含氟废气的净化技术
大气除氟措施
大气除氟措施引言氟是一种饱受关注的大气污染物之一，它主要来自于工业和人类活动的排放。
氟化物的长期暴露对人类和环境都有潜在的风险，因此进行大气除氟措施变得尤为重要。
本文将探讨一些常见的大气除氟措施，以减少氟在大气中的浓度和对环境的影响。
1. 排放控制减少氟在大气中的浓度的一种有效方式是通过控制和减少氟的排放源。
下面是几种常见的排放控制措施：•采用低氟燃料：在一些工业过程中，氟往往是作为杂质存在于燃料中。
采用低氟含量的燃料可以有效降低氟的排放。
•精细调节燃烧条件：通过对工业过程中的燃烧条件进行精细调节，可以减少氟的生成和排放。
例如，调整燃烧温度、燃烧时间和氧化剂供给等。
•安装污染防治设备：在一些有氟排放的工业设备中，安装污染防治设备如气体洗涤装置、催化剂和过滤器等，可以有效降低氟的排放。
这些排放控制措施不仅能减少氟的排放，而且对其他污染物的排放也有一定的控制作用，对于改善大气质量具有积极的意义。
2. 化学吸附化学吸附是一种有效的除氟措施，通过使用合适的化学物质吸附空气中的氟化物，从而降低大气中氟的浓度。
以下是一些常见的化学吸附剂：•氧化铝：氧化铝是一种常用的化学吸附剂，它能够有效吸附空气中的氟化物，并形成稳定的产物。
•活性炭：活性炭具有极高的表面积和出色的吸附性能，可用于吸附氟化气体。
•硅胶：硅胶也被广泛应用于吸附氟化物的过程中，它是一种颗粒状材料，具有出色的吸附特性。
化学吸附不仅可以用于净化大气中的氟化物，还可以应用于一些工业废气的处理过程中。
3. 生物监测与修复生物监测和修复是另一种常见的大气除氟措施。
通过监测生物体中的氟浓度，可以得到大气中氟的污染程度。
同时，一些植物种类对氟具有较强的吸收能力，在一定程度上可以修复受氟污染的土壤和大气。
以下是一些相关措施：•生物指示植物：选择适宜的植物作为氟的生物指示植物，通过监测植物体内氟的浓度，可以评估大气中氟的污染状况。
•植物修复：一些植物如铁线莲、胡杨等对氟具有较强的吸附和修复能力，可以被用于修复受氟污染土壤的生态系统。
氟化工行业废水、废气污染治理工程技术规范(参考Word)
氟化工行业废水、废气污染治理工程技术规范（征求意见稿）编制说明《氟化工行业废水、废气污染治理工程技术规范》编制组二〇一五年十一月目录1 任务来源.................................................................................................................................................. -2 -2 标准制订必要性...................................................................................................................................... - 2 -3 主要工作过程.......................................................................................................................................... -4 -4 调研情况.................................................................................................................................................. -5 -4.1 行业发展情况.............................................................................................................................. - 5 -4.2 氟化工行业生产工艺及污染物产生情况 ................................................................................ - 11 -5 氟化工污染治理工程实例.................................................................................................................... - 22 -5.1 大气污染治理技术.................................................................................................................... - 22 -5.2 废水治理技术............................................................................................................................ - 27 -6 主要技术内容及说明............................................................................................................................ - 35 -6.1 本标准的结构和内容编排........................................................................................................ - 35 -6.2 前言............................................................................................................................................ - 35 -6.3 适用范围.................................................................................................................................... - 35 -6.4 规范性引用文件........................................................................................................................ - 36 -6.5 术语和定义................................................................................................................................ - 36 -6.6 污染物与污染负荷.................................................................................................................... - 36 -6.7 总体要求.................................................................................................................................... - 36 -6.8 工艺设计.................................................................................................................................... - 37 -6.9 主要工艺设备和材料................................................................................................................ - 44 -6.10 检测与过程控制.................................................................................................................... - 45 -6.11 主要辅助工程........................................................................................................................ - 45 -6.12 劳动安全与职业卫生............................................................................................................ - 45 -6.13 施工与验收............................................................................................................................ - 45 -6.14 运行与维护............................................................................................................................ - 45 -7 标准实施的环境效益和经济技术分析................................................................................................ - 46 -8 标准实施建议........................................................................................................................................ - 46 -9 审查会纪要及审查意见修改情况说明................................................................................................ - 46 -《氟化工行业废水、废气污染治理工程技术规范》编制说明任务来源根据《福建省质量技术监督局关于印发2013年第二批福建省地方标准制修订计划项目的通知》（闽质监标[2013]496号），本项目列入我省2013年地方标准修制订计划。
含氟废气处理处置技术规范
含氟废气处理处置技术规范1 范围本标准规定了含氟废气的主要成分、处理处置方法和环境保护要求。
本标准适用于湿法磷酸及磷肥生产过程中产生的含氟废气。
2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 7744 工业氢氟酸GB 7746 无水氟化氢GB 14554 恶臭污染物排放标准GB 16297 大气污染物综合排放标准HG/T 4692 工业氟硅酸铵3 含氟废气的主要成分含氟废气主要成分为四氟化硅（SiF 4）气体和氟化氢（HF ）气体。
4 处理处置方法4.1 生产氟硅酸铵4.1.1 原理用氟化铵溶液吸收含氟废气，得到氟硅酸铵溶液，经冷却结晶，离心分离、干燥后即得成品。
其反应方程式如下：62444)(2SiF NH F NH SiF →+分离后的稀氟硅酸铵与氨反应，得到浓度较低的氟化铵溶液，氟化铵溶液可用于吸收含氟废气，其反应方程式中下：2423624624)(SiO F NH O H NH SiF NH +→++也可用氟化铵溶液吸收含氟废气，得到氟硅酸铵溶液，不进行冷却结晶而直接通入氨气，可获得浓度较高的氟化铵溶液，氟化铵溶液可用于制取如氟化铵、氟化氢铵、氟化铝等多种无机氟盐。
同时可加水稀释一部分浓度较高的氟化铵溶液，稀释后用于吸收含氟废气。
4.1.2 工艺流程一塔和二塔用15%～25%质量浓度的氟化铵溶液作为吸收介质，三塔用水作为吸收介质，含氟废气经一塔和二塔吸收生成氟硅酸铵，此时含氟废气基本吸收完全，而用三塔吸收一塔和二塔未吸收完全的少量含氟废气，同时把一塔和二塔氟化铵溶液挥发出的氟化铵、氟硅酸铵及游离氨进行洗涤吸收。
一塔吸收后的氟硅酸铵经冷却结晶即可分离出氟硅酸铵产品，分离氟硅酸铵产品后的稀氟硅酸铵溶液用液氨氨化，获得浓度15%～25%的氟化铵溶液，返回一塔和二塔作为吸收介质，三塔的吸收液达到相应指标后加入到分离后的稀氟硅酸铵溶液内进行氨化或直接与氨气反应制取多种无机氟盐。
常见有毒有害气态污染物的净化
生物滴滤塔
• 运行时有机气体从塔底进入，在流动过程中与已 接种的挂膜的生物滤料接触而被净化，净化后的 气体由塔顶排出。滴滤塔集废气的吸收与液相再 生于一体，塔内增设了可附着微生物的填料，为 微生物的生长、有机物的降解提供了条件。启动 初期，在循环液中接种了经被处理有机物驯化的 微生物菌种，从塔顶喷淋而下，与进入滤塔的有 机废气逆向流动，微生物利用溶解于液相中的有 机物质，进行代谢繁殖，并附着于填料表面，形 成生物膜，完成生物挂膜过程。气相主体的有机 物和氧气经过传输进入微生物膜，被微生物利用， 代 排谢。产物CO2等再经过扩散作用进常见入有毒气有害相气态主污染物体的净后化 外
