无尘室空调系统教育训练

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洁净室空调系统教育训练

洁净室空调系统教育训练

MAU外氣空調箱 初 級 濾 網 25 % 袋 式 濾 網 85 %
回 風
4
AHU空調箱(處理C/R顯熱) 高 5 效 濾 送風 濾 網 95 % i1 i12 i2 2 t2 5 4 3 1 12 x1 x2
外氣
冰 水 盤 管 7°c
2
熱 水 盤 管
3
加 濕 器
4
送風
22°C,50%
乾 盤 管
t3 t1
↓ ↓ O ↑ ↑ ↑ O ↓
↓ O ↑ ↑ ↑ O
↑ ↑ ↑ O ↓ ↓
↑ ↑ 不一定 ↓ ↓ ↓
↑ ↑ ↑ O ↓ ↓
↓ ↑ ↑ ↑ ↑ ↓
MAU外氣空調箱 初 級 濾 網 25 % 袋 式 濾 網 85 % 高 4 效 濾 送風 濾 網 95 % i1 i12 i2 2 t2 12 1 x1 x2

飽合空氣

空氣線圖名詞解釋

裝置露點溫度

空調箱內與空氣接觸之盤管表面溫度並不相 同,在理論上可假定有一均勻的表面溫度, 當空氣通過此均勻表面溫度的盤管時,空氣 與盤管作熱交換,熱交換量必定相同,即空 氣排出減少之熱量必定是盤管所吸收之熱量, 此有效表面溫度又稱為裝置露點溫度。
空氣線圖名詞解釋
3
加 濕 器
高 4 效 濾 送風 濾 網 95 %
i1 i12 i2 2 t2 1 4 5 3 12
t3 t1
4
5
室內熱負荷能力
q m 室內顯熱+室內潛熱 顯熱(kcal/hr)=設備用電量*860(kcal/ 860(kcal/ 熱力學第一定律 顯熱(kcal/hr)=Q (未知風量)*17.4*(t 5-t4) t4 空調箱之出風溫度 t5 空調箱之回風溫度 理論值)

净化空调工程培训计划方案(3篇)

净化空调工程培训计划方案(3篇)

第1篇一、背景及目的随着我国经济的快速发展和科技水平的不断提高,净化空调工程在医药、电子、食品、生物等领域得到了广泛应用。

为提高净化空调工程技术人员的技术水平,确保工程质量,特制定本培训计划方案。

二、培训对象1. 净化空调工程设计、施工、调试、维护等相关技术人员;2. 净化空调工程企业管理人员;3. 净化空调工程相关专业在校生。

三、培训目标1. 使学员掌握净化空调工程的基本理论、设计、施工、调试和维护等方面的知识;2. 提高学员的实际操作能力,确保工程质量;3. 培养学员的团队协作精神,提高综合素质;4. 为净化空调工程行业输送高素质人才。

四、培训内容1. 净化空调工程基础知识(1)净化空调工程的概念、分类和特点;(2)净化空调工程的用途和意义;(3)净化空调工程的基本组成和系统原理;(4)净化空调工程的发展趋势。

2. 净化空调工程设计(1)净化空调工程的设计原则和标准;(2)净化空调工程的系统设计;(3)净化空调工程的设备选型;(4)净化空调工程的图纸绘制。

3. 净化空调工程施工(1)净化空调工程的施工准备;(2)净化空调工程的施工工艺;(3)净化空调工程的施工质量控制;(4)净化空调工程的施工安全。

4. 净化空调工程调试(1)净化空调工程的调试方法;(2)净化空调工程的调试流程;(3)净化空调工程的调试数据采集和分析;(4)净化空调工程的调试质量控制。

5. 净化空调工程维护(1)净化空调工程的维护原则和标准;(2)净化空调工程的维护方法;(3)净化空调工程的维护工具和设备;(4)净化空调工程的维护质量控制。

6. 净化空调工程管理(1)净化空调工程的项目管理;(2)净化空调工程的成本控制;(3)净化空调工程的进度控制;(4)净化空调工程的质量控制。

五、培训方式1. 理论授课:邀请业内知名专家、学者进行授课,结合实际案例进行分析;2. 实操培训:组织学员进行现场实操,让学员亲身参与净化空调工程的设计、施工、调试和维护等环节;3. 案例分析:选取典型净化空调工程案例,进行深入剖析,提高学员的实战能力;4. 交流讨论:组织学员进行互动交流,分享经验,提高团队协作能力。

