非制冷红外探测器应用概述综述
MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用
动 了非制冷红外探测技术 的发展 。 尤其 是 ＭＥ ＭＳ材料 与工 艺技术的引入 。 实现 了具有 良好热 绝缘 微探测 元结构 的大 规模 焦平面阵列 （ｏａ ｐａｅａ ａ ，Ｐ ， ｆ ｌ ｌｎ ｒ ｙ Ｆ Ａ） 使得 非制冷 热红 ｃ ｒ 外探测 器的探测率得到 了很 大的提高 。 同时 ， 响应时 间也 可
维普资讯
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传感器与微 系统 （ ｒｎｄ ｃｒ ｎ ｃｏｙｔｍ Ｔ ｃ ｎｌ ｉｓ Ｔａ ｓｕ ｅ ｄＭｉ ｓｓ ｅｈ ｏ ｇｅ） ａ ｒ ｅ ｏ
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２０ ０ ７年 第 ２ ６卷 第 １ 期
＼
应用 技术
、
ＭＥ ＭＳ技 术 在 非 制 冷 热 红 外 探 测 器 中 的应 用
导、 光电对抗等方面的应用都将从根本上提高武器系统的
战术技术指标 。红外热成像技术 也为现 代夜间军事行动成
功提供 了保 障。此外 。 在工业 、 医疗 、 环境等诸 多民用 领域 。
红外探测也有着大量的应用需求。传统的光量子型红外探 测器虽然有着信噪比高、 响应速度快等优点 ， 但它必须配备 昂贵的制冷设备 ， 因而， 导致的高成本和难以小型化的缺点
胡 明，吕宇强， 颜海洋，吴 淼
（ 天津大学 电子信息 工程学院 。 天津 ３０ ７ ） ０ ０ ２
摘
要： 微机 电系统 （ Ｅ Ｓ 技术是 以实现机 电一 体化 为 目 的一项 新兴 技术 ， 红外 器件制作 中 的 ＭＭ） 标 它在
非制冷红外探测器研究进展(特邀)
第50卷第1期 V〇1.50 No.l红外与激光工程Infrared and Laser Engineering2021年1月Jan. 2021非制冷红外探测器研究进展（特邀）余黎静^3,唐利斌杨文运2,郝群”(1.北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室，北京10008卜，2.昆明物理研究所，云南昆明650223;3.云南省先进光电材料与器件重点实验室，云南昆明650223)摘要：非制冷红外探测器由于无需制冷装置，能够工作在室温状态下，具有成本低、体积小、功耗低 等特点，在红外领域得到了广泛的应用。
在军事应用方面，非制冷型探测器的应用逐渐进入了之前制 冷型探测器的应用范围，大量应用在一些低成本的武器系统，甚至在一些应用领域取代了原来的非制 冷型探测器。
在民用领域方面，更表现出了其价格和使用方便的优势，在民用车载夜视、安防监控等应 用领域引起了广泛的兴趣和关注。
文中介绍了 Bolometer、热释电、热电堆等几种典型非制冷红外探测 器的工作原理，列举了目前已实现商业化应用的主要产品在国内外的情况，着重介绍了目前应用最广 泛的Bolometer器件主流产品的像元间距、阵列规格、性能及其封装发展的情况。
除了已实现商业化 应用的Bolometer、热释电、SO I二极管等探测器等产品，还详细介绍了一些非制冷探测新技术或新型 器件：比如超表面在增强某些波段吸收方面的应用，新材料的Bolometer探测器、双材料新型非制冷器 件、石墨烯、量子点、纳米线等光电探测技术的研究进展。
最后文章还对今后非制冷红外探测器的发展 趋势作了预测。
关键词：非制冷；红外探测器；热释电；Bolometer;封装中图分类号：TN215 文献标志码：A D O I：10.3788/IRLA20211013Research progress of uncooled infrared detectors(Invited)Yu Lijing1'2'3,Tang Libin1'2'3*,Yang Wenyun2,Hao Qun1*(1. The Laboratory of Photonics Information Technology, Ministry of Industry and Information Technology,School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China;2. Kunming Institute of Physics, Kunming 650223, China;3. Yunnan Key Laboratory of Advanced Photoelectric Materials & Devices, Kunming 650223, China)Abstract:Uncooled infrared detectors are widely used in the infrared field due to their low cost,small size,and low power consumption because they do not need the cooling device and can work at room temperature.In military application field,the uncooled detector has gradually entered the application domain of previous refrigerated detector,and has been widely used in some low-cost weapon systems,even replaced the original uncooled detectors in some application fields.In the civil field,it has shown its advantages in price and ease of use,and has aroused widespread interest and attention in