ICP 操作流程及注意事项

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ICP操作规程

ICP操作规程

ICP操作规程ICP JY38S 操作规程1、开机前准备检查电源、气源、水冷却系统,如不正常应事先排除。

2、正常开机2.1、开电源顺序为稳压电源、主机电源、排风扇、循环水、进样泵;2.2、开Ar气一般情况下为0.4-0.45kg,当样品变化时可作适当调整;2.3、点火2.3.1、仪器预热:按下预热键:“PREHEAT”,待“START”、“STOP”键内灯亮;2.3.2、预通气:按下“G1”“NEBU”键2.3.3、点火:a、退出“NEBU”键b、按下“G2”“P1”键c、5秒钟后按下“START”键d、待“PEFLECTED POWER”信号退去后,按下“NEBU”键,并退出“G2”键,若此时发生熄火现象,可能是因气路中夹有空气等原因,应从“a”重新开始进行点火;若仍不能点燃则可能是Ar 气压力不适合,或ICP发射功率不适应进行调后再重新点火。

2.4、寻找零级光2.4.1、进入JY分析系统在屏幕提示符C:》状态下,进入JY子目录操作为C:》CD JY 然后键入字母F即可进入JY系统的初始屏幕,回车即进入第一主菜单。

2.4.2、寻找零级光在JY的第一主菜单下,直接回车即令系统搜寻零级光直至屏幕显示出“ZERO ORDER HAS BEEN FIND”,表示系统已找到零级光,为进行分析作好了准备。

系统一旦找到了零级光屏幕即进入了第三主菜单3、方法建立3.1、建立方法文件3.1.1、建立成主文件a、主菜单下键入字母R;b、建入元素名;c、选择分析线;此时操作者应根据待测样品的组成情况,干扰预测及常识和经验选择适当的分析线,以消除干扰并保证足够的分析灵敏度。

d、参数设定在参数屏幕下进行参数设定,如扫描步长、采样时间等等(具体操作详见用户手册)。

3.1.2、方法文件建立在建成主文件后,应建立方法文件a、在主菜单下键入字母C,及文件名;b、从主文件或方法文件中加入待测元素(详见“手册”)。

3.1.3、谱线搜寻a、在主菜单下按字母P,回车;b、在屏幕提供的元素周期表中依屏幕提示选定待搜寻的元素,并进行谱线搜寻,此后系统进行扫描并在屏幕上显示该谱线)c、谱线确认d、自动衰减在所有的待测元素分析线被确认后,键入字母A系统立即进行自动衰减;3.1.4、描迹及重叠线观察a、键入字母P,系统进入描迹状态;b、键入文件名(可以对全部元素或选择部分元素描迹,用F5选择指定的元素,F9删掉不描的元素);c、按F10系统进行描迹;d、重叠谱线的观察:用F3进入图示状态,用F5选欲显示的元素,最后用F10进入显示状态;进一步的细节详见说明书。

icp的使用流程

icp的使用流程

ICP的使用流程1. ICP备案申请流程•准备备案所需材料–身份证明–公司营业执照(如果是个人备案则不需要)–网站负责人身份证明–网站备案信息–授权委托书(如果是代理备案)–备案域名证书–签署备案承诺书•在工信部备案系统上填写备案申请–登录工信部备案管理系统–填写备案信息–上传身份证明和相关材料–填写备案承诺书–提交备案申请•备案审核–工信部备案中心审核备案申请–核对材料和信息的真实性–对备案网站进行访问测试•审核结果通知–收到备案审核结果通知–如果备案成功,会收到备案号和备案号通知书–如果备案审核有问题,需要及时修改并重新提交申请2. ICP备案相关注意事项•备案权限–备案申请必须由网站的实际控制者或授权代理人进行申请。

