实验室超纯水机出水质标准

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半导体超纯水设备用水水质标准

半导体超纯水设备用水水质标准

半导体超纯水设备用水水质标准半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备,需要符合特定的用水水质标准,下面具体介绍下半导体超纯水设备。

半导体超纯水设备水质标准:半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。

半导体超纯水设备制备工艺:1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(传统工艺)2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM)(最新工艺)3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥17MΩ.CM)(最新工艺)4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(最新工艺)5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点(≥15MΩ.CM)(传统工艺)半导体超纯水设备的应用领域:电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。

电子管生产、显像管和阴极射线管生产配料用纯水。

黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。

生产液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液。

晶体管生产中纯水主要用于清洗硅片。

集成电路生产中高纯水清洗硅片。

半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路用纯水。

半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。

高品质显像管、萤光粉生产。

汽车、家电表面抛光处理。

实验室用水的质量标准和质量控制

实验室用水的质量标准和质量控制

实验室用水的质量标准和质量控制在实验室中,水是一种必不可少的资源,它直接影响着实验结果的准确性和可靠性。

因此,实验室用水的质量标准和质量控制显得尤为重要。

本文将从实验室用水的质量标准和质量控制两个方面进行详细阐述。

一、实验室用水的质量标准1.1 纯净水标准在实验室中,纯净水是常用的实验用水之一。

纯净水的标准主要包括电导率、溶解固体、微生物含量等指标。

一般来说,电导率应低于1μs/cm,溶解固体应低于1mg/L,微生物含量应低于100CFU/mL。

1.2 蒸馏水标准蒸馏水是实验室中常用的另一种实验用水。

其标准主要包括总固体、硅酸盐、氯离子等指标。

总固体应低于10mg/L,硅酸盐应低于0.1mg/L,氯离子应低于0.1mg/L。

1.3 超纯水标准超纯水是实验室中要求最高的实验用水,其标准主要包括电阻率、溶解氧、有机物含量等指标。

电阻率应高于18.2MΩ·cm,溶解氧应低于20μg/L,有机物含量应低于0.1ppb。

二、实验室用水的质量控制2.1 水质监测实验室应定期对实验用水进行监测,确保水质符合标准要求。

监测内容主要包括物理指标、化学指标和微生物指标。

2.2 设备维护实验室应定期对水质处理设备进行检查和维护,确保设备正常运行。

如膜分离设备、离子交换树脂等。

2.3 水质记录实验室应建立水质记录档案,记录每批实验用水的来源、处理方式、检测结果等信息。

以备查验。

三、实验室用水的质量控制方法3.1 逆渗透技术逆渗透技术是一种常用的水质处理技术,通过高压驱动水通过半透膜,去除水中的杂质和离子,得到高纯度水。

3.2 离子交换树脂离子交换树脂是一种常用的水质处理材料,通过树脂对水中的离子进行交换,去除水中的杂质和离子,得到纯净水。

3.3 活性炭吸附活性炭是一种常用的吸附材料,可以吸附水中的有机物和异味物质,提高水质的纯净度。

四、实验室用水的质量控制注意事项4.1 防止二次污染实验室用水在采集、储存、输送等过程中易受到二次污染,应加强对水质的保护,避免二次污染。

实验室超纯水机水质标准-(1)推荐word

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中国国家实验室分析用水标准(GB/T6682-2008)
注1:由于在一级水、二级水的纯度下,难于测定其真实的PH值,因此,对于一级水、二级水的PH值范围不做规定。

