第二篇11电子探针显微分析知识讲解
第十一章电子探针显微分析
数为X光子数。 ❖ 最终得到以通道（能量）为横坐标、通道计数（强度）为纵坐标的X射线能量色散谱，并显示于显
像管荧光屏上。下图为的扫描形貌像及其能量色散谱。
波谱仪和能谱仪的比较
波谱仪和能谱仪的比较
二. 元素分析范围广
电子探针所分析的元素范围一般从硼(B)——铀(Ｕ)，因为电子探针成份分析是利用元素的特征X 射线，而氢和氦原子只有K 层电子，不能产生特征X 射线，所以无法进行电子探针成分分析。锂()和 铍()虽然能产生X 射线，但产生的特征X 射线波长太长，通常无法进行检测，少数电子探针用大面间 距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测元素。能谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同，分析元素范 围从硼(B)——铀(Ｕ)。
❖ 加在()上的偏压将电子-空穴对收集起来，每入射一个X光子，探测器输出—个微小的电荷脉冲，其 高度正比于入射的X光子能量E。
能谱仪的工作原理
❖ 电荷脉冲经前置放大器，信号处理单元和模数转换器处理后以时钟脉冲形式进入多道分析器。 ❖ 多道分析器有一个由许多存储单元（称为通道）组成的存储器。与X光子能量成正比的时钟脉冲数
❖ 目前扫描电镜与电子探针仪可同时配用能谱仪和波谱仪，构成扫描电镜-波谱仪-能谱仪系统，使两种谱仪 优势互补，是非常有效的材料研究工具。
三、 试样室
❖ 用于安装、交换和移动试样。试样可以沿X、Y、Z轴方向移动，有的试样台可以倾斜、旋转。现在 试样台已用光编码定位，准确度优于1μm，对表面不平的大试样进行元素面分析时，Z轴方向可以 自动聚焦。
❖ 电子探针X射线显微分析（简称电子探针显微分析）（ ，简称）是一种显微分析和成分分析相结合 的微区分析，它特别适用于分析试样中微小区域的化学成分，因而是研究材料组织结构和元素分布状 态的极为有用的分析方法。
电子探针显微分析
电子探针显微分析电子探针显微分析（Electron Probe Microanalysis，简称EPMA）是一种用于材料分析的先进技术。
它结合了扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscopy，简称SEM）和能谱仪，能够提供高分辨率的成分分析和元素分布图像。
电子探针显微分析的原理是利用电子束和样品之间的相互作用。
首先，电子束通过集束系统聚焦到样品表面，与样品发生相互作用。
这些相互作用包括：在样品表面产生的次级电子、背散射电子和散射电子。
次级电子是从样品表面弹出的电子，背散射电子是从样品内部产生的电子，散射电子是从相互作用点散射出的电子。
次级电子和背散射电子是电子显微镜的常规成像信号，这部分信号可以用来获得样品的表面形貌和显微结构。
而散射电子则包含了样品的化学信息，通过能谱仪可以对这些散射电子进行能谱分析，获得样品的元素组成。
电子探针显微分析既可以定性分析材料中的元素，也可以定量分析元素的含量。
电子探针显微分析在材料科学、地质学、环境科学等领域广泛应用。
它可以对金属、陶瓷、半导体、岩石等各种材料进行分析。
在材料科学研究中，电子探针显微分析可以用于分析材料中的微观缺陷、晶体结构和化学成分。
在地质学研究中，它可以用于分析岩石样品中的矿物成分和地球化学元素分布。
在环境科学研究中，它可以对大气颗粒物、水体中的溶解物等进行化学成分分析。
除了成分分析，电子探针显微分析还可以进行元素的显微分布分析。
通过调整电子束的扫描区域和扫描速度，可以获得样品中元素的分布图像。
这些图像可以用来研究材料的相分离、溶质迁移和化学反应等过程。
总之，电子探针显微分析是一种强大的材料分析工具。
它提供了高分辨率、高灵敏度的成分分析和元素分布图像，对于研究材料的结构和性质具有重要意义。
未来，随着技术的不断进步，电子探针显微分析将在更多领域展示其潜力和应用价值。
电子探针显微分析
数据记录
记录每个扫描点的特征X 射线能量和强度，以及对 应的位置信息。
结果分析
根据扫描区域内各点的数 据，绘制元素或化合物的 分布图，并分析其空间分 布规律和变化趋势。
06
电子探针显微分析的数据处理与结果解释
数据处理的基本步骤
数据预处理
包括背景扣除、死时间校正、能量漂移校正等步 骤，以确保数据的准确性和可靠性。
烘干处理
将镀膜后的样品放入烘箱中，在适当的温度和时间下进行烘干，以 去除样品表面的水分和有机污染物，确保分析的准确性。
05
电子探针显微分析的实验方法
定点分析
01 选定分析点 在电子显微镜下选定感兴趣的区域或特定相，确定分 析点。
02 电子束聚焦 将电子束聚焦到分析点上，确保分析的准确性。