空调运行培训计划方案(2篇)

空调运行培训计划方案(2篇)

第1篇一、背景及目的随着现代建筑技术的不断发展,空调系统已成为现代建筑中不可或缺的部分。

为了确保空调系统的正常运行,提高能源利用效率,保障室内空气质量,以及确保员工的专业技能,特制定本空调运行培训计划方案。

二、培训对象1. 新入职的空调系统操作人员。

2. 现有空调系统操作人员,特别是那些操作技能不熟练或需要更新知识的人员。

3. 管理层及维护人员,以提高他们对空调系统的理解和管理能力。

三、培训目标1. 使学员掌握空调系统的基本原理、构造和运行方式。

2. 提高学员对空调系统的操作技能,确保系统安全、高效运行。

3. 培养学员的节能意识,提高能源利用效率。

4. 增强学员的应急处理能力,确保在突发事件中能迅速采取措施。

四、培训内容1. 空调基础知识- 空调系统的基本原理- 空调系统的组成及各部分功能- 空调系统的分类及特点2. 空调系统操作技能- 空调系统的启动与停止- 空调系统运行参数的调整- 空调系统的故障诊断与处理3. 节能与环保- 空调系统的节能原理- 节能运行策略- 环保材料及设备的应用4. 安全管理- 空调系统操作的安全规程- 常见事故的预防与处理- 应急预案的制定与实施5. 维护保养- 空调系统的定期检查与维护- 保养工具及方法- 维护记录的填写与保存五、培训方法1. 理论教学- 邀请专业讲师进行授课,采用PPT、视频等多种形式。

- 设置互动环节,解答学员疑问。

2. 实操演练- 在实际空调系统上进行操作演练,让学员亲身体验。

- 安排专业师傅进行现场指导,纠正学员操作错误。

3. 案例分析- 分析实际案例,总结经验教训,提高学员的应急处理能力。

4. 模拟考试- 通过模拟考试,检验学员对培训内容的掌握程度。

六、培训时间与地点1. 培训时间- 新员工培训:入职前一周内完成。

- 现有员工培训:每年组织一次,每次培训时间为3天。

- 管理层及维护人员培训:每两年组织一次,每次培训时间为5天。

2. 培训地点- 公司内部培训室- 空调系统现场七、培训师资1. 邀请具有丰富实践经验的空调工程师担任讲师。

无尘室教育训练-s

无尘室教育训练-s
洁净室管理教育训练
1.洁净室定义 2.洁净室具备因素 3.洁净室进退流程图 4.人员训练与资格考核 5.外部人员进入无尘室之申请 6.进入更衣室与洗尘室之管制 7.更衣步驟 8.安全卫生之管制 9.纪律管理 10.物品、器具、化学品等之管制
川奇光电科技(扬州)有限公司
川奇光电科技(扬州)有限公司
TRANSCEND OPTRONICS(YANGZHOU)CO., LTD
洁净室管理教育训练
2.洁净室具备因素
2.1 能除去空气中飘游之微尘粒子
2.2 能防止微尘粒子之产生 2.3 温度和湿度之控制 2.4 压力之调节 2.5 有害气体之排除
2.6 结构物与隔间之气密性
17.设备保养之管制 .
17.1 执行保养前应要求机台L对象应以塑料布垫妥再置于地上 。
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洁净室管理教育训练
18.无尘衣物清洗与更新之管制
洁净室管理教育训练
13.文件资料之管制
13.1 O/I需置于指定位置,不可任意放置,使用后需立即归回原位 。 13.2 O/I内容不可径自书写、 涂改或做其它记号 。 13.3 携入无尘室之影印资料,需放入透明文夹内,打印资料应用喷墨打印机打印 。 13.4 双孔或三孔打孔机禁止放置在生产区使用 。
18.1 各区无尘衣物清洗每周一次 。 18.2 原则上避免施工人员自备无尘衣物,统一由公司提供 。 18.3 无尘衣物管理单位应将发放给予公司同仁之无尘衣物加以编号管理 。 18.4 无尘衣磨 / 破损严重或修补超过三次应予以丢弃 。
19.稽核改善与奖惩
19.1 品保单位应定期检测无尘室环境状况并依追踪改善情形 。 19.2 制造单位或相关单位应全力配合品保单位之稽核行动,不可刁难或拒绝配合 。

