位移传感器
位移传感器
差动变压器式电感传感器是常用的互感型传感器，其结构形式有 多种，以螺管形应用较为普遍，其结构及工作原理如图3-7（a）、（b） 所示。传感器主要由线圈、铁心和活动衔铁三个部分组成。线圈包括一 个初级线圈和两个反接的次级线圈，当初级线圈输入交流激励电压时， 次级线圈将产生感应电动势e1和e2。由于两个次级线圈极性反接，因此 传感器的输出电压为两者之差，即ey=e1-e2。活动衔铁能改变线圈之 间的耦合程度。输出ey的大小随活动衔铁的位置而变。当活动衔铁的位 置居中时，即e1=e2，ey=0；当活动衔铁向上移时，即e1> e2 ， ey>0；当活动衔铁向下移时，即e1< e2 ，ey<0。活动衔铁的位置往 复变化，其输出电压ey，也随之变化，输出特性如图3-7（c）所示。
2. 数字式位移传感器 数字式位移传感器有光栅、磁栅、感应同步器等，它们的共同
特点是利用自身的物理特征，制成直线型和圆形结构的位移传感器，输 出信号都是脉冲信号，每一个脉冲代表输入的位移当量，通过计数脉冲
就可以统计位移的尺寸。下面主要以光栅传感器和感应同步器来介绍数 字式传感器的工作原理。 1）光栅位移传感器
光栅是一种新型的位移检测元件，有圆光栅和直线光栅两种。它 的特点是测量精确高（可达±1um）、响应速度快和量程范围大（一般 为1—2m，连接使用可达到10m）等。
光栅由标尺光栅和指示光栅组成，两者的光刻密度相同，但体长相 差很多，其结构如图3-8所示。
光栅条纹密度一般为每毫米25，50，100，250条等。把指示光 栅平行地放在标尺光栅上面，并且使它们的刻线相互倾斜一个很小的角 度 ，这时在指示光栅上就出现几条较粗的明暗条纹，称为莫尔条纹。
位移传感器
位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。
在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。
按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。
模拟式又可分为物性型和结构型两种。
位移传感器的主要分类根据运动方式直线位移传感器：直线位移传感器的功能在于把直线机械位移量转换成电信号。
为了达到这一效果，通常将可变电阻滑轨定置在传感器的固定部位，通过滑片在滑轨上的位移来测量不同的阻值。
传感器滑轨连接稳态直流电压，允许流过微安培的小电流，滑片和始端之间的电压，与滑片移动的长度成正比。
将传感器用作分压器可最大限度降低对滑轨总阻值精确性的要求，因为由温度变化引起的阻值变化不会影响到测量结果。
角度位移传感器：角度位移传感器应用于障碍处理：使用角度传感器来控制你的轮子可以间接的发现障碍物。
原理非常简单：如果马达角度传感器构造运转，而齿轮不转，说明你的机器已经被障碍物给挡住了。
此技术使用起来非常简单，而且非常有效；唯一要求就是运动的轮子不能在地板上打滑（或者说打滑次数太多），否则你将无法检测到障碍物。
一个空转的齿轮连接到马达上就可以避免这个问题，这个轮子不是由马达驱动而是通过装置的运动带动它：在驱动轮旋转的过程中，如果惰轮停止了，说明你碰到障碍物了。
根据材质电位器式位移传感器：它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。
普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。
但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。
图1中的电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。
物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。
阻值的变化量反映了位移的量值，阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。
通常在电位器上通以电源电压，以把电阻变化转换为电压输出。
线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化，其输出特性亦呈阶梯形。
位移传感器原理与分类
