新一代洁净实验室建设标准
洁净实验室标准

洁净实验室标准洁净实验室是进行科学研究和实验的重要场所,对实验室的洁净度要求非常高。
为了确保实验结果的准确性和实验人员的安全,我们需要严格遵守洁净实验室的标准。
本文将介绍洁净实验室标准的相关内容,希望能够对大家有所帮助。
首先,洁净实验室的标准要求对实验室的环境进行严格控制,包括空气质量、温湿度、噪音和振动等。
空气质量是洁净实验室的重要指标之一,实验室内的空气应该经过过滤和净化处理,确保没有污染物和微生物的存在。
同时,实验室内的温湿度也需要保持在一定的范围内,以确保实验设备和实验样品的稳定性。
此外,噪音和振动也会对实验结果产生影响,因此需要进行有效的控制。
其次,实验室内的设施和设备也需要符合一定的标准。
实验室的墙壁、地面和天花板应该采用易清洁的材料,并且需要经常进行清洁和消毒。
实验室内的实验台、实验台面、实验槽等设备也需要定期进行清洁和消毒,以确保实验的准确性和安全性。
此外,实验室内的设备和仪器也需要进行定期的维护和保养,以确保其正常运行和准确性。
另外,实验室内的人员行为和操作也是洁净实验室标准的重要内容。
实验室内的人员需要接受相关的培训和教育,了解洁净实验室的标准和操作规程,确保他们的行为和操作符合标准要求。
在实验室内,人员需要穿戴符合要求的工作服和防护用具,遵守实验室的规定和操作流程,确保实验室的洁净度和安全性。
最后,实验室的管理和监控也是洁净实验室标准的重要内容。
实验室需要建立完善的管理制度和监控体系,确保实验室的洁净度和安全性。
实验室的管理人员需要定期进行实验室的检查和评估,发现问题及时进行处理和改进。
同时,实验室还需要建立洁净度监测系统,对实验室的洁净度进行实时监测和记录,以确保实验室的洁净度符合标准要求。
综上所述,洁净实验室标准涉及到实验室的环境控制、设施设备、人员行为和操作、管理监控等多个方面。
只有严格遵守洁净实验室标准,才能确保实验室的洁净度和安全性,保障实验结果的准确性和可靠性。
洁净实验室建造标准

洁净实验室建造标准
洁净实验室建造标准包括以下方面:
1. 洁净实验室的等级划分:根据室内空气微生物数量,洁净实验室可分为一般要求(无尘)、局部控制(百级)、严格控制(万级)、超净工作区(十万级)和无菌操作区(百万级)等不同等级。
2. 洁净实验室的净空高度:无窗房间的净空高度不应低于米;有窗房间的窗台距室内地面高度不宜小于米。
3. 洁净室的围护结构及内装修材料:均不得使用对环境产生污染的材质和工艺。
4. 洁净室的通风方式:对于一些有特殊要求的场所,如生物制药行业中的GMP厂房等,宜独立设置空气净化装置。
5. 洁净室的空调系统:送、回风管道的保温材料应选用难燃或不燃的材料制作而成。
6. 洁净室的防静电措施:在特定条件下,为了防止静电积聚,可以采用防静电网等措施。
7. 洁净室的检修门:在特定情况下,为了便于维修保养的需要,可以在车间内安装检修门。
以上信息仅供参考,建议查阅《洁净厂房设计规范》、《电子计算机房设计规范》、《医药工业洁净厂房施工及验收通用技术条件》、《生物安全实验室建筑技术规范》等文件获取更全面和准确的信息。
洁净室建设及验收规范(完整常用版)

洁净室建设及验收规范(完整常用版)本文档旨在提供洁净室建设及验收的规范指导。
以下是一些常见的建设和验收步骤和标准,供参考使用。
洁净室建设步骤1. 确定洁净级别:根据所需应用确定洁净室的洁净级别,例如ISO -1标准中的A级到G级。
确定洁净级别:根据所需应用确定洁净室的洁净级别,例如ISO 14644-1标准中的A级到G级。
2. 选择合适的位置:选择适当的位置进行洁净室建设,离噪音和尘埃源较远,并考虑通风和排水设施。
选择合适的位置:选择适当的位置进行洁净室建设,离噪音和尘埃源较远,并考虑通风和排水设施。
3. 设计洁净室布局:根据洁净室级别和具体需求,设计室内布局,包括通道、工作区、气密性、安全出口等。
设计洁净室布局:根据洁净室级别和具体需求,设计室内布局,包括通道、工作区、气密性、安全出口等。
4. 选择合适的材料和设备:选择符合洁净室要求的合适材料和设备,如洁净室壁板、门窗、空调系统、过滤器等。
选择合适的材料和设备:选择符合洁净室要求的合适材料和设备,如洁净室壁板、门窗、空调系统、过滤器等。
5. 安装和施工:按照设计方案进行洁净室的安装和施工,确保所有细节符合规范要求。
安装和施工:按照设计方案进行洁净室的安装和施工,确保所有细节符合规范要求。
6. 设备调试和验证:安装完毕后对洁净室设备进行调试和验证,确保其正常运行并符合洁净级别要求。
设备调试和验证:安装完毕后对洁净室设备进行调试和验证,确保其正常运行并符合洁净级别要求。
洁净室验收标准在洁净室建设完成后,进行验收是必要的。
