洁净室的洁净度10万级

合集下载

10万级洁净车间标准

10万级洁净车间标准

10万级洁净车间标准
10万级洁净车间是指空气中的颗粒物浓度控制在每立方米空气中不超过10万
个颗粒物的洁净车间。

这样的洁净车间广泛应用于电子、医药、生物工程、航空航天等领域,对洁净度要求非常高。

因此,建设和管理10万级洁净车间需要严格遵
守一系列标准,以确保洁净车间的正常运行和产品质量的保障。

首先,10万级洁净车间的建设需要符合相关的国家标准和行业规范。

在建设过程中,必须严格按照洁净车间设计规范进行布局和装修,确保洁净车间的结构、通风、空调系统等能够满足洁净度要求。

此外,还需要选择符合要求的洁净设备和材料,以确保洁净车间的洁净度达标。

其次,对于10万级洁净车间的管理和运行,也需要严格遵守相关标准。

洁净
车间的日常清洁和维护工作非常重要,必须按照规定的程序和方法进行,以确保洁净车间的洁净度不受影响。

同时,对于洁净车间的人员培训和操作规程也需要严格执行,以确保操作人员的行为不会影响洁净车间的洁净度。

此外,10万级洁净车间的监测和验证工作也是至关重要的。

必须建立完善的洁净度监测体系,对洁净车间的洁净度进行定期监测和验证,及时发现和处理问题。

只有通过严格的监测和验证工作,才能确保洁净车间始终保持符合标准的洁净度。

总之,建设和管理10万级洁净车间需要严格遵守相关的国家标准和行业规范,包括建设规范、管理规范和监测验证规范。

只有通过严格的标准要求和规范执行,才能确保洁净车间的洁净度达标,为产品质量提供保障。

10万级洁净车间的判定标准

10万级洁净车间的判定标准

10万级洁净车间的判定标准
10万级洁净车间是指将室内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,同时保持室内空间的舒适度的车间。