位移传感器原理与分类一、工作原理1.电阻式位移传感器：电阻式位移传感器通过电阻变化的方式测量位移。
一种常见的电阻式传感器是电位计，它借助电位计棒的旋转或滑动来改变电阻值，通过测量电阻值的变化来得到位移信息。
2.容量式位移传感器：容量式位移传感器是利用物体移动时电容量的变化来测量位移的。
当测量物体靠近或远离电容的一个极板时，电场线密度会发生变化，从而改变电容量。
常见的容量式位移传感器有平行板电容器和轴向电容器。
3.感应式位移传感器：感应式位移传感器通过感应物体相对电感元件改变的方式来测量位移。
当物体靠近或远离感应线圈时，感应电势会发生变化，从而能够得到位移信息。
感应式位移传感器常用于测量非接触的位移。
4.光电式位移传感器：光电式位移传感器通过光信号的接收和转换来测量位移。
它通常由一对光电二极管（光源和光接收器）组成，当物体移动时阻挡或透过光源和光接收器之间的光线，从而产生电信号进行位移测量。
二、分类1.接触式位移传感器：接触式位移传感器需要物体与传感器之间有物理接触，通过物体的接触或压力来测量位移。
例如，机械式微调电阻可以通过旋转旋钮改变电阻值，从而测量位移。
2.非接触式位移传感器：非接触式位移传感器可以实现物体与传感器之间的无接触测量。
这种传感器常用于需要高精度和高速度的应用。
例如，磁性编码器可以通过感应物体对磁场的变化来测量位移。
3.绝对位移传感器：绝对位移传感器能够直接测量物体的绝对位置，无需参考点。
它能够提供准确的位移信息，在断电后也能够保留位移值。
常见的绝对位移传感器有光栅尺和霍尔效应传感器。
4.相对位移传感器：相对位移传感器只能测量物体相对于参考点的移动，无法给出绝对位置。
相对位移传感器通常需要初始化或标定，以确定参考点。
例如，编码器能够通过计数脉冲的方式测量物体相对于起始点的移动。
总之，位移传感器通过不同的工作原理和分类方式实现位移测量。
根据实际应用需求，选择合适类型的位移传感器可以提供准确的位移信息，满足各种工业和科技领域对位移测量的要求。
位移传感器的工作原理
位移传感器的工作原理位移传感器是一种用于测量物体位置变化的装置，它能够将物体的位移转换为电信号输出，从而实现对物体位移的测量和监控。
位移传感器在工业自动化、机械制造、航空航天等领域都有着广泛的应用，其工作原理是通过不同的传感原理实现的。
1. 电阻式位移传感器。
电阻式位移传感器是一种常用的位移测量装置，它利用材料的电阻随位移的变化而变化的特性来实现测量。
其工作原理是通过将电阻传感器与测量物体相连，当测量物体发生位移时，电阻传感器的电阻值会随之改变，从而产生与位移相关的电信号输出。
这种传感器结构简单、成本低廉，但精度较低，适用于一些对精度要求不高的场合。
2. 容量式位移传感器。
容量式位移传感器是利用电容的变化来实现位移测量的装置，其工作原理是通过将传感电极与被测物体相连，当被测物体发生位移时，传感电极与被测物体之间的电容值会发生变化，从而产生与位移相关的电信号输出。
这种传感器具有较高的精度和灵敏度，适用于对测量精度要求较高的场合。
3. 感应式位移传感器。
感应式位移传感器是利用感应原理来实现位移测量的装置，其工作原理是通过将传感线圈与被测物体相连，当被测物体发生位移时，传感线圈中的感应电流会发生变化，从而产生与位移相关的电信号输出。
这种传感器具有较高的抗干扰能力和可靠性，适用于一些对环境要求较高的场合。
4. 光电式位移传感器。
光电式位移传感器是利用光电效应来实现位移测量的装置，其工作原理是通过将光源和光电探测器与被测物体相连，当被测物体发生位移时，光源和光电探测器之间的光线强度会发生变化，从而产生与位移相关的电信号输出。
这种传感器具有较高的分辨率和稳定性，适用于对测量精度要求较高的场合。
总的来说，位移传感器的工作原理是通过将传感器与被测物体相连，利用不同的物理效应来实现对被测物体位移的测量和监控。
不同类型的位移传感器具有不同的特点和适用范围，可以根据实际需求选择合适的传感器进行应用。
随着科技的不断进步，位移传感器的测量精度和稳定性将会不断提高，为各个领域的应用提供更加可靠和精准的位移测量技术。
位移传感器的原理和应用
位移传感器的原理和应用
一、原理
1.接触式位移传感器原理：
接触式位移传感器通过机械接触的方式测量物体的位移。
常见的接触式位移传感器有滑动变阻器、电容变阻器、电感变阻器等。
这类传感器通过物体位移引起电阻、电容、电感元件的变化，从而测量位移。