注2:由于一级水的纯度下,难于测定可氧化物质和蒸发残渣,对其限量不做规定,可用其他条件和制备方法来保证一级水的质量。

美国测试和材料试验学会(ASTM),临床试验标准国际委员会(NCCLS),美国临床病理学会CAP规定的水质标准。

实验室用水的质量标准和质量控制

实验室用水的质量标准和质量控制

实验室用水的质量标准和质量控制一、引言实验室用水的质量标准和质量控制是保证实验室科研工作的重要环节。

优质的实验室用水能够确保实验结果的准确性和可靠性,同时也能延长实验设备的使用寿命。

本文将介绍实验室用水的质量标准和质量控制的相关内容,包括水质标准、水质检测方法和水质控制措施等。

二、水质标准实验室用水的质量标准通常根据实验需求和实验设备的要求来制定。

以下是一般情况下的水质标准参考值:1. 电导率:实验室用水的电导率应小于5 μS/cm,以确保水的纯度足够高。

2. pH值:实验室用水的pH值应在6.5-8.5之间,以保证水的酸碱性适中。

3. 溶解氧:实验室用水的溶解氧含量应大于6 mg/L,以确保水中的氧气充足。

4. 总溶解固体(TDS):实验室用水的TDS应小于500 mg/L,以保证水的纯度。

5. 微生物污染:实验室用水应无细菌和其他微生物的污染。

以上数值仅为参考值,具体的水质标准应根据实验室的具体需求和相关行业标准来确定。

三、水质检测方法为了保证实验室用水的质量,需要进行水质检测。

常用的水质检测方法包括以下几种:1. 电导率测定:使用电导率仪或电导率计进行测定,根据电导率值判断水的纯度。

2. pH值测定:使用pH计进行测定,根据测得的pH值判断水的酸碱性。

3. 溶解氧测定:使用溶解氧仪进行测定,根据溶解氧含量判断水中氧气的充足程度。

4. TDS测定:使用TDS仪进行测定,根据测得的TDS值判断水的纯度。

5. 微生物检测:使用微生物培养基和培养方法进行微生物检测,判断水中是否存在细菌和其他微生物。

以上方法是常用的水质检测方法,实验室可以根据具体需求选择适合的方法进行水质检测。

四、水质控制措施为了保证实验室用水的质量,需要采取一系列的水质控制措施。

以下是常见的水质控制措施:1. 水源选择:选择优质的水源,如自来水或经过特殊处理的纯水。

2. 水质处理:对水源进行适当的处理,如过滤、反渗透等,以去除悬浮物、溶解物和微生物等杂质。

实验室超纯水机出水水质的pH值测量

实验室超纯水机出水水质的pH值测量

实验室超纯水机出水水质的pH值测量,造成其pH值测量的困难。

实践中,在低离子强度的样品中获得重复性和稳定的测量结果是困难的。

低离子样品,即低碱性,离子强度低,或者低电导率(电导率一般为0.056-10μs/cm)高阻抗,例如去离子水。

由于在参考接界中产生变化的接界电位,当测量去离子水时会产生不同的pH值,即使是新的,密封的电极,并且在缓冲标准溶液中得到很好的校正。

为什么需要测量纯水的pH值在纯水的生产过程中,测量纯水可以作为过程污染的指示器。

当空气或二氧化碳侵入纯水生产或者分发系统时,将导致pH只的漂移。

选择pH电极更贵的双接界电极相比传统电极有许多优势,然而,和单接界电极相比,在测量超纯水方面,并没有显现出特别的优势。

最好的选择是可重复充填的,液体参考液电极,并由低阻抗玻璃特制。

一个流通性参考接界有相对高的流通速率,减少了接界电位。

密封的电极,通常是凝胶填充的,其最大优势是长寿命,是因为它的参比溶液的非常慢的流出速率。

但是,较快的流出速率是非常适合超纯水的,是由于pH电位可以迅速稳定。

静电干扰由于超纯水机的导电性非常差,所以它也是一个静电源。

这些静电可以在测量pH值时表现出来。

为了补偿这些干扰,电极要做特别的屏蔽。

这种电极相对来说比较贵,特别为超纯水的pH测量做出特殊的设计。

二氧化碳(CO2)的入侵对于测量的影响纯水(典型pH7范围)暴露于空气大气中将吸收CO2,直到平衡。

CO2将酸化样品,降低pH值。

和温度及压力有关,纯水的pH值将下降到6.2。