常见有毒有害气态污染物的净化
冷凝法的特点
• 由于冷凝法净化对废气的净化程度受冷 凝温度的限制，要求净化程度高或处理 低浓度废气时，需要将废气冷却到很低 的温度，经济上不合算，因此，在大多 数情况下，不单独使用冷凝法治理有机 废气，而是作为其他处理方法的预处理 工序。但冷凝法净化所需设备和操作条 件比较简单，回收物质纯度高。
常见有毒有害气态污染物的净化
冷凝法治理有机废气
• 冷凝法的基本原理 • 冷凝法的特点 • 冷凝法的适用范围 • 冷凝法的流程与设备
常见有毒有害气态污染物的净化
冷凝法的基本原理
• 同一物质饱和蒸汽压的大小与温度有关。 温度越低，饱和蒸汽压值越低。对含有 一定浓度的有机蒸汽的废气，当将废气 降到某一温度时，与其相应的饱和蒸汽 压值已低于废气组分分压时，该组分就 要凝结为液体，即实现了气体分离的目 的。
常见有毒有害气态污染物的净化
含氟废气的吸附法净化
• 用氧化铝粉作吸附剂吸附铝厂烟气中的氟化氢是 20世纪60年代电解铝厂含氟烟气治理技术上的一 个重要突破。它不仅可以用来净化预焙窑的烟气， 而且还可以处理净化电解槽出来的含氟废气，目 前来自预熔窑的烟气主要是采用吸附法，而来自 电解槽的烟气还可采用吸收法。
含氟废水处理方法
含氟废水处理方法含氟废水是指含有氟化物的废水，通常来自冶金、化工、电镀、制革等工业生产过程中的废水排放。
含氟废水对环境和人体健康都具有一定的危害性，因此需要进行有效的处理和处理。
下面将介绍几种常见的含氟废水处理方法。
一、物理方法。
物理方法是指利用物理原理对含氟废水进行处理的方法。
其中，吸附法是一种常见的物理方法。
吸附法通过将含氟废水与吸附剂接触，利用吸附剂对氟离子的吸附作用，将废水中的氟离子吸附到吸附剂表面，从而实现含氟废水的处理。
常用的吸附剂包括活性炭、氧化铁等。
此外，膜分离技术也是一种常见的物理方法，通过特定的膜对含氟废水进行过滤，从而实现氟离子的分离和去除。
二、化学方法。
化学方法是指利用化学原理对含氟废水进行处理的方法。
其中，沉淀法是一种常见的化学方法。
沉淀法通过加入适当的沉淀剂，如氢氧化钙、氢氧化钠等，将废水中的氟离子与沉淀剂发生反应生成沉淀物，从而实现含氟废水的处理。
此外，离子交换法也是一种常见的化学方法，通过离子交换树脂对废水中的氟离子进行交换，将氟离子吸附到树脂上，从而实现氟离子的去除。
三、生物方法。
生物方法是指利用生物体对含氟废水进行处理的方法。
其中，生物降解法是一种常见的生物方法。
生物降解法通过将含氟废水中的有机物质转化为无害的物质，利用微生物的代谢活动来去除废水中的氟离子。
此外，植物吸附法也是一种常见的生物方法，通过植物的吸附作用将废水中的氟离子吸附到植物体内，从而实现含氟废水的处理。
四、综合方法。
综合方法是指将物理、化学、生物等多种方法结合起来对含氟废水进行处理的方法。
通过综合利用各种方法的优势，可以更有效地去除含氟废水中的氟离子，实现废水的处理和净化。
总之，针对含氟废水的处理，可以根据实际情况选择合适的处理方法，也可以结合多种方法进行综合处理，以达到净化废水、保护环境的目的。
希望各行各业在生产过程中能够重视含氟废水处理工作，采取有效的措施，共同保护我们的环境。
含氟废气的净化技术
• 1、净化原理
• 氟化铝对HF的吸附主要是化学吸附，同时伴有物 理吸附，吸附的结果是在氧化铝表面上生成表面化合 物—氟化铝，其具体过程包括如下几个步骤。 ①HF在气相中的扩散； ②扩散的HF通过氧化铝表面的气膜到达其表面； ③HF被吸附在氧化铝的表面上； ④被吸附的HF与氧化铝发生化学反应，生成表面化合物
产中。
• 1、净化原理 由于SiF4和HF 都极易容于水，HF溶解于水生成氢氟 酸,SiF4溶于水生成氟硅酸（H2SiF6）和硅胶（SiO2·H2O）。
反应式 3SiF4＋3H2O—2H2SiF6＋ SiO2·H2O 2HF＋SiF4—H2SiF6
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• 2、工艺流程 • 由于磷肥品种、生产方法、含氟废气的温度、气量、含氟量的不同
点是不易造成硅胶堵塞，清理方便，但脱氟效率不高。
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• 室 是指拨水轮吸收室
• 器 是指文丘里吸收器