03 X射线激发 用高能电子束激发样品，产生特征X射线。
04
X射线检测
通过能量色散谱仪（EDS）检测特征X射线的能量和强 度。
05
定量分析
根据特征X射线的能量和强度，结合标准样品的数据 进行定量分析。
线扫描分析
X射线激发与检测
在扫描过程中，不断激发样品并 检测特征X射线。
电子束扫描
将电子束沿选定的扫描线进行连 续扫描。
数据记录
记录每个扫描点的特征X射线能 量和强度。
精准度高
相比其他分析方法，电子探针显微分析具有更高的精准度和灵敏度，能够检测 到ppm级别的元素含量，满足现代科学研究对高精度分析的需求。
电子探针显微分析的应用领域
01 02
材料科学
在材料科学领域，电子探针显微分析可用于研究合金、陶瓷、高分子等 材料的元素分布、相组成和微观结构，为材料性能优化和新材料开发提 供指导。
【材料课堂】一文了解电子探针显微分析的原理及应用
【材料课堂】一文了解电子探针显微分析的原理及应用一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。
今天就跟大家一起聊一聊电子探针显微分析的原理和特点。
电子探针的功能主要是进行微区成分分析。
它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。
原理用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。
分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。
分析x射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。
电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是x射线谱仪，专门用来检测x射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。
因此，除专门的电子探针仪外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜简上，以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。
电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜并无本质上的差别，因此要使一台仪器兼有形貌分析和成分分析两个方面的功能，往往把扫描电子显微镜和电子探针组合在一起。
电子探针的信号检测系统是x射线谱仪，用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪(WDS)或波谱仪。
用来测定x射线特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪(EDS)或能谱仪。
一、波长分散谱仪（波谱仪，WDS）1、工作原理在电子探针中x 射线是由样品表面以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积内激发出来的，如果这个体积中含有多种元素，则可以激发出各个相应元素的特征波长x射线。
特征x射线的波长(或频率)，并不随入射电子的能量(加速电压)不同而不同，而是由构成物质的元素种类(原子序数)所决定的。
在各种特征x射线中，K系列是主要的，虽然K系列的x射线有好多条，但其强度最高的只有三条。
若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体，入射x射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时，这个特征波长的x射线就会发生强烈衍射。
电子探针显微分析
电子探针显微分析
电子探针的应用范围越来越广，特别是 材料显微结构－工艺－性能关系的研究，电 子探针起了重要作用。电子探针显微分析有 以下几个特点：
1. 微区成分分析
2. 元素分析范围广 3. 定量分析准确度高 4. 不损坏试样、分析速度快
电子探针分析的基本原理
1、定性分析的基本原理 ２、定量分析的基本原理
2. 线分析 电子束沿一条分析线进行扫描 (或试样扫描)时，能获得元素含量 变化的线分布曲线。如果和试样形 貌像(二次电子像或背散射电子像) 对照分析,能直观地获得元素在不同 相或区域内的分布。
电子探针显微分析
下图给出BaF2晶界线扫描分析的例子，图(a)为BaF2晶界的 形貌像和线扫描分析的位置，图(b)为O和Ba元素沿图(a)直 线位置上的分布，可见在晶界上有O的偏聚。