将样品取样到实验室,大气中的CO2将会很快侵入样品中,所以应力求避免。

所以将实验室酸度计带到现场进行测量是一个好方法。

纯水的pH和温度的关系水分子可以认为酸和碱化和而成,可以由下述方程式表示:2H2O«H3O OH-通常我们说纯水的ph值为7,但是这个是个令人误解的说法。

实际上,纯水仅仅在特定的温度下表现为pH为,这个温度为样品的Kw值为1.00x10-14mol2dm-6。

软水,纯水,超纯水水质规格要求

软水,纯水,超纯水水质规格要求

※超純水水質保証(超純水)(0.2um出口)Resistivity ≧ 16 MΩ-CMParticle (0.5μm) <100 PCS/LBacteria <1 CFU/100MLTOC <50 ppb其他離子NO3<50 ppbNO2<0.5 ppbPO4<2 ppbSO4<1 ppbAl <0.5 ppbB <1 ppbCa <0.5 ppbCu <0.5 ppbFe <0.5 ppbK <1 ppbMg <0.5 ppbMn <1 ppbNa <1 ppbUltrapure Water Quality Target Values for Semiconductor(半導體廠超純水水質要求)Manufacturing in Japan(日本廠)Cited from:Y. Motomura , Kurita Water Industries Ltd.Membrane Journal (Korea), 6, NO.3,141-156(1996).ASTM Guidelines for Electronics-grade Water (ASTM關於電子級用水規格說明)ASTM Standard Guide for UPW Used in the Electronics and Semiconductor Industry.Ultrapure Water Quality Target Values in ITRS 1999(國際半導體技術指引(1999)超純水水質要求)THE INTERNATIONAL TECHNOLOGY ROADMAP FOR SEMICONDUCTORS:1999(國際半導體技術指引(1999)Defect Prevention and Elimination Technology Requirements- Near Term(近期缺失避免及消除技術需求)Defect Prevention and Elimination Technology Requirements- Long Term(長期缺失避免及消除技術需求晶圓廠水質要求水質要求UPW(UF outlet)。

超纯水机的制水参考标准是什么

超纯水机的制水参考标准是什么

超纯水机的制水参考标准是什么EDI超纯水机优势和应用EDI超纯水机工艺技术已经越来越受人们关注,该技术有很多优点,已经被很多行业广泛应用。

也取代了传统的制超纯水方法,出水更稳定,运行更可靠。

EDI超纯水机的优点EDI系统可以用来替换传统的混床工艺,EDI跟以往工艺不同的是,此工艺不需要大量的化学药剂进行再生。

EDI系统的出水水质非常稳定,又可连续达到水质标准,减少了占地面积,还省去了传统工艺中的酸、碱再生步骤,生产安全具有可靠性,又可实现模块化的组装。

维修也非常简便,并且不需要停机。

运行成本也是非常低的。

EDI超纯水机优势EDI超纯水机有很多优势,其中,占地面积非常小,因为跟以往工艺相比,EDI超纯水机省去了混床部分和再生的机。

出水水质可根据用户的需求进行调整,水质非常稳定,这跟混床技术相比,就可以不用担心树脂因为失效而导致水质变差等问题。

而且成本低,只耗电,省去了酸碱步骤,可以节省掉材料费用,而且非常环保,增加了安全操作性。

EDI机应用领域EDI超纯水机可以应用于电厂和一些电子行业中,像化学水的处理,半导体等用水,制药行业和食品行业对水的要求过高,我公司EDI超纯水机的产水水质均符合用户的用水需求,我公司设备还可以用于对水有严格要求的行业和各种小型的纯水站及一些高端行业用水等。