civil in-vehicle night vision,security monitoring and other application field.The working theory of several typical uncooled infrared detectors such as Bolometer, pyroelectric,thermopile,etc.were introduced,and the status of the main products that have been commercialized at home and abroad was enumerated,the development of pixel pitch,array specifications,performance and收稿日期:2020-1卜24;修订日期:2020-12-08基金项目:国家重点研发计划（2019YFB2203404);云南省创新团队（2018HC020)packaging of mainstream bolometer devices was focused,which were currently the most widely used.In addition to the bolometer,pyroelectric,SOI diode and other products that had been commercialized,some new uncooled detection technologies or new detectors were introduced in detail:such as the application of metasurfaces in enhancing absorption in certain wavebands,the research progress of new materials bolometer,new bi-material uncooled devices,graphene,quantum dots,nanowires and other photoelectric detection technologies.Finally,the future development trend of u ncooled infrared detectors were predicted in the end of t he review. Key words:uncooled;infrared detector;pyroelectric;bolometer;package〇引言在红外系统中，红外探测器作为探测、识别目标 的关键，其主要作用是将人射的红外信号转化为可以 检测的电信号后进行输出。
非制冷红外焦平面探测器及其典型应用
LWIR
• 长波红外在地面大 气环境的传输最好 • 长波红外与室温目 标的红外辐射光谱 的匹配最好 • 战场环境烟雾环境 Байду номын сангаас应性好 • 非制冷长波红外成 像成本较低
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红外成像技术优势
隐蔽性好 全天时
被动式目标成像与识别，隐 蔽性好 能真正做到24小时全天时监控， 不受白天黑夜影响 不受电磁影响，能远距离精 确跟踪热目标 可穿透烟雾、雾霾、云雾成像， 在恶劣天气条件下的成像效果 几乎不受影响。
国内红外成像市场发展
与全球红外成像市场相比，国内红外成像市场整体还不太成熟； 国内装备市场底子偏薄、成长空间可观； 测温工具、单目手持夜视个人装备等领域还有很大的增长空间； 随着红外成像在安防、汽车夜间辅助驾驶、无人机、手机等领域的应用，我国 民用红外成像有望呈现爆发式增长。
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红外成像探测器技术
制冷光子型
原理：光子型探测 优势：成像距离远，成像清晰，响应时间快，可高帧频工作（400Hz)； 劣势：系统功耗大，体积大，成本高，运行时间受制冷机寿命限制； 应用：红外雷达，光电吊舱，导引头等远距离观测与跟踪高端军用
非制冷热式
原理：热式探测原理 优势：SWaP-C 劣势：成像距离较近，不适合点目标，成像图形噪声高 应用：单兵武器、低成本导引头等军用及电力测温、安防，汽车，工业检 测等民用市场
非制冷红外成像技术流派
20世纪90 年代末，非制冷红外焦平面探测器的技术流派基本定型，下图是现今市场上仍保 持占有率的两类micro-bolometer技术（VOx和a-Si ）及其承袭关系。
VOx
Honeywell 1990~1994 LORAL 1996 LOCKHEED MARTIN 2000 SCD NEC BAe System ROCKWELL 1996 BOEING 2001 DRS RAYTHEON Vision System 1992 1997 INDIGO 2004 2004 FLIR L-3 Communications ULIS AMBER HUGHES 1997
非制冷探测器技术发展
★70 年代中期至 80 年代，光栅扫描分光系统开始应用，但存在以下不足：扫描 速度慢、波长重现性差，内部移动部件多。此类仪器最大的弱点是光栅或反光镜 的机械轴长时间连续使用容易磨损，影响波长的精度和重现性，不适合作为过程 分析仪器使用。“光栅”被称为第二代分光技术。
★80 年代中后期至 90 年代中前期，应用“傅立叶变换”分光系统，但是由于干 涉计中动镜的存在，仪器的在线可靠性受到限制，特别是对仪器的使用和放置环 境有严格要求，比如室温、湿度、杂散光、震动等。“傅立叶变换”被称为第三 代分光技术。
是 320×240 FPA BST, 已装备 M16、M4、M203 和 M136 等，其探测
和识别(人)距离为 200 米。
薄膜铁电型探测
正处于研发阶段：320×240、像素尺寸为 48.5μm，NETD 为 90~170mk,
器（TFFE）
填充因子 55%.
