一种检测三氟化氮气体的方法
三氟化氮用途
三氟化氮用途
三氟化氮，化学式为NF3，是一种无色、有毒的气体，具有强氧化性和低燃点。
它具有多种用途，下面将分别介绍。
1. 半导体制造
三氟化氮是半导体制造过程中的重要化学品。
在制造晶体管、集成电路等器件时，需要将硅片表面清洗干净，以便后续的刻蚀和沉积。
三氟化氮可以有效地清洗硅片表面，去除表面的有机和无机杂质，使硅片表面变得更加平整和洁净。
此外，三氟化氮还可以用于刻蚀硅片表面，制造微小的电路结构。
2. 金属加工
三氟化氮还可以用于金属表面的清洗和涂层制备。
在金属表面清洗过程中，三氟化氮可以有效地去除表面的油污和氧化物，减少后续处理的难度。
在金属涂层制备过程中，三氟化氮可以作为一种氟化剂，将金属表面氟化处理，增加其表面能和附着力，提高涂层的质量和耐久性。
3. 消防用途
三氟化氮还可以用于消防用途。
由于其具有低燃点和高氧化性，可以用作灭火剂，将火灭掉。
同时，三氟化氮不会对被灭火物品造成损害，不会留下任何残留物，因此被广泛应用于电子设备、图书馆、
档案室等重要场所的消防系统中。
4. 温室气体控制
三氟化氮也被认为是一种温室气体，它的温室效应比二氧化碳还要强大。
因此，对于控制全球气候变化来说，控制三氟化氮的排放也是非常重要的。
目前，一些国家已经开始对三氟化氮的排放进行限制和监管。
总的来说，三氟化氮是一种重要的化学品，具有广泛的用途。
在使用过程中，需要注意其毒性和危险性，遵守相关的安全规定和操作规程，确保使用安全。
三氟化硼与三氟化氮的熔沸点_概述说明
三氟化硼与三氟化氮的熔沸点概述说明1. 引言1.1 概述三氟化硼和三氟化氮是两种重要的无机化合物。
它们具有截然不同的性质和应用领域，但却有一个共同的特征，即它们都具有高熔沸点。
熔沸点是一种描述物质状态变化的重要指标，在确定这些化合物在实际应用中的性能和稳定性方面起着关键作用。
1.2 文章结构本文将分为五个主要部分介绍三氟化硼和三氟化氮的熔沸点。
首先，在引言部分我们将概述这两种化合物以及研究目的。
接下来，在第二部分我们将详细讨论三氟化硼的定义与性质、影响其熔沸点的因素以及相关实验结果和观察现象。
紧接着，第三部分将探讨三氟化氮的定义与性质、影响其熔沸点的因素以及相关实验结果和观察现象。
在第四部分，我们将对比分析这两种化合物之间的相似之处和差异之处，并提供可能的解释和理论依据。
最后，在结论部分总结本文要点和主要发现，并探讨对于研究问题的回答和解释，同时指出研究的局限性和未来展望。
1.3 目的本文的目的是对比分析三氟化硼和三氟化氮的熔沸点，揭示其背后的原因与机制。
通过详细探讨这两种化合物的定义、性质、影响因素及相关实验结果，我们将尝试寻找它们之间可能存在的相似性和差异性，并基于实验数据给出可能的解释和理论依据。
此外，我们还将探索这些化合物在不同领域中的应用前景，并提出未来研究方向供后续学者参考。
整体而言，本文旨在加深对三氟化硼和三氟化氮熔沸点特征及其影响因素的理解，为相关研究提供参考和启示。
2. 三氟化硼的熔沸点2.1 定义与性质三氟化硼，化学式为BF3，是一种无色、无臭的气体。
它具有较高的电负性差和极性，属于不对称分子。
由于其分子中具有一个中心原子（硼）和三个周围原子（氟），使得三氟化硼具有特殊的物理和化学性质。
2.2 影响因素三氟化硼的熔沸点受到多种因素的影响，包括压力、纯度以及周围环境条件等。
首先，压力是影响熔沸点的重要因素之一。
根据普通气体状态方程PV=nRT（其中P代表压力，V代表体积，n代表物质的摩尔数，R代表理想气体常数，T代表温度），可以推断出，在一定温度下增加压力将提高三氟化硼转变为液态或固态的能力。
三氟化氮工艺流程
三氟化氮工艺流程下载温馨提示：该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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MSDS_NF3
