多晶铸锭车间作业指导书
铸造作业指导书
铸造作业指导书一、引言铸造是一种重要的制造工艺，广泛应用于各个行业。
本作业指导书旨在为铸造作业提供详细的指导和规范，以确保产品质量和生产效率。
二、作业准备1. 确定铸造材料和工艺：根据产品要求和设计图纸，选择合适的铸造材料，确定铸造工艺和参数。
2. 准备模具和模具设备：根据产品要求制作模具，确保模具的准确性和可靠性。
3. 准备熔炼设备和材料：准备熔炼炉、熔炼材料和辅助材料，确保熔炼过程的安全和稳定性。
4. 准备铸造设备和工具：准备铸造设备和工具，包括铸造机床、浇注设备、清理设备等，确保设备的正常运行和操作的便捷性。
三、作业流程1. 模具准备：将模具安装在铸造设备上，并进行调整和检查，确保模具的正确性和稳定性。
2. 熔炼准备：将熔炼炉加热至适当温度，将熔炼材料加入炉内，并进行熔炼过程控制，保证熔炼材料的质量和温度。
3. 浇注准备：将熔炼好的金属液倒入浇注设备中，确保浇注设备的密封性和稳定性。
4. 浇注操作：根据产品要求和设计图纸，将金属液倒入模具中，控制浇注速度和浇注时间，确保铸件的质量和形状。
5. 冷却处理：将铸件放置在适当的冷却设备中，进行冷却处理，以提高铸件的强度和硬度。
6. 清理和整理：清理铸件表面的氧化物和杂质，进行必要的修整和整理，以提高铸件的外观和尺寸精度。
7. 检验和测试：对铸件进行必要的检验和测试，包括外观检查、尺寸测量、材料分析等，确保铸件符合产品要求和标准。
四、作业安全1. 安全防护：在铸造作业中，必须佩戴符合要求的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、防护鞋等，以保护作业人员的安全。
2. 熔炼安全：在熔炼过程中，必须严格控制熔炼温度和熔炼材料的投入量，避免熔炼材料的溅出和喷溅，确保熔炼过程的安全。
3. 浇注安全：在浇注过程中，必须严格控制浇注速度和浇注时间，避免烫伤和溅射，确保浇注过程的安全。
4. 设备安全：定期检查和维护铸造设备，确保设备的正常运行和安全性。
五、作业质量控制1. 模具质量控制：对模具进行严格的检查和调整，确保模具的准确性和稳定性，避免模具产生缺陷和变形。
铸造合金锭岗位作业操作规程范文（二篇）
铸造合金锭岗位作业操作规程范文一、作业前准备1. 确认作业区域内是否有安全隐患，如存在杂物、油污等，应及时清理，并确保道路通畅。
2. 检查锅炉、加热设备、熔炉等设备的工作状态，确保设备正常运行，并对其进行必要的维护和保养。
3. 检查岗位所需工具、设备的完好情况，确认是否需要更换或修理。
二、操作流程1. 佩戴个人防护装备，包括耐高温手套、耐高温隔热服、防护面罩、护目镜、安全鞋等，确保个人安全。
2. 准备所需材料，包括合金锭、熔剂等，并按要求将各种材料进行分类和分装。
3. 将合金锭放入锅炉或熔炉中，根据工艺要求进行预热。
4. 在预热过程中，根据需要添加适量的熔剂，保证熔炉内合金的熔化效果。
5. 监测熔炉的温度，并根据需要进行调节，以确保合金的熔化稳定。
6. 当合金完全熔化后，将其从熔炉倒入铸模中，并注意避免产生喷溅和飞溅。
7. 检查铸模和铸造件的质量，包括外观、尺寸和重量等，确保符合要求。
8. 在铸造件冷却后，将其从铸模中取出，并进行粗加工，如修整表面、去除毛刺等。