VOx（测辐射热计红外探测器，用于武器观瞄，已装备美陆军。
★90 年代中期，开始有了应用二极管阵列技术的近红外光谱仪，这种近红外光 谱仪采用固定光栅扫描方式，仪器的波长范围和分辨率有限，波长通常不超过 1750nm。由于该波段检测到的主要是样品的三级和四级倍频，样品的摩尔吸收系 数较低，因而需要的光程往往较长。“二极管阵列”被称为第四代分光技术。
★90 年代末，来自航天技术的“声光可调滤光器”（缩写为 AOTF）技术的问世， 被认为是“90 年代近红外光谱仪最突出的进展”， AOTF 是利用超声波与特定的 晶体作用而产生分光的光电器件，与通常的单色器相比，采用声光调制即通过超 声射频的变化实现光谱扫描，光学系统无移动性部件，波长切换快、重现性好， 程序化的波长控制使得这种仪器的应用具有更大的灵活性，尤其是外部防尘和内 置的温、湿度集成控制装置，大大提高了仪器的环境适应性，加之全固态集成设 计产生优异的避震性能，使其近年来在工业在线和现场（室外）分析中得到越来 越广泛的应用。
非制冷红外焦平面探测器及其典型应用
SWIR
• 可使用常规可见光 镜头，可透过玻璃 成像
• 可探测1.06μm及 1.55μm激光
• 可复现可见光图像 细节Fra bibliotekMWIR
• 在高温、潮湿的海 洋大气条件下，中 波红外的传输优于 长波红外
• 如舰船发动机等高 温目标中波红外特 征明显
• 中波制冷红外的技 术成熟度
LWIR
• 长波红外在地面大 气环境的传输最好
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红外成像技术—发展史
1800年， 赫胥尔发现了红外线 （水银温度计）
光机扫描、红外 摄像管技术
1800 1901年，Langley 利用探测到 1/4英里外的一头牛（电阻
1930
式测辐射热计）
1940
光机扫描红外成像技术 非制冷型红外成像技术
1956
AIM-9响尾蛇导弹
民用红外成像有望呈现爆发式增长。
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红外成像探测器技术
制冷光子型
原理：光子型探测 优势：成像距离远，成像清晰，响应时间快，可高帧频工作（400Hz)； 劣势：系统功耗大，体积大，成本高，运行时间受制冷机寿命限制； 应用：红外雷达，光电吊舱，导引头等远距离观测与跟踪高端军用
• 长波红外与室温目 标的红外辐射光谱 的匹配最好
• 战场环境烟雾环境 适应性好
• 非制冷长波红外成 像成本较低
IRay Confidential
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红外成像技术优势
隐蔽性好 全天时
被动式目标成像与识别，隐 蔽性好
能真正做到24小时全天时监控， 不受白天黑夜影响
抗电磁干扰
不受电磁影响，能远距离精 确跟踪热目标
准全天候
作用距离远
可穿透烟雾、雾霾、云雾成像， 在恶劣天气条件下的成像效果 几乎不受影响。
以高灵敏为特征的氧化钒非致冷红外探测器的应用
以高灵敏为特征的氧化钒非致冷红外探测器的应用氧化钒非致冷红外探测器属于第三代红外探测器，它广泛应用于工业、农业、国防、医疗、交通等诸多领域，具有体积小、质量轻、功耗低、非致冷的优势，研究学者在多年来都致力于提升该非致冷红外探测器的灵敏度，并通过制备高电阻温度系数的氧化钒薄膜、掺氮氧化钒薄膜和黑金吸收层，提高非致冷红外探测器的性能。