洁净空调系统培训资料PPT精选文档73页PPT

洁净空调系统培训资料PPT精选文档73页PPT
71、既然我已经踏上这条道路,那么,任何东西都不应妨碍我沿着这条路走下去。——康德 72、家庭成为快乐的种子在外也不致成为障碍物但在旅行之际却是夜间的伴侣。——西塞罗 73、坚持意志伟大的事业需要始终不渝的精神。——伏尔泰 74、路漫漫其修道远,吾将上下而求索。——屈原 75、内外相应,言行相称。——韩非
39、没有不老的誓言,没有不深切认识 的人, 决不会 坚韧勤 勉。
谢谢你的阅读
❖ 知识就是财富 ❖ 丰富你的人生
洁净空调系统培训资料PPT精选文档
36、“不可能”这个字(法语是一个字 ),只 在愚人 的字典 中找得 到。--拿 破仑。 37、不要生气要争气,不要看破要突 破,不 要嫉妒 要欣赏 ,不要 托延要 积极, 不要心 动要行 动。 38、勤奋,机会,乐观是成功的三要 素。(注 意:传 统观念 认为勤 奋和机 会是成 功的要 素,但 是经过 统计学 和成功 人士的 分析得 出,乐 观是成 功的第 三要素 。

教育训练测试之空调系统试卷答案(二)

教育训练测试之空调系统试卷答案(二)

教育训练测试之空调系统试卷答案一、选择题(每题5分,共2题)单项选择:1. 高效滤网的保养属于(B)(A) 月保养 (B) 年保养(C) 季报养 (D) 周保养2. 一期无尘室的气流组织形式为?(C)(A) 上送下回 (B) 下送下回(C) 上送侧回 (D) 下送上回多项选择(每题5分,共3题):1.DCC内正常情况下可能出现以下哪几种温度?(BCD):(A) 10℃ (B) 12℃(C) 14℃ (D) 16℃2. Epoxy环氧地面的优点有?(ABC)(A)防水(B) 防霉(C) 抗渗 (D) 耐划3. 手工库版相较机制库板有以下优点(BC)(A)手工库板比机制库板便宜 (B) 手工库板的组合较机制库板的漏气量小(C)手工库板的强度比机制板好(D)手工库板不需要紧固件,节省材料费二、判断题(每题5分,共5题)1、天花板的T-BAR可在工厂裁切加工后直接现场组立(√)2、无尘室与一般区压差须≥5Pa,不同无尘室间压差须≥10Pa(×)3、A/L安装于洁净室与非洁净室之间的隔墙处 , 用于人员或物品进入洁净区时的吹淋(×)4、DCC和RCU通过探测送风温度进行温度控制(×)5、根据试验发现,气流速度低 0.2m/s 或高于0.8m/s均容易产生涡流,所以目前无尘室风速一般取 0.25~0.4M/S (√)三、简答题(每题10 分,共3题)1.请说明厂内初效、中效、高效一般采用的过滤器的等级。

答:初效一般采用G4等级,中效采用F8等级,高效采用H11等级2. 一期MAU在远程控制情况下,打至ON没有动作,检查风机及自控线路均正常,请问如何处理?答:取消MAU互锁,然后将系统打至系统关按钮,将需开启MAU打至ON后,再按系统开按钮。

3.请说明RCU和FFU组成上的异同点?答:不同点:1.RCU含有冰水盘管,FFU不具备盘管2.FFU体积小于RCU,移动方便,可改变放置位置相同点:1.均作为无尘室内空气循环设备使用四、论述题(每题20分,共1题)1.请说明南厂无尘室架构的特性。