–个人备案只能备案个人网站,企业备案可以备案企业网站或个人网站。

•网站信息准确性–网站备案信息必须真实、准确、完整。

–网站域名、网站名称、备案主体等信息要与实际情况一致。

•禁止非法内容–备案网站不得含有违法、淫秽、恶俗、暴力等内容。

–网站备案主体没有资质或权限的不得涉及相关领域。

•及时更新备案信息–网站备案主体变更、网站信息变更等需要及时更新备案信息。

–如有变更需要重新备案申请。

3. ICP备案常见问题解答问:我是个人,可以备案企业网站吗?答:个人备案只能备案个人网站,企业备案可以备案企业网站或个人网站。

问:备案审核需要多长时间?答:备案审核需要根据工信部备案中心的情况而定,一般情况下会在15个工作日内完成审核。

问:备案成功后是否可以进行网站建设?答:备案成功后可以进行网站建设,但需要保证网站内容符合备案要求,不得含有违法、淫秽等内容。

问:备案失败是否可以再次申请?答:备案失败可以重新修改备案信息并再次申请,提交之前需要确保修改的信息准确无误。

4. ICP备案的重要性•合法合规运营–ICP备案是国家相关政策的要求,进行备案可以确保网站的合法合规运营。

•保护用户权益–ICP备案要求网站提供真实有效的联系信息,保护用户的合法权益。

icp刻蚀工艺流程

icp刻蚀工艺流程

icp刻蚀工艺流程ICP刻蚀工艺流程一、引言ICP刻蚀工艺是一种常用的微纳加工技术,广泛应用于半导体、光电子、生物医学等领域。

本文将介绍ICP刻蚀工艺的基本流程,以及其中涉及的关键步骤和注意事项。

二、ICP刻蚀工艺流程1. 设计和准备在开始ICP刻蚀工艺之前,首先需要进行器件的设计和准备工作。

这包括选择合适的刻蚀目标材料、确定刻蚀深度和形状等。

同时,还需要设计合适的掩膜图形,以控制刻蚀区域。

2. 清洗和预处理在进行ICP刻蚀之前,需要对刻蚀目标材料进行清洗和预处理,以去除表面的杂质和氧化物。

常用的方法包括超声波清洗、酸洗和溶剂清洗等。

3. 掩膜制备接下来需要制备掩膜,用于保护不需要刻蚀的区域。

常用的掩膜材料包括光刻胶和金属掩膜。

通过光刻技术,将掩膜图形转移到掩膜材料上,并进行曝光和显影等步骤,最终形成掩膜。

4. 刻蚀在刻蚀过程中,需要使用ICP刻蚀机。

ICP刻蚀机利用高频电场和低频电场的耦合效应,在高真空环境中进行刻蚀。

首先将刻蚀目标材料放置在刻蚀室中,并加入刻蚀气体,如氟化物等。

然后,在高频电场的作用下,将刻蚀气体电离生成等离子体。

最后,利用等离子体的化学反应和物理碰撞效应,将刻蚀气体中的物质从刻蚀目标材料表面去除,实现刻蚀效果。

5. 清洗和检验刻蚀完成后,需要对刻蚀样品进行清洗,以去除残留的刻蚀剂和杂质。

常用的清洗方法包括溶剂清洗、超声波清洗和离子清洗等。

清洗完成后,需要对刻蚀样品进行检验,以验证刻蚀效果是否符合要求。

6. 后处理在ICP刻蚀工艺完成后,可能还需要进行后处理步骤,以进一步改善器件性能。

常见的后处理方法包括退火、沉积和离子注入等。

三、注意事项1. 安全操作:ICP刻蚀工艺需要在高真空环境下进行,操作人员需要具备相关安全知识和技能,严格遵守操作规程。

2. 刻蚀参数:刻蚀参数的选择对于刻蚀效果至关重要。

包括刻蚀气体的流量、功率、压力等参数,需要根据刻蚀目标材料的性质和要求进行调整。

ICP 操作流程及注意事项

ICP 操作流程及注意事项

精品文档. ICP操作流程及注意事项1.打开氩气确认氩气充足,气路连接完好,纯度要求≥99.996%,输出压力550—825Kpa (80—120psig) ,当气瓶总压力小于2Mpa时,需考虑更换。

