集成电路失效分析新技术

费庆宇

【期刊名称】《电子产品可靠性与环境试验》

【年(卷),期】2005(023)004

【摘要】通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面的工作提供参考.

【总页数】5页(1-5)

【关键词】集成电路;失效分析;无损分析

【作者】费庆宇

【作者单位】信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东,广州,510610

【正文语种】中文

【中图分类】TN43.06

【相关文献】

1.集成电路的失效分析方法以及相应技术分析 [J], 高乘源

2.集成电路的失效分析技术及其在产品开发和制造中的应用 [J], 许平平

3.集成电路失效分析方法与技术探究 [J], 张阳

4.集成电路失效分析技术 [C], 费庆宇

5.集成电路失效分析技术 [C], 费庆宇

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