方向转过 2 θ角，从而使探测器窗口随时指向分光晶体中 心。 在谱仪中上述三者必须满足的几何关系是：
罗兰圆几何
L R
示意图
S：样品 C：分光晶体
D：探测器
R：罗兰圆半径 L：S至C距离
据图中几何关系，可解：
L=2Rsinθ 代入布拉格公式(nλ=2d sinθ)： 则：L=n Rλ/ d 由于n、R、d均为常数，所以当改变L值时，也就 改变了分光晶体的衍射角度，即改变了波长λ。
定量分析的基本原理
电子探针显微分析
试样中A元素的相对含量CA与该元素产生的特 征X射线的强度IA (X射线计数)成正比:CA∝IA，如 果在相同的电子探针分析条件下，同时测量试样和 已知成份的标样中A 元素的同名X 射线(如Kα 线) 强度，经过修正计算，就可以得出试样中A元素的 相对百分含量CA:
(二)放大：
通过场效应晶体管前置放大器的电脉冲信号再通过 主放大器进一步放大，然后将不同高度的电脉冲信号送 入“多道脉冲分析器”。 (三)显示： 1.在终端显示器上可以显示各元素有关谱线(K，L， M系)的位置及各谱线累积计数的过程。根据峰的位置可 直接定性(每个元素的每个线系均有固定位置)；峰的强 度为定量依据。 2.计数机根据“多道脉冲分析器”中的各元素的脉 冲计数，计算出样品中各元素的Wt%，由计算机打印， 同时显示器显示。
扫描电子显微分析与电子探针演示文稿
扫描电子显微分析与电子探针演示文稿一、介绍电子显微分析技术是通过对物质进行扫描和分析，利用扫描电子显微镜和电子探针来获取材料的化学成分、晶体结构和显微结构等信息。
本文将介绍扫描电子显微分析和电子探针的原理、应用和相关技术。
二、扫描电子显微分析原理1.高能电子入射2.电子-物质相互作用当高能电子束与样品表面相互作用时，会产生多种次级电子、散射电子和反冲电子等。
通过检测和分析这些次级电子，可以推断出材料的表面形态、原子分布等信息。
3.映射制图三、电子探针电子探针是在扫描电子显微镜上配备的一个仪器，用于对样品进行微区分析，可以获得样品的化学成分、晶体结构和显微结构等信息。
1.材料组成分析电子探针可以通过扫描样品表面并测量X射线谱来确定样品的化学成分。
当高能电子束与样品相互作用时，会产生特定能量的X射线，通过测量和分析这些X射线的能量和强度，可以准确地确定样品中元素的类型和含量。
2.显微区结构分析电子探针还具有高空间分辨率，可以在显微区域内对样品的晶体结构进行分析。
利用电子束的扫描和集线系统结构，研究者可以选择一个很小的区域进行分析，从而得到显微区的晶体结构信息。
四、应用领域1.材料科学在材料科学中，扫描电子显微分析和电子探针技术可用于分析和表征各种材料的组成、晶体结构和显微结构，如金属材料、陶瓷材料、复合材料等。
这些信息有助于研究者了解材料的性能和性质。
2.地质学3.生物学五、技术发展1.分辨率的提高新一代的扫描电子显微镜和电子探针仪器分辨率更高，可实现更高精度的成分分析和显微观察。
例如，现在的仪器可以实现亚纳米级别的空间分辨率。
2.信号检测和处理技术的改进通过改进信号检测和处理技术，使得扫描电子显微分析和电子探针技术对噪声和干扰信号的抑制能力更强，从而提高了数据的准确性和可靠性。
六、总结扫描电子显微分析和电子探针技术是现代材料科学研究中不可或缺的工具。
它们在分析样品的化学成分、晶体结构和显微结构等方面具有重要作用，广泛应用于材料科学、地质学和生物学等领域。
第2章 电子显微分析
透射电子显微镜的构造
透射电子显微镜的构造
观察照相室
电子图象反映在荧光屏上。荧光发光和电子束流成正比。 把荧光屏换成电子干板，即可照相。干板的感光能力与其波 长有关。
透射电子显微镜的构造
透射电子显微镜的主要性能指标
分辨率 分辨率是透射电镜的最主要的性能指标，它表征了电镜显 示亚显微组织、结构细节的能力。透射电镜的分辨率以两种 指标表示：一种是点分辨率，它表示电镜所能分辨的二个点 之间的最小距离，另一种是线分辨率，它表示电镜所能分辨 的二条线之间的最小距离。目前超高分辨率透射电镜的点分 辨率为0.23～0.25nm，线分辨率为0.104～0.14nm。
各自物理信号产生的浓度和广度范围
各自物理信号产生的浓度和广度范围
俄歇电子便在表面1 nm层内产生，适用于表面分析。
二次电子在表面10nrn层内产生，在这么浅的深度内电 子还没有经过多少次散射，基本上还是按人射方向前进，因 此二次电子发射的广度与入射电子束的直径相差无几。在扫 描电镜成象的各种信号中，二次电子象具有最高的分辨率。
电磁透镜
一束平行于磁透镜主轴 的入射电子束在磁场作用下 已螺旋方式不断靠近轴而向 前运动，当其离开磁场范围 时，电子旋转速度减为零， 而作直线运动而与轴相交， 该交点为透镜的焦点。因此 有对称轴的磁场对运动的电 子有会聚作用，可以成象， 这与几何光学中的情况类似。