以下是一些常见的验收标准:1. 空气质量测试:进行洁净室内外空气质量测试,包括颗粒物浓度、细菌、微生物等指标。
空气质量测试:进行洁净室内外空气质量测试,包括颗粒物浓度、细菌、微生物等指标。
2. 洁净度测试:采用适当的方法和工具,对洁净室内各个区域的洁净度进行测试,确保其符合设计要求。
洁净度测试:采用适当的方法和工具,对洁净室内各个区域的洁净度进行测试,确保其符合设计要求。
洁净实验室建设标准

洁净实验室建设标准洁净实验室是一种高度净化的实验室,用于进行微生物、生物、化学等领域的实验研究。
洁净实验室建设标准是指在建设洁净实验室时需要遵循的一系列规范和标准,以确保实验室的安全性、净化度和实验结果的准确性。
本文将从建设标准的分类、实验室设计、净化设备、操作规范等方面进行阐述。
一、建设标准的分类洁净实验室建设标准主要分为国际标准和国内标准两种。
国际标准主要包括ISO、EN、ASTM等标准,而国内标准则包括GB、YY、GMP等标准。
在建设洁净实验室时,需要根据实验室的具体需求和使用目的选择相应的标准。
二、实验室设计洁净实验室的设计应该考虑实验室的功能、实验流程、安全性和净化度等因素。
实验室的布局应该合理,设备的摆放应该符合实验流程,同时需要考虑到实验室的通风、照明、消防等方面的要求。
实验室的墙壁、地面、天花板等应该采用易清洁、无尘、无毒、无味的材料,以确保实验室的净化度。
三、净化设备洁净实验室的净化设备主要包括空气净化设备、水净化设备、噪声净化设备等。
其中,空气净化设备是最为重要的设备之一,主要包括空气过滤器、送风系统、排风系统等。
空气过滤器的选择应该根据实验室的净化等级和实验要求来确定,送风系统和排风系统的设计应该合理,以确保实验室的空气流通和净化效果。
四、操作规范洁净实验室的操作规范是保证实验室净化度和实验结果准确性的关键。
操作规范主要包括实验人员的着装、操作流程、实验器材的清洁和消毒等方面。
实验人员应该穿戴符合要求的防护服、手套、口罩等,操作流程应该严格按照规定进行,实验器材的清洁和消毒应该符合实验室的要求。
综上所述,洁净实验室建设标准是建设洁净实验室的基础和保障。
在建设洁净实验室时,需要根据实验室的具体需求和使用目的选择相应的标准,同时需要考虑实验室的设计、净化设备和操作规范等方面的要求,以确保实验室的安全性、净化度和实验结果的准确性。
实验室建设中的洁净度要求和控制

实验室建设中的洁净度要求和控制实验室建设中的洁净度是确保实验环境符合特定要求并保持适当卫生的重要因素之一。
本文将探讨实验室洁净度的要求和控制方法。
一、实验室洁净度的重要性实验室是科学研究和实验的场所,因此实验室环境的洁净度对实验结果和数据的可靠性起着关键作用。
洁净度的要求不仅仅是为了保持实验的准确性和精确性,还是确保研究人员和员工的健康和安全的必要条件。
实验室中存在的尘埃、微生物、细菌等可能导致实验污染和结果失真,因此洁净度的控制是实验室建设中必不可少的环节。
二、实验室洁净度的要求根据实验室的具体需求,洁净度要求各不相同。
一般来说,实验室洁净度可分为几个等级:一级洁净室、二级洁净室以及常规实验室等。
以下是对不同洁净度要求的简要说明。
1. 一级洁净室:一级洁净室是最高级别的洁净室,适用于对环境污染非常敏感的实验,如微电子工业、生物医药和精密仪器等领域。
一级洁净室要求对微生物、细菌、尘埃颗粒等进行高效过滤和控制,通常采用高效过滤器和其他洁净技术实现。
2. 二级洁净室:二级洁净室适用于对环境洁净度要求较高的实验,如药品研发、食品工业等。
相比一级洁净室,二级洁净室要求稍低,但仍需采用高效过滤器等技术控制颗粒物和微生物的浓度。
3. 常规实验室:常规实验室是原始洁净度要求较低的实验室环境。
在常规实验室中,仍需采取一定的措施来保持室内的相对洁净度。
这包括定期清洁、控制尘埃生成和扬尘、维护通风系统等。
三、实验室洁净度的控制方法为了确保实验室内的洁净度,有几个关键的控制方法可以采用。
1. 高效过滤技术:高效过滤器是实验室洁净度控制中的重要组成部分。
它能够有效地去除空气中的颗粒物和微生物,提供洁净的实验环境。
根据实验室的需求和要求,选择适当的高效过滤器和过滤器等级至关重要。
2. 合理室内清洁:定期进行实验室的清洁是确保洁净度的重要手段之一。
这包括清除实验台面、仪器设备和地面上的尘埃和杂物,维持室内的整洁卫生。
3. 定期维护与保养:实验室设备的维护和保养对于洁净度的控制至关重要。
洁净实验室装修标准

洁净实验室装修标准《洁净实验室装修标准大揭秘》嘿,你知道吗?在科学的奇妙世界里,洁净实验室就像是一个超级神秘的魔法屋,而装修这个魔法屋可是有着至关重要的标准哦!要是不遵守这些标准,那可就像是孙悟空没了金箍棒,威力大减呀!今天,就让我们一起揭开洁净实验室装修标准的神秘面纱,看看这个魔法屋里都藏着哪些神奇的秘密吧!一、空气净化要到位“空气净化大作战:让尘埃无处可逃!”在洁净实验室里,空气净化那可是头等大事!就像战士上战场必须要穿好铠甲一样,这里的空气必须被净化得干干净净。