2.打开空压机确认放气阀门关闭,可待空压机充满气后打开出气阀门,确认输出压力550—825Kpa (80—120psig),定期清理过滤器中的水。

注意:一定要没有空气压力时才可打开过滤器,以免发生危险。

3.打开冷却水循环机检查水位,确认设定温度(通常设为20度),确认输出压力310—550Kpa (45—80psig),半年更换一次冷却液。

4.打开ICP主机电源5.打开Winlab32操作软件确认发生器和光谱仪均联机正常后,方可使用。

6.安装蠕动泵管检查泵管,当有扁平点出现时,应替换泵管。

黑色卡头为进样管,红色卡头为排液管,并注意蠕动泵为顺时针旋转,点击点炬界面Pump,确认进样排液顺畅。

7.打开抽风,点炬8.初始化光学系统待点炬十五分钟左右后,进行初始化光学系统,该过程需3~4分钟,完成后确认其数值在±50之间。

注:当清洗完进样系统和炬管组件时,需进行对准观测位(轴向和径向),吸入1ppm Mn 溶液。

当有错误提示时,切勿保存,并检查进样系统和进样情况。

9.打开测试方法,编辑样品信息10.分析测试11.分析完成后,在等离子体点燃的状态下,清洗5分钟,无机样品分析后用去离子水洗或者先用3%的硝酸洗,再用去离子水洗。

12.关闭等离子体,排空积液,松开蠕动泵卡夹。

13.先退出软件,再关闭ICP主机电源。

14.关闭抽风,循环冷却水,空压机,氩气。

每天测试完成后,排空空压机内气体。

ICP 操作流程及注意事项

ICP 操作流程及注意事项

实用文档. ICP操作流程及注意事项1.打开氩气确认氩气充足,气路连接完好,纯度要求≥99.996%,输出压力550—825Kpa (80—120psig) ,当气瓶总压力小于2Mpa时,需考虑更换。

2.打开空压机确认放气阀门关闭,可待空压机充满气后打开出气阀门,确认输出压力550—825Kpa (80—120psig),定期清理过滤器中的水。

注意:一定要没有空气压力时才可打开过滤器,以免发生危险。

3.打开冷却水循环机检查水位,确认设定温度(通常设为20度),确认输出压力310—550Kpa (45—80psig),半年更换一次冷却液。

4.打开ICP主机电源5.打开Winlab32操作软件确认发生器和光谱仪均联机正常后,方可使用。

6.安装蠕动泵管检查泵管,当有扁平点出现时,应替换泵管。

黑色卡头为进样管,红色卡头为排液管,并注意蠕动泵为顺时针旋转,点击点炬界面Pump,确认进样排液顺畅。

7.打开抽风,点炬8.初始化光学系统待点炬十五分钟左右后,进行初始化光学系统,该过程需3~4分钟,完成后确认其数值在±50之间。

注:当清洗完进样系统和炬管组件时,需进行对准观测位(轴向和径向),吸入1ppm Mn 溶液。

当有错误提示时,切勿保存,并检查进样系统和进样情况。

9.打开测试方法,编辑样品信息10.分析测试11.分析完成后,在等离子体点燃的状态下,清洗5分钟,无机样品分析后用去离子水洗或者先用3%的硝酸洗,再用去离子水洗。

12.关闭等离子体,排空积液,松开蠕动泵卡夹。

13.先退出软件,再关闭ICP主机电源。

14.关闭抽风,循环冷却水,空压机,氩气。

每天测试完成后,排空空压机内气体。

ICP仪器的操作流程

ICP仪器的操作流程

ICP仪器的操作流程具体操作方法一.装配ICP仪器:1.同水循环仪器的连接:ICP主机上的in put接口对应水循环器上的out接口,另一ICP的out接口对应着水循环器上的in put接口,且水循环器上的out接口上要安装好水过滤器。

2.同氩气的连接:氩气的管子接到ICP主机上的Argon接口上,且氩气的气压通过减压装置来调节,一般控制在0.8 ba 。

3.同抽风机的连接:抽风机的两抽风管,前管吸收矩管放出的热量,后管吸收发生器放出的热量。

4.同UPS的连接5.废水箱的安装6.雾化器,雾化室,矩管,泵软管的安装7.ICP同PC的接口,且Hardlock USB软件保护装置要插到PC的USB接口上。

8.ICP地线的连接二.建方法流程:方法信息的设置对元素线的选择测试条件的设置建空白,标准溶液设置输出格式1.方法信息的设置:在measurement info 界面⑴.在界面下方的method data control 面板中,选择New新建一个方法,并输入方法的名称和描述内容。