百级无尘车间通风空调的要求和标准

百级无尘车间通风空调的要求和标准一、引言在现代工业生产中,无尘车间是非常重要的生产场所。

通过控制空气的洁净度和温湿度,无尘车间可以有效地保护产品免受污染和制造过程中的粉尘和微生物的侵害。

而通风和空调系统作为无尘车间中的核心设施,对于维持车间内洁净度和温湿度起着关键作用。

确定百级无尘车间通风空调的要求和标准对于确保生产质量和员工健康至关重要。

二、洁净度要求1. 百级洁净度是指每立方米空气中的颗粒物不大于0.5微米,这意味着在百级无尘车间中,空气的洁净度非常高,能够有效地减少对产品的污染和影响。

2. 为实现百级洁净度,通风系统必须能够对空气中的微粒进行有效过滤,并保持车间内的空气流动,确保不同区域的空气质量均衡。

3. 空调系统需要能够精确控制车间内的温度和湿度,以适应不同的生产需求,实现洁净空气和舒适的工作环境。

三、空调系统要求1. 在百级无尘车间中,空调系统需要具备稳定性和可靠性,以确保长时间稳定运行并满足洁净度要求。

2. 空调系统应采用高效过滤器,能够有效过滤空气中的微粒,保证洁净度标准。

3. 空调系统还需要具备自动控制和调节功能,能够智能地对车间内的空气进行调节,以及迅速应对突发情况。

4. 为了确保车间内空气的流通和均匀性,空调系统需要合理布局和设计,确保各个区域的空气质量均衡,避免死角和积尘区。

四、通风系统要求1. 通风系统应具备高效的排风和新风功能,能够快速排除车间内的污染物和异味,并保持空气的新鲜度。

2. 通风系统还需要能够精确控制空气流速和流向,以保证洁净空气的覆盖范围和弥散性,并确保洁净空气全面覆盖车间各个角落。

3. 通风系统还需要具备保护功能,能够防止外界的污染物和有害气体进入车间,并保护车间内的空气质量。

五、个人观点和总结在百级无尘车间中,通风和空调系统是确保洁净度标准的关键设施。

合理的设计和高效的运行对于维持车间内的洁净度和员工的健康至关重要。

对于通风空调系统的要求和标准应该是全面的、严格的,并与制造工艺和产品要求相匹配,以确保生产的质量和安全。

无尘室系统教育训练

无尘室系统教育训练简介无尘室系统是一种高干净度的控制环境,在电子、半导体、医药等领域中应用广泛。

无尘室系统的操作、维护和管理需要高水平的技术和管理人才,因此对无尘室系统操作人员的技能培训和管理成为了很重要的工作。

本文主要介绍无尘室系统教育训练的内容和流程。

培训内容无尘室系统的教育训练需要覆盖以下内容:理论知识无尘室系统的操作需要掌握系统的原理和结构,以及材料流、空气流、人员流的控制方法。

因此,在教育训练中注重理论知识的传授,主要包括以下内容:1.无尘室系统的原理和组成结构2.空气流与材料流的控制及其影响因素3.环境检测指标及测试方法4.维修保养的方法及注意事项实训操作在无尘室系统的操作过程中,要求高精度、高质量的实际操作技能。

针对不同级别的无尘室操作人员,设置不同难度和要求的实训操作:1.级别一:无尘室基础实训;包括进出无尘室操作流程,无尘室环境温度、湿度、洁净度和压差等基础检测方法。

2.级别二:无尘室操作技能实训;包括无尘室操作技巧(如工作服的佩戴、通风系统操作等)、紧急故障处理方法、配置清洗设备操作等。

3.级别三:无尘室维修保养实训;包括无尘室设备维护保养方法及耗材更换、故障排除方法及处理流程等。

流程规划一般情况下,无尘室系统的教育训练流程应该包括如下的步骤:步骤说明需求分析调查了解企业对无尘室系统操作人员的技能需求,确定教育训练的学员数量、级别等。

培训计划综合参考需求分析调研结果,确定教育训练的计划,确定课程安排、教材选择、实训内容等。

教育训练按照培训计划进行,主要包括理论课程和实践课程。

涉及仪器、设备和工具的,应该配以现场指导。

考核评估对学员进行考核,根据学员的实操水平和理论掌握程度,评估合格率。

效果反馈根据实际学员反馈,及时调整教育训练的内容和方式。

无尘室系统是一种高精度的环境控制系统,其操作要求严格,质量要求高,因此,教育训练成为有效的培养无尘室操作人员的方式之一。

本文简要介绍了无尘室系统教育训练的内容和流程规划,希望对相关人员的工作提供一定的参考和帮助。

(完整版)净化车间培训教材

注:顶点公司采用英制定义方式。
四. 洁净室的分类 现有三种级别的洁净室:
1、Class---100(百级) ≥0.5μm: ≤3500 个/m3 ≥5μm: 0 个/m3
2、Class---10K(万级) ≥0.5μm: ≤350 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 2000 个/m3
3、Class---100K(十万级) ≥0.5μm: ≤3 500 000 个/m3 ≥5μm: ≤ 20 000 个/m3
八.尘粒的主要来源 (一)
测量 方法