9. 根据需要，对粗加工的铸造件进行进一步处理，如热处理、机加工等，以达到规定的产品标准。
10. 清理和整理工作现场，将废料和杂物放入指定的储存区域，并将工具、设备归置到指定的位置。
三、安全注意事项1. 严格按照操作规程进行作业，不得擅自改变操作流程和工艺参数。
2. 注意个人防护装备的穿戴，确保毫无疏漏。
3. 在炉内操作时，要注意高温炉内气体的扩散和冷却措施的准备，以避免烫伤。
4. 如发现炉内烟雾浓厚或异常气味，应立即停机，并报告相关人员进行处理。
5. 注意熔炉温度的监测和调节，避免过高温度或过低温度对作业造成影响。
6. 倒入铸模时应注意稳定和适量，避免溅溶物对人员和设备产生危害。
7. 在铸造件冷却过程中，避免人员在其周围活动，以免发生意外伤害。
8. 要定期对设备进行检查和维护，确保设备正常运行，不得忽视安全检查。
9. 严禁乱丢废料和杂物，保持工作现场的整洁和安全。
多晶铸锭生产工艺文件
多晶硅锭的生产流程1.生产工艺流程（1）制造工艺流程图（2）工艺流程简述坩埚喷涂：其目的是为了在铸锭的过程中，防止坩埚的杂质混入硅料。
喷涂的Si3N4粉起到一个隔离杂质和防止粘埚的作用。
坩埚烧结：此过程是为了使喷涂在坩埚内表面的Si3N4粉牢固附着在坩埚上。
多晶炉铸锭：将盛好硅料的坩埚放入多晶炉中，经高温熔化定向凝固铸锭。
（3）反应副产物生产过程中产生含Si3N4粉尘的空气，过滤除尘后排放大气；铸锭过程中排放的少量氩气，直接排放入大气；铸锭后产生的石英坩埚碎片作为废物处理。
多晶铸锭操作流程1目的为了保证正确操作多晶硅铸锭炉，使铸锭过程规范、有效地进行，并确保铸锭成功。
2适用范围多晶铸锭车间3规范性引用文件无4职责生产部负责铸锭的整个过程。
工厂工程部负责整个外围设施条件，以保证多晶炉正常运行的环境条件要求。
5 术语和定义坩埚喷涂：在坩埚的内表面均匀喷涂Si3N4粉溶液，以防止在铸锭时坩埚和硅锭烧结在一起。
其目的是为了在铸锭过程中，防止坩埚内的杂质扩散入硅锭。
喷涂Si3N4粉起到了一个隔离杂质和防止粘埚的作用。
涂层烧结：此过程是为了使喷涂在坩埚内表面的Si3N4涂层牢固地附着在坩埚上。
多晶炉铸锭：将硅料放入坩埚，并一起放入多晶炉中，硅料经高温熔化、定向凝固成为硅锭。
定向凝固：在梯度热场中，液体朝一个方向凝固，固液界面近似于平面的凝固过程。
6 多晶炉工艺过程准备石英坩埚检查石英坩埚表面，不能有裂纹，内部不能有超过2mm的划痕、凹坑、突起。
6.1.1 用压缩空气和去离子水清洁坩埚的内表面。
6.1.2 坩埚喷涂：取250g的Si3N4粉末，用滤网筛滤。
然后取1000ml的去离子水，将Si3N4粉末溶解到去离子水中，用气动搅拌泵搅拌均匀。
喷涂时喷枪要距离坩埚内壁30cm左右，只喷涂坩埚底部和侧壁3/4的地方，要均匀不要使液体凝聚。
喷涂过程中要检测坩埚内表面的温度，应为80±5℃，不断用去油的压缩空气吹去掉落的颗粒。
铸锭岗位操作规程范文
铸锭岗位操作规程范文第一章总则第一条为确保铸锭岗位的安全、高效运行，规范操作流程，保障生产质量和工作人身安全，制定本操作规程。
第二条本规程适用于铸锭岗位的操作人员，必须严格按照规程进行操作。
第三条铸锭岗位操作人员必须具备相应的岗位培训和安全操作知识，并持有相应的操作证书方可上岗。
第四条严禁在未经授权的情况下，擅自操作、维修铸锭设备，如需要操作、维修必须经过相关人员的书面授权。
