大小。

2.2 合成标准不确定度表示式量块中心长度的校准不确定度与的变化有直接关系,其中?啄可以实际测量并按A类评定得到,其它的不确定度分量均为B类评定,相互之间独立不相关。

△t=t-ts △?琢=?琢-?琢s因此合成标准不确定度表示式可表示为(1)2.3 灵敏系数对(1)式各影响量分别求导,得到每个影响量的灵敏系数:式中:hs,h-标准量块和被校准量块的长度变动量。

将灵敏系数带入公式(1)得到uc(l):3 各影响量的标准不确定度的评定3.1 标准量块的中心长度ls由JJG146-2011《量块检定规程》可知2等量块的测量不确定度U99=0.05μm+0.5×10-6ln,覆盖因子k取2.7,则标准量块中心长度所产生标准不确定度u1如下:l=50mm u1=c1u(ls)=■=27.78nm3.2 电脑量块比较仪的读数?啄电脑量块比较仪的读数与其的不稳定性和读数误差有关,通过重复性测量可以得到不确定度。

4等量块中心长度测量结果的不确定度评定

4等量块中心长度测量结果的不确定度评定

4等量块中心长度测量结果的不确定度评定摘要:本文主要介绍4等量块的测量方法。

分析4等量块中心长度测量结果的不确定度来源,并对其中心长度的不确定度进行评定。

关键词:4等量块;测量方法;不确定度一、概述1.1 采用评定依据:JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》1.2 被测量的对象:量块1.4 采用标准器具:标准量块(3等,No90040)、接触式干涉仪1.5 测量方法依据:JJG 146-2011《量块检定规程》1.6 测量方法将中心长度为的标准量块放置在接触式干涉仪的工作台上,测头对准量块中心,拨动拨叉数次,读数稳定后调零,再把被测量块放在工作台上,测头对准量块中心,拨动拨叉数次,读数稳定后读取长度差值。

二、评定模型2.1数学模型被测量块中心长度为:(1)式中:―― 被测量块的温度、线性热膨胀系数和在20℃时的中心长度;―― 标准量块的温度、线性热膨胀系数和在20℃时的中心长度;;―― 接触式干涉仪的读数;―― 干涉仪分度时,滤光片的中心波长;――个条纹宽度,检定时调到,所以,(:干涉仪分度值);―― 测得偏离标准和被检量块中心所产生的误差,该值不能确定,其大小与对中心的偏移量有关。

由于干涉仪分度所用滤光片的中心波长及分度时读数影响比较小,此处可以忽略不计。

2.2 方差依,得:2.3 灵敏系数;;;;;;;;式中:――标准和被测量块的长度变动量。

三、不确定度来源分析3.1输入量引起的标准不确定度来源,主要是标准量块的测量不确定度引起的标准不确定度。

3.2 输入量引起的标准不确定度来源,主要是接触式干涉仪的不稳定和读数误差引起的,可以通过重复读数来得到。

3.3 输入量引起的标准不确定度来源,主要是标准量块线膨胀系数差引起的标准不确定度。

3.4 输入量引起的标准不确定度来源,主要是标准量块和被测量块的温度差引起的标准不确定度。

3.5 输入量引起的标准不确定度来源,主要是标准量块和被测量块的线膨胀系数差引起的标准不确定度。

3等量块中心长度测量结果的不确定度评定

3等量块中心长度测量结果的不确定度评定

=6 4 . 2 n m
l m m / 4 6
偏移量块 中心 引起 的标准不确定度 ; 4 由量块 比较仪 示值误 差引起 的标准不 确定度 ; 5标准 量块和被 测量块 的线膨胀 系数之 差的不确定度引起的标准不确定度 ; 6标准 量块 与被 测量块 温度 差 引起 的标 准 不确定度; 上述 6个不确定度分项 中,第 1项通过 大量 的连 续测量得到数个测量列 ,采用 A 类 方法 评定,评定 结果用 U. 表示 。第 2 、3 、4 、 5 、6项根据要求及环境条件采用 B类方法评 定 ,评 定结果分别用 “ 2、U U 4、 U 5 、U 6
从三角分布 。 该三角分布的半 宽度 a为 2 × 1 0
3 . 1 1测量 重 复性 引 入的 标准 不确 定 度
“1 的 评 定
℃。 。 , 标准不确定度为 “3 = I s ( t s . 2 0 ) x / √ 6
若 被 测 量 块 温 度 与标 准 温度 2 0 ℃ 的 偏 差 不超过 0 . 5 ℃,则对于 1 0 0 am 量块 , r U 5 = ( O . 1 x l 0 )p m x 0 . 5 " C× ( 2 × 1 0 )

输入量 6的标准不确定度 来源 由 6个不 确定度分项构成 : l由测量重复性 引起 的标准 不确 定度;
2由于 量 块 变 动 量 的存 在 , 标 准 量 块 测 点 偏移量块 中心 引起 的标准不确 定度 ; 3由于量块变动量 的存在 , 被测量块测 点
因为标准量 块测 点偏移量 块中心 引起 的 标准 不确定度 已包含在 标准量 块中心长 度 的标准不确定度 中,所 以这里 不再重复评定 。 3 . 1 . 3被测量块测 点偏移 量块 中心引入的 标准不确定度 哟 的评定

