微机械陀螺简述,微惯性技术
微传感器之微机械陀螺
• 硅微传感器从开发至今已有40年的历史， 但微机械结构的硅微传感器，还是20世纪 80年代中期以后，随着微机械加工技术的 成熟才迅速发展起来。
• 已经研制出了诸如压力、力、加速度、角 速度、流量、温度、磁场、湿度、成像、 气体成分、pH值、离子和分子浓度以及生 物酶等多种多样的硅微传感器。
微传感器的分类
• 此时，谐振子不仅在x方向保持频率ωm的 谐振动，而且在y方向产生一个同频率的振 动y（t），幅值与ωz的大小成比例，相位 与ωz的方向有关。若检测到y（t），便可 知ωz的大小和方向。
谐振陀螺的主要组成部分为：
• 谐振子敏感结构，它是陀螺的核心部分； • 驱动谐振子做等幅振动的控制电路； • 检测角运动的读出电路。
• 微机械陀螺的性能在很短的几十年内得到 了迅速的提高，目前正由速率级向战术级 精度迈进。
• 生产成本、性能和可靠性是微机械陀螺商 业化的关键因素。随着各方面技术的发展， 微传感器的实用化，必将对许多技术领域 中的测控系统变革产生深远的影响。
图6 硅微蝴蝶型体陀螺
图7 H型振动陀螺
• 德国IMT开发了一种 H型振动陀螺。这种 传感器是一种玻璃硅-玻璃夹层结构, 由4个检测质量和连 接悬梁构成一个双 音叉结构, 连接悬梁 与位于质心的鞍形 结构相连, 鞍形结构 由一根与基座相连 的扭转轴支撑。
• 韩国三星公司研 制出的表面微机 械z轴振动速率陀 螺是通过4个鱼钩 形的弹簧支撑一 个7微米厚的多晶 硅共振质量。
• 振子M悬挂在弹簧 和阻尼系统上，弹 簧和阻尼的另一端 固定在框架上，其 振动频率取决于弹 簧、质量及阻尼。 用激励器驱动谐振 子在x方向等幅谐 振，称为主振动， 振动频率为ωm 。
图2 谐振陀螺工作原理图
微机械陀螺仪概述和发展
微机械陀螺仪概述和发展目前陀螺仪在国内外依然处于比较热门的领域，各国都投入了大量财力物力。
国外已经开始致力于高精度的陀螺仪的研究，我国正处于追赶阶段。
MEMS 微机械陀螺在汽车导航、工业控制、、消费电子、移动应用、航空航天等领域得到了广泛的应用。
由于陀螺仪芯片体积小（1-10毫米），所以其研究难点重点在于结构设计、加工制造、封装和性能、成品率、成本等方面。
标签：陀螺仪；科氏效应；发展1 陀螺仪分类分析陀螺仪种类多，原理也不尽相同，通过对陀螺仪的分析，加强对各个种类陀螺仪的了解和认识，选取分类号为G01C19/56下的微机械陀螺进行分析，2006年版本IPC分类表中只有G01C19/56，随着振动陀螺仪的发展，单一的分类号已经不能满足陀螺仪分类的需求，在2012年IPC修订中增添G01C19/56下14个分类号以及G01C19/57下的12个分类号。
2 微机械陀螺概述当前，研究和开发微纳米级的微机电系统和专用微型仪表，包括传动件、智能材料、执行器以及微纳米传感器等已成为很多领域的热门课题。
随着微机械结构的出现和发展，航天航空微系统时代将伴随而来，微机械结构技术的发展，为未来宇航、飞行、导弹等高端航空航天飞行器的设计提供更精确的服务和很大的发挥空间。
2.1 微机械陀螺仪种类微机械陀螺仪属于一种振动式角速率传感器，用于测量旋转速度或旋转角或加速度，作为重要的惯性器件，具有质量轻、体积小、稳定性高、功耗低、精度高、性能优等诸多优点。
MEMS 陀螺分类方式有多种。
选取其中较为基础的几种进行介绍。
2.2 陀螺种类介绍（1）固体微陀螺。
2006 年，日本Hyogo大学在期刊上发表了了一种新型的压电振动固态微陀螺，该陀螺仪结构较简单，仅仅由一个带电极的锆钛酸铅（PZT）长方体构成。
它利用PZT的逆压电效应激振，以第29 阶纵向谐振模态作为参考线振动，利用压电效应检出角速率信号。
在2009 年，国内的上海交通大学[2-3]率先开展了对于该种新型固态陀螺的研究，陈文元申请的压电微固体模态陀螺采用带质量块的陀螺，在振动模态下，压电体上各点沿着轴向振动，轴向上相对两个棱边同为拉伸或压缩运动，相邻两个棱边的对应点运动方向相反，利用这种形式的振动作为压电微固体模态陀螺的工作振动模态，由于哥氏角速度效应，压电体上的压电电势发生变化，检测质量块上的压电体电压变化，即得出加速度。