第五条铸锭岗位操作人员必须遵守国家相关法律法规、安全生产规程，严禁违章操作。
第六条铸锭岗位操作人员必须定期参加培训和考核，不定期检查操作设备的安全性能，确保操作设备处于良好状态。
第二章操作流程第七条铸锭岗位操作人员在操作前，必须先检查设备的工作状态，确保设备完好，并进行相应的安全措施，如通电前检查线缆是否破裂，是否有漏电现象。
第八条开始操作前，必须熟悉设备的各个部位和功能，了解设备的工作原理和操作要领。
第九条在操作过程中，必须按照正确的操作流程，严格执行操作指南和安全规程。
第十条操作人员必须穿戴安全防护装备，并确保操作环境的清洁、整洁。
第十一条在操作过程中，操作人员要保持专注，严禁分神或进行与工作无关的活动。
第十二条在操作过程中，如发现异常情况（如设备异常声音、异味、异常振动等），必须立即停止操作，并及时报告相关人员。
第十三条在操作结束后，必须关闭设备的电源，进行设备的整理和清洁，并及时上报操作记录。
第三章安全措施第十四条在操作铸锭设备时，严禁带有金属饰品、手表等物品。
第十五条在操作过程中，如需要伸手进入设备，必须先切断电源，并用绝缘手套、工具进行操作。
第十六条在操作设备时，如发现设备有漏电、有明火等安全隐患，必须立即报告相关人员，并采取相应的措施。
第十七条铸锭岗位操作人员必须熟悉应急措施，并参与应急演练，掌握在紧急情况下的应对方法。
第四章违章处理第十八条如发现铸锭岗位操作人员违反本规程进行操作，一经发现，视情节轻重，将采取相应的处罚措施，包括口头警告、罚款、记过、记大过等。
多晶剖锭方棒作业指导书A-3
一、目的:指导检验员对156多晶剖锭方棒进行检验，以判定所检产品是否达到品质要求。
二、范围:适用于CSI 长晶切片事业部常规多晶剖锭方棒的检验。
三、定义：3.1多晶方棒的头部：多晶硅锭沿长晶方向的终止端，即硅锭的顶部。
3.2 多晶方棒的尾部：多晶硅锭沿长晶方向的起始端，即硅锭的底部。
四、职责：4.1 技术部：负责本作业指导书的编制和修订。
4.2 质量部、生产部：方棒检验员负责依据本作业指导书对所送产品进行检验。
五、作业流程图：方棒送检确认——检验——判定——流入下一工序六、作业内容：6.1 送检确认6.1.1 确认所送方棒的标识方向是否正确，箭头标示是否清楚。
6.1.2 按照标识准确填写各方棒的随工单。
6.2 外观检验6.2.1 检验所有方棒的外观状况，如有崩边、缺角、裂纹等外观问题，应使用直尺或游标卡尺测量缺陷的长度（沿硅锭的长晶方向测量），并把这些信息准确填写在报表上和对应的方棒随工单上。
裂纹图1 外观不良图解6.3 机械性能检验6.3.1 按照图2抽样方案对25根剖锭方棒抽样并对抽样方棒进行机械性能的检验。
6.3.2 使用游标卡尺测量抽样方棒的边长尺寸，每个方棒测量四个面的边宽，测量时从方棒的顶部到底部间隔相等距离测量三次。
如发现某一方棒边宽尺寸超出标准，必须加抽该方棒所在多晶硅锭位置垂直两条线上的其它方棒的边宽尺寸。
6.3.3 使用万能角度尺测量抽样方棒的直角度，每个方棒测量两个直角边，从底部到顶部测量两次。
如发现某一方棒直角度超出标准，必须加抽该方棒所在多晶硅锭位置垂直两条线上的其它方棒的直角度。
6.3.4 使用直尺测量25根方棒的实际长度，测量时只需任取方棒的一个面测量即可。