量块不确定度评定

量块不确定度评定

量块不确定度评定1 概述1.1 测量方法:依据JJG 146-2011《量块检定规程》。

1.2 环境条件:温度(20±1)℃,相对湿度≤65%。

1.3 测量标准:(5.12~500)mm 四等量块,测量扩展不确定度不大于(0.50+1L s )μm ,(L s 以m 为单位),包含因子k =2.7。

1.4 测量对象:(5.12~500)mm 五等量块。

1.5 测量过程五等量块的中心长度是以相同标称尺寸的四等量块作标准,在接触式干涉仪上用比较法测量的。

为使标准和被测量块的温度达到平衡,测量前两量块需同时放置在接触式干涉仪工作台上等温。

测量时,先将对应于标准量块中心长度的仪器示值调整为零,再测得被测和标准量块中心长度的差值δ。

两人测量结果的算术平均值-δ与标准量块中心长度的实际值s L 之和即为被测量块中心长度的实测结果L 。

1.6 评定结果的使用符合上述条件下的测量结果,一般可直接使用本不确定度的评定结果。

2 数学模型)(--⨯+⨯-∆+=θδαδθαL L L L s x式中:L——量块的的标称长度;-α——被测量块与标准量块的平均线膨胀系数; sL ——标准量块中心长度;δθ——测量状态下被检量块和标准量块的温度差;δα——被检量块和标准量块的线膨胀系数差;-θ——测量状态下两量块的平均温度相对于参考C ︒20参考的偏差;L∆——标准量块与被测量块的长度差。

3 输入量的标准不确定度评定3.1.1重复性引起的不确定度选取4等量块作标准,对一块长度变动量处在5等边缘状态的100 mm 5等量块在重复性条件下进行连续10次比较测量,得到测量列0.12,0.12,0.10,0.11,0.13,0.12,0.11,0.12,0.14,0.10μm 。

-=-∑==101117.0101i ixx μm单次实验标准差04.0110)(101=--=∑=-i ix xs μm采用同样的方法选取10.24mm,50mm,100mm,250mm,500mm 5等量块各2块,分别由两个检定员用接触式干涉仪各在重复性条件下连续比较测量10次,共得到10组测量列。

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1 概述
1.1 测量方法:依据JJG146-2011《量块检定规程》。

1.2 环境条件:温度20.0℃,大气压力101.325kPa
1.3 测量标准:(0.5~100)mm 三等量块
1.4 测量对象:(0.5~100)mm 四等量块。

1.5 测量过程
四等量块的中心长度是以相同标称尺寸的三等量块作标准,在接触式干涉仪上用比较方法测量的。

为使标准和被测量块的温度达到平衡,测量前两量块需同时放置在接触式干涉仪工作台上等温。

测量时,先将对应于标准量块中心长度的仪器示值调整为零,再测得被测量块和标准量块中心长度差值δ。

两人测量结果的算术平均值-δ与标准量块中心长度的实际值
L S之和即为被测量块中心长度的实测结果L。

1.6 评定结果的使用
符合上述条件下的测量结果,一般可直接使用本不确定度的评定结果。

2数学模型
用接触式干涉仪测量量块长度时,被测量块长度可表示为:
l=l S+rω- l S a s△t-l S△a(t-20)-δ
△p s)+ δ(△p)
s(
式中: t,a l ------被检量块的温度、线膨胀系数和在20℃
时的中心长度,下标有“s”者为对应的
标准量块的值(△t=t-t s , △a=a-a s );
r -------接触式干涉仪的度数;
ω -------干涉仪分度值,ω=N λ/2d(λ--- 干涉仪分
度时,滤光片的中心波长;d---- N 个条纹宽
度,检定时调到d= N λ/2d ω,所以ω= N λ
/2d);
δs (△p s ), δ(△p)------测点偏离标准和被检量块中心所产生的
误差,该值不能确定,其大小与对中心
的偏移量△p 有关;
由于干涉仪分度所用滤光片的中心波长及分度时读数影响比较
小,此处忽略不计。

3 A 类标准不确定度分量评定
u(1-
δ)的评定
选取长度为100mm 的3等量块作标准,对一块长度为100mm 的 4等量块在重复性条件下进行连续10次比较测量,得到测量列, 单位μm 。

-χ=1
1n i i x n =∑= -0.48μm
U A
= 0.033μm
4.B 类标准不确定度分量评定
4.1 标准量块的中心长度l S
3等量块的测量不确定度U 99=0.2μm,包含因子按k =2.7计算,
则标准不确定度
u (l S )= 0.2μm /2.7=0.074μm.
按柯氏干涉仪检定3等量块的不确定度估计统一取其自由度v =32。

于是对应的不确定度分量和自由度为:
U 1=c 1 u (l S )=0.074μm v 1=32
4.2 接触式干涉仪读数r
接触式干涉仪的读数r 的不确定度来源于仪器的不稳定性和读数误差,一般读数分度为0.1(格)
估计其为矩形分布,则标准不确定度为u (r )=0.1
格,于是对应的不确定度分量和自由度为:
U 2=c 2 u (r )= 0.082格×0.2μm /格=0.016μm v 2=19
4.3 标准量块的线膨胀系数a
规程规定钢质量块的线膨胀系数应为(11.5±1)×10-6℃-1。

现假定其在该范围内等概率分布,可得其标准不确定度u (a)=1/
×10-6℃-1。

估计u (a)的相对标准不确定度为20%,即 v (a )= 2
120.2⨯=12。

检定4等量块时温度最大差△t 以0.1℃计算。

于是对应的不确定度分量和自由度为:。

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