MEMS陀螺仪技术原理_三轴陀螺仪技术原理
MEMS陀螺仪技术原理_三轴陀螺仪技术原理MEMS是什么呢？MEMS（Micro Electro Mechanical systems，微电子机械系统）是建立在微米/纳米技术基础上的前沿技术，其是一种可对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。
它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一整体单元的微型系统。
与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪相比，MEMS陀螺仪使用了不同的工作原理。
传统的陀螺仪是一个不停转动的物体，其转轴的指向不随承载它的支架旋转而变化。
要把这样一个不停转动的没有支撑的能旋转的物体用微机械技术在硅片衬底上加工出来，显然难上加难。
为此，MEMS陀螺仪在基于传统陀螺仪特性的基础上利用科里奥利力来实现了设备的小型化。
科里奥利力（Coriolis force）也就时常说的哥里奥利力、科氏力，它是对旋转体系中进行直线运动的质点由于惯性相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描述，其来自于物体运动所具有的惯性，由于地球自转运动而作用于地球上运动质点的偏向力就是这样的代表，地转偏向力有助于解释一些地理现象，如河道的一边往往比另一边冲刷得更厉害。
MEMS陀螺仪是科里奥利力的最常见应用，MEMS陀螺仪利用科里奥利力（旋转物体在径向运动时所受到的切向力），旋转中的陀螺仪可对各种形式的直线运动产生反映，通过记录陀螺仪部件受到的科里奥利力可以进行运动的测量与控制。
为了产生这种力，MEMS 陀螺仪通常安装有两个方向的可移动电容板，径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运动，横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化。
这样，MEMS陀螺仪内的陀螺物体在驱动下就会不停地来回做径向运动或震荡，从而模拟出科里奥利力不停地在横向来回变化的运动，并可在横向作与驱动力差90的微小震荡。
这种科里奥利力好比角速度，所以由电容的变化便可以计算出MEMS陀螺仪的角速度。
三轴角速度与旋转速率成正比以意法半导体的MEMS陀螺仪为例，其核心元件是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制运转（音叉机制的工作原理是通过安装在音叉基座上的一对压电晶体使音叉在一定共振频率下振动，当音叉开关的音叉与被测介质相接触时，音叉的频率和振幅将改变，音叉开关的这些变化由智能电路来进行检测，处理并将之转换为一个开关信号）。
微惯性技术第四章
3DMC系列三轴电动飞行模拟转台
3DMC系列三轴飞行模拟转 台是多功能的运动模拟设备。 具有模拟、速率和位臵工作 方式。
TAS系列三轴姿态模拟转台
ＸＪＴ系列线加速度模拟转台(可变加速度离心机)
TXT系列天线测试飞行仿真转台
TAS系列三轴姿态模拟转台
3、W881C自动分度头
W881C自动分度头一台高精度惯导测试设备，具有自动 定位功能，主要用于测试和标定±1g内的惯导及加速度 计静态特性。它由一台具有水平方向主轴的台体及电控柜 组成。 主要技术指标:
e. 零偏加速度灵敏度
陀螺仪零偏随加速度引起的变化量，以单位重力加速 度引起的零偏变化量表示，(º /s)/g。
二、微陀螺仪性能测试的主要参数
——2、与标度因数相关的性能参数
a.标度因数
陀螺仪输出量与输入角速率的比值，用某一特定直线的 斜率表示，该直线是根据整个角速率范围内测得的输入 输出数据，用最小二乘法拟合求得，mV/(º /s)。计算公 式如下：
a. b. c. d. e.