电磁透镜的特点
1. L1，L2，M 间关系
电磁透镜的景深大： Df=200-2000nm， 对加速
电子探针显微分析 (2)
• 由于构造上的限制，L不能太长。一般在10～30cm范 围。
• 在聚焦圆R=20cm的情况下，那么 约在150～650之 间变化。可见一个分光晶体能够覆盖的波长范围是有限 的，也只能测定某一原子序数范围的元素。
电子探针显微分析 (2)
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5.2 电子探针显微分析
电子探针〔Electron Probe Microanalysis-EPMA〕的主 要功能是进展微区成分分析。它是在电子光学和X射线光 谱学原理的根底上开展起来的一种高效率分析仪器。 其原理是：用细聚焦电子束入射样品外表，激发出样品元 素的特征X射线，分析特征X射线的波长〔或能量〕可知 元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 其镜筒局部构造和SEM一样，检测局部使用X射线谱仪， 用来检测X射线的特征波长〔波谱仪〕和特征能量〔能谱 仪〕，以此对微区进展化学成分分析。
• BaF2晶界的线扫描分析 • (a)形貌像及扫描线位置；(b)O及Ba元素在扫描线位置上的分布
• 以下图给出ZnO-Bi2O3陶瓷试样烧结自然外表的面分布 分析结果，可以看出Bi在晶界上有严重偏聚。
• ZnO-Bi2O3陶瓷烧结外表的面分布成分分析 • (a)形貌像；(b)Bi元素的X射线面分布像
• 要测定Z = 4-92范围的元素，那么必须使用几块晶面间 距不同的晶体，因此，一个谱仪中经常装有2块分光晶 体可以互换，一台电子探针仪上往往装有2～6个谱仪， 几个谱仪一起工作可以同时测定几个元素。
现代材料分析方法——电子探针X射线显微分析
对于测定元素在材料相界和晶界上的富 集与贫化是十分有效的。
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线扫描分析
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（3）面扫描分析
电子束在试样表面进行面扫描，谱仪只 检测某一元素的特征x射线位置，得到由许多 亮点组成的图像。亮点为元素的所在处，根 据亮点的疏密程度可确定元素在试样表面的 分布情况。
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面扫描分析
亮区代表元素含量高，灰区代表元素含量较低， 黑色区域代表元素含量很低或不存在。
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基本工作方式：
（1）定点元素全分析（定性或定量）：电子 束固定在分析的某一点（微区），改变晶体的 衍射角，记录该点不同元素的x射线λ和I。根 据谱线强度峰的位置波长确定微区含有元素； 根据元素某一谱线的强度确定元素的含量。
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（2）线扫描分析：
聚焦电子束在试样沿一直线慢扫描，同时 检测某一指定特征x射线的瞬时I，得到特征x射 线I沿试样扫描线的分布。（元素的浓度分布）
④分析元素范围宽。4Be－92U； ⑤样品表面要求平整、光滑。
12
二、能量色散谱仪（EDS）
利用固态检测器（锂漂移硅）测量每个 x射线光子的能量，并按E大小展谱，得到以 能量为横坐标、强度为纵坐标的x射线能量 色散谱，显示于荧光屏上。
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工作原理
锂漂移硅检测器，习惯记Si(Li)探测器。
x射线光子进入Si晶体内，产生电子–空穴 对，在100K左右温度时，每产生一个电子–空 穴对消耗的平均能量为3.8eV。能量为E的x射 线光子所激发的电子–空穴对数N为：
2
7.1 电子探针仪的构造及工作原理
定性分析原理：
具有足够能量的细电子束轰击试样表 面，激发特征x射线，其波长为：
1 K(Z ) λ与样品材料的Z有关，测出λ ，即可 确定相应元素的Z。
电子探针显微分析 (2)
13
利用不同元素X射线光子特征能量不同特点进行成
2. 能谱仪结构和工作原理
利锂用漂不移同硅元能素谱X射仪线S光i子(L特i)征框能图量不同特点进行成分分析
工作过程
加在Si ( Li ) 晶体两端偏压 来收集电子空穴对
→ （前置放大器）转换 成电流脉冲
→ （主放大器）转换成 电压脉冲
→ （后进入）多通脉冲 高度分析器，按高度把脉 冲分类，并计数，从1而4 描 绘I －E图谱。
• ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布成分分析 (a)形貌像；(b)Bi元素的X射线面分布像
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感谢下 载
• 此时，如果晶体的位置固定，整个分光晶体只收集一种 波长的X射线，从而使这种单色X射线的衍射强度大大提 高。
• Johansson型聚焦法：衍射晶面表面的曲率半径为R，即 晶体表面磨制成和聚焦圆相合。全聚焦法
显然，只要改变晶体在聚焦圆的位置，即可改变入射角，
从而可探测不同波长的X线。
9
谱仪：
（2）波谱仪的形式
X射线能谱图
横坐标 能量 纵坐标 强度计数
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3. 能谱仪和波谱仪的比较
具有以下优点（与波谱仪相比） 1) 能谱仪探测X射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高约一个数量级。 2) 在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结 果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 3) 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动） 4) 不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。
18
19
5.2.3 电子探针的分析方法 和应用
电子探针X射线波谱仪及能谱分析有三种基本的工作方法：
一是定点分析，即对样品表面选定微区作定点的全谱扫描 ，进行定性或半定量分析，并对其所含元素的质量分数 进行定量分析；
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电子探针显微分析
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材料现代测试方法
电子探针显微分析
第二篇11电子探针显微分析
材料现代测试方法
❖ 电子探针的基本原理
电子探针显微分析
用聚焦电子束轰击试样表面的待测微区，使该区 原子的内层电子跃迁，释放出特征X射线。
用波谱仪或能谱仪对这些特征X射线进行展谱分析， 得到反映特征X射线波长（或能量）与强度关系的X 射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进行元 素的定性分析。根据特征X射线的强度进行元素的 定量分析。
sinq L (1)
2R
将（1）式代入布拉格方程
l2dsiqn (2)
可得： l Ld
R
(3)
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电子探针显微分析
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材料现代测试方法
电子探针显微分析
分光晶体直线运动时，假如检测器在某一位置接 收到衍射束，即表明试样被激发的体积内存在相应 的元素。衍射束的强度和元素含量成正比。
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材料现代测试方法
电子探针显微分析
11.2 X射线波长分散谱仪
❖ 波谱仪的基本概念
X射线波长色散谱仪实际上是X射线分光光度计。 其作用是把试样在电子束的轰击下产生的特征X射 线按波长不同分开，并测定和记录各种特征X射线 的波长和强度。根据特征X射线的波长和强度即可 对试样的元素组成进行分析。
由聚焦电子束激发产生的特征X 射线照射到分光晶体上，波长符合 布拉格方程的X射线将产生衍射进 入探测器而被接收。转动分光晶体 ，改变θ角，可以将不同波长的特 征X射线分开，同时改变探测器的 位置和方向，就可把不同波长的X 射线探测并记录下来。
聚焦电子束
分光晶体
θ1
θ1
试样
探测器
θ2 θ2
试样
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例如:
当聚焦圆的半径为140mm时，用LiF晶体为分光晶体， 以面网间距为0.2013nm的（200）晶面为衍射平面，在 L=134.7mm处，可探测到FeKα(λ=0.1937nm)的特征X射 线，在L=107.2mm处，可探测到CuKα（0.154nm）的特 征X射线。