判定10万级洁净车间的标准主要包括以下几个方面:
1.尘粒数
尘粒数是衡量洁净车间洁净度的重要指标之一。

根据国家相关标准,10万级洁净车间的尘粒数要求在每立方米的空气中不得超过5万颗,其中≥5微米的尘粒数应在3万颗以下,≥1微米的尘粒数应在30万颗以下。

2.微生物数
微生物数是衡量洁净车间卫生状况的重要指标之一。

根据国家相关标准,10万级洁净车间内的微生物数不得超过10个,其中浮游菌数不得超过5个/立方米,沉降菌数不得超过3个/培养皿。

3.压差
压差是衡量洁净车间气流分布的重要指标之一。

在10万级洁净车间中,不同洁净级别的区域之间应保持一定的压差,以防止污染和交叉感染。

一般来说,相邻洁净级别的压差应保持在5-10帕之间。

4.无菌检测室
无菌检测室是衡量10万级洁净车间是否达到无菌要求的重要设施之一。

无菌检测室应定期进行检测,以保证车间的无菌环境。

一般来说,无菌检测室应设置在洁净车间的最末端,并配备高效过滤器和细菌培养箱等设备。

总之,10万级洁净车间的判定标准主要包括尘粒数、微生物数、压差和无菌检测室等方面。

这些标准的执行可以保证车间的空气质量、卫生状况和无菌环境,从而确保生产过程中的产品质量和员工安全。

10万级车间洁净度标准

10万级车间洁净度标准

10万级车间洁净度标准
10万级车间洁净度标准是指车间内空气中的颗粒物浓度达到每立方米不超过10万个颗粒物的标准。

车间洁净度是工业生产中非常重要的一个参数,特别是在一些对产品品质和生产过程要求较高的行业,如医药、半导体、电子等。

10万级车间洁净度标准是按照国际标准ISO-14644-1中的分类标准划分而来的。

按照该标准,洁净度被分为不同的级别,即按照车间空气中每立方米颗粒物的数量来界定。

10万级车间洁净度要求每立方米空气中颗粒物浓度不超过10万个。

为了达到这一洁净度标准,车间需采取一系列的洁净控制措施。

常见的控制措施包括:
1.空气过滤:使用高效过滤器将空气中的颗粒物过滤掉。

2.正压控制:通过保持车间内的正压状态,防止外界空气带入
颗粒物。

3.清洁技术:使用合适的清洁剂和方法清洁车间设备和表面。

4.严格控制人员进入:要求进入车间的人员必须穿着洁净服并
进行洁净操作。

5.控制空气流动:合理设计车间的空气流动模式,防止颗粒物
积聚和传播。

10万级车间洁净度标准的实施对于生产环境的洁净和产品质量的保证起着重要作用。

不仅可以防止颗粒物对产品的污染,还可以提高生产效率和产品的一致性。

因此,在一些需要高洁
净环境的行业,严格遵守洁净度标准是至关重要的。

10万级洁净标准

10万级洁净标准

10万级洁净标准一、空气洁净度10万级洁净室的空气洁净度,以其粒径尺寸划分为3个级别:10万级、1万级、1千级。

在一定空间内,空气的洁净程度是由悬浮颗粒物浓度来定义的,其中悬浮颗粒物按其粒径大小可分为:可吸入颗粒物、可入肺颗粒物和总悬浮颗粒物。

二、微生物控制10万级洁净室需要严格控制微生物污染,微生物主要来源于室外空气、人员、设备及物料等。

为了降低微生物含量,应采取以下措施:定期对洁净室进行消毒;控制人员数量和进出频率;物料进入时需经过消毒处理等。

三、温湿度控制10万级洁净室的温度一般控制在20℃-26℃之间,湿度控制在40%-60%之间。

温度和湿度的波动会影响洁净室的洁净效果,因此需使用精密空调系统进行调节。

四、压差控制为了维持洁净室的空气洁净度,需保证室内外一定的压差。

压差值的大小应根据不同级别的洁净室而定,通常为5-10Pa。

同时,相邻洁净室之间的压差应控制在5Pa以内,以避免污染扩散。

五、空气流速控制洁净室的空气流速需控制在一定范围内,以保证空气洁净度和防止尘埃颗粒的悬浮和扩散。

对于高效过滤器风口处的气流速度一般应控制在0.3-0.5m/s之间。

六、空气过滤为保证空气洁净度,需对进入洁净室的空气进行过滤处理。

一般采用初效、中效、高效过滤器三级过滤,以去除空气中的尘埃、微生物等杂质。

高效过滤器是保证洁净室洁净度的关键设备,需定期更换或清洗。

七、设备与材料10万级洁净室的设备与材料应符合相关标准和规定,不得对空气洁净度和室内环境造成污染。

设备主要包括:洁净工作台、高效过滤器、层流罩、风机过滤机组等;材料主要包括:洁净室墙板、顶板、地板等材料,应具有良好的防尘、防火性能。

八、操作与维护在操作与维护10万级洁净室时,需注意以下几点:。

10万级净化车间验收标准

10万级净化车间验收标准

10万级净化车间验收标准10万级净化车间验收标准一、温度和湿度1. 温度:温度控制在18℃-26℃范围内,允许波动范围为±2℃。

2. 湿度:相对湿度控制在40%-65%范围内,允许波动范围为±10%。

二、空气洁净度1. 洁净度等级:空气洁净度等级符合10万级要求。

2. 颗粒物浓度:悬浮粒子数平均值不超过3500粒/立方米。

3. 微生物控制:空气中细菌总数平均值不超过10cfu/立方米。

4. 空气流向:空气流向应按照从高清洁度区域流向低清洁度区域,确保空气净化效果。

三、压差1. 相邻洁净室之间的压差应保持在5-10帕斯卡范围内。

2. 洁净室与室外环境的压差应不小于10帕斯卡。