(2).设置参数:Nebulizer Type(雾化器的类型):有Crossflow(交叉雾化器)和Modi-lich te (理查得雾化器),本仪器使用Crossflow.Application(应用类型):针对不同的情况,有不同的选择,一般选择NormalDefault Unit :对单位的设置No.of Measurements :测量次数一般为3次Data Tran sport :数据储存要求,“ Nond'不储存,“ Regio nof in terest ” 储存指定的分析谱线,“ Complete Spectrum ”储存所有的数据,一般选择Complete SpectrumMin Corr Coefficament :校正线性参数,一般为0。

996Default Displayname(默认的显示名称):一般选择Sample Name⑶.Preflush(预冲洗)的设置:Fast:快冲洗时间Fast step :冲洗档位Total :冲洗的总时间Normal step :正常冲洗的档位⑷.Samplelde ntificatio n 的设置:可新建weight质量,volum体积,dilution 稀释率等关于样品的参数2.线选择:在Line Selection 界面Referenee line(内标谱线线),Monitor line(稳定线,一般选择的是氩线)(2).元素表中的元素线的选择:对于要分析的元素,单击这个元素,可从右边的下表中选择其中一个光强度不同的元素线,一般选择受其它元素干扰最少的线。

ICP仪器的操作流程

ICP仪器的操作流程

ICP仪器的操作流程具体操作方法一.装配ICP仪器:1•同水循环仪器的连接:ICP主机上的in put接口对应水循环器上的out接口,另一ICP的out接口对应着水循环器上的in put接口,且水循环器上的out接口上要安装好水过滤器。

2•同氩气的连接:氩气的管子接到ICP主机上的Argon接口上,且氩气的气压通过减压装置来调节,一般控制在0.8 ba。

3. 同抽风机的连接:抽风机的两抽风管,前管吸收矩管放出的热量,后管吸收发生器放出的热量。

4. 同UPS的连接5. 废水箱的安装6. 雾化器,雾化室,矩管,泵软管的安装7.ICP同PC的接口,且Hardlock USB软件保护装置要插到PC的USB接口上8.ICP地线的连接二.建方法流程:方法信息的设置对元素线的选择测试条件的设置建空白,标准溶液设置输出格式1. 方法信息的设置:在measurement info 界面⑴.在界面下方的method data control 面板中,选择New,新建一个方法,并输入方法的名称和描述内容。

(2).设置参数:Nebulizer Type(雾化器的类型):有Crossflow(交叉雾化器)和Modi-licht e (理查得雾化器),本仪器使用Crossflow.Application(应用类型):针对不同的情况,有不同的选择,一般选择Nor malDefault Unit :对单位的设置No.of Measurements :测量次数一般为3次Data Tran sport :数据储存要求,“ No ne ”不储存,“ Regio nof in tere st”储存指定的分析谱线,“ Complete Spectrum ”储存所有的数据,一般选择Complete SpectrumMin Corr Coefficament :校正线性参数,一般为0。

996Default Displayname(默认的显示名称):一般选择Sample Name⑶.Preflush(预冲洗)的设置:Fast:快冲洗时间Fast step :冲洗档位Total :冲洗的总时间Normal step :正常冲洗的档位⑷.Samplelde ntificatio n 的设置:可新建weight质量,volum 体积,dilution稀释率等关于样品的参数2. 线选择:在Line Selection 界面⑴丄ineselection type(线类型):有Analytic(用于要分析的元素),Referenee line(内标谱线线),Monitor line(稳定线,一般选择的是氩线)(2).元素表中的元素线的选择:对于要分析的元素,单击这个元素,可从右边的下表中选择其中一个光强度不同的元素线,一般选择受其它元素干扰最少的线。