6.3.5 测量完成后，把抽样方棒的尺寸数据和25根方棒的实际长度记录在报表上和对应的随工单上。
图2 机械性能抽检方案图解6.4 内部缺陷检验6.4.1 使用红外探伤测试仪检验方棒的内部缺陷状况，方案为全检。
多晶开方作业指导书
多晶开方作业指导书一、任务背景在多晶材料的研究和应用过程中，开方是一项非常重要的工作。
通过开方，可以使多晶材料的晶粒得到有效的分离和展开，提高材料的性能和应用价值。
本次作业旨在提供一份详细的开方作业指导书，匡助学员正确进行多晶开方实验。
二、实验目的1. 理解多晶材料开方的原理和方法；2. 掌握开方实验的操作步骤和技巧；3. 能够正确评估开方效果，并提出改进建议。
三、实验器材和试剂1. 多晶材料样品；2. 开方设备（例如：开方机、开方模具等）；3. 研磨液（例如：研磨油、研磨液等）；4. 研磨纸（不同粒度的研磨纸）；5. 显微镜；6. 其他常规实验器材和试剂。
四、实验步骤1. 准备工作a. 检查开方设备的状态，确保设备正常运行；b. 准备好所需的试剂和器材；c. 将多晶材料样品切割成适当的大小，确保样品平整；d. 清洗样品，去除表面的杂质和污垢。
2. 开方操作a. 将样品放入开方模具中，注意样品的位置和方向；b. 调整开方机的参数，如转速、压力等，根据实际情况进行调整；c. 打开开方机，开始进行开方操作；d. 根据需要，适时添加研磨液，以保持样品和研磨纸的湿润；e. 按照设定的时偶尔开方效果进行开方操作，注意观察开方过程中的变化。
3. 开方评估a. 住手开方操作，取出样品；b. 用显微镜观察开方效果，注意观察晶粒的分离和展开情况；c. 根据实际需要，可以进行图象分析和测量，评估开方效果的好坏；d. 根据评估结果，提出改进建议，如调整开方参数、更换研磨纸等。
五、实验注意事项1. 操作前要子细阅读设备的操作说明书，并按照要求正确操作；2. 操作时要注意个人安全，佩戴好防护眼镜、手套等个人防护装备；3. 样品切割和清洗时要小心操作，避免损坏样品；4. 开方操作时要注意设备的稳定性和样品的位置，避免发生意外；5. 开方过程中要定期检查研磨纸的状况，及时更换；6. 开方后要及时清洗设备和样品，保持设备的干净和样品的质量。
铸锭岗位操作规程范本（2篇）
铸锭岗位操作规程范本一、岗位概述1. 铸锭岗位是指进行铸锭生产加工操作的工作岗位，负责操作铸锭机械设备进行铝合金锭的生产。
二、工作职责1. 熟悉铸锭机械设备的操作流程和相关工作规范，保证生产作业的顺利进行。
2. 检查铸锭机械设备的工作状态，确保设备正常运行。
3. 根据生产计划和工艺要求，调整铸锭机械设备的工作参数，确保产品质量。
4. 定期检查铸锭机械设备的维护保养情况，及时清洁设备，保证设备的正常使用。
5. 遵守工作安全规范，正确佩戴个人防护装备，确保自身安全。
6. 配合相关部门进行生产数据的收集和记录，及时上报工作进展。
三、操作规程1. 进行铸锭机械设备操作前，需穿戴好劳保用品，并确保设备周围无杂物。
2. 打开铸锭机械设备电源，根据设备操作流程进行开机操作。
3. 通过设备控制面板设置相关铸锭工艺参数，如温度、压力等。
4. 获取铝合金材料，并按照工艺要求放入铸锭机械设备的料斗中。
5. 根据设备操作手册将铸锭机械设备切换至自动运行模式，确保设备能够正常运行。
6. 在设备运行过程中，定期检查设备运行状态，确保设备工作平稳。
