激光干涉仪相关基础知识
激光干涉仪
激光干涉仪的安装
线性测量的安装
激光头 固定反 射镜 移动反射 镜
线性测量原理
线性测量原理
激光干涉仪通过接受到得激光的明暗条 纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的 细微和准确变化。
角度测量的安装
角度测量原理
激光头
直线度测量的安装
直线度测量原理
垂直测量的安装
平面度测量的安装
END
激光干涉仪
关于齿轮的效率 关于齿轮的类型
……
1
激光干涉仪的基本概念
目 录
2
激光及其特点
3
Байду номын сангаас激光的干涉特性
4
激光干涉仪的安装 激光干涉仪的原理
5
激光干涉仪的基本概念
什么是激光干涉仪
利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心，三坐标测量机等）的 位置精度（定位精度，重复定位精度等），几何精度（俯仰扭摆角度， 直线度，垂直度）进行精密测量的精密测量仪器
激光及其特点
激光输出可视为一束正弦波
激光具有三个重要特性
1 2 3
激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。
激光波长非常短，可以用于高精度测量。（例：雷尼绍xl-80激 光波长为633nm) 激光具有干涉特性。
激光的干涉特性
相长干涉
如果两束光相位相同，光波会叠 加增强，表现为亮条纹。
相消干涉
如果两束光相位相反，光波 会互相抵消，表现为暗条纹。
激光干涉仪在物理研究中的应用
激光干涉仪在物理研究中的应用激光干涉仪是一种基于激光的精密测量仪器，具有高精度、高分辨率、高灵敏度、高稳定性等特点。
它可以用于测量光程差、位移、形貌、波前畸变等物理量，在物理学、光学、材料科学、生物医学、机械制造等领域得到了广泛应用。
一、激光干涉仪的基本原理激光干涉仪基于光干涉原理，比较两个光程差的相位差来测量物理量。
其基本结构由激光源、分束器、样品、合束器、检测器等组成。
当激光束照射到分束器上时，会被分成两个光束，一个经过参考光路反射出来，一个经过样品光路或待测光路后反射出来，两个光束再经过合束器合成，形成干涉光。
当待测光路与参考光路的光程差发生改变时，由于光的相干性，干涉光的相位也会发生变化，通过检测器测量干涉光的相位差变化，就可以得到待测光路与参考光路的光程差。
二、激光干涉仪的应用1.表面形貌测量激光干涉仪可以准确地测量物体表面的高度、形状、表面粗糙度等物理量，广泛应用于工业制造、材料科学、光学成像、地质勘探等领域。
例如，研究人员可以利用激光干涉仪测量人类牙齿表面的微小变形，以研究牙齿结构和功能。
2.液体流速测量激光干涉仪可以利用激光束对流体进行横向扫描，通过测量传播到检测器上的干涉光的相位差变化，可以计算出流体的速度分布和流量。
这种方法广泛用于船舶液体流场测试、水利工程流量监测、工业制造过程流体流动分析等领域。
3.纳米位移测量激光干涉仪可以测量物体的纳米位移量，精度可以达到亚纳米级别。
利用这种方法，可以研究纤维、微电子器件、纳米材料等体系的变形、扭转、压缩等运动和变化量。
4.物体加工质量监测激光加工通常需要在线检测来保证工艺质量。
激光干涉仪可以实时、在线监测激光加工过程中物体表面的形貌、位置、尺寸等物理量，避免加工缺陷和误差的出现，提高加工产品的质量和精度。
5.光学元件测试激光干涉仪可以用于测试和监测光学元件的表面粗糙度、形状误差、面内波前畸变等物理量，以确定光学元件的质量和性能。
三、激光干涉仪的发展趋势随着科学技术的不断进步和发展，激光干涉仪将会越来越广泛地应用于科学研究和工业制造等领域。
双频激光干涉仪
（一）原理图
（二）几点说明
1．从分束镜4分出的部分激光束为偏振方向互相垂直的两线偏光； 该光束通过一捡偏器5（捡偏器透光轴与纸面成45˚）。根据马 吕斯定律（Ii=I0 ·cosθi），两互相垂直的线偏光在45˚透光轴的投 影，形成新的同振动方向的线偏光，并产生拍频信号，其频率 差为Δf=1.5MHz。
3．通过计算机将两路信号合成后，只剩下测量信号Δf D。
（三）特点
1．在双频干涉仪中，双频起调制作用，被测信号Δf 只是叠 1．从分束镜4分出的部分激光束为偏振方向互相垂直的两线偏光；
照1．射在捡双偏频器干12涉（仪其中透，过双轴频和起纸调面制成作4用5˚，）被，测根信据号上Δ述f 原D只理是，叠其加拍在频这信一号调：频载波上。
f根1-据（马f2吕±斯ΔfD定）律=（（Ii=f1I0-f2·c）o±sθΔi）fD，=两Δf互±相Δf垂D直=1的. 线偏光在45˚透光轴的投影，形成新的同振动方向的线偏光，并产生拍频信号，其频率
