薄膜材料与制备工艺
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
2 3cos cos3 * 为均匀形核时的形核功；θ为浸润角。由此 ] 。式中， G均 4 可以判断：当薄膜能够充分浸润衬底时，薄膜的形核功为 0。 （10 分）
*Βιβλιοθήκη BaiduG* G均 [
7、 简单描述几种成膜因素对薄膜生长模式等方面的影响，如衬底温度，入射粒子动能、通 量，薄膜对衬底的浸润情况等。 （可以用图示） （15 分） 8、 自行查找资料，简单描述薄膜原位测量手段反射高能电子衍射（RHEED）的原理及其如 何判断薄膜生长模式的？（15 分） 9、 自行查找资料，简述一种当前流行的薄膜生长技术的原理及特点。 （10 分）
d d 。其中， 一般均小于 0，因此表 dT dT
K BT （KB 玻尔兹曼常数；T 为绝对温度； v 为凝聚体原子或分子 S。 v （10 的体积；p’为过饱和蒸气压；p 为饱和蒸气压；过饱和度 S 定义为： S ( p ' p) / p ）
分） 6、 当 有 衬 底 存 在 时 ， 气 体 的 形 核 就 称 作 非 均 匀 形 核 ， 证 明 ： 形 核 功
《薄膜材料与制备工艺》——2009 级功能材料
1、 真空度对成膜质量是如何影响的？（10 分） 2、 表面能与薄膜生长模式的关系是怎样的？从微观上看， 浸润现象与哪些因素相关， Young 方程可以如何改写？并由此说明，若 A 能够浸润 B，并不能够由此得到 B 也能够浸润 A 的结论。 （10 分） 3、 证明表面能σ与表面张力γ之间满足： T 面能一般都是大于表面张力的。 （10 分） 4、 当衬底与薄膜之间存在失配时，失配应力对薄膜生长有何影响？应力与薄膜的哪种基本 生长模式相关？（10 分） 5、 证明：均匀形核或自由形核时，若令 GV 为单位体积的凝聚体在凝聚过程中的相变（从 气相→凝聚；相）自由能之差，那么 GV 可以简化为 GV K BT p ' ln ；且当过饱和度不高时，上式 v p
*Βιβλιοθήκη BaiduG* G均 [
7、 简单描述几种成膜因素对薄膜生长模式等方面的影响，如衬底温度，入射粒子动能、通 量，薄膜对衬底的浸润情况等。 （可以用图示） （15 分） 8、 自行查找资料，简单描述薄膜原位测量手段反射高能电子衍射（RHEED）的原理及其如 何判断薄膜生长模式的？（15 分） 9、 自行查找资料，简述一种当前流行的薄膜生长技术的原理及特点。 （10 分）
d d 。其中， 一般均小于 0，因此表 dT dT
K BT （KB 玻尔兹曼常数；T 为绝对温度； v 为凝聚体原子或分子 S。 v （10 的体积；p’为过饱和蒸气压；p 为饱和蒸气压；过饱和度 S 定义为： S ( p ' p) / p ）
分） 6、 当 有 衬 底 存 在 时 ， 气 体 的 形 核 就 称 作 非 均 匀 形 核 ， 证 明 ： 形 核 功
《薄膜材料与制备工艺》——2009 级功能材料
1、 真空度对成膜质量是如何影响的？（10 分） 2、 表面能与薄膜生长模式的关系是怎样的？从微观上看， 浸润现象与哪些因素相关， Young 方程可以如何改写？并由此说明，若 A 能够浸润 B，并不能够由此得到 B 也能够浸润 A 的结论。 （10 分） 3、 证明表面能σ与表面张力γ之间满足： T 面能一般都是大于表面张力的。 （10 分） 4、 当衬底与薄膜之间存在失配时，失配应力对薄膜生长有何影响？应力与薄膜的哪种基本 生长模式相关？（10 分） 5、 证明：均匀形核或自由形核时，若令 GV 为单位体积的凝聚体在凝聚过程中的相变（从 气相→凝聚；相）自由能之差，那么 GV 可以简化为 GV K BT p ' ln ；且当过饱和度不高时，上式 v p