7. 根据生产计划，及时调整设备操作参数，以达到所需产品质量。
8. 监测设备运行数据，及时记录并上报给相关部门。
9. 铸锭机械设备停机后，通过设备控制面板关闭电源，进行设备的清洁和维护保养工作。
10. 完成设备操作后，整理工作台面，并将工作记录整理归档。
四、注意事项1. 在操作铸锭机械设备前，需进行设备的安全检查，确保设备没有异常状况。
2. 工作时需认真阅读相关操作手册，确保操作规程的正确性。
3. 在设备运行过程中，如发现设备出现异常，需立即停机并上报给相关部门。
4. 在操作过程中，如发现产品质量出现问题，需立即调整设备参数或停机检查。
5. 在进行设备清洁和维护保养时，需保持设备处于停机状态，并按照相关规范进行处理。
五、岗位培训和考核1. 新员工入职时需接受铸锭机械设备操作培训，通过培训并通过设备操作考核后方可上岗。
铸锭岗位操作规程范本
铸锭岗位操作规程范本第一章总则第一条为规范铸锭岗位的生产操作，确保生产安全和生产质量，提高工作效率，制定本操作规程。
第二条本操作规程适用于所有从事铸锭工作的岗位人员。
第三条铸锭岗位人员必须熟悉本操作规程，并按照规定进行操作，不得擅自修改。
第四条铸锭岗位人员必须接受相关培训并持证上岗，严禁未经培训和未持证上岗。
第二章基本规定第五条铸锭岗位人员必须穿戴符合安全要求的劳动保护用品，包括安全帽、耳塞、防护眼镜等。
第六条在操作铸锭时，必须确保工作场所通风良好，以防止铸锭过热。
第七条铸锭操作前，必须检查铸锭设备是否正常运行，如发现异常情况要及时报告维修。
第八条铸锭岗位操作时必须保持清醒状态，严禁酒后操作。
第三章操作流程第九条铸锭岗位操作流程分为准备、操作和收尾三个环节。
第十条准备阶段包括：检查铸锭设备、查阅工艺流程、准备原料、清洁工作台、调整设备参数等。
第十一条操作阶段包括：按照工艺流程要求进行铸锭操作，并严格控制好时间、温度和压力等关键指标。
第十二条收尾阶段包括：妥善处理废料、清理工作台、归档相关记录、及时报告设备异常情况等。
第十三条在操作铸锭过程中，如遇到异常情况或安全事故，必须立即停止操作并向上级报告。
第四章安全措施第十四条铸锭岗位人员在操作过程中，必须按照操作规定佩戴好劳动保护用品，严禁赤脚操作。
第十五条铸锭工作时必须确保设备稳定，并加强对设备的维修保养，如发现设备异常必须立即停机维修。
第十六条铸锭岗位人员必须定期参加安全培训，增强安全意识，提高应急处理能力。
第十七条铸锭岗位作业场所必须清洁整齐，避免杂物堆积和火源接近。
第十八条铸锭岗位人员必须定期开展安全检查，发现问题及时整改，确保作业环境的安全。
第五章质量控制第十九条铸锭岗位人员操作过程中必须严格按照工艺流程要求，确保每一道工序的质量。
第二十条铸锭岗位人员必须定期参加质量培训，保持质量意识，并不断提高质量控制技能。
第二十一条铸锭岗位人员必须按照质量管理制度要求，及时填写相关质量记录，做好质量追溯工作。
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3.2.6.点击下腔室运动按钮进入下腔室运动屏幕。设置高速200，低速50，加速时间2s，点击上升按钮。等下腔室完全合上后，将4个卡子夹紧下炉体。
3.3抽真空与检漏
3.3.1.切换到手动界面，点击抽真空与检漏，进入抽真空界面。