文章从氧化钒非致冷红外探测器的工作原理、构造、材料制备、器件性能和测试等方面进行探讨，并论述其发展前景。
标签：氧化钒；非致冷；红外探测器；高灵敏；器件1 微机电系统和非致冷红外探测器概述微机电系统主要是依据微机电和电化学方法而实现的，其核心元件包括：传感单元和信号传输单元，由这些核心元件制成的传感器可以传感一些生物、化学、物理的参量存在和强度，具有灵敏、准确地测量最小样品量的优点，它们成批地应用于工业领域，常用的传感器有：光传感器、生物传感器、化学传感器、压力传感器，而文章研究的是基于微机电系统中微加工技术的非致冷红外传感器。
非致冷红外探测器广泛应用于军事和商务领域，成为了一种高需求技术，它通过微测辐射热实现传感功能，吸收红外能量大小有关的器件温度变化而引起的电参数的变化实现探测，由于它不是红外直接探测，因而在具有更小的尺寸、更低的功耗的优势之下，还有更长的响应延续时间，非致冷红外探测器的高性能和低功耗优势，使其在市场研发上达到很高的阵列：50um×50um和25um×25um像元尺寸，噪声等效温差可以低于30mK。
伴随着非致冷技术的发展，许多致冷型探测器的红外成像系统也开始运用非致冷探测器阵列，在更高性能的红外成像平台上发挥作用。
2 非致冷红外探测器的理论基础2.1 微测辐射热计理论微测辐射热计是电阻性光敏元，当它接收到红外辐射时，光敏材料的温度增高，电阻即发生变化，电路就可以探测到相应电阻变化引起的微弱电流变化，实现探测。
其探测器的像元膜可以选择不同的氮化硅、二氧化硅和氧化钒热敏电阻材料，以氧化钒热敏电阻材料为例：假设微测辐射热计光敏材料的温度在吸收红外辐射后变化值为△T，氧化钒薄膜电阻变化值为△R，它们之间的关系式表达为：△R=R△T。
非制冷式红外探测器原理研究
非制冷式红外探测器原理研究摘要：随着信息技术的发展，红外探测技术已经被广泛应用于军事、民用、科研等众多领域。
其中，非制冷红外焦平面探测器具有无需制冷、成本低、功耗小、重量轻、小型化、使用灵活方便等特点，是当前非制冷红外探测技术研究和应用的热点和重点。
自然界所有温度在绝对零度（-273℃）以上的物体都会发出红外辐射，红外图像传感器则将探测到的红外辐射转变为人眼可见的图像信息。
红外成像技术涵盖了红外光学、材料科学、电子学、机械工程技术、集成电路技术、图像处理算法等诸多技术，红外成像装置的核心为红外焦平面探测器。
非制冷红外焦平面探测器的工作原理是利用红外辐射的热效应，由红外吸收材料将红外辐射能转换成热能，引起敏感元件温度上升。
敏感元件的某个物理参数随之发生变化，再通过所设计的某种转换机制转换为电信号或可见光信号，以实现对物体的探测。
非制冷红外焦平面探测器分为五大类：热释电型、热电堆型、二极管型、热敏电阻型热电容型。
本文对前四种红外探测器的工作原理进行了详细阐述，并且对每种红外焦平面探测器的关键技术例如读出电路IC技术进行了详细探究，总结了不同类型探测器的优缺点。
关键词：红外探测技术；非制冷红外焦平面探测器；读出电路；敏感元件第一章绪论1.1研究背景及课题意义随着科学技术的飞速发展以及信息社会的到来，各行各业甚至人类日常生活对信息的获取需求与日俱增。