标度因数 标度因数非线性 标度因数对称性 标度因数重复性 标度因数温度灵敏度
二、微陀螺仪性能测试的主要参数
3、其它性能参数:
a. b. c. d. e. f. g. h. i. j.
输入轴 输入基准轴 输入失准角 交叉耦合系数 启动时间 阈值 分辨率 测量范围 带宽 输出噪声
二、微陀螺仪性能测试的主要参数
——2、与标度因数相关的性能参数
d. 标度因数重复性
在相同条件下及规定时间内，重复测量陀螺仪标度因数 之间的一致程度，以各次测量所得标度因数的标准偏差 与其平均值的比值来表示，单位ppm。计算公式如下：
MEMS微陀螺技术综述
速率陀螺
按工作模式
开环模式
速率积分陀螺
整角模式
*
部分检测方式的MEMS陀螺性能对比[20]
技术指标 电容式 压电式 压阻式 隧道效应式
阻抗
高
高
低
高
电负载影响 非常大
大
小
小
尺寸
大
小
中等
小
温度范围
非常宽
宽
中等
中等
线性度误差
高
中等
低
高
有无阻尼
有
无
有
有
灵敏度
高
中等
中等
高
电路复杂程度
高
中等
低
高
成本
高
高
低
中
交叉轴敏感度
电源
高精度万用表
辨率测试
螺
转台
等
检
测
控制主机
原
理
框
图
利用前述方法测得传感器输出波形或数据，取不同输 入 情 况 下 的 离 散 点 ， 获 取 批 量 数 据 ， 通 过 Matlab 、 OriginLab、Excel等数据处理软件进行数据的处理和曲线的 拟合，分析陀螺仪线性度，对原始数据进行滤波、变换等 处理，分析陀螺的时频域特性。与利用ANSYS、Matlab等 软件仿真所得数据进行对比分析。
=ω x
z
时，陀螺的检测灵敏度最高。
*
厚膜、深刻蚀、次数少
淀积
封装 测试 部分封装，多种测试
多次重复
光刻
刻蚀
装架
划片
去
除
牺
牲
层
，
释
测试
放 结
构
mems陀螺仪原理
mems陀螺仪原理
mems陀螺仪是一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的陀
螺仪，其原理是利用惯性力和Coriolis效应来测量物体的旋转
角度。
mems陀螺仪通常由一个微小的敏感元件和一个驱动元件组成。
敏感元件用于感知物体的旋转运动，而驱动元件则用于提供驱动力。
这两者共同工作，使得mems陀螺仪能够准确测量物体
的旋转角度。
敏感元件通常由微小的振动体构成，它们被放置在一个微小的腔体内。
当物体发生旋转时，惯性力作用在振动体上，导致其发生位移。
这个位移随着旋转角速度的增加而增加，从而可以用来测量旋转角度的大小。
同时，驱动元件可以通过施加振动力来保持敏感元件的振动。
这种振动力可以通过微小的电极施加，从而实现对振动体的控制。
通过控制驱动元件的振动频率和振动幅度，可以确保敏感元件在操作范围内保持稳定的振动状态。
在mems陀螺仪中，Coriolis效应起到了关键的作用。
当敏感
元件振动时，由于物体的旋转，振动体会感受到一个由Coriolis力引起的横向力，这个力与振动方向垂直。
通过测量
这个横向力的大小，可以确定物体的旋转角速度。
综上所述，mems陀螺仪通过利用惯性力和Coriolis效应，结
合微电子机械系统技术，实现对物体旋转角度的准确测量。
它
在航空航天、汽车导航、智能手持设备等应用领域有着广泛的应用。
MEMS陀螺仪概况介绍
MEMS陀螺仪概况介绍MEMS陀螺仪是一种运用微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技术制造的陀螺仪。
MEMS陀螺仪的发展与传统机械陀螺仪相比，具有体积小、重量轻、功耗低、精度高、成本低等优势，因此在无线通信、导航定位、智能手机、游戏机、航空航天等领域得到了广泛的应用。
从原理上来说，MEMS陀螺仪是利用陀螺效应进行测量的。
根据陀螺效应，当陀螺体受到力矩作用时，会产生旋转运动，并随着陀螺体的旋转方向发生改变。
MEMS陀螺仪利用微加工技术制造出微小的陀螺体结构，通过测量陀螺体旋转的角速度来反映外界的力矩。
MEMS陀螺仪的核心部件是微机电系统传感器芯片。
该芯片由陀螺体、补偿机构和信号处理器组成。
陀螺体采用微机电技术制造，通常由微小的旋转结构和驱动电极组成。
补偿机构可以校正陀螺仪在使用过程中的误差，如温度漂移、震动干扰等。
信号处理器对传感器采集到的信号进行放大、滤波和数字化处理，最终输出测量结果。
MEMS陀螺仪主要应用于姿态控制、导航定位和惯性测量等领域。
在无人机、无线通信基站和汽车电子中，MEMS陀螺仪可以感知设备的姿态变化，并通过控制其他执行器实现稳定的定位和姿态控制。