• 塔 是指湍球塔和湍流板塔
• 旋 是指旋流扳塔
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如图是普钙厂一室一旋脱氟流程，该流程将吸收液分3个吸收段，各自循环，因而获得 较高浓度的氟硅酸产品。
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• 2、氧化铝的性质对吸附的影响 ①氧化铝晶型对吸附容量有很大影响，γ型氧化铝的 吸附容量大；
②氧化铝的比表面积越大，吸附容量也越大；
③氧化铝湿度大小直接影响吸附净化能力。 另外，分子中的结晶水也影响吸附能力，一般在 一定温度时焙烧，脱去部分结晶水，增强活性， 但当分于中的洁净水全部失掉后，γ-Al2O3，将转变 成α-A12O3，吸附能力大大降低。
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含氟废气 水吸附处理工艺
含氟废气水吸附处理工艺《含氟废气水吸附处理工艺》随着工业化的快速发展，含氟废气的排放问题日益引起关注。
含氟废气是指含有氟化物化合物的废气，如氟乙烯、氟硅烷等。
这些废气具有高毒性和高腐蚀性，对环境和人体健康造成严重危害。
因此，开发高效处理方法成为迫切的需求。
水吸附是一种利用水分子与废气中的有机污染物发生物理或化学作用，将其吸附至水中的处理方法。
对于含氟废气的处理，水吸附工艺凭借其高效、经济、环保的特点而备受关注。
在含氟废气水吸附处理工艺中，首先需要建立一套完善的处理装置。
该装置包括废气进口、水吸附设备和废气出口等组成部分。
废气进口与水吸附设备连接，将废气引入其中。
水吸附设备由一系列吸附剂组成，可以是硅凝胶、活性炭或高分子吸附树脂等。
这些吸附剂具有较大的比表面积和丰富的孔隙结构，能够有效吸附废气中的有机污染物。
处理过的废气则从废气出口释放，达到净化的目的。
在实际运用中，水吸附处理工艺通常采用连续处理方式。
废气通过水吸附设备时，废气中的有机污染物会附着在吸附剂的表面或孔隙中。
同时，水分子也会与有机污染物发生一定的物理或化学反应，加速吸附过程。
一段时间后，吸附剂饱和，需进行再生。
再生过程中，通过升高温度或加入一定的溶剂，将吸附在吸附剂上的有机污染物再释放出来。
之后，吸附剂可以继续使用。
相比于传统的废气处理方法，含氟废气水吸附处理工艺具有多项优势。
首先，水吸附设备的构造简单，操作灵活，易于维护。
其次，吸附剂具有较大的比表面积和吸附能力，可高效地去除废气中的有机污染物。
此外，水吸附处理工艺无需额外添加化学药剂，对环境友好。
然而，含氟废气水吸附处理工艺也存在一些问题。
例如，吸附剂的再生过程可能会产生大量有机溶剂废液，需要进行专门处理。
此外，吸附剂的成本较高，需定期更换，增加了使用成本。
总体而言，《含氟废气水吸附处理工艺》是一种高效、经济、环保的废气处理方法。
其通过吸附剂的选择和处理装置的优化，可以更好地应对含氟废气排放问题，减轻对环境与人体健康的威胁。
有机氟去除方法
有机氟去除方法有机氟化合物是一类广泛存在于环境中的化合物，遍布于大气、水体、土地和食物等各个环境中。
然而，有机氟化合物常常表现出非常不稳定的性质，很难大规模地去除。
本篇文章将介绍一些有机氟治理方法，以期为保护环境和人类健康做出贡献。
1.生物降解法生物降解法是指通过一些具有特殊酶的微生物对有机氟化合物进行生物降解，将其分解为无毒化合物，从而起到去除有害物质的效果。
这种方法具有环保、高效等优势，但需要一定时间，适用于低浓度有机氟化合物去除。
2.化学还原法化学还原法指通过还原剂将含氟化合物还原成无氟化合物，如NaBH4、Zn等，具有快速的作用，是一种针对高浓度有机氟化合物的治理方法。
但同时也存在不足，如还原剂容易造成二次污染，且需要精细控制条件和技术，通常需要配合其他治理方法。
3.吸附法吸附法是指利用吸附介质吸附有机氟化合物，如活性炭、氧化铁等，通过吸附表面滞留的有机氟化合物来实现去除。
这种方法具有相对较低的成本，并且比较适用于低浓度有机氟化合物的治理，但需要处理后的吸附介质进行再处理或处置，同时，可能会带来对其他环境问题的影响。
4.光催化法光催化法是指利用光催化材料，如二氧化钛等，在紫外光的作用下，产生具有去除有机氟化合物作用的活性氧种，实现有机氟化合物的去除。
这种方法具有去除效率高、处理后的材料可进行再利用等优点。
不过需要足够强度的紫外光，并且会因反应物的尾气排放等问题而造成二次污染。
5.超声波法超声波法是指通过超声波对有机氟化合物进行撞击和分解，将其分解成较为简单的无机化合物，从而去除有害物质。