能正常工作。 因差而为前 Δf=置1放. 大器可采用交流放大器避免采用直流放大器的零漂问题。
5根M据H马z的吕交斯流定信律号（，Ii=动I0镜·c的os运θ动i）只，是两使互这相个垂信直号的的线频偏率光增在加45或˚透减光少轴。的投影，形成新的同振动方向的线偏光，并产生拍频信号，其频率
5过M偏H振z的分交光流棱信镜号8。，动镜的运动只是使这个信号的频率增加或减少。
2．当测量镜静止时，干涉仪仍保留Δf =1.5MHz的交流信号， 1照．射在捡双偏频器干1涉2（仪其中透，过双轴频和起纸调面制成作4用5˚，）被，测根信据号上Δ述f原D只理是，叠其加拍在频这信一号调：频载波上。
25M．H从z分的束交镜流4信透号过，的动另镜一的部运分动测只量是激使光这束个通信过号偏的振频分率光增棱加镜或8减后少，。分成 互相垂直的两线偏光并射向参考镜9和动镜10，经反射，再次通
激光干涉仪讲解
第一章、前言—、本次我们主要研究：如何检测机床的螺距误差。
因此我们主要的任务在于：1.应该使用什么仪器进行测量2.怎么使用测量仪器3.怎么进行数据分析4.怎么将测量所得的数据输入对应的数控系统二、根据第一点的要求，我们选择的仪器为：Renishaw激光器测量系统.此仪器检测的范围包括：1.线性测量2.角度测量3.平面度测量4.直线度测量5.垂直度测量6.平行度测量线性测量：是激光器最常见的一种测量。
激光器系统会比较轴位置数显上的读数位置与激光器系统测量的实际位置，以测量线性定位精度及重复性。
三、根据第二点的解释，线性测量正符合我们检测螺距误差的要求。
因此，我们此次使用的检测方法——线性测量。
总结以上我们的核心在于：如何操作Renishaw激光器测量系统结合线性测量的方法进行检测.之后将检测得到的数据进行分析.最后将分析得到的数据存放到数控系统中。
这样做的目的在于一:是高机床的精度。
-1 -A-/r- -^― .Trt".弟一早、2.1什么是螺距误差？基础知识开环和半闭环数控机床的定位精度主要取决于高精度的滚珠丝杠。
但丝杠总有—定螺距误差，因此在加工过程中会造成零件的外形轮廓偏差。
由上面的原因可以得知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的常值系统性定位误差。
2.2为什么要检测螺距i 吴差?根据2.1节，检测螺距误差是为了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏差，即提高机床的精度。
2.3怎么检测螺距误差?(1)安装高精度位移检测装置。
(2)编制简单的程序，在整个行程中顺序定位于一些位置点上。
所选点的数目及距离则受数控系统的限制。
(3)记录运动到这些点的实际精确位置。
(4)将各点处的误差标出，形成不同指令位置处的误差表。
(5)多次测量.取平均值。
(6)将该表输入数控系统，数控系统将按此表进行补偿。
2.4什么是增量型误差、绝对型误差？①增量型误差增量型i吴差是指：以被补偿轴上相邻两个补偿点间的误差差值为依据来进行补偿②绝对型误差绝对型是误差是指：以被补偿轴上各个补偿点的绝对误差值为依据来进行补偿2.5螺距误差补偿的原理是什么？螺距误差补偿的基本原理就是将数控机床某轴上的指令位置与高精度位置测量系统所测得的实际位置相比较•计算出在数控加工全行程上的误差分布曲线，再将误差以表格的形式输入数控系统中。
激光干涉仪原理及应用概述
激光干涉仪原理及应用概述今天咱来唠唠激光干涉仪这个挺神奇的玩意儿。
它的原理和应用那可真是个有趣的话题，一起来瞅瞅吧！一、激光干涉仪的原理——就像光的“小魔术”咱得知道，激光干涉仪啊，它主要是利用光的干涉现象来工作的。
啥是干涉现象呢？简单说啊，就好比两个调皮的小伙伴，一起玩耍的时候，有时候会配合得特别默契，有时候又会闹点小别扭。
光呢，也有这样的情况。
当两束激光相遇的时候，如果它们的某些特性，比如说频率、相位这些条件刚刚好，那就会配合得特别好，出现干涉现象。
想象一下啊，就像两列整齐的士兵，步伐一致地前进，当他们相遇的时候，就会形成一种特别的图案。
在激光干涉仪里呢，这两束激光相遇后，会根据它们的相位差产生明暗相间的条纹。
这可不仅仅是好看哦，通过观察这些条纹的变化，咱们就能得到很多有用的信息呢。
比如说，如果有一个物体稍微动了那么一点点，就会影响到其中一束激光的传播路径，那这个时候条纹就会发生变化啦。
就好像你稍微动了一下桌子上的杯子，原本整齐的图案就被打乱了一点。
通过测量条纹的变化，就能知道物体移动了多少，这多神奇呀！二、激光干涉仪的应用——生活中的“隐形帮手”激光干涉仪在好多地方都大显身手呢，先来说说在精密测量方面吧。
在制造一些特别精密的零件的时候，对尺寸的要求那可是相当高的。