2.非接触式位移传感器原理：
非接触式位移传感器通过无需物理接触的方式测量物体的位移。
常见的非接触式位移传感器有光电编码器、激光位移传感器、电磁感应位移传感器等。
这类传感器利用光学、电磁或其他无线技术测量位移。
二、应用
1.汽车工业：
在汽车制造中，位移传感器被广泛应用于测量车辆悬挂、翘曲、变形等情况，以提高车辆的安全性和驾驶舒适度。
例如，车辆的悬架系统中使用位移传感器测量悬挂裙的位移来调节车身的高度。
2.机械设备：
在机械制造过程中，位移传感器被广泛应用于测量机械元件的位移和变形，以确保机械设备的正常运行和精度。
例如，机床加工过程中使用位移传感器来实时监测工件位置，以确保加工质量。
3.工业自动化：
4.航空航天：
5.医疗领域：
总结：
位移传感器通过测量物体的位移，提供了在许多领域中实时定位、控
制和监测的重要数据。
无论是接触式还是非接触式，这些传感器都在汽车、机械设备、工业自动化、航空航天和医疗等领域发挥着重要的作用。
位移
传感器的发展不断推动着现代科技和工程的进步。
位移传感器
位移传感器一、简介位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。
在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。
按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。
模拟式又可分为物性型和结构型两种。
常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。
数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。
这种传感器发展迅速，应用日益广泛。
位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。
小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。
其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率最高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
二、工作原理电位器式位移传感器，它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。
普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。
但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。
电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。
物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。
阻值的变化量反映了位移的量值，阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。
通常在电位器上通以电源电压，以把电阻变化转换为电压输出。
线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化，其输出特性亦呈阶梯形。
如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件，则过大的阶跃电压会引起系统振荡。
因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。
电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。
它的优点是：结构简单，输出信号大，使用方便，价格低廉。
位移传感器原理
位移传感器原理
位移传感器是一种用于测量物体位置变化的设备。
它基于许多不同的物理原理来实现测量，其中包括电磁、机械和光学原理。
一种常见的位移传感器是电容传感器。
它包括两个电极，其中一个固定在参考点上，另一个则被测量物体所连接。
当物体相对于参考点发生位移时，电极之间的电容值也会相应变化，从而提供了相对位移的测量。