在导航定位系统中，MEMS陀螺仪结合其他传感器如加速度计和磁力计，可以提供高精度的导航定位信息。
在惯性测量领域，MEMS陀螺仪可以用于测量物体的转动角速度，如飞行器的姿态角速度、旋转仪的角速度等。
然而，MEMS陀螺仪也存在一些挑战与局限性。
首先，由于微加工技术的限制，MEMS陀螺仪的测量范围和分辨率相对较小。
其次，由于设备内部结构的微小化，MEMS陀螺仪对温度变化和震动的敏感度较高，容易产生误差。
此外，MEMS陀螺仪在长时间运行过程中，由于不可避免的温度漂移和机械疲劳等因素，测量精度也会逐渐下降。
为了克服这些局限性，研究人员提出了一系列改进措施。
例如，通过增加补偿机构和算法优化，可以有效降低温度漂移和震动干扰对MEMS陀螺仪测量精度的影响。
微机电陀螺仪原理
微机电陀螺仪原理微机电陀螺仪是一种基于微机电系统技术的传感器，用于测量和检测物体的角速度和角位移。
它利用了微机电系统中的微小机械结构和运动原理，具有高精度、高灵敏度、低功耗等特点。
微机电陀螺仪的工作原理是基于角动量守恒定律和回转稳定原理。
当物体发生旋转时，其角动量会发生变化，微机电陀螺仪通过测量这种变化来得到角速度和角位移的信息。
微机电陀螺仪的核心部件是一对微机电陀螺仪感应器。
这些感应器通常由一些微小的机械结构组成，如微型悬臂梁或微型挠性结构。
当物体发生旋转时，这些微小的机械结构会受到惯性力的作用，产生微小的变形。
微机电陀螺仪通过测量这种微小的变形来判断物体的旋转情况。
微机电陀螺仪通常采用差动运动的方式进行工作。
它包括两个相互垂直的感应器，分别用于测量物体绕两个垂直轴的旋转情况。
当物体绕其中一个轴旋转时，感应器之间会产生微小的差异，微机电陀螺仪通过测量这种差异来计算物体的角速度和角位移。
微机电陀螺仪通常还会配备一些辅助装置，如放大器、滤波器和数据处理器等。
放大器用于放大感应器输出的微小信号，滤波器用于滤除噪声和干扰信号，数据处理器用于对测量结果进行处理和分析。
这些辅助装置可以提高微机电陀螺仪的性能和稳定性。
微机电陀螺仪在许多领域都有广泛的应用。
在航空航天领域，微机电陀螺仪可以用于导航、姿态控制和飞行稳定等方面。
在汽车领域，微机电陀螺仪可以用于车辆稳定控制和动态平衡等方面。
在工业生产中，微机电陀螺仪可以用于机器人控制和精确定位等方面。
微机电陀螺仪是一种基于微机电系统技术的传感器，用于测量和检测物体的角速度和角位移。
它通过测量微小的机械结构变形来获取旋转信息，并通过差动运动方式进行工作。
微机电陀螺仪具有高精度、高灵敏度和低功耗等特点，广泛应用于航空航天、汽车和工业等领域。
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2020/11/14
微机械陀螺简述,微惯性技术
Contents
•微机械陀螺仪基本概念 •微机械陀螺仪基本原理 •微机械陀螺仪基本性能指标 •微机械陀螺仪发展概述
•微机械陀螺仪应用
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微机械陀螺简述,微惯性技术
1、 微机械陀螺仪基本概念
•基本概念及组成 •微机械陀螺特点 •微机械陀螺分类
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微机械陀螺简述,微惯性技术
5、微机械陀螺应用
• 微机械陀螺目前精度在10-2°/h左右，还将进一步 提高到10-3 °/h。随着先进的微电子技术的发展，预计微 机械陀螺的价格将会在一美元到几百美元之间。其低廉 的价格使其具有广阔的应用前景，有望在一些新的领域 中得到应用，如车载导航系统、天文望远镜、工业机器 人、计算机鼠标，甚至是玩具上。
•2、仍然面临挑战 • 在MEMS中还存在着大量具有挑战性的力、磁、 电等问题需要研究, 对这些问题的有效解决则将会 加快推动微机械陀螺仪技术的发展
▪ 北京大学、清华大学、复旦大学，中科院上海微系统所
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•国内微机械陀螺的特点与性能指标
单位 北大 清华 复旦 中科院 中北大学
结构特点
谐振式
角振动 双质量块 电容驱动 双质量块 电磁驱动 谐振式
检测机理 电容检测 电容检测 压阻检测 电容检测 电容检测
2、微机械陀螺基本原理
•振动式微机械陀螺基本原理 •柯氏加速度及柯氏力