与制冷红外成像系统相比，非制冷红外成像系统可在室温工作，省掉了昂贵且笨重的制冷设备，从而大大减小了系统的体积、成本和功耗；此外还可提供更宽的地频谱响应和更长的工作时间。
国外机构已经为军事用户提供了大量成本低、可靠性更高的高灵敏非制冷红外成像仪。
同众多高新技术一样，红外技术也是由于军事的强烈需求牵引而得以迅速发展的。
红外成像系统可装备各类战术和战略武器，常用于红外预警、侦查、跟踪、导航、夜视、大地测绘和精确制导，是电子战、信息战中获取信息的主要技术之一。
与其他探测方式不同的是，红外探测属于被动探测系统，探测系统并不主动向目标发射探测信号，相反只是通过接受目标红外辐射来完成识别任务。
非制冷探测器
1 概非制冷探测器技术发展.doc况自上世纪90年代，非制冷凝视型红外热像仪迅速进入应用市场。
这种热像仪与制冷型凝视红外热像仪相比，虽然在温度分辨率等灵敏度方面还有很大差距，但具有一些突出的优点：不需制冷，成本低、功耗小、重量轻、小型化、启动快、使用方便、灵活、消费比高。
至今，非制冷红外焦平面阵列(FPA)技术已由小规模发展到中、大规模320×320和640×480阵列，在未来的几年内有望获得超大规模的1024×1024非制冷焦平面阵列（F PA）。
像素尺寸也由50μm减小到25μm，使焦平面灵敏度进一步提高。
这种非制冷红外成像系统在军用和民用领域应用越来越广泛，部分型号产品已装备部队，尤其在轻武器（枪械）瞄准具、驾驶员视力增强器、单兵头盔式观瞄、手持式（便携）热像仪等轻武器，以及部分导弹的红外成像末制导等方面，非致冷热像仪在近年内有望部分取代价格高、可靠性差、体积大而又笨重的制冷型热成像系统。
2 现状1978年美国Texas Instruments在世界上首次研制成功第一个非制冷红外热像仪系统，主要红外材料为α-Si（非晶硅）与BST(钛酸锶钡)。
1983年美国Honeywell开始研制室温下的热探测器，使用了硅微型机械加工技术，使热隔离性提高，成本降低。
1990-1994年美国很多公司从Honeywell获技术转让，使以VOx（氧化钒）为探测材料的非制冷探测器得到了迅速广泛发展。
VOx材料具有较高的热电阻系数，目前世界上性能最好的非制冷探测器就是采用VOx材料制备的，主要采用8~14μm波段3 20×240和160×120元的非制冷FPA器件，其结构按部件功能模块化（诸如，光学模块、FPA组件模块、信号读出处理电路模块和显示模块）。
目前市场上有热像仪整机产品，也有各种功能模块单独出售，供用户选用。
3 国外主要几家公司研制生产状况目前，国际上美国、法国、英国和日本的非制冷红外探测器研制生产水平居世界领先水平。
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非制冷红外焦平面探测器分类
非制冷红外
焦平面探测器
热释电型: 硫酸三甘肽、钽酸锂等 热电堆型: N型和P型的多晶硅
二极管型: 单晶或多晶PN结
热电容型: 双材料薄膜 热敏电阻型: 氧化钒 非晶硅等
2.2 非制冷红外探测器的关键技术
红外光窗
吸气剂
非制冷器件 TEC 读出电路 真空封装管壳
氧化钒VOx的TCR一般为2%~3%，特殊方法制备的单晶 态VO2和V2O5可达4%。 VOx 具有电阻温度系数大，噪 声小的特点，被广泛用作非制冷式红外焦平面传感器的 热敏材料。全球的非制冷红外热像仪市场中，使用VOx 非制冷红外探测器的占80%以上。 氧化钒VOx的制备方法：溅射法、溶胶-凝胶法、脉冲激 光沉积法、蒸发法。