四、噪声1. 洁净室内噪声不超过60分贝A。

2. 洁净室与室外环境之间的噪声差不应超过10分贝A。

五、照度1. 洁净室内照度不小于300勒克斯。

2. 局部工作面照度不小于500勒克斯。

六、悬浮粒子数1. 洁净室内悬浮粒子数平均值不超过3500粒/立方米。

2. 单个采样点上悬浮粒子数不超过500粒/立方米。

3. 悬浮粒子数检测频次为每两小时一次,每次检测两个采样点。

七、气流组织1. 气流速度:送风口的气流速度应保持稳定,无涡流现象。

2. 气流分布:送风口的气流分布应均匀,无死角。

3. 空气过滤:空气过滤器的效率应符合设计要求,过滤后的空气洁净度应达到相应等级的要求。

八、装修和设备1. 洁净室墙板应平整、光滑,无裂缝和脱落现象。

墙板表面应进行防潮处理。

2. 洁净室地面应耐磨、防滑,无裂缝和起砂现象。

地面表面应进行防潮处理。

3. 洁净室顶棚应无灰尘、无水珠凝结现象。

顶棚表面应进行防潮处理。

4. 洁净室内的设备、管道和工具等应清洁无油污,设备基础和管道支架应进行防锈处理。

5. 洁净室的门窗应密闭性好,开启灵活,窗台和窗户玻璃应清洁无尘。

门锁和把手应完好无损。

九、人员和物流1. 人员进入洁净室前应进行净化处理,包括更换干净的工作服、鞋、帽等。

10万级洁净标准

10万级洁净标准

10万级洁净标准10万级洁净标准是指每立方米中的悬浮颗粒物(尘埃、细菌、病毒等)浓度不超过10万个。

这是一种常用的洁净标准,通常用于要求较高的洁净环境,如医院手术室、实验室、电子制造等场所。

在这些场所中,要保持空气质量的洁净程度,以防止空气中的颗粒物对工作和人员健康的影响。

以下是具体的要求:一、空气洁净度空气洁净度是衡量洁净车间干净程度的重要指标,10万级洁净车间的标准要求空气中的尘埃、微生物等污染物浓度控制在一定范围内。

根据国家规定,10万级洁净车间的标准空气洁净度为:每立方空气中含有的大于或等于0.5微米的尘粒数应小于10万粒/立方米,大于或等于5微米的尘粒数应小于2万粒/立方米。

二、温湿度温湿度也是洁净车间的关键指标之一。

10万级洁净车间的标准温度一般控制在20℃-24℃,相对湿度控制在40%-60%。

同时,温湿度应该保持稳定,以避免对生产过程中的产品造成不良影响。

三、压差压差是衡量洁净车间空气流向的重要指标。

10万级洁净车间的标准压差应大于等于5帕,与室外大气压相比,室内相对室外应保持正压。

压差可以有效地防止室外污染气体进入洁净车间,从而保证产品质量。

四、噪声噪声是衡量洁净车间环境的重要指标之一。

10万级洁净车间的标准噪声应小于等于70分贝。

过高的噪声会影响工作人员的听力健康,也会对生产过程中的产品产生不良影响。

五、照度照度是衡量洁净车间明亮程度的重要指标。

10万级洁净车间的标准照度一般控制在300-500勒克斯,以满足产品生产和质量控制的需求。

综上所述,10万级洁净车间的标准包括空气洁净度、温湿度、压差、噪声和照度等方面的要求。

这些指标都需要进行严格的控制和管理,以确保产品质量和生产效率。

同时,对于不同的行业和产品,可以根据实际需求对各项指标进行适当的调整和优化。

十万级洁净室标准

十万级洁净室标准

十万级洁净室标准十万级洁净室是一种符合国家质量标准的洁净室,其中污染来源受控,空气中有害微生物数量和空气污染物低于国家标准。

通常情况下,十万级洁净室满足以下要求:1、大气环境:大气压力应符合国家标准,平均空气污染物浓度低于0.3μg/m3,飞尘数量小于1个/m3,可燃性气体浓度不超过1%LEL(爆炸极限浓度),耗氧量低于0.1mol/mol,室内气流必须均匀,隔板无漏风现象。

2、室内温湿度:室内温度精确控制在18~25℃,湿度为30%-60%RH,温湿度相对变化不超过最大值±2.0℃和±5.0%RH。

3、供电和地面:洁净室的供电系统应有一个独立的过滤器,防止杂讯干扰,供电器件内阻应满足现有标准;地面应光洁,无明显裂纹,要求X元素的积累少,洁净度高。

4、门窗:洁净室内门窗应采用容易清理、易于消毒的洁净门窗,门窗保持紧闭,洁净室外部与洁净室内之间应有良好的隔离,以阻止外污染侵入。

5、空气净化:洁净室内空气和装置应有良好的空气流动避免污染积聚,室内的空气污染物应小于20个/ft3,有害菌类应小于1个/ft3,空气净化系统应能保持足够的空气更新速率,空气过滤器壁厚不低于90mm。

6、清洁:洁净室内及周围环境应保持清洁,地面应拖洗干净,室内内壁应定期清洗,以防止空气和表面污染物聚集,室内家具应放置整齐,修复破损。

7、设备安装:室内设备应高度标准化,设备安装准确,接口密封牢固,使用洁净材料安装,以防止外界污染物进入洁净室内。

8、洁净度检测:洁净室的洁净度应定期检测,确保室内空气电离辐射洁净度≤10,000或空气聚集盘检查,确保室内小颗粒粉尘≤1u/m3,有害细菌≤1种/m3如果进一步需要提升洁净度,可采用高效过滤系统来保证室内洁净度,室内空气污染物浓度标准按照国家10万级标准来确定,大气压力应符合国家质量标准,而温湿度则要求温度为18-25℃,湿度为30%-60%RH,供电系统应设有独立的过滤器,杜绝杂讯干扰,室内地面应光洁,无裂纹,以及室内设备的安装要求等。