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因为聚焦圆的半径R是已知的，根 据测出的L1便可求出θ1，再由布拉格 方程即可算出相对应的特征X射线波 长λ1。
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电子探针显微分析
直进式波谱仪
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从几何关系来看，分光晶 体与试样的距离L、聚焦圆 的半径R以及入射X射线与 分光晶体衍射平面的夹角θ 有以下关系：
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材料现代测试方法
❖ 回转式波谱仪工作原理
回转式波谱仪中，聚焦圆的圆 心O不移动，分光晶体和检测器 在聚焦圆的圆周上以1 : 2的角速 度运动，以保证满足布拉格方程 。
这种波谱仪结构比直进式波谱 仪结构更为简单，出射方向改变 很大，在表面不平度较大的情况 下，由于X射线在样品内行进路 线不同，往往会因吸收条件变化 而造成分析上的误差。
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材料现代测试方法
电子探针显微分析
❖ 电子探针的结构
电子探针的结构与扫描电 镜的结构非常相似。除了信 号检测处理系统不同外，其 余部分如电子光学系统、扫 描系统、图像显示记录系统 和真空系统、电源系统等几 乎完全相同。
扫描电镜配上能谱仪或波谱仪，就具备了电子探针仪的功 能，现在许多扫描电镜都配有能谱仪或波谱仪，或两种谱仪 都配有，这样，扫描电镜和电子探针就合二为一了。
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电子探针显微分析
合金钢波谱分析谱线图
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电子探针显微分析
直进式波谱仪的优点是X射线照射分光晶体的方向 是固定的，即出射角保持不变，这样可使X射线穿 出样品表面过程中所走的路线相同，即吸收条件相 等。
思考： 假如出射角发生变化，会导致什么结果？
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电子探针显微分析
根据波谱仪在测试过程中分光晶体运动轨迹的特 点，波谱仪有两种常见的布置形式，即直进式波谱 仪和回转式波谱仪。
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材料现代测试方法
❖ 直进式波谱仪工作原理
直进式波谱仪中，由聚焦电子束轰 击试样产生的X射线从S点发射出来 。分光晶体沿固定的直线SC1移动， 并进行相应的转动；探测器也按一 定的规律移动和转动。确保幅射源S 、分光晶体弯曲表面以及探测器始 终维持在半径为R的聚焦圆上。显然 ，圆心位置会不断变化。
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材料现代测试方法
电子探针显微分析
因为分光晶体的d值是已知的，根据分光晶体与入 射X射线的夹角θ就可求出特征X射线的波长λ。
l = 2d ·sinq
如果将分光晶体固定为某一角度，即可探ห้องสมุดไป่ตู้某种 波长的特征X射线。
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材料现代测试方法
虽然平面单晶体可以把各 种不同波长的X射线分光展 开，但就收集单波长X射线 的效率来看是非常低的。
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❖ 波谱仪的结构
X射线波长色 散谱仪主要由 分光晶体、X 射线探测器、 X射线计数和 记录系统等部 分组成。
电子探针显微分析
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电子探针显微分析
❖ 分光探测系统的基本结构和分光原理
波谱仪的分光探测系统由分光晶 体、X射线探测器和相应的机械传 动装置组成。
为了提高测试效率，必须 采取聚焦方式。如果把分光 晶体作适当弯曲，并使射线 源、弯曲晶体表面和检测器 窗口位于同一个圆周上，这 样就可以达到聚焦的目的。 这种圆称为罗兰(Rowland) 圆或聚焦圆。
波谱仪的全聚焦方式
此时，从电光源S发射出的呈发散状的符合布拉格条件 的同一波长的X射线，经晶体发射后聚焦于P点。这种聚 焦方式称为Johansson全聚焦，是目前波谱仪普遍采用的 聚焦方式。