材料制备技术
MEMS加工技术
读出电路IC技术 低成本真空封装技术
热释电型
红外辐射使材料温度改变，引起材料的自发极化强度变化， 在垂直于自发极化方向的两个晶面出现感应电荷。通过测量
感应电荷量或电压的大小来探测辐射的强弱。热释电红外探
测器与其他探测器不同，它只有在温度升降的过程中才有信 号输出，所以利用热释电探测器时红外辐射必须经过调制。 探测材料：硫酸三甘肽、钽 酸锂、钽铌酸钾、钛（铁电） 酸铅、钛酸锶铅、钽钪酸铅、 钛酸钡
热电堆
由逸出功不同的两种导体材料所组成的闭合回路，当两接触
点处的温度不同时，由于温度梯度使得材料内部的载流子向
温度低的一端移动，在温度低的一端形成电荷积累，回路中 就会产生热电势。（塞贝克效应Seebeck） 而这种结构称之为热电偶。 一系列的热电偶串联称为热
电堆。因而，可以通过测量
热电堆两端的电压变化，探 测红外辐射的强弱。
非晶硅 非晶硅 氧化钒 氧化钒 氧化钒 氧化钒
L-3（美国） Raytheon（美国） DRS（美国） SCD（以色列）
厂商 高德
主要产品 336×256 640×512 384×288 640×512 384×288 640×512 384×288 640×512
应用材料 氧化钒 非晶硅 Type2短波 非晶硅 氧化钒
像元尺寸不断的减小
阵列规模持续增加
晶圆级封装及低成本封装工程化应用 包含数字化、非均匀性矫正的片上耗 低成本
非制冷红外技术及应用
1. 红外热成像技术简介 2. 非制冷红外技术概述 3. 非制冷红外探测器应用 4. 国内外厂商主要产品 5. 非制冷红外技术机遇与挑战
一、红外热成像技术简介
自然界所有温度在绝对零度（-273℃）以上的物体都会发出红外辐射， 红外图像传感器则将探测到的红外辐射转变为人眼可见的图像信息。 红外成像技术涵盖了红外光学、材料科学、电子学、机械工程技术、集 成电路技术、图像处理算法等诸多技术，红外成像装置的核心为红外焦 平面探测器。
主要技术指标 NETD:50mk 响应时间：10ms NETD:60mk 响应时间：5ms NETD:60mk 响应时间：15ms NETD:50mk 响应时间：12ms
大立 广微积电
睿创
氧化钒
五、非制冷探测器技术机遇与挑战
高性能的非制冷红外探测器的实现，关键在于探测器结构的
设计以及读出电路的设计。低成本的关键因素取决于探测器 结构的加工方式，以及探测器的封装方式。
不与其他介质发生热交换，需要把探测器芯片封装在真空中，
并保证良好的气密性。 封装体的具体要求是：优异且可靠的密闭性；具有高透过率 的红外窗口；高成品率；低成本。 目前的封装技术可分为芯片级、晶圆级、像元级等，其中芯 片级封装技术按照封装外壳的不同又可分为金属管壳封装和 陶瓷管壳封装。
金属管壳封装是最早开始采用的封装技术， 技术已非常成熟，由于采用了金属管壳、 TEC 和吸气剂等成本较高的部件，导致金 属管壳封装的成本一直居高不下，使其在 低成本器件上的应用受到限制。 陶瓷管壳封装是近年来逐渐普及的红外探 测器封装技术，可显著减小封装后探测器 的体积和重量，且从原材料成本和制造成 本上都比传统的金属管壳封装大为降低， 适合大批量电子元器件的生产。
响应率RI Rv