比如说制造芯片，那得精确到纳米级别啊！这时候激光干涉仪就派上用场啦。
它就像一个超级严格的质检员，能准确地测量出零件的尺寸，哪怕是一点点小偏差都逃不过它的“眼睛”。
有了它，咱们制造出来的零件质量就更有保障啦，各种高科技产品也能做得越来越好。
再看看在光学领域，激光干涉仪也是个得力助手。
它可以用来检测光学元件的质量，比如说镜片啊，看看它的表面是不是平整光滑。
如果镜片表面有一点点不平整，激光干涉仪产生的条纹就会“报警”，告诉我们哪里出了问题。
这样一来，咱们戴的眼镜、用的相机镜头等等，质量就更让人放心啦。
还有在科学研究方面，激光干涉仪也发挥着重要作用呢。
双频激光干涉仪工作原理
双频激光干涉仪工作原理激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，广泛应用于工业、科研等领域。
其中，双频激光干涉仪是一种常见的激光干涉仪，其工作原理是利用激光的干涉现象进行测量。
下面将详细介绍双频激光干涉仪的工作原理。
一、激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是利用激光的干涉现象进行测量的仪器。
激光是一种具有高度相干性的光源，当两束激光相遇时，它们会发生干涉现象。
干涉现象是指两束光波相遇时，它们的振幅会相互叠加或相互抵消，从而形成明暗相间的干涉条纹。
通过测量干涉条纹的形态和数量，可以得到被测物体的形态和尺寸等信息。
二、双频激光干涉仪的工作原理双频激光干涉仪是一种利用双频激光进行测量的干涉仪。
其工作原理是将激光分成两束，分别经过两个不同的光路，然后再将它们合并在一起。
由于两束激光的频率不同，它们在合并时会发生干涉现象，形成干涉条纹。
通过测量干涉条纹的形态和数量，可以得到被测物体的形态和尺寸等信息。
三、双频激光干涉仪的具体实现双频激光干涉仪的具体实现是将激光分成两束，分别经过两个不同的光路，然后再将它们合并在一起。
其中，一束激光经过一个可调谐的光学器件，如光栅或波长分复用器，使其频率发生变化。
另一束激光则不经过光学器件，频率保持不变。
两束激光再经过一个分束器，将它们分成两束，分别经过两个不同的光路。
其中一条光路是参考光路，另一条光路是测量光路。
参考光路中的激光束与测量光路中的激光束在被测物体上发生干涉，形成干涉条纹。
通过测量干涉条纹的形态和数量，可以得到被测物体的形态和尺寸等信息。
四、双频激光干涉仪的应用双频激光干涉仪广泛应用于工业、科研等领域。
在工业领域，它可以用于测量机械零件的尺寸、形态等信息，以及检测机械零件的表面质量。
在科研领域，它可以用于测量微小物体的形态和尺寸等信息，以及研究光学干涉现象等。
总之，双频激光干涉仪是一种利用激光的干涉现象进行测量的高精度仪器。
其工作原理是将激光分成两束，分别经过两个不同的光路，然后再将它们合并在一起。
激光干涉仪的基本原理
激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，它可以用来测量物体的形状、表面质量、位置以及运动状态等。
在工业、航空航天、医学等领域都有广泛的应用。
本文将介绍激光干涉仪的基本原理。
1. 激光的特性首先，我们需要了解激光的特性。
激光是一种单色性和相干性极高的光波。
其波长稳定，方向一致，段差小，能够形成高质量的平行光束。
这些特性使得激光在干涉测量中有着很大的优势。
2. 干涉原理干涉现象是指两束光波在空气中相遇时，由于相位差的存在，会发生一系列的干涉现象。
常见的干涉现象有等厚干涉、等附加厚度干涉、菲涅尔双棱镜干涉、迈克尔逊干涉等。
在迈克尔逊干涉中，激光光束从分束器射出，经过反射镜反射后再次聚焦于分束器，形成一种干涉图形。
在干涉图形中，可以通过测量干涉带的位移、亮度等来计算物体的形态、位置、偏移量等信息。
3. 激光干涉仪的工作原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器。
它包括激光源、分束器、反射镜、检测器等部分。
当激光从激光源经过分束器后，会被分为两束光束。
其中一束光束经过反射镜后返回分束器，与另一束光束发生干涉。
通过调整反射镜的位置，可以改变干涉光束之间的相位差，从而形成干涉图形。
检测器会将干涉图形转化为电信号，通过电路处理后输出测量结果。
4. 激光干涉仪的优点和应用激光干涉仪有着高精度、高稳定性、非接触性测量等一系列优点。
它可以被应用于各种领域，例如：在机械加工领域，激光干涉仪可以用来测量机床导轨、定位板、工件表面形态等参数，从而提高加工质量和效率。
在医学领域，激光干涉仪可以用来测量角膜曲率、晶体位移等参数，从而用于诊断和治疗眼科疾病。