Material Safety Data Sheet / 物质平安资料表第一部份化学品及企业标识第二部份成份/组成信息纯品□混合物第三部份危险性概述第四部份急救方法第五部份消防方法第六部份泄漏应急处置第七部份操作处置与贮存第八部份接触操纵/个体防护第九部份理化特性熔点（ºC）：(1atm)－FºC)相对密度（水=1）：沸点（ºC）：（1个大气压）＝－ F ºC)相对蒸气密度（空气=1）：临界温度（ºC）：-38 F (-39ºC)临界压力（MPa）：-其他理化性质：密度： lb/ft3 cm3), 70 F (21ºC)比容： ft3/lb kg), 70 F (21ºC)第十部份稳固性和反映活性第十一部份毒理学资料无论是否有代谢活性，将哺乳动物细胞(老鼠淋巴)暴露在10％(100000ppm )以上的三氟化氮中进行测试，发现三氟化氮对其没有致诱变作用。
将老鼠通过吸入暴露在2500ppm的三氟化氮中没有发现有诱变性。
刺激性：轻度致敏性：-致突变性：-致畸性：-致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列为致癌物及潜在致癌物。
其他：三氟化氮不腐蚀皮肤。
第十二部份生态学资料生态毒性：无资料生物降解性：无资料生物富集或生物积累性：-非生物降解性：无资料其他有害作用：注：三氟化氮中不含有任何1类或2类的分解臭氧的化学物质。
第十三部份废弃处置废弃物性质：危险废物□工业固体废物废弃处置方法：未用的产品/空容器：将钢瓶及未用的产品返回给供应商。
不要将未用的或剩余产品擅自处理掉。
运输前应确保瓶阀已关好，输出阀已装好密封并将阀盖固定好。
废弃注意事项：无资料第十四部份运输信息危险货物编号：无资料UN编号：UN2451包装标志：、（）第十五部份法规信息第十六部份其他信息。
三氟化氮-安全技术说明书MSDS
第1部分化学品及企业标识化学品中文名：三氟化氮化学品英文名：Nitrogen trifluorideCAS号：7783-54-2分子式：F3N分子量：71产品推荐及限制用途：工业及科研用途。
第2部分危险性概述紧急情况概述：可能导致或加剧燃烧；氧化剂。
内装高压气体；遇热可能爆炸。
吸入有害。
长期或反复接触可能对器官造成伤害。
GHS危险性类别：氧化性气体类别1加压气体类别液化气体急性吸入毒性类别4特异性靶器官毒性反复接触类别2标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：H270可能导致或加剧燃烧；氧化剂H280内装高压气体；遇热可能爆炸H332吸入有害H373长期或反复接触可能对器官造成伤害防范说明：•预防措施：——P220避开/贮存处远离服装/可燃材料。
——P244阀门及紧固装置不得带有油脂或油剂。
——P261避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
——P271只能在室外或通风良好处使用。
——P260不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
•事故响应：——P370+P376火灾时：如能保证安全，设法堵塞泄漏。
——P304+P340如误吸入：将人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适体位。
——P312如感觉不适，呼叫解毒中心/医生——P314如感觉不适，须求医/就诊。
•安全储存：——P403存放在通风良好的地方。
——P410+P403防日晒。
存放于通风良好处。
•废弃处置：——P501按当地法规处置内装物/容器。
物理和化学危险：可能导致或加剧燃烧；氧化剂。
内装高压气体；遇热可能爆炸。
健康危害：吸入有害。
长期或反复接触可能对器官造成伤害。