这种方法具有快速、效率高等优点，并且不需要额外的化学药剂，可以较好地掌控反应条件。
但需要处理过程中产生高温高压的超声波作用产生的大量气泡、噪音等环境污染进行控制。
总之，有机氟化合物治理是一个综合性的问题，需要在多方面进行考虑和治理，以达到更好的治理效果和环境健康的保护。
各种方法都有自己的优缺点，要根据不同的条件和场所，选择合理方法达到可持续发展的目标。
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含氟废气的净化技术－吸附净化法
含氟废气的净化技术
氟化物主要指氟化氯(HF)和四氟化硅(SiF4)，是大气中的主要污染物之一。
主要来源于化工行业的磷肥、冶金行业的铝厂、建材行业的陶瓷、玻璃、水泥、砖瓦等生产过程。
大量的研究证明，微量氟及其化合物也会对人类和动物的机体造成极严重的后果。
净化含氟废气的主要方法有湿法吸收和干法吸附。
目前，工业含氟废气多采用湿法吸收工艺，根据吸收剂不同又将吸收净化法分为水吸收法和碱吸收法。
吸附净化法是将含氟废气通过装填有固体吸附剂的吸附装置，使氟化氢与吸附剂发生反应，达到除氟的目的。
可采用工业氧化铝、氧化钙、氢氧化钙等作吸附剂。
在净化铝电解厂烟气常采用的吸附剂是工业氧化铝。
铝厂含氟烟气吸附法净化具有如下特点；吸附剂是铝电解的原料氧化铝，吸附氟化氢的氧化铝可直接进人电解铝生产中，不存在吸附剂再生间题；净化效率高，一般在98%以上；干法净化不存在含氟废水，避免了二次污染；和其他方法相比，干法净化基建费用和运行费用都比较低，可适用于各种气候条件，特别是北方冬季，不存在保温防冻问题。
(1)净化原理
氟化铝对HF的吸附主要是化学吸附，同时伴有物理吸附，吸附的结果是在氧化铝表面上生成表面化合物—氟化铝，其具体过程包括如下几个步骤。
①HF在气相中的扩散；
②扩散的HF通过氧化铝表面的气膜到达其表面；
③HF被吸附在氧化铝的表面上；
④被吸附的HF与氧化铝发生化学反应，生成表面化合物(AlF3)。
在较低的温度下有利于上述反应向右进行。
由于这种化学吸附反应速率快，所以用氧化铝吸附HF属于气膜控制，HF浓度越高，气相传质推动力越大，越有利于吸附过程的进行。
因此加强铝电解槽的密闭性，防止泄漏，尽量提高烟气中HF浓度，既有利于吸附，又改善了车间内的操作环境。
(2)氧化铝的性质对吸附的影响
①氧化铝晶型对吸附容量有很大影响，γ型氧化铝的吸附容量大；
②氧化铝的比表面积越大，吸附容量也越大；
③氧化铝湿度大小直接影响吸附净化能力。
另外，分子中的结晶水也影响吸附能力，一般在一定温度时焙烧，脱去部分结晶水，增强活性，但当分于中的洁净水全部失掉后，γ-Al2O3，将转变成α-A12O3，吸附能力大大降低。
(3)净化流程
氧化铝与烟气中的氟化氢接触后，吸附反应速度很快，反应几乎在0.1S内即可完成。
干法吸附净化流程有输送床吸附工艺和沸腾床吸附工艺等。
①输送床吸附净化流程输送床吸附流程简单，运行可靠，便于管理，净化效率可达95%～98%，系统总压降为2.5～3kPa。
其净化流程如图所示。
来自铝电解槽的含氟化氢烟气，通过管道进人输送床与由加料器均匀加人的氧化铝粉末相混合，在管道中的高速气流带动下，氧化铝高度分散与HF充分接触，在很短时间内完成吸附过程。
吸附后的含氟氧化铝在旋风分离器中被分离出来，在分离中进一步完成吸附过程，经袋式过滤器分离干净。
分离出来的含氟氧化铝既可循环吸附，也可返回铝电解槽。
影响吸附效率的因素如下。
a.输送床流速的影响吸附效率随管内气流速度增大而提高，当流速达16m/s时，再提高流速吸附效率提高甚微，一般控制管内烟气流速为15-18m/s。
b.吸附时间和输送床长度的影响为保证烟气和吸附剂有一定的接触时间，一般输送床长度在lom以上，可保证其吸附效率。
c.固气比的影响烟气中HF浓度越高则要求固气比越大，一般氟浓度为50 mg/m3时，要求固气比为70～80 g/m3。
②沸腾床吸附净化流程这种流化床反应器改善了气固两相的接触状态，使氧化铝表面不断更新，减少了气膜内的扩散阻力，强化了气固相传质过程。
流化床吸附净化效率高达98%，压降较小(约为1.3kPa)，设备紧凑，但安装维修比较复杂。
其净化流程如图所示。
含氟烟气从流化床底部进人，烟气以一定的速度通过氧化铝吸附层，氧化铝则形成流化态的吸附层，烟气中的HF在与氧化铝的接触中，完成扩散和吸附过程。
从流化床中出来的气体经袋式过滤器进行气固分离。
袋式过滤器过滤的氧化铝一部分返回流化床中再循环使用，也可以送至铝电解槽。
从袋式过滤器中出来的净化后烟气，经风机和烟囱排人大气。
沸腾床氧化铝的层厚一般为3～4cm，一可减少阻力，二可防止用量过多。