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微机械陀螺简述,微惯性技术
2.1 振动式微机械陀螺基本原理
• 微机械陀螺的基本原理式利用柯氏力进行能量的传 递，将谐振器的一种振动模式激励到另一种振动模式， 后一种振动模式的振幅与输入角速度的大小成正比，通 过测量振幅实现对角速度的测量。
国内：有北京大学、清华大学、复旦大学、哈尔滨工业 大学、中科院上海微系统所、中北大学等，都对陀螺进行 了深入的研究，取得了一定的成果，但无商业化产品，处 于研究阶段。
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•美国Michigan大学
•日本Murata Mfg.Co •土耳其安卡拉中东科技大 学
•芬兰赫尔辛基工业大学
•上 面的 例子 与微 机械 陀螺 之间 的关 系？
2.2 柯氏效应与柯氏力
•y •ω
•x
•ac
•V
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3、微机械陀螺基本性能指标
•标度因数
•阈值
•非线性度
•性能指标
•测量范围
•分辨率
•随机漂移
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性能指标
•随机漂移――指由随机的或不确定的有害力矩引起的漂移率。
目前，微机械陀螺基本都是振动式的，因此本文将 着重对这类陀螺进行介绍。振动式微机械陀螺主要由支撑 框架、谐振质量块，以及激励和测量单元几个部分构成。
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1.2 微机械陀螺特点
MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成 和角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技 术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是
2.2 柯氏效应与柯氏力
• 柯氏效应即coriolis效应，最早用来表述由于地球 自转引起的物体运动方向发生偏折的自然现象，如大气 涡旋方向，河流两岸冲刷程度不一等。在微机械陀螺基 本原理中本质相同，但旋转体不再是地球而是陀螺仪本 身• 。 柯氏加速度是动参系的转动与动点相对动参系运 动相互耦合引起的加速度。柯氏加速度的方向垂直于角 速度矢量和相对速度矢量。判断方法按照右手旋进规则 进行判断
•ω
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•V
•ac
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2.2 柯氏效应与柯氏力
•ω
•ω
•柯
氏
•V
加
速
度
分
析
•Δ Vt
•Vt1= V
•Vt0= V
•α=ωt
•径 向 分 析
•ΔVt=2Vsin(ωt/2)
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2.2 柯氏效应与柯氏力
•ω
•ω
•柯
氏
•V
加
速
度
分
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1.1 基本概念及组成
陀螺仪也称角速率传感器，是用来测量物体旋转快慢 的传感器。微机械陀螺仪(MEMS gyroscope)主要有转子式、 振动式微机械陀螺仪和微机械加速度计陀螺仪三种。由于 工艺限制，在硅衬底上加工出可高速旋转的转子并不容易， 因此转子式的微机械陀螺并不常见，而振动式和微加速度 计式的微陀螺基本原理一致，都是利用柯氏效应。
• 柯氏加速度只有当线速度与转速同时存在时才会出 现，因此为测量柯氏加速度需使加速度传感器跟随物体 旋转的同时运动起来。实现的最简单方法就是谐振，即 施加激励使加速度传感器做往复运动。
• 由于柯氏力正比于驱动谐振的运动频率，因此希望 谐振频率和振幅越大越好。
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灵敏度 22mv/°/s 1.9mV/°/s 电桥输出 0.22μV/°/s 9.8mV/°/s
0.7mV/°/s
噪声/漂移
/ /