空气就像是实验室的“血液”,如果“血液”不干净,那整个实验室就会生病啦!我们要用最先进的空气净化设备,把那些小小的尘埃粒子都抓起来,让它们无处可逃。
就好比是一场猫捉老鼠的游戏,我们就是那厉害的猫,尘埃就是那狡猾的老鼠,我们一定要把它们统统抓住!比如说,高效空气过滤器就是我们的秘密武器,它能把空气中的有害物质过滤掉,让实验室的空气变得清新宜人。
二、材料选择有讲究“材料大比拼:只选对的,不选贵的!”装修洁净实验室,材料的选择可不能马虎!这就像是给房子选建材一样,一定要选质量好、无污染的。
我们要选择那些不容易产生灰尘、不容易滋生细菌的材料,就像是给实验室穿上了一层厚厚的铠甲,保护它不受外界的污染。
比如说,地面要选择防静电的材料,这样可以避免静电产生的灰尘;墙面要选择光滑易清洁的材料,这样可以方便我们随时打扫。
可不能为了省钱选那些劣质的材料哦,不然到时候出了问题可就麻烦啦!三、布局设计要合理“布局大规划:让实验更高效!”洁净实验室的布局设计就像是在下一盘大棋,每一步都要深思熟虑。
我们要让实验设备、人员通道、物品存放等都安排得井井有条,这样才能提高实验的效率。
就像是一个交响乐团,每个乐器都要放在最合适的位置,才能演奏出最动听的音乐。
比如说,实验台要放在光线好、通风好的地方,这样实验人员才能更好地进行实验;物品存放区要离实验区近一些,这样拿取物品就会更方便。
洁净实验室标准
洁净实验室标准
洁净实验室的标准包括多个方面,如洁净度等级、空气净化系统、温湿度控制、气流组织形式和规划要求等。
洁净度等级是衡量洁净室内空气洁净度的重要指标,根据不同的应用需求,可分为一般要求、局部控制、严格控制、超净工作区和无菌操作区等不同等级。
每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定,通常符合灰尘标准的颗粒相对于常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
洁净室的空气净化系统也是关键部分,常见的空气净化系统有风机过滤式空气净化器、静电集尘过滤器、高效HEPA过滤器、初效、中效和高效过滤器、光触媒、臭氧发生器、负离子发生器、低温等离子体和分子络合离子群等。
洁净室的温湿度控制也是必要的,根据不同的洁净度等级和实验需求,要保持适当的温度和湿度。
一般情况,5级、6级洁净区控制温度为20℃~24℃,相对湿度为45%~65%;7级、大于7级洁净区控制温度为18℃~28℃,相对湿度为50%~65%。
同时,洁净室的规划要求也是需要考虑的,包括实验室操作、工艺设备安装、设备维修、气流组织形式和净化调节系统等。
气流组织形式要满足实验设施和人员的要求,保证室内空气流通且不产生涡流。
总的来说,洁净实验室的标准是一个综合性的标准,需要根据具体的应用需求和实验要求进行规划设计,确保实验室的空气洁净度、温湿度控制和气流组织形式等方面符合要求,为实验提供良好的环境条件。
实验室建设方案洁净环境要求下的实验室设计与建设
实验室建设方案洁净环境要求下的实验室设计与建设在洁净环境要求下的实验室设计与建设一、引言在当今科学技术的快速发展和不断深化的研究中,实验室的建设变得越来越重要。
对于科研机构和企业来说,一个科学合理、洁净且高效的实验室能够提供良好的研究环境,为科学家和研究人员的工作提供便利。
本文将针对洁净环境要求下的实验室设计与建设进行深入研究和探讨。
二、实验室环境的洁净要求1. 温度和湿度控制实验室中对温度和湿度的控制是非常重要的,特别是在一些对环境条件要求较高的实验。
根据不同实验室的需求,我们需要确保实验室内的温度和湿度能够保持在特定的范围内,以确保实验的准确性和稳定性。
2. 杂质控制实验室中的空气和水质的杂质也需要进行控制,以确保实验的可靠性。
在洁净环境要求下的实验室设计与建设中,我们需要考虑空气净化设备和水质净化设备的安装,以降低实验中外部因素的干扰。
3. 噪音和振动控制实验室中的噪音和振动也是需要控制的因素之一,这些因素对于一些对实验环境要求较高的项目来说尤为重要。
在实验室设计与建设中,我们需要采取隔音和隔振措施,以降低噪音和振动对实验的影响。
三、实验室设备的选择与布局1. 设备选择在洁净环境要求下的实验室设计与建设中,我们需要选择适合的实验设备。
这些设备应具备高精度、高效能和低污染的特点,以满足实验的要求。
同时,我们还需考虑设备的选型和供应商的选择,以确保设备的质量和可靠性。
2. 设备布局实验室中的设备布局是非常重要的,它直接影响到实验室的工作效率和安全性。
在设计和布局过程中,我们应遵循合理的布局原则,使得实验室的工作流程合理、方便和安全。
