中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
超纯水行业相关水质标准
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
各种水的标准
各种水的标准1、分析实验室用水标准（GB6682-92）2、电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）3、中国药典医药用水标准4、锅炉给水质量标准5、美国AAMI和ASAIO血液透析用水水质标准6、美国测试和材料试验学会（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国临床病理学会CAP规定的水质标准7、瓶装饮用纯净水标准（GB17323-1998）8、瓶装饮用纯净水卫生标准（GB17324-1998）9、饮用天然矿泉水标准（GB8537-1995）10、生活饮用水水质标准（GB5749-85）指标名称一级二级三级PH值范围（25℃）- - 5.0-7.5电导率（25℃）ms/m≤0.01 0.1 0.5 us/cm≤0.1 1 5比电阻MΩ.cm@25℃>10 1 0.2 可氧化物[以O计]mg/L - 0.08 0.40 吸光度（254nm,1cm光程）≤0.001 0.01 - 二氧化硅（mg/L）0.02 0.05 - 蒸发残渣（mg/L）- 1.0 2.0项目级别比电阻MΩ.cm@25℃硅≤μg/L>1μm微粒数<个/ml细菌个数<个/ml铜≤μg/L锌≤μg/L镍≤μg/L钠≤μg/L钾≤g/L氧≤μg/L硝酸根≤μg/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/L总有机碳≤μg/LEW-Ⅰ18（95%的时间不低于17）2 0.10.0010.2 0.2 0.1 0.50.51 1 1 1 20EW-Ⅱ15（95%的时间不低于13）10 5 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 1003.1、纯化水标准。
中国国家电子级超纯水标准.doc
附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/电阻>1μ m率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L/ml*cmEW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20≥1EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13于17全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500细菌个数，最大10 100 ，个 /mL铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500总有机201002001000 ，最大值，μg/L电子级超纯水中国国家标准（GB/）>1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L18（ 95%的时间不低于EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）15（ 95%的时间不低于EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准专业整理分享中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13) 体外诊断试剂用水规格YYT 1244-2014专业整理分享消毒供应中心用水标准WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准WS506-2016专业整理分享生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值专业整理分享专业整理分享专业整理分享软式内窥镜清洗用水标准WS507-2016 应有自来水、纯化水、无菌水。
专业整理分享自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
专业整理分享血液透析和相关治疗用水YY0572-2015专业整理分享美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准专业整理分享美国材料试验学会ASTM水质标准专业整理分享2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目专业整理分享注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
专业整理分享二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13)体外诊断试剂用水规格 YYT 1244-2014消毒供应中心用水标准 WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准 WS506-2016生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值软式内窥镜清洗用水标准 WS507-2016应有自来水、纯化水、无菌水。
自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
血液透析和相关治疗用水 YY0572-2015美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准美国材料试验学会ASTM水质标准2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
2..酸碱度取本品10ml，加甲基红指示液2滴，不得显红色；另取10ml，加溴麝香草酚蓝指示液5滴，不得显蓝色。
中国国家电子级超纯水标准
10
500
细菌个数，最大
，个/mL
10
100
铜，最大值，μ1
5
500
镍，最大值，μg/L
1
2
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钠，最大值，μg/L
2
5
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钾，最大值，μg/L
2
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氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
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磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
2
1
5
1
1
1
100
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机
，最大值，μg/L
20
100
200
1000
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
项目
级别
比电阻 MΩ.cm@25℃
硅 ≤ μg/L
>1μm微粒数 < 个/ml
细菌个数< 个/ml
铜≤μg/L
锌≤μg/L
镍≤μg/L
钠≤μg/L
钾 ≤ g/L
氧≤ μg/L
通用的纯水标准
欢迎阅读通用的纯水标准
生活饮用水卫生标准
?
自来水水质应符合
纯化水应符合0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
血液透析和相关治疗用水 YY0572-2015
1.
2..
3.
4.
，5.
取本品50ml，加碱性碘化汞钾试液2ml，放置15分钟；如显色，与氯化铵溶液(取氯化铵31.5mg，加无氨水适量使溶解并稀释
成1000ml)1.5ml，加无氨水48ml与碱性碘化汞钾试液2ml制成的对照液比较，不得更深(0.000 03%)。
6.电导率
电导率≤2μS/cm (
7.总有机碳
不得过0.50mg/L
8.易氧化物
取本品100ml
9.不挥发物
取本品100ml，置。
10.重金属
取本品100ml，加水2ml，摇匀，放置2
11.微生物限度
个。
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- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
18（95%的时间不低于17）
2
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1Байду номын сангаас
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EW-Ⅱ
15（95%的时间不低于13）
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电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
项目
级别
比电阻MΩ.cm@25℃
硅≤ μg/L
>1μm微粒数<个/ml
细菌个数<个/ml
铜≤μg/L
锌≤μg/L
镍≤μg/L
钠≤μg/L
钾≤ g/L
氧≤ μg/L
硝酸根≤
μg/L
磷酸根≤
μg/L
硫酸根≤μg/L
总有机碳≤μg/L
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镍，最大值，μg/L
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钠，最大值，μg/L
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钾，最大值，μg/L
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氯，最大值，μg/L
1
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硝酸根，最大值，μg/L
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磷酸根，最大值，μg/L
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硫酸根，最大值，μg/L
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5
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总有机，最大值，μg/L
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TOC≤μg/L
EW-I
≥18*
2
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0.2
0.1
0.5
0.5
1
0.1
0.01
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EW-II
≥1**
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100
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997
附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
电阻率
25℃
MΩ*cm
硅
≤μg/L
铜
≤μg/L
锌
≤μg/L
镍
≤μg/L
钠
≤μg/L
钾
≤μg/L
氯
≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根
≤μg/L
硫酸根
≤μg/L
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，最大值,μg/L
2
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＞1μm微粒数，最大值，个/mL
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细菌个数，最大，个/mL
0.01
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铜，最大值，μg/L
0.2
1
2
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锌，最大值，μg/L