环境
物料
机器
尘粒的来源
八.尘粒的主要来源 (二)

洁净室一有人员进入,其洁净室就将改变。服装与首饰等的磨擦,会增
加外皮释放的粒子数量。由于人员在工作时,会有更多的活动,所以释放的粒 子数量也相应增加。
人是洁净室最大的污染源,占90%左右。人和环境造成了洁净室的污染, 在洁净室中,人的数量和活动应有特别严格的限制。
五.尘粒的定义
尘粒的状态和大小
尘粒就是能对产品构成危害的足够大的物质颗粒。
1.污染的功能定义: 定义1:·对产品或工艺产生有害影响的任何外来物质或能量。
例如:微粒、离子、振动、电磁辐射、静电荷、分子污染等。 定义2:·所有存在于产品上,会对产品产生直接或间接危害的物质。
·所有存在于产品上,超出产品要求之外的物质。 ·任何客户不允许存在于产品上的物质。 2.尘粒的状态:尘粒不仅是指固体微粒,还包含固态微粒和液态微粒的多分散 溶胶。 3.尘粒的大小:尘粒尺寸一般在0.001~1000цm之间。
一.洁净室之定义
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害 空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内,而所给予特别设计的房间。

洁净空调系统培训资料PPT课件

3)目前常用的压缩机主要有活塞式压缩机、涡旋式、螺杆式以及 离心式压缩机。其中活塞式制冷压缩机多为中型(标准制冷量 60~600KW)和小型(小于60KW),但是由于其噪音大、效率低切 容易发生故障,目前使用的已不多;涡旋式制冷压缩机目前主要用于 小型制冷系统,在家用空调以及商用VRV等小型系统大量使用;而螺 杆机具有结构简单、可靠性高及操作维护方便,另外技术成熟等一系 列独特的优点,已经广泛应用于制冷、空调和多种工艺流程中 ;离心 式压缩机结构简单紧凑,运动件少,工作可靠,经久耐用运行费用低 ,一般适用大于500RT的制冷系统中,并且可以实现无级调节,使机 组的负荷在30%~100%范围内工作。
致命缺点:温室效应气体,其温室效应值比二氧化碳 大1700倍,更危险的是会破坏大气层中的臭氧层。
根据国际上《蒙特利尔议定书》规定:R22于2020 年将全面禁止,发展中国家可适当延期至2040年全面禁 止生产。
目前国际上一致看好的R22的替代物是R407C、 R410A。另外汽车制冷中常用的R12,采用R134A替代。 目前国内的一些大中型项目,业主都明确要求采用环保冷 媒如R407C等。
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3.2、空调的分类
• 按照功能要求的不同: 3.2.1、舒适性空调
(1) 家用空调 (2)商用空调
3.2.2、工艺性空调
洁净空调
27
28
1. 家用空调 根据使用场所和制冷量的不同,可分为:家用空调器和 家用中央空调。 1.1 家用空调器 家用空调器有窗式空调和分体空调,适合于建筑面积 小,需要制冷量不是很大的房间。 1)窗式: 整个空调器作为一个整体,如窗机。制冷范围 一般为1800W~5000W。 2)分体式:将空调器分为室内部分和室外部分。其制冷 范围一般为1800W~9000W。
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10 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 100000 0 353000 0 100000 005 µm 體積單位 ft3
0.283 1.0 2.83 10 28.3 100 283 1000 2830 10000 28300 100000 283000
温度设计为: 23±2℃ 湿度设计为: 50±10%
洁净室正压量要求:
洁净正压量为: +5Pa
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11
Dry Coil系统设计图(汇水方式) 汇水方式)
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12
Dry Coil系统设计图 (板换方式)
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13
FFU+D/C系统 系统
(独立设置外气空调箱 独立设置外气空调箱) 独立设置外气空调箱
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6
洁净室空调系统形式
风管系统
以风管输送洁净空气 循环空调箱兼处理外气
FFU系 FFU系系统
天花空间为微负压气室 天花空间为微负压气室 独立设置外气空调箱
轴流风机系统
天花空间为正压气室 天花空间为正压气室 独立设置外气空调箱 上海倪可电子科技有限公司
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风管系统
(循环空调箱兼处理外气) 循环空调箱兼处理外气
上海日月光 H3-3F
BE 无尘室空调工程
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1
目录
洁净室简介
1.洁净室定义 2.洁净室等级标准 3.洁净室污染途径 4.洁净室污染路径 5.维持清洁度之原则 6.洁净室空调系统形式
H1-5F洁净室设计说明
1.洁净室F设计条件 2.Dry Coil系统设计图 3.MAU系统设计图
再热盘管 蒸汽加湿 预热盘管