环境危害：无资料第3部分成分/组成信息第4部分急救措施急救：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
皮肤接触：不会通过该途径接触。
眼睛接触：不会通过该途径接触。
食入：不会通过该途径接触。
对保护施救者的忠告：将患者转移到安全的场所。
三氟化氮气体密度
三氟化氮气体密度三氟化氮是一种气体，其化学式为NF3，由一分子氮原子和三个氟原子组成。
它是一种无色、刺激性气味的气体，在常温下呈现出液体的状态。
三氟化氮的密度是指在特定条件下，单位体积中所含有的三氟化氮的质量。
三氟化氮的密度与其分子质量、压力和温度有关。
根据理想气体状态方程PV=nRT，其中P为压力，V为体积，n为物质的摩尔数，R为气体常数，T为温度，可以推导出密度与其它物理量的关系。
在常温常压下，三氟化氮的密度约为2.62克/升。
三氟化氮在工业上具有广泛的应用。
首先，它是一种重要的氟化剂，可用于有机合成反应中。
由于氟原子的电负性较高，三氟化氮能够与许多有机物反应，取代其氢原子，从而改变分子结构。
其次，三氟化氮还可用作半导体制造过程中的清洗剂。
在半导体制造中，清洗是一个非常重要的步骤，可以去除表面的污染物，从而提高半导体器件的质量和性能。
三氟化氮具有良好的清洗效果，并且在清洗过程中不会对半导体材料造成损害。
此外，三氟化氮还可用作氟化剂、氧化剂等。
然而，尽管三氟化氮在许多领域有着广泛的应用，但它也存在一些安全隐患。
首先，三氟化氮具有高度的刺激性，对眼睛、呼吸道和皮肤有一定的损伤作用。
因此，在接触三氟化氮时需要采取相应的防护措施，如佩戴防护眼镜、呼吸器和防护服。
其次，三氟化氮是一种强氧化剂，与可燃物质接触时容易引发火灾或爆炸。
因此，在使用和储存三氟化氮时，需要注意避免与易燃物质接触，并确保储存环境的通风良好。
三氟化氮是一种气体，具有一定的密度。
它在工业上有着广泛的应用，包括氟化剂、清洗剂等。
然而，在使用三氟化氮时需要注意其刺激性和氧化性，采取相应的防护措施，以确保人身安全和设备的正常运行。
三氟化氮气体产品说明
高纯三氟化氮(NF3)气体产品中船重工第七一八研究所（简称PERIC）从事三氟化氮的研制和生产已有30多年的历史，是国内唯一有能力稳定生产高纯三氟化氮气体的企业。
PERIC生产的高纯三氟化氮气体产品拥有有完全自主知识产权，产品质量达到国际先进水平。
目前，PERIC具备年产450吨高纯三氟化氮气体的生产能力，能够为客户提供纯度为99.995%及99.995%以下各种级别的三氟化氮气体，产品销往日本、法国、美国、新加坡和马来西亚等国家和台湾地区。
PERIC生产的“派瑞”品牌三氟化氮气体产品获得“国家重点新产品”荣誉称号，凭借优质的产品质量和售后服务，建立了良好的信誉和较高的知名度。
在未来的发展中，PERIC 将根据市场需求，全力进行特种电子气体和医药中间体等新产品新技术的研发和产业化，做大做强“派瑞”品牌，为我国的半导体、液晶显示器、薄膜光伏电池和医药行业的发展贡献力量。
气体物化特性包装( Cylinder（47L）、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO等)储存及运输三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。
三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。
运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。
如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。
泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
三氟化氮气体产品质量标准（Q/718J58-2007）/gyxs.asp?id=3。
三氟化氮——精选推荐