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• 从国内外发展现状来看，微机械陀螺的特点总结如 下： • 1、机械结构：圆环、独立梁、框架、双质量块 • 2、驱动方式：电容驱动的多 • 3、检测方式：电容检测的多 • 4、使用的材料：都是Si基，灵敏度mV级
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2.2 柯氏效应与柯氏力
•ω
•z
•z
•V
z
•V
•V •y
y
•V
•V •x x
•z
•y
•V
z
•ac
2 •V
•ac
•ac•V •y
•V
1y
•x
•x x
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2.2 柯氏效应与柯氏力
• 初始速度和位置的 不同将会引起运动轨迹 的不同。 • 并且傅科摆在地 球两极摆幅最大现象最 为明显，在赤道上几乎 没有现象。
1.2 微机械陀螺特点
MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成和 角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术 、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是
优点：
1. 体积小、重量轻、功耗低。
2. 成本低，加工工艺可保证大规模生产。
• 为什么？
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2.2 柯氏效应与柯氏力
•ω
•赤
•z
道
•V
和
•y
•V
•Vz
•x •Vx •a
•ax≠0 •ay≠0 •az=0
两
c
极
傅 科 摆 分
•V •V
•y
•z
•V
•Vz
•ax≠0 •ay=0 •az=0
析
•x •Vx
•a
x
•x
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析
•Vr0=r0 ω
•α=ωt
•切 向 分 析
•由于对时间取极限t→0
•两个加速度方 •相同
向
•柯氏加速度： ac=at+ar=2Vω
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2.2 柯氏效应与柯氏力
• 根据以上分析验证了“柯氏加速度的方向垂直于 角速度矢量和相对速度矢量” • 同时发现：柯氏加速度正比于运动速度和旋转角 速度。 ac=2Vω • 下面将利用前面分析的柯氏加速度的方法解释一 自然现象——傅科摆。
类
•按加工方式
•旋转振动结构 •线性振动结构
•振动盘结构陀 •旋转盘螺结构陀
螺 •正交线振动结 •非正交构线振动结
构
•硅材料 •非硅材料
••体表微面机微械机加械工加 •LIGA(工光刻、电铸和注
塑)
•单晶硅 •多晶硅
•石英 •其它
•振动平板结构 •振动梁结构 ••加振速动度音计叉振结动构结
构
•振动平板结构 •振动梁结构 •振动音叉结构
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微机械陀螺简述,微惯性技术
4、微机械陀螺发展概述
• 微机械陀螺以 体积小、成本低、 抗过载能力强等优 势，可应用于导航、 制导、汽车、电子 玩具等领域，成为 世界各国研究的热 点。
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微机械陀螺简述,微惯性技术
微机械陀螺国内外研究现状
国外：如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学， 德国Daimler Benz公司、Bosch公司，日本Toyota公司， 以及土耳其、芬兰等国家，已有商业化产品。
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•ac •V
•x
•ac
•V
•可简单理解为小球运 动轨迹被柯氏力拉弯
微机械陀螺简述,微惯性技术
2.2 柯氏效应与柯氏力
•ω
•z
•V
•x
• 将地球建立直 角坐标系，并假设地 球北半球某处有一运 动的傅科摆，摆子切 向线速度为V，方向 如图，设地球自转角 速度为ω。 •y • 下面将利用柯氏 效应对这一现象进行 解释。
检测机理 电容检测 电容检测 电容检测 电容检测
灵敏度/分辨率
25Hz带宽下 分辨率0.5/s 25Hz带宽下 分辨率0.07/s 真空24mV/º/s 大气100μV/º/s