-10 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 CDB
10 8 6 4 2 g/kg
乾球溫度
空氣中水分含量
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16
上海倪可电子科技有限公司
17
上海倪可电子科技有限公司
18
MAU 和D/C水泵配管
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MAU MA
湿度控制
FROM OA
温度控制
洁净度控制
温度控制
RA SHAFT
SA
SA
RA
RA
RA SHAFT
14
上海倪可工程有限公司
MAU夏季空气处理过程 夏季空气处理过程
75%RH
/k
50%RH
W B
25%RH
32 30 28 26 24 22
DP
kJ
g
预冷盘管
20 18 16 14
再冷盘管
12 10 8 6
维持清洁度之原则
A.不帶入 1.適當壓差不傳送 2.良好施工不漏氣 3.人物進入先除塵 B.不發生 1.少用人,輕動作 2.穿著良好無塵衣 3.使用CR專用器具 C. 不積留 1.壁體光滑無死角 2.定期保養和清掃 3.設備四週留空間 D.速排除 1.污染源直接排氣 2.換氣次數要足夠 3.適當的氣流速度
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Dry Coil 安装
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20
洁净室内温湿度控制说明
1.MAU 系统控制逻辑图 2.Dry Coil 系统控制逻辑图
施工照片
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2
洁净室的定义
洁净室为将一定空间范围内空气中的微尘粒 子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室 内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度 与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在 某一需求范围内,而给于特别设计的房间以 符合制程工艺的需求
再热盘管
4 2 g/kg
-10
-5
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
CDB
乾球溫度
空氣中水分含量
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MAU冬季空气处理过程 冬季空气处理过程
75% RH
/k
50% RH
W B
25% RH
32 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12
DP
kJ
g
OA
洁净度、湿度及温度控制
AHU RA DUCT SA DUCT
RA SA SA SA
RA
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FFU+D/C系统 系统
(独立设置外气空调箱 独立设置外气空调箱) 独立设置外气空调箱
MAU MA
湿度控制
FROM OA
温度控制
洁净度控制
温度控制
RA SHAFT
SA
SA
RA
RA
RA SHAFT
M3
ft3
247 618 2470 6180 24700 61800
7.0 17.5 70 175 700 4 1750
上海倪可电子科技有限公司
污染源与污染路经
間隙風 建築物 工作服 風管材
空調進氣
大氣塵埃
高壓氣體 O2,N2,Air等 等
外污染源 內污染源
潔淨室
給水溶劑
設備

工具
加工過程
5
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轴流风机系统
(独立设置外气空调箱 独立设置外气空调箱) 独立设置外气空调箱 温度控制
SA SHAFT
洁净度控制
温度控制
SA SHAFT
MA VD VD
湿度控制
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H1-5F洁净室设计说明
洁净室洁净等级要求:
洁净等级设计为: 100K级
洁净室温湿度要求:
上海倪可电子科技有限公司
3
FED-STD-209E潔淨室等級標準 潔淨室等級標準
等 級
0.1 µm 體積單位 公制 M1 M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 10000 0 10000 1000 100 10 1 英制 M3 350 1240 3500 12400 35000 ft3 9.91 35.0 99.1 350 991 0.2 µm 體積單位 M3 75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 ft3 2.14 7.5 21.4 75 214 750 2140 0.3 µm 體積單位 M3 30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 ft3 0.875 3.0 8.75 30.0 87.5 300 875 0.5 µm 體積單位 M3
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