烟气流速为0.28m/s左右口流化层高度可在50～300cm之间调节。
介绍另外几种处理方法：
含氟废气的净化技术－碱吸收法
碱吸收法是采用碱性物质NaOH、Na2CO3、氨水等作为吸收剂来脱除含氟尾气中的氟等有害物质，并得到副产物冰晶石。
最常用的碱性物质是Na2CO3，也可以采用石灰乳作吸收剂，二者的使用有所区别。
(1)石灰乳吸收净化原理
用石灰乳作吸收剂净化含氟废气生成CaF2等废渣，可采用抛弃法，也可以经过滤、干燥后送去作橡胶或塑料的填料，反应式为
该方法适用于排气量较小、废气中含氟量低，回收氟有困难的企业，如搪瓷厂、玻璃马赛克厂、水泥厂等。
(2) Na2CO3吸收制取冰晶石
电解铝厂废气经除尘后，送入吸收塔底部，与浓度为20～30g/L的Na2CO3溶液在塔内逆流接触，洗涤废气时，烟气中的HF与碱反应生成NaF，吸收脱氟后的气体经除雾后排空。
在循环吸收过程中，当溶液中的NaF浓度达25g/L后，再加人定量的偏铝酸钠溶液即生成Na3AlF6，反应式如下。
或
偏铝酸钠溶液可由NaOH与Al(OH)3反应制得。
合成后的冰晶石母液经沉降后，上层次晶石沉降物经过滤后送往回转窑干燥、脱水即得成品。
含氟废气的净化技术－水吸收法
水吸收法就是用水作吸收剂来洗涤含氟废气，副产氟硅酸，继而生产氟硅酸钠，回收氟资源。
水易得，比较经济，但对设备有腐蚀作用。
就目前来看，水吸收法净化含氟废气主要应用于磷肥生产中。
(1)净化原理
由十SiF4和HF都极易溶于水，HF溶解于水生成氢氟酸，SiF4溶于水生成氟硅酸(H2SiF6)和硅胶(SiO2)。
SiF 4与HF反应生成H2SiF6，反应式如下。
(2)工艺流程
由于磷肥品种、生产方法、含氟废气的温度、气量、含氟量的不同，净化的工艺流程和设备会有所不同。
普钙厂排含氟废气与高炉法钙镁磷肥厂排出的含氟废气相比，含氟量高(28～32g/m3)，温度低(75～8D℃)，粉生少，一般水吸收前不设除尘设备。
国内通常采用的脱氟流程多为二级吸收，根据使用的设备不同，分为一室一器、一室一塔、一室一旋、二室一塔等口这里“室”是指拨水轮吸收室，一般用作一级吸收，其优点是不易造成硅胶堵塞，清理方便，但脱氟效率不高。
“器”是指文丘里吸收器，“塔”是指湍球塔或揣流板塔，“旋”
是指旋流板塔。
两者组合脱氟率达 98%以上。
如图是普钙厂一室一旋脱氟流程，该流程将吸收液分3个吸收段，各自循环，因而获得较高浓度的氟硅酸产品。
高炉法钙镁磷肥厂排放的含氟废气，含氟量低(1～3g/m3)，成分较复杂(还含有少量的(CO2、CO、H2S、P2 O5等)，温度高 (120～250℃)，粉尘较多，净化难度大。
一般先经旋风除尘、降温后，再进行吸收。
图为典型的高炉法钙镁磷肥厂除尘脱氟流程。
自高炉出来温度高达 300～400℃的含氟废气，经除尘后降至250℃，喷射吸收塔后，含氟量降为0.2g/m3左右，脱氟率达90%。
(3)水吸收的防腐
由于吸收液中含有腐蚀性很强的氢氟酸和氟硅酸，另外还含有少量的H2 SO3、H2SO4、H3PO4等，很容易造成设备的腐蚀。
目前工厂中常用的耐腐蚀材料有：硬聚氯乙烯管和板材，耐腐蚀玻璃(环氧玻璃钢、呋喃玻璃钢、酚醛玻璃钢、聚醋玻璃钢等)，耐酸瓷砖，耐酸胶泥，防腐蚀漆和橡胶等。
聚氯乙烯或玻璃钢多用于管道、设备的制作，耐酸瓷砖、耐酸胶泥、生漆等多用于槽和吸收室内壁防腐，橡胶多用于设备、管道等的内衬。
(4)氟资源回收
①生产市售氟硅酸
在吸收工艺上采用分段强制循环吸收，可获得浓度较高的氟硅酸溶液，作市售产品，H2SiF6含量≥28%。
若浓度太低，可经蒸馏浓缩获得。
②生产氟硅酸钠
氟硅酸钠可用于玻璃工业作为蚀刻剂，在农业上用作杀虫剂，皮革及木材的防腐剂等。
向水吸收后的氟硅酸溶液中加人NaCl或Na2C03、Na2SO4、NaOH溶液，可以制得白色粉状氟硅酸钠。
由于NaCl廉价易得，故应用普遍，反应式如下。
③生产冰晶石
磷肥厂含氟废气吸收液制取冰晶石的方法有氨法和合成法两种，这里介绍氨法。
用水吸收含SiF4废气得到H2SiF6液(>8%)，控制pH值8.2~8.5,使吸收液与18%氨水在氨化槽中氨化1h。
然后过滤脱硅，硅胶经干燥磨碎筛分即得到硅胶产品。
将含氟化钱滤液用硫酸调节pH值为5~5.5，加热到90 ~95℃，与硫酸铝反应合成为铁晶石。
再用Na2SO4或NaCl 将铵晶石转化为冰晶石，经过滤、干燥即得产品冰晶石。
滤液含有氯化铁或硫酸按，可作液体肥料。
反应如下。
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