多晶铸锭车间作业指导书
一、目的
为正确、规范的操作多晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范
二、范围
适用于JZ-460/660型多晶炉
三、作业内容
3.1作业准备
3.1.1.进入多晶车间需穿戴好洁净工作服、鞋。
3.1.2.开炉前，按工艺要求检查水、电、气、炉内温度
3.1.3.打开铸锭炉电源柜总电源
3.1.4.打开控制柜电源开关，使其处于“ON”状态。
3.4.3.进入浏览界面查看各项数值是否正常。
3.4.4.加热阶段，温度和功率都是平稳上升，隔热层关闭。
3.4.5.熔化阶段，从第2步开始从真空模式进入氩气模式，压力上升到600mbar，且M8、M9阶段功率变化较大。在M9时注意报警提示，同时观察功率曲线变化，结合顶部观察孔内看到的熔化情况，判断硅料是否完全熔化结束，如果确认完全熔化结束，则暂停配方，手动进入下一步后继续运行配方。
2010-4-7
3.4.8.冷却阶段，功率慢慢下降至零，隔热层缓慢提升至350mm，温度曲线平稳下降。至400℃以下时，准备出炉。
3.5出炉
出炉前的准备工作
a)准备好叉车，确认电量是不是符合出锭要求。
b)准备好劳保用具，如高温手套等。
c)保证至少2人作业，1人开叉车，1人在叉车后方注意叉车左右前后位置，以免发生碰撞。
5.2.跳步：先在模式界面下暂停配方，点击“进入下一步”后，“继续运行”配方。
5.3.热场检修与炉室清理：有专业人员负责，每炉均需检修热区，清理炉室。准备好吸尘管道、酒精、无尘纸以及石墨螺栓、螺帽等常用配件，首先检查螺帽有无松动，螺栓有无折断，如有松动、折断、打火等情况，及时拧紧螺帽，更换螺栓；然后检测相应加热器、加热器与连接板与石墨电极之间的连接性，相互叠加连接部分的缝隙用塞尺比对，缝隙要求小于0.03mm。加热器与隔热层、加热器与顶板之间的电绝缘性，一般要求绝缘阻抗大于5KΩ，最小不小于3 KΩ。若加热器上有颗粒物和粉尘，需要用吸尘管道除去，若隔热层上有杂质，也应及时清理。清理炉室时，顺序为：DS块、隔热板、防溢流棉、腔室内壁杂物，直至确认炉内无明显污物为准。检修及清理完成后，确认没有物品遗落在炉内。班长对整个过程做最后确认！
3.5.1.进入手动模式下，打开检漏1和充大气阀，再关闭机械泵。
3.5.2.点击大口径充气阀，到达980mbar。
3.5.3.点击手动，点击下腔室运动按钮，弹出“已经松开下面腔室的4个夹子了吗？”的对话框。
3.5.4.确认已经打开4个夹子后，在工控机点击步骤3对话框“确认”。
3.5.5.弹出下腔室手动屏幕，点击“↓”，待下限位呈红色，关闭该屏幕。
3.1.5.打开机械泵和罗茨泵电源开关。
3.1.6.打开加热器电源开关及晶闸管开关。
3.1.7.检查水路水压正常，进水压力不低于2公斤。
3.1.8.检查机械泵罗茨泵油位是否正常（机械泵在1/3-2/3位置，罗茨泵在两个红线之间）。
3.1.9.检查加热器缝隙，保证缝隙小于0.03mm，螺母松动的及时拧紧，坏的换掉。
3.2.2.装好护板后，拧上螺母，调节护板与坩埚的缝隙，确保四块护板与坩埚的缝隙均匀，螺母拧紧后12个螺母都松半圈。
3.2.3.用叉车将装好的料推进铸锭炉内，两人用直角尺在后面测量DS块与底板的距离，及时的告诉开车人，确保底板底部的槽进入DS块。