另一种常用的位移传感器是电感传感器。
它利用物体与线圈之间的磁场相互作用来测量位移。
当物体相对于线圈发生位移时，线圈的感应电压也会发生变化，通过测量这个变化，就可以确定物体的位移。
此外，压阻式传感器也可以用来测量位移。
它由一层感应电阻和一个活动导体组成。
当物体发生位移时，活动导体压在感应电阻上，从而改变了电阻值。
通过测量电阻值的变化，就可以获得位移的信息。
光电传感器是另一种常见的位移传感器。
它利用光的特性来实现测量。
传感器发射光束，并通过测量光束反射或透过物体的程度来确定位移的大小。
总之，位移传感器通过不同的物理原理来实现对位移的测量，包括电容、电感、电阻和光学原理。
通过适当选择传感器类型和合适的测量方法，可以实现准确的位移测量。
位移传感器工作原理
位移传感器工作原理1. 引言位移传感器是一种广泛应用于工业领域的传感器，用于测量物体在空间中的位置变化。
它能够将物体的位移转化为电信号，从而实现对物体位移的精确测量。
本文将介绍位移传感器的工作原理以及常见的类型和应用。
2. 工作原理位移传感器的工作原理基于测量物体相对于参考点的位移或移动距离。
常见的位移传感器工作原理包括电阻式、电感式和光电式等。
2.1 电阻式位移传感器电阻式位移传感器是最常见的一种类型。
它通过测量物体位移时引起的电阻值变化来实现测量。
传感器由一个导电材料形成的电阻元件组成，通常是一条细长的导线。
当物体移动时，它会接触到导线上的电阻元件，改变导电材料的电阻值。
传感器测量这些电阻值的变化，并将其转化为输入电信号，进而实现位移测量。
2.2 电感式位移传感器电感式位移传感器利用物体位移时引起的电感值变化来进行测量。
它由一个线圈和一个心脏型铁芯组成。
当物体靠近或远离线圈时，线圈中的电感值会发生变化。
传感器检测并测量这些电感值的变化，并将其转化为位移信号。
2.3 光电式位移传感器光电式位移传感器是一种基于光学原理的传感器。
它使用光的传播特性来测量物体的位移。
传感器由一个发光二极管和一个接收器（如光敏电阻或光敏二极管）组成。
发光二极管发出光束，当物体位移时，光束会射到接收器上。
传感器测量接收到的光强度变化，并将其转化为位移信号。
3. 常见类型除了上述提到的电阻式、电感式和光电式位移传感器，还有一些其他常见的类型。
3.1 压电式位移传感器压电式位移传感器是一种利用压电效应进行测量的传感器。
当施加压力或力矩到压电器件上时，会产生电荷累积或电场变化，从而使得输出电信号与位移相关。
3.2 超声波位移传感器超声波位移传感器使用声波波束的传输和接收来测量物体的位移。
它通常由一个发射器和一个接收器组成。
发射器发出的声波波束射到物体上，并被接收器接收。
传感器测量声波的传播时间并计算出物体的位移。
4. 应用领域位移传感器在工业领域有着广泛的应用。
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4位绝对码光电编码器码制
角度 0.0 22.5 45.0 67.5 90.0 112.5 135.0 157.5 180.0 202.5 225.0 247.5 270.0 292.5 315.0 337.5 位置 A B C D E F G H I J K L M N O p 二进制码 0000 0001 0010 0011 0100 0101 0110 0111 1000 1001 1010 1011 1100 1101 1110 1111 十进制码 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 格雷码 0000 0001 0011 0010 0110 0111 0101 0100 1100 1101 1111 1110 1010 1011 1001 1000
W W 2 sin( / 2)
W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2
一、长度及线位移检测
莫尔条纹特性：
方向性：垂直于角平分线 → 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距
放大性：夹角θ很小 → B>>W → 光学放大 → 提高灵敏度
准确性：误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度