三氟化氮NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。
目前，黎明院拥有一条年产500吨的NF3生产线，其生产工艺、设备均处于国内领先地位。
主要用途：NF3的三个主要用途，一是用作高能化学激光气的氟源，二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂，三是应用于太阳能光电产业。
NF3其它用途：生产全氟铵盐，用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度，在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。
物化性质：NF3在室温和大气压力下是无色、稳定和有毒的气体。
相对分子质量为71.002，沸点为-12 9.06℃。
NF3在室温下较稳定，但在800~1200℃下发生猛烈分解；NF3是一种有潜力的氧化剂，特别是在约200℃时，其反应性与氧相当；NF3在与其它元素反应时主要用作氟化剂；NF3在常温下不与水、稀酸和稀碱溶液反应，但在100℃下与碱性溶液接触时会缓慢水解生成亚硝酸盐及氟化物，在电火花作用下，NF3可与水猛烈反应；NF3与H2或氢化物可快速反应并放出大量的热，该反应是NF3用于高能化学激光器的基础；NF3可与有机物作用，但通常需升高温度以引发反应，因而常常发生爆炸；在低于70℃时NF3气体对普通金属不腐蚀，因此可用钢、不锈钢、镍、铜和铝等材料制作相关设备。
安全数据：NF3是一种有毒、不可燃的压缩气体；无气味，但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味；暴露极限: OSHA: PEL=10ppm. ACGIH: TWA/TLV=10ppm. NIOSH: 1000ppm.当进入浓度超项目(体积分数）指标过暴露极限的泄方区时需配备自给式呼吸器(SCBA)；氧化剂，会引起或促进金属和非金属物质的燃烧，特别是温度超过200℃时；燃烧产物有毒；的任何系统都不应有油、油脂和其它有机物；使用NF3的气瓶不允许在高于52℃的环境下使用、贮存储于钢瓶中，压力小于1500psig，盛装NF3存和运输。
包装规格：包装：高压无缝碳钢钢瓶包装规格：47L国标或DOT瓶、470L Y瓶等。
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一种检测三氟化氮气体的方法
作者：杜海波田亮亮王祥斌苗英俊牛巧云
来源：《科技传播》2014年第14期
摘要提出了采用高温热裂解+电化学传感器进行三氟化氮气体检测的方法，克服了使用催化材料作为裂解器生成二次产物多，测量精度低的缺点。
实验数据证明，该检测方法灵敏度高，检测限低，能够检测到最低0.1ul/L的三氟化氮气体，量程范围为0 ul/L～30ul/L。
预热时间仅为5min，能够大大缩短等待时间。
关键词高温热裂解；三氟化氮气体；电化学传感器
中图分类号 TB85 文献标识码A 文章编号 1674-6708（2014）119-0136-03
0引言
三氟化氮是一种工业特种气体，其主要用作推进剂（火箭）、氟化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂、激光、光导纤维。
尤其是在目前发展较快的微电子领域，它可以作为一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氧化硅蚀刻。
采用三氟化氮比四氟化碳和氧气的混合气体具有更高的蚀刻效率和选择性，而且对表面无污染，在被蚀刻物表面不留任何残留物质，同时也是非常良好的清洗剂。
随着近年来电子及光伏产业的飞速发展，对于三氟化氮气体的需求增长也承迅猛之势。
但是三氟化氮是一种毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。