icpms操作规程

icpms操作规程

icpms操作规程ICP-MS(电感耦合等离子体质谱法)是一种常用的分析技术,它能够提供元素分析的高灵敏度、高精确度和高选择性。

为确保准确可靠的测试结果,ICP-MS操作需要遵守一系列规程和操作步骤。

1. 实验室准备:- 质谱仪和其它相关设备的正常使用和维护。

- 实验室空气质量的控制,确保实验环境干净,没有杂质干扰。

- 质谱仪的日常校准和质控操作,以确保仪器稳定性和分析准确性。

2. 样品准备:- 样品要使用纯净试剂,避免使用含有待测元素的试剂。

- 样品的保存、处理和预处理应根据不同的元素分析需求进行,以避免样品的污染和元素的损失。

- 样品的稀释和标准曲线制备需要根据待测元素的浓度范围和检测限制进行合理的选择。

3. 仪器操作:- 打开质谱仪和其它相关设备,确保各个部件正常工作,例如离子源、入射系统、质谱分析器和探测器等。

- 设置和优化质谱仪的工作参数,例如电离能量、气体流量、进样速率等,以获得最佳的分析性能。

- 根据待测元素的性质选择相应的离子模式(正离子模式或负离子模式)、质谱分析器的运行模式(单程通量模式、多程通量模式等)和探测器的工作模式(计数模式、亚计数模式等)。

4. 样品进样:- 根据样品浓度和所选的进样方法(直接进样、稀释进样、固相萃取等),选择适当的进样器和进样体积。

- 进样前要先进行空白测试,以检测和排除可能的背景干扰。

- 进样时要控制好进样速率和稀释比例,以避免干扰物质的进入和样品损失。

5. 数据采集和处理:- 运行质谱仪,获取质谱图和质谱数据。

- 对质谱数据进行峰识别、峰面积积分和质量浓度计算,得到待测元素的浓度结果。

- 对浓度结果进行数据分析和处理,例如计算相对标准偏差(RSD)、判断样品结果的可靠性和准确性等。

6. 结果报告:- 报告浓度结果时要注明分析方法、仪器参数和样品处理等重要信息,以便结果的可重复性和可比性。

- 结果报告要统一格式,并包含校准曲线、质控样品和样品回收率等质量控制数据,以评估分析的准确性和可靠性。

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ICP操作流程及注意事项
1.打开氩气
确认氩气充足,气路连接完好,纯度要求≥99.996%,输出压力550—825Kpa (80—120psig) ,当气瓶总压力小于2Mpa时,需考虑更换。

2.打开空压机
确认放气阀门关闭,可待空压机充满气后打开出气阀门,确认输出压力550—825Kpa (80—120psig),定期清理过滤器中的水。

注意:一定要没有空气压力时才可打开过滤器,以免发生危险。

3.打开冷却水循环机
检查水位,确认设定温度(通常设为20度),确认输出压力310—550Kpa (45—80psig),半年更换一次冷却液。

4.打开ICP主机电源
5.打开Winlab32操作软件
确认发生器和光谱仪均联机正常后,方可使用。

6.安装蠕动泵管
检查泵管,当有扁平点出现时,应替换泵管。

黑色卡头为进样管,红色卡头为排液管,并注意蠕动泵为顺时针旋转,点击点炬界面Pump,确认进样排液顺畅。

7.打开抽风,点炬
8.初始化光学系统
待点炬十五分钟左右后,进行初始化光学系统,该过程需3~4分钟,完成后确认其数值在±50之间。

注:当清洗完进样系统和炬管组件时,需进行对准观测位(轴向和径向),吸入1ppm Mn 溶液。

当有错误提示时,切勿保存,并检查进样系统和进样情况。

9.打开测试方法,编辑样品信息
10.分析测试
11.分析完成后,在等离子体点燃的状态下,清洗5分钟,无机样品分析后用去离子水洗或者先用3%的硝酸洗,再用去离子水洗。

12.关闭等离子体,排空积液,松开蠕动泵卡夹。

13.先退出软件,再关闭ICP主机电源。

14.关闭抽风,循环冷却水,空压机,氩气。

每天测试完成后,排空空压机内气体。

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