3.2.4.装好料后，用酒精无尘纸擦拭密封圈及上炉体衔接处。
3.4.6.长晶阶段，隔热笼提升，压力维持600mbar，功率较平稳，在G7时注意报警提示，结合功率曲线的变化与观察孔查看情况，判断中间长晶透顶，做好记录；进入G8后，结合时间与功率曲线的变化，判断边角长晶结束，如果还剩余较长时间（一般大于15分钟），可以手动进入下一步。
3.4.7.退火阶段，从第3步开始控制模式从温度模式进入功率模式，功率曲线缓慢平稳下降，隔热层降至最低位置。
5.4.断电处理：在运行中突然断电，炉温会快速下降。在断电窗口中点静音，并记下断电时的功率、温度、点暂停，进入模式界面，在真值表中将加热模式改为功控模式，并把功率设定值设定为断电时功率值加5%-10%，当温度快上升到断电时的温度时，把加热模式改为断电时的加热控制模式，点“继续运行”继续配方运行。
5.5.断水处理：当发生断水时，会弹出断水警告窗口，若20秒内未来水，将自动断电。断水报警可以分两种情况处理：1、一路断水，可将临界值改为0，防止断电，5分钟内修复流量计，然后重新运行。2、全部断水，则说明冷却水源发生故障，则需要紧急启动备用水源，确保炉体供水正常。
4.1.出炉时佩戴好劳保用品，防止烫伤。
4.2.加热前仔细检查配方主参数是否正确，准确无误后再开始加热。
4.3.熔化阶段保证硅料充分熔化。
4.4.长晶阶段曲线平稳，有异常要及时发现，同时多观察溢流窗口。
4.5.断水断电时，保证处理得当。
4.6.根据要求，定期对Dss炉进行清理与调整。
五、备注
5.1.手动抽空检漏：先运行机械泵，预热5分钟，排气值设置为100%，打开小口径抽，压力下降至200mbar时，打开插板阀，关闭小口径抽，抽到25mbar以下时，打开罗茨泵，腔室高真空降至0.1以下时，打开检漏1、2、3，压力低到0.015（极限真空）时，关闭插板阀，罗茨泵，检漏1，打开充大气阀，TC管压力到常压，开始计时检漏5分钟限真空，再次检漏，如果还未能通过，则分步检漏炉腔、检漏2（TC1）、检漏3（TC2），确定漏点，按照不同地方泄漏进行相应处理。
3.1.10.检查溢流线是否有翘起、断开，是否在溢流孔的正下方。
3.1.11.检查陶瓷片是否有碎掉的，碎掉的及时更换，加热器与隔热层之间电阻不小于3KΩ•cm。
3.1.12.检查各阀门是否能正常开启。
3.1.13.查看主参数是否正确。
3.1.14.检查配方是否正确
3.2装炉作业指导
3.2.1.坩埚内料的高度不能超过坩埚护板的高度，加上盖板后盖板不能碰到硅料，装护板需2人操作，一人扶好护板，防止脱落。
3.3.2.点击自动执行，弹出“确认开始抽真空和检漏”对话框点击确认。
3.3.3.自动执行抽真空与检漏，直到检漏通过。
3.4开始运行
3.4.1.切换到配方界面，点击“从文件中加载”，加载相应的配方，依次点击“写入”、“读取”、（若空烧时则加载烘烤配方）
3.4.2.检查配方准确无误后切换到模式界面，点击“开始运行”，运行配方。
3.5.6.炉子后面的操作人员配合指示开电动叉车人员缓慢将硅锭取出。
3.6拆护板、拆坩埚
3.6.1.至少3人拆护板，其中一人扶住护板，直到最后一块护板，防止脱落掉到地上。
3.6.2.四周护板拆除后，将碎裂的坩埚碎片放到指入位置。
3.6.3.用专用硅锭夹配合叉车吊起硅锭，放到托盘上，运到硅锭存到处。
四、注意事项