四、洁净室的建设与管理1. 洁净室的分类在实验室建设中,洁净室是不可或缺的一部分。
根据实验室的具体需求和洁净要求,我们可以将洁净室分为不同的等级和类型,如ISO 5级、ISO 7级等。
在建设过程中,我们需要严格按照相关标准来设计和建造洁净室。
2. 洁净室的管理洁净室的管理是洁净环境要求下的实验室设计与建设中非常重要的一环。
万级洁净实验室标准
万级洁净实验室标准
一、空气洁净度
空气洁净度是衡量洁净实验室中空气清洁程度的一个重要指标。
在万级洁净实验室中,空气洁净度应达到一万级标准。
这意味着在洁净实验室中,每立方英尺的空气中,大于或等于0.5微米的粒子数应不超过10万个。
二、洁净室结构
1. 洁净室应采用整体式结构,便于清洁和维护。
2. 洁净室内部应使用易于清洁的材料,如不锈钢、瓷砖等。
3. 洁净室应具备高效过滤器,确保空气中的微粒和微生物被有效去除。
4. 洁净室应具备密封性能良好的门、窗和隔断,以防止外界污染进入。
三、洁净室空气速率
1. 洁净室内的空气速率应能够保持室内空气清新,避免污染物积聚。
2. 空气速率应能够达到规定的要求,如换气次数每小时不应少于20次。
四、洁净室湿度
1. 洁净室的湿度应控制在适宜的范围内,以减少微生物的生长和繁殖。
2. 一般情况下,洁净室的湿度应保持在40%-65%之间。
五、洁净室温度
1. 洁净室的温度应控制在适宜的范围内,以保持室内舒适的环境。
2. 一般情况下,洁净室的温度应保持在22℃-25℃之间。
六、漏尘量
1. 洁净室的漏尘量应控制在最低限度,以避免外界污染物进入室内。
2. 一般情况下,洁净室的漏尘量应不超过0.3粒/升。
七、清洁卫生
1. 洁净室内的清洁卫生应保持高标准,以防止污染物和微粒的积聚。
2. 洁净室内的地面、墙壁和天花板应定期清洁,保持无尘和无污渍。
3. 洁净室内的设备和家具应保持清洁,并定期消毒处理。
洁净室的建设及验收标准
XXXX一、洁净室的定义洁净室(Clean Room)是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。
其功能是把空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除室外,并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。
洁净室最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是对于一些精密产品生产,比如光学行业而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学行业产品的生产上,无尘是必然的要求。
二、洁净室的结构组成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁;(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等; (3)隔墙板:包括窗户、门;(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板; (5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等;洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;以上信息概括为:①组合式FFU机组②无尘送风管道③无尘回风管道④送风静压箱⑤高效过滤器⑥多孔扩散板⑦洁净室吊顶⑧洁净室隔断⑨高效送风口⑩新风口三、洁净室的等级1、洁净室等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
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新一代洁净实验室建设标准一、定义洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
新一代洁净室用途主要有以下三个:空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。
它具备所有有关的服务和功能。
但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
二、控管项目1、能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。
4、压力之调节。
5、有害气体之排除。
6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素之考虑。