10万级洁净区标准

10万级洁净区标准

10万级洁净区标准洁净区是指一种具备特定环境要求的空间,用于进行需要保持高度洁净度的工作或实验。

在科研、生产制造等领域中,洁净区的标准至关重要,可以有效地控制空气中的微粒和微生物数量,以确保工作的正常进行和产品的质量安全。

在十万级洁净区的标准中,主要包括以下几个方面:1.空气洁净度要求:十万级洁净区的空气洁净度要求按照国际标准ISO14644-1来进行评定,以对空气中的微粒进行分类。

十万级洁净区要求空气中的大于0.5微米的微粒数量不超过35万颗/m³,而1.0微米及以上的微粒数量不超过77000颗/m³。

2.温度和湿度控制:十万级洁净区要求在一定的温度和湿度范围内进行控制,以确保在不同的工作环境下仪器和设备的稳定运行。

通常情况下,十万级洁净区的温度要求在20-25摄氏度之间,湿度要求在45-65%之间。

3.通风和空气流动:十万级洁净区的通风系统起到重要的作用,能够有效地净化空气并保持空气流动的状态。

通风系统要求可以控制室内空气流速,通常在0.2-0.4m/s之间,以确保微粒在空气中的悬浮时间较短,减少其对工作和设备的影响。

4.噪音和振动控制:十万级洁净区要求噪音和振动水平较低,以避免对工作人员和设备的干扰。

一般要求噪音水平在60分贝以下,振动水平要求不超过10微米。

5.人员行为和防护要求:在十万级洁净区中,人员的行为和防护要求密切相关。

工作人员必须穿戴符合洁净区要求的防护服,包括洁净服、鞋套、帽子等,以减少人员带入空气中的微粒。

同时,工作人员的行为要遵循一定的规范,如不带食品和饮品进入洁净区,不随意操作设备等。

6.设备和工具的洁净度要求:在十万级洁净区中,使用的设备和工具必须经过严格的洁净处理,以确保其不会对洁净区环境造成污染。

同时对设备和工具的维护和清洁也要符合一定的标准,定期进行检测和维修,以确保其处于良好的工作状态。

在总结中,十万级洁净区的标准涉及到空气洁净度、温湿度、通风、噪音振动、人员行为、设备和工具等多个方面。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

10万级洁净室
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。

它是污染控制的基础。

没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。

在 FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

每立方米将小于微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。

目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。

微尘数量被严格控制在每立方米 1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

洁净室要获得良好的洁净效果,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要
精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用洁净室和科学的维护管理。

为使洁净室获得良好的效果,国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。

实际上,不同专业之间很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况,尤其后者。

就洁净室净化措施而言,许多设计者,或者还有施工方,往往对其必要条件未予足够重视,造成洁净效果不理想。

本文仅就洁净室净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件简要论述。

一、送风洁净度
要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。

净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。

按我国标准[1]规定高效过滤器效率分四档:A类为≥%,B类为≥%,C类为≥%,D类为(对≥μm粒子)≥%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器[2]为(对≥μm粒子)95~%。

效率越高,过滤器的价格也越贵。

所以选择过滤器时应本着既要满足送风洁净度要求,又要考虑经济合理。

从洁净度要求考虑,以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则。

一般说来:100万级可选用高中效过滤器;低于1万级可选用亚高效或A类高效过滤器;1万~100级选用B类过滤器;100~1级选用C类过滤器。

二、气流组织
洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将最干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。

为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。

根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。

三、送风量或风速
足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气,根据不同的洁净度要求,当洁净室净高较高时,适当增加换气次数。

其中,100万级洁净室的通风
量是按高中效净化系统考虑[7],其余均按高效净化系统考虑;当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时,可适当提高换气次数10-20%。

四、静压差
洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。

即便是负压洁净室,它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。

洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。

它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。

为了保证洁净室正压值,送风、回风和排风机最好联锁,系统开启时先启动送风机,再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机,再关回风机和送风机,以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。

对于一个洁净室来说,以上四个必要条件必须同时得到满足,才能保证洁净度达到要求并具备应有的抗污染干扰能力。

相关文档
最新文档