在航空航天领域，激光干涉仪可以用来测量航天器的姿态、运动状态等参数，从而实现精确的导航和控制。
总之，激光干涉仪是一种重要的测量仪器，具有广泛的应用前景。
了解其基本原理可以帮助我们更好地理解其工作原理和优点，从而更好地应用于实际应用中。
双频激光干涉仪的原理与应用
双频激光干涉仪的应用研究
1、物理学领域中的应用
在物理学领域中，双频激光干涉仪被广泛应用于长度测量、光学腔衰荡、光 学陷阱等方面。例如，通过测量两个反射镜之间的距离，可以得出光学腔的长度， 进而研究光学腔的衰荡现象。另外，双频激光干涉仪还可以用于测量微小的距离 变化，如光学陷阱中的原子或分子位置的变化。
一、双频激光干涉仪的原理
双频激光干涉仪利用激光干涉和衍射现象来测量长度和角度。它包含两个振 荡频率不同的激光束，经过叠加后产生干涉图案。干涉图案的周期和相位差与被 测长度和角度有关。通过测量干涉图案的变化，可以推导出被测长度和角度的值。
双频激光干涉仪的原理框图如图1所示。激光器发出两束频率不同的激光， 经过分束器后分别形成参考光束和测量光束。这两束光在干涉仪内部进行叠加， 产生干涉现象。干涉仪的高精度光学系统能够将干涉图案聚焦成清晰的图像，并 由探测器进行接收。
4、土木工程领域中的应用
在土木工程领域中，双频激光干涉仪被广泛应用于测量建筑物、桥梁和隧道 等结构的变形和振动。通过测量建筑物或桥梁的振动频率和振幅，可以得出结构 的固有频率和阻尼比等重要参数。此外，双频激光干涉仪还可以用于测量地壳的 微震和地震等自然灾害的参数。
双频激光干涉仪的实验研究
1、双频激光干涉仪的基本原理
实验结果表明，双频激光干涉仪具有高精度、高稳定性和快速响应等特点。 通过改变双频激光束的频率差，可以扩大干涉仪的测量范围。另外，通过将双频 激光干涉仪与其他仪器结合使用，可以扩展其应用范围，例如将双频激光干涉仪 与扫描显微镜结合使用，可以得出微观结构的高精度三维形貌。
结论尽管双频激光干涉仪已经得到了广泛的应用，但是其仍有需要进一步研 究和改进的地方。例如，如何提高双频激光束的相干性、如何降低外界因素对实 验结果的影响以及如何实现实时在线测量等问题需要后续进行深入探讨。总的来 说，双频激光干涉仪在科学和技术上的应用前景非常广阔，未来研究将会有更多 的成果涌现，为人类认识世界和解决问题提供更多的工具和方法。
激光平面干涉仪
2
N
2
误差不足 于λ /2,用δ1（图 右边）表示——精度高
粗糙度
误差大 于λ /2, 用δ2表示——精 度稍低一点
（ δ2）
11－4、激光球面干涉仪
一.常用的三种系统
1.反射面作标准面 入瞳（无穷远 •当球心或球顶与L 或焦点） 的焦点F’重合时， 两出瞳重合，干涉 条纹宽度无穷大。
P(标准平面）
A2
A1
ω
l
P
f1’ F’的像
2a O
a
O F’
f1’
设观察屏上有N条直条纹，观察屏直径为D，
则干涉条纹间距也可以表示为：e＝ D
则： D l
N
N A1 A2
微分上式得 Dd ( A1A2 ) ldN
条纹灵敏度 dN 1 则：
d
(
A1
A2
)
l
D
微分
A1 A2 2a
作图法说明出瞳移动情况：
f2’
f1’
F2
F2’ F1
F1’
2. A1、A2出瞳重合 e Байду номын сангаас
3.当球心O和F’重合，e→∞,干涉场一片均匀 4.球面E垂直光轴横移a，则F’通过E球面成的象移动2a
出瞳分离量 f2’
A1 A2
2a
f2 ' 2a f1 '
干涉条纹间距
e l A1 A2
• 4 、测微目镜： 焦距 f = 16.7mm ， 放大倍数β＝ 15 ×， 视场角 2ω = 400， 成象物镜：
I、 D = 4. 5 II、 D = 7 III、 D = 10 f = 1 5 f = 23
激光偏振干涉仪
N N-1
被测量位置越接近N+1，加入周期扰动后测量的结果出现N+1的概率大，
出现N-1的概率小；
通过N+1,N,N-1出现的概率计算被测量位置
2.3 激光偏振干涉仪——信号细分方法
7）概率统计细分法 进行等时间间隔的多次测量，并取平均值，可精确测量得小数
只要测量次数足够多，扰动速率均匀，扰动幅值等于原分辨力或其
倍数，将不存在细分的理论误差。
实现扰动的方法：
机械扰动法 光调制扰动法 电子扰动法
2.3 激光偏振干涉仪——信号细分方法
7）概率统计细分法
•机械扰动法：
PZT
施加三角波电 压
R
PBS M
当原干涉仪原分辨力为λ/8时，所加电压使得参考 反射镜作λ/8位移移动。
P
当原干涉仪原分辨力为λ/2时，所加电压使得参考 分步调相光学系统 反射镜作λ/2位移移动。（加大振幅）
激光偏振干涉仪
2.1 激光偏振干涉仪——基础知识