l u0 A
衔铁
u0W 2 A u0W 2 A W2 L l Rm l l ur
思考：灵敏度？ 线性度？ 改进方法？ (2) 变面积式 (3) 螺管式 差动式
1 l 2
一、长度及线位移检测
(2) 变面积式
蔡萍教材P40 图3-5
(3) 螺管式
一、长度及线位移检测
电感位移传感器
在沿着偏心方向上，条纹近似地平行于栅线，称纵向莫尔条纹 其他位置上上，称为斜向莫尔条纹
二、角度及角位移检测
(b) 切向光栅 --- 环形莫尔条纹
光栅：两块，切向刻线，切向相同，栅距角相同， 基圆半径不同，栅线面相对同心叠合， 条纹：是以光栅中心为圆心的同心圆簇， 宽度也不是定值，随位置不同而不同。 特点：具有全光栅平均效应，用于高精度角度测量和分度。 (c) 环形光栅 --- 辐射形莫尔条纹 光栅：两块完全相同，环形刻线，偏心叠合， 条纹：近似直线并成辐射方向，称为辐射形莫尔条纹。
德国Heidenhain（海德汉）：
封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 m
开放式：量程270mm 分辨力1nm 开放式：量程1440mm，分辨力0.01m
一、长度及线位移检测
英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意 分辨力： 0.1 m 0.01 m
中国长春光机所： 量 程：1000mm
被测导体直径的影响
思考：
激励频率高低有什么影响？
三、绝对测距
日本Keynce 量程：50mm 精度0.03%
三、绝对测距
(1) 激光测距特点： 测量距离可达几公里甚至几十公里（主要手段） (2) 激光测距方法：飞行时间法、相位差法 (a) 飞行时间法： 原理：激光器发出单个激光脉冲 被测距离: d ct / 2
分辨力：0.01 m 精 度：2 m
一、长度及线位移检测
2、光学干涉（Interference）
干涉原理（单频干涉）：
两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取
决于两束光间的相位差Δ φ
亮条： 暗条： Δ φ =2kπ , k=0,1,l,2,… 相长干涉 Δ φ =2kπ , k=0,1,l,2,… 相消干涉
测量光束 激光束 分光器 参考光束
λ/4波片
渥氏棱镜
光电检测
f2-(f1± Δ f) 参考信号 测量信号 f2-f1 ±Δ f
一、长度及线位移检测
激光干涉位移传感器
HP5528A Laser interferometer： 量程：100m 分辨力： 0.01 m
二、角度及角位移检测
1、绝对码光电编码器
特大型
300~2000m m①
0.15~1 % ±0.5％
差动变压器 电 感 式
±0.08~75m m①
分辨力好，受到 ±0.5% 磁场干扰时需屏 蔽
＜3% 分辨力好，受被 测物体材料，形 状加工质量影响
x D
360
编码器 摩擦轮
二、角度及角位移检测
2、增量码光电编码器
结构： 与绝对编码器类似 码道：最外 --- 增量码道：透光扇形区→分辨率 中间 --- 辨向码道：错开半个扇形区 最内 --- 零位码道：透光狭缝→基准脉冲 特点：结构简单、精度高、分辨率高，可靠性好， 脉冲数字输出，测量范围无限 速度不高（最高几千转/分）
① 运输小车的控制
② 车体的定位检测
型式 线位 移 角位 移 线位 移
测量范围 1~300mm①
精确度 ±0.1%
直线性
特点
滑线式
电 阻 式
变阻器式
0~360°
1~1000mm① 0~60r ±0.15%应 变 ±0.3%应变
±0.1%
±0.5% ±0.5% ±0.1% ±2~3%
±0.1% 分辨力较好，可 静态或动态测量。 ±0.1% 机械结构不牢固
提高精度
增加码道、增大码盘尺寸 → 有限
光学细分 → 附加码道
二、角度及角位移检测
测量电路： 放大 → 足够电平 ，驱动 整形 → 接近理想方波 细分 → 提高分辨率（光学+电路） 编码码制： 十进制码 --- 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 读数直观，不易电路处理 二进制码 --- 0000 0001 0010 0011 0100 直观，易于后续电路和计算机处理 多位码同时动作→同步误差→错码 格 雷 码---循环码：相邻两数只有一位不同 每次只有一位变化→转换