噪声等效功率NEP
探测率D*
非均匀性UN
噪声等效温差NETD 最小可分辨温差MRTD
三、非制冷红外探测器应用
消防应用 驾驶员视觉辅助系统 边海防、城市安防、港口监视系统 车载、舰载、机载光电舱 武器热瞄具 医疗诊断 电力检测 工业过程控制 ……
读出电路IC技术
ROIC对微弱的红外辐射信号产生的电信号进行提取、积 分、放大、模数转换。甚至完成片上非均匀性矫正、片 上数模转换功能。 ROIC是模混合电路系统 模拟部分：单元偏置电路、积 分电路、采样/保持电路等。 数字部分：中央时序控制、行 选控制、列选控制等。
低成本真空封装技术
为了保证探测器光敏元在接收微弱的辐射后，其接收到热能
二、非制冷红外技术概述
非制冷红外技术原理及分类
非制冷红外探测器关键技术
探测器的技术指标
非制冷红外技术应用
2.1 非制冷红外技术原理 非制冷红外探测器利用红外辐射的热效应，由
红外吸收材料将红外辐射能转换成热能，引起敏
感元件温度上升。敏感元件的某个物理参数随之 发生变化，再通过所设计的某种转换机制转换为 电信号或可见光信号，以实现对物体的探测。
二极管型
利用半导体PN结具有良好的温度特性。与其他类型的非制 冷红外探测器不同，这种红外探测器的温度探测单元为单 晶或多晶PN结，与CMOS工艺完全兼容，易于单片集成，
非常适合大批量生产。
热敏电阻型（微测辐射热计）
利用热敏电阻的阻值随温度变化来探测辐射的强弱。一般
探测器采用悬臂梁结构，光敏元吸收红外热辐射，由读出 电路测量热敏材料电阻变化而引起的电流变化，通过读出 电路对电信号采集分析并读出。探测器一般采用真空封装 以保证绝热性好。 探测材料：氧化 钒、非晶硅、钛、 钇钡铜氧等
应用案例介绍
1. 穿透烟雾、克服雨雾能力强
当火灾发生后，尤其是森林火灾的情况下，火焰产生的烟
雾很大，往往遮盖了真正的着火点，以及火灾的蔓延趋势。 红外热像仪有很强的穿透烟雾的能力，可有效地发现真正
的着火点，以及火灾的蔓延趋势，因此，可用于指挥救火，
尽量减少经济、人员的损失。
2. 森林景区监测
通过红外热像仪对景区文物、建筑及整体环境的防火监
制造与微测辐射热计晶圆相对应的另一片硅窗晶圆，硅窗晶 圆通常采用单晶硅材料以获得更好的红外透射率，并在硅窗 口两面都镀有防反增透膜。微测辐射热计晶圆与硅窗晶圆通 过精密对位，红外探测器芯片与硅窗一一对准，在真空腔 体内通过焊料环焊接在一起，最后再裂片成为一个个真空密 闭的晶圆级红外探测器。
2.3 探测器的技术指标
测，包括对景区内游客、工作人员抽烟或其他点火行为 的监控。
3.现场救援 在浓烟雾的火灾现场，利用红外热像仪快速搜救被困人
员和动物。
四、国内外厂商主要产品
厂商 FLIR（美国） BAE(英国) ULIS（法国） 160×120 384×288 640×512 320×240 640×480 320×240 640×480 320×240 640×480 160×120 384×288 主要产品 336×256 640×512 应用材料 氧化钒 氧化钒 主要技术指标 NETD:40mk 响应时间：10~15ms NETD:50mk 响应时间：12ms NETD:50~80mk 响应时间：＜10ms NETD:35mk 响应时间：10ms NETD:＜50mK NETD:23mK~100mK NETD：＜50mK