医疗纯化水设备的基本介绍及工艺流程近几些,医疗行业兴起,对医疗行业的管治也越来越严格,由其是一些医疗用水,必须要满足GMP,还要达到一定标准。

莱特莱德作为专业超纯水处理公司,为满足用户要求提高高品质的医疗纯化水设备及服务;并结合最新工艺,弥补了传统工艺上的不足。

医疗纯化水设备性能:医疗纯化水设备是全自动控制,可以进行设置,冲洗,开关机都可以实现自己化。

反渗透主机部分,有自动保养的功能,而且整个设备都是采用不锈钢构成,结实耐用。

医疗纯化水设备工艺流程:第一种工艺流程:原水经过加压进入四级预处理中进行处理,使水达到一定标准,可进入反渗透设备,再由离子交换器进行处理,处理之后消毒杀菌,再由微孔过滤器处理,最终达到用水点。

超纯水及实验室用水标准

超纯水及实验室用水标准
中国电子行业超纯水国家标准
电阻率MΩ.CM.(25℃)
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅≤μg/L
2
10
>1μm微粒数
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
0.1
铜≤μg/L
0.2
1
锌≤μg/L
0.2
1
镍≤μg/L
0.1
1
钠≤μg/L
0.5
2
钾≤μg/L
0.5
2
氯≤μg/L
1
1
硝酸根≤μg/L
<吸光度(254nm,1cm光程)≤
0.001
0.01
-
蒸发残渣(105±2℃),mg/L≤
-
1.0
2.0
可容性硅[以(sio2)计],mg/L<
0.01
0.02
-
实用三个等级净化水的技术要求(GB6682):
一级水:基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水:可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
1
1
磷酸根≤μg/L
1
1
硫酸根≤μg/L
1
1
总有机碳≤μg/L
20
100
中国实验室用水国家标准GB6682-2000
PH值范围(25℃)
-
-
5.0-7.5
电导率(25℃),mS/m ≤
0.01
0.10
0.50
比电阻(MΩ.cm.25℃)≥
10
1
0.2
可氧化物质[以(0)计],mg/L
-
0.08
0.40
三级水:适用一般实验室实验工作。
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实验室超纯水机是目前效果最佳的实验室用水制备。

超纯水机性能优异、外形美观,不但可用在实验室中,还可用于工厂用水、医院、食品、自来水厂、电镀、锅炉软化等行业。

原始的超纯水机通常选用双级反渗透水处理工艺制造超纯水,通过一系列处理过程使得超纯水机进水变成符合标准的超纯水。

但是超纯水机则是在反渗透水处理工艺基础之上,结合应用了离子交换技术以及末端水处理技术。

该种超纯水机的出水质量符合甚至是超过相关部门的GB/T6682-2008实验室一级用水水质标准。

实验室超纯水机工作流程
反渗透(也称逆渗透)技术:反渗透原文是REVERSE OSMOSIS,它是美国太空总署集合多国科学家,在政府支持下,花费数十亿美元,经过多年研究而成。

反渗透的原理是在原水一方施加比自然渗透压力更大的压力,使水分子由浓度高的一方逆渗透到浓度低的一方。

由于反渗透膜的孔径远远小于病毒和细菌的几百倍乃至上千倍以上,故各种病毒,细菌,重金属,固体可溶物,污染有机物,钙镁离子等根本无法通过反渗透膜,从而达到水质净化的目的。

实验室超纯水机出水质标准
一级水:基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。

它可用二级水经过进一步的处理而制得。

二级水:可含有微量的无机、有机或胶态杂质。

三级水:适用一般实验室实验工作。

实验内容分无机实验和有机实验,无机实验只需电阻大于18MΩ.cm的水质就可以,而有机实验则通常要去除水中的有机物质,所以除了电阻大于18MΩ.cm以外,还需要总有机碳的指标。

实验室超纯水机纯化4步骤
1、首先是超纯水机的预处理单元,该单元属于初级净化。

2、经过预处理之后的进水通过反渗透单元处理,此时制备纯水。

3、第三步通过离子置换树脂的处理,可制备出18.2MΩ.cm超纯水。

4、终端处理(生产出符合特殊要求的超纯水)。

实验室超纯水机质量过硬,出水品质高,深受人们的喜爱。

超纯水机水质检测自动显示,从而获得了高质量的产出水。

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