一、长度及线位移检测
结构：
观察屏、 光电接收
光 源
固定 反射镜 半透半反镜
被测物体
实现要点:（1）单一光源 （2）被测物体 （3）光电接收
（4）分光镜（半透半反） （5）固定参考反射镜
一、长度及线位移检测 双频激光干涉位移传感器
测量原理： 激光器发出一束激光， 含有两束偏振光： 左旋光，频率f1 右旋光，频率f2， 振幅相同， 频率相差约2MHz。 f1→角锥棱镜 f1±Δ f1 f2→光电检测
位移检测
位移是物体上某一点在一定方向上的位置变动， 因此位移是矢量。测量方向与位移方向重合才能真实 地测量出位移量的大小。若测量方向与位移方向不重 合，则测量结果仅是该位移量在测量方向上的分量。 位移测量从被测量来的角度可分为线位移测量和 角位移测量；从测量参数特性的角度可分为静态位移 测量和动态位移测量。许多动态参数，如力、扭矩、 速度、加速度等都是以位移测量为基础的。
一、长度及线位移检测
(2) 光栅传感器特点
①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″
②量程大：透射式---光栅尺长（<1米），反射式--->几十 米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失
⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、
移动精度 ⑥成本高：电路复杂
组成：光源、码盘、光电元件 原理：平行光源→码盘→ 光电元件→电信号输出
码盘：光学玻璃，透光/不透光→ 照相腐蚀 要求：分度准确（工艺）、阴暗交替边缘陡峭（工艺、材质）
光源：LED → 光学系统 → 平行光 → 投影精确 光电元件：硅光电池，光电晶体管 滞后 → 响应速度 码道：位数→每个码道对应一个光电元件→分辨率 角度分辨率：α=360º/2n n-码道数（位数）
一、长度及线位移检测
1、电感式位移传感器
W2 L Rm Rm
li ui Ai
W---线圈匝数
Rm---磁路总磁阻
li---各段导磁体的长度
ui---各段导磁体的磁导率 Ai---各段导磁体的截面积
一、长度及线位移检测
电感位移传感器—基本形式
(1) 变气隙式
线圈 铁芯
l Rm uA
角位 移
±0.5% 结构牢固，寿命 长，但分辨力差， ±0.5% 电噪声大 ±1% 不牢固 使用方便，需温 度补偿 满刻度 输出幅值大，温 ±20% 度灵敏性高
非粘贴的
应 变 式
粘贴的 ±0.25%应 变
半导体的
±2%~3 %
变气隙 型 自感式 螺管型
±0.2mm 1.5~2mm
±1%
±3%
只宜用于微小位 移测量 测量范围较前者 宽使用方便可靠， 动态性能较差
径向： 有限范围 --- 圆环形 --- 涡流环 涡流密度不等： D=d时：密度最大 D=1.8d：下降为5% D<0.4d：无电涡流 传感器特性：非线性严重，修正
电涡流密度径向分布
三、绝对测距
被测导体：
作用：导体 --- 传感器的一部分 --- 参数影响 材料：电导率越高，灵敏度越高； 磁导率越高，灵敏度越低， 形状：平面 ---- 曲面 --- 曲率半径 （D>3.5d）
二、角度及角位移检测
特点： 结构简单、精度高、分辨率高，可靠性好，
直接数字量输出 --- 数字传感器， 绝对码 --- 绝对角位置传感器
测量范围有限（360º ），
速度不高（最高几千转/分），怕振动 --- 丢数 连接 --- 弹性连轴结 应用：小范围绝对位置测量---角度、直线位置 小范围位移、速度检测 例：直线 → 旋转 < 360º
怕振动 --- 丢数 应用：相对位置测量---角度、直线位置， 位移、速度测量
二、角度及角位移检测
3、圆光栅传感器
工作原理：莫尔条纹技术 类型：(1) 直线莫尔条纹：条纹 ---直线 RENISHAW 圆光栅：角度分辨率为0.01″ 系统精度为± 0.7″ (2) 圆型莫尔条纹：条纹 --- 圆型 (a) 径向光栅 --- 圆弧形莫尔条纹 光栅：两块，径向刻线，栅距角相同，偏心叠合 条纹：在不同区域栅线的交角不同，不同曲率半径圆弧 条纹宽度不是定值，随位置不同而不同。 在位于偏心的垂直位置上，条纹近似垂直于栅线，称横向莫尔条纹