易与血红蛋白反应，吸入人体后危险较大。
与爆炸性气体、氧化剂、水和蒸汽混合物加热时，在火花或明火条件下发生爆炸。
在大气中的最高容许浓度：10ul/L（29mg/m3）。
同时，三氟化氮被列为温室气体，其制造温室的能力极强，其存储热量的能力是二氧化碳12000～20000倍，在大气中的寿命可长达740年之久。
能在大气中维持550年，主要在生产液晶电视时排放，目前排放量为每年4000t。
综上所述，对生产的三氟化氮气体的泄漏进行监测，既可以保证生产人员的安全、保证充装三氟化氮钢瓶的无泄漏，又能杜绝三氟化氮气体产生的温室效应。
因此，开展对三氟化氮气体的监测工作势在必行。
1国内外现状
通过调查发现，目前国内还没有完全能满足要求的三氟化氮检漏仪产品，国内某公司的的三氟化氮报警探头，最小只能检测到50ul/L，且检测精度不高，而规定的允许值只有10ul/L，因此完全达不到要求，而其他厂家未见国产的相关产品。
目前三氟化氮检漏报警的相关产品主要来自于日本和美国。
日本某公司生产的三氟化氮报警仪产品检测范围为0ul/L～30ul/L，但仅仅作为泄漏报警器使用，检测精度不高，预热时间至少为半小时，使用不方便。
美国IST公司
的的MD2XPS-7检测范围为0ul/L～50ul/L，但是普遍存在检测精度不高的问题，使用不方便等问题。
2三氟化氮气体检测原理
目前市场上三氟化氮检测仪的主流仪器为日本某公司相关产品，主要采用催化热裂解+电化学原理。
由于使用催化剂来降低超高温裂解装置的加热温度，从现场的使用效果来看，存在预热时间长、而且需要长时间开机、无法满足微量泄漏检测等问题。
本文提出了一种超高温裂解+电化学原理的三氟化氮检测方法。
与催化裂解不同，超高温裂解不需要使用催化剂，而是采用精确的加热控制和独特的结构设计保证裂解效率，大大减少了生成产物的种类，减小了交叉干扰。
裂解反应化学方程式为：
从反映方程式可以看出，超高温和一定湿度的空气是保证反应能够进行的两个必要条件；通过上述化学方式进行分析，生成产物含有NO或NO2气体，如果采用对应的传感器检测生成产物的浓度就可以反向推算出三氟化氮气体的浓度。
通过定性实验发现，生成产物中NO占的比例要高于NO2，但是如果采用NO传感器对生成产物进行检测，生成产物中的NO2气体对NO传感器产生一个反向的信号干扰。
测试时可以看到测量到的信号先增加又减小然后又增加，这样一个反复的现象，无法达到稳定。
另外一个方面，现有的NO电化学传感器需要200mv的偏置电压，并且传感器的启动时间较长，所以不适合采用NO传感器来间接计算NF3气体的浓度。
因此最终确定采用NO2电化学传感器来对生成产物进行检测来达到间接检测NF3气体浓度的目的。
从上面的分析可以看出，超高温裂解装置是NF3能够进行裂解的至关重要的因素。
在进行设计时，为了能够保证超高温裂解装置既能够达到理想裂解温度，又能够保证足够高的裂解效率，本文对超高温裂解装置进行了特殊散热设计，该超高温裂解装置目前已申请发明专利。
为了能够确定三氟化氮的最佳裂解温度，使用NO2传感器来检测裂解产物。
根据NO2传感器的输出信号大小来确定合适的裂解温度。
在流量为500ml/min，温度为28oC，湿度为40%的条件下，通入10ul/L的NF3标准气，调整超高温裂解装置的温度，检测不同的裂解温度下，NO2传感器输出信号的大小。
从图 1可以看出，当超高温裂解装置的温度达到900oC时能够使三氟化氮气体能够全部裂解，此时增加超高温裂解装置的温度已没有任何意义。
因此可以确定，加热温度900oC时，在当时的实验条件下三氟化氮气体能够完全裂解。
通过大量的实验证实，本文设计的三氟化氮传感装置在精确的加热控制电路的配合下预热时间在5min以内，大大减少了用户等待的时间。
虽然可以将超高温裂解装置的温度加热到900oC左右对三氟化氮气体进行分解，但是此时超高温裂解装置的功率过高，这就造成了两个问题：一是发热量太大，二是耗电量太大。