Y
线偏振光经过λ/4波片，且与X轴夹角 α=45º ，形成圆偏振光
X
线偏振光
圆偏振光
Y
/4片
α=45º
Y
X
X Ex = E coscosωt Ey = E sincos(ωt+π/2) 圆偏振光
Ex = E coscosωt Ey = E sincosωt 线偏振光
λ/4
cos Ψ cosφ
振动方向旋转 的线偏振光
Q3
-cosφ -cos Ψ
两块渥拉斯顿棱镜
x x1 x2 cos cos(t ) 2 2 y y1 y2 sin cos(t ) 2 2
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一.激光干涉仪概述激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。
通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。
二.激光干涉仪工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。
若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
三.激光干涉仪功能SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。
在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。
1.静态测量SJ6000激光干涉仪的系统具有模块化结构，可根据具体测量需求选择不同组件。
SJ6000基本线性测量配置：SJ6000全套系统：1.1. 线性测量1.1.1. 线性测量构建要进行线性测量，需使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上，这个组合装置就是“线性干涉镜”。
线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上，用它的反射光线形成激光光束的参考光路，另一束光入射到线性反射镜，通过线性反射镜的线性位移来实现线性测量。
如下图所示。
图1-线性测量构建图图2-水平轴线性测量样图图3-垂直轴线性测量样图1.1.2. 线性测量的应用1.1.2.1. 线性轴测量与分析激光干涉仪可用于精密机床、三坐标的定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量。
测量时在工作部件运动过程中自动采集并及时处理数据。
图4-激光干涉仪应用于机密机床校准图5-激光干涉仪应用于三坐标机校准SJ6000软件内置10项常用机床检验标准，自动采集完数据后根据所选标准自动计算出所需误差数据，为机床、三坐标的误差修正提供依据。
图8-数据采集界面图9-数据处理界面图10-数据分析曲线界面1.1.2.2. 高精度传感器校准利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高。
图6-激光干涉仪应用于传感器校准1.1.2.3. 实验室标准器激光干涉仪是当今精度最高的测长仪器，因光波具有可以直接对米进行定义且容易溯源的特点，因此国家实验室多用激光干涉仪做实验室标准器，用于检验测长度仪器。
图7-激光干涉仪应用于实验室1.1.2.4. 小型光学镜组件对于光学镜重量或尺寸可能影响机器动态性能或光学镜安装遇到困难的应用场合，中图仪器提供的轻型镜组，直接吸附在测量设备上，最大限度降低干涉镜附件重量对机器测量的影响。
详见下图：图8-轻型镜组图9-轻型镜组测量测长机实例图10-轻型镜组用于螺纹机测量实例1.2. 角度测量1.2.1. 角度测量构建与线性测量原理一样，角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。
相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被SJ6000激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。
图11-角度测量原理及测量构建图12水平轴俯仰角度测量样图图13-2水平轴偏摆角度测量样图1.2.2. 角度测量的应用1.2.2.1. 小角度精密测量激光干涉仪角度镜能实现±10°以内的角度精密测量。
图14-小角度测量实例1.2.2.2. 准直平台/倾斜工作台的测量由于角度镜组的不同安装方式，其测量结果代表不同方向的角度值。
您可以结合实际需要进行安装、测量。