10、节能之考量。
三、分类乱流式(Turbulent Flow)空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。
换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。
1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算) (2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级43.5—55.3次/小时(规范:50次/小时) 10,000级23.8—28.6次/小时(规范:25次/小时) 100,000级14.4—19.2次/小时(规范:15次/小时)优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。
另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
层流式(Laminar)层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。
其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。
因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
四、气流的流动气流的重要性洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。
然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
风速的控制新一代洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。
速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响因素影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
五、新一代洁净室之构成新一代洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
新一代洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;六、洁净室按用途分类(可分为两大类)工业洁净室以无生命微粒的控制为对象。
主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
生物洁净室主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。
又可分为;A、一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。
同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。
实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。
例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。
内部要保持与大气的负压。
例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)七、洁净室污染源知识1、发尘量洁净室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般极小,可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占10%以下,发尘主要来自人,占90%左右。
在人的发尘量上,由于服装材料和样式的改进,发尘绝对量也不断减少。
A、材质:棉质发尘量最大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式:大挂式发尘量最大,上下分装型次之,全罩型最少;C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍;D、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量工作人员产生的污染:1)皮肤:人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换,人类每分钟脱落约1000片皮肤(平均大小为30*60*3微米)2)头发:人类的头发(直径约为50~100微米)一直在脱落。