考虑到NO和NO2之间可以非常简单的进行转化，为了降低超高温裂解装置的功率，又不降低采
样精度，本文采用MO2等作为转化剂将NO转化为NO2，为了准确的知道需要的转化剂的量，本文在裂解温度为600oC，流量为500ml/min，温度为30oC，湿度为42%的条件下，通入10ul/L的NF3标准气，采用逐步增加转化剂的方法，根据不同转化剂的条件下NO2传感器输出信号的大小来确定转化剂的最终使用量。
试验结果如下图所示：
控制模块主要包括超高温裂解装置裂解控制电路和气体流量控制电路两部分。
超高温裂解装置的加热控制直接关系着进入气体的裂解效率和生成产物的数量。
本设计采用优化控制缓起加热，以保证加热电阻丝不会因温度突变而断裂；气体流量的控制对生成产物的种类和数量也至关重要，与最终产生的信号大小直接相关。
流量控制电路通过反馈电路实时跟踪流量的变化，由多功能控制器通过PID控制抽气泵电压的方式确保进入超高温裂解装置的流量的稳定。
控制模块共同作用保证了测量的线性度和准确度。
在传感模块的选择上，综合考虑成本、响应时间和对环境的适应性，最终决定采用NO2电化学传感器，利用NO2传感信号和NF3气体的浓度的线性比例关系来间接计算出NF3气体浓度。
NO2气体传感器和多功能控制器的连接需要增加信号处理模块。
由于电化学传感器输出的是非常微弱的电流信号，必须进行滤波、放大后才能转化为标准信号输出。
滤波、放大的效果与信号的稳定程度直接相关。
3传感器性能测试
3.1测试平台
为了验证本NF3传感装置的性能，特建立了一套NF3气体浓度测试平台。
该平台采用MSP430单片机作为控制器完成系统的外围控制。
首先，单片机控制抽取泵（流量可控）抽取标准气体进入NF3裂解装置进行高温裂解，电化学传感器对裂解产物进行分析测量，信号经滤波、放大等处理后转化为标准485信号输出。
RS485总线将数据送给上位机，由上位机实现对现场的实时监控。
3.2传感器性能测试
基于搭建的分析测试平台，在常温常压的环境中进行了测试。
高温热裂解装置裂解温度为600OC，恒定流量为400ml/min条件下下，分别往实验装置中通入不同浓度对标准NF3气体，以测试传感装置的线性响应特性。
经过试验，最终绘制的浓度特性曲线如图4所示。
从图4可以看出，当测量气体的体积分数在（0～30）ul/L变化时，输出电压范围为
0mv～320mv，保持了良好的线性度，因此试验证明可以使用NO2气体的浓度来反向计算NF3气体的浓度。
系统的T90响应时间是测试传感器性能的一个非常重要性能指标。
在传感装置中分别通入5ul/L，10ul/L，30ul/L的标准NF3气体实时记录传感器的输出电压信号。
实验数据如图5所示。
由图5可以看出，随着NF3气体浓度逐渐升高，产生的输出信号的加大，传感的响应速度也在逐渐加快。
从上图的数据也不难看出，在整个量程范围内，系统的响应时间也都在10s 以内，因此在使用时不需要用户等待，能够大大方便用户的使用。
为了进一步测试传感装置检测限，采用从0.01ul/L的三氟化氮气体浓度开始逐步增加浓度的方法，发现当气体浓度为0.1ul/L时，传感装置能够正常响应。
可以证明，本文设计的气体检测装置最低能够检测到0.1ul/L的NF3气体，对于低浓度的NF3气体也实现了快速检测。
因此，一旦发生泄漏等事故，能够保证用户在第一时间做出响应。
4结论
现今，微电子行业的蓬勃发展促进了NF3电子气体大量生产，也埋下了安全和环境隐患。
通过对本文设计的NF3气体传感装置的性能的分析测试结果发现，传感器实现了在常温环境下的低浓度检测，测量范围从0ul/L～30ul/L，最低能够检测到0.1ul/L的三氟化氮气体泄漏。
克服了常规催化裂解方法检测NF3气体出现的抗干扰能力差、响应速度慢、线性范围窄的缺点。
目前该传感装置已经整合到NF3气体在线环境监测系统中，做到了泄漏的实时在线监控，保障了工作人员的人身安全，防患于未然。