图15-水平方向角度测量图16-垂直方向角度测量在垂直方向的角度测量中，角度反射镜记录下导轨在不同位置时的角度值，可由软件分析导轨的直线度信息，实现角度镜组测量直线度功能。
1.3. 直线度测量1.3.1. 直线度测量构建SJ6000激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。
经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，由光电探测器、分析器完成计数和测量。
图17-直线度测量原理在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或者直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。
直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。
图18-直线度测量构建1.3.2. 直线度测量应用由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。
直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲或直线度的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。
1.3.2.1. 机器轴、直线导轨测量当需要测量导轨较长时，传统的直角测量方法无法提供这样的测量长度和精度，测量时较重的角锥反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响，所有一般建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件。
图19-直线导轨水平方向直线度测量图20-直线导轨垂直方向直线度测量1.3.2.2. 机床工作台直线度测量测量时，直线度反射镜固定在机床的工作台上，直线度干涉镜安装在移动的刀具位置，通过刀头的移动就可以记录下机床刀头的直线度。
图21-数控机床直线度测量1.4. 垂直度测量1.4.1. 垂直度测量构建垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸，进行垂直度测量就是在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。
然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。
共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺用于至少一次测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。
垂直度误差= 棱镜误差- (倾斜度1 + 倾斜度2)图22- 垂直图测量构建1.4.2. 垂直度测量应用1.4.2.1. 机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等）垂直度测量通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度。
垂直度误差可能是导轨磨损、事故造成导轨损坏或机器地基差或双驱动机器上的两原点传感器未准直造成的。
垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。
典型情况下对于超过1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是唯一的选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。
1.4.2.2. X,Y轴垂直度对准X,Y工作台和水平面垂直度测量：不管是什么类型的XY平台，包括龙门型或者混合型或者其他类型的XY平台，无论是大型或者小型平台，重要的是有一个共同的参考基准，如图27所示的直线度反射镜。
测量过程中直线度反射始终镜保持不动。
1.4.2.3. 坐标测量机垂直度和水平轴之间的垂直度测量对于涉及垂直轴的垂直度测量，需要额外的增加直线度的附件，主要包括一个将光束偏转90°的光束转向镜。
图23-机床垂直度测量1.5. 平面度测量1.5.1. 平面度测量原理平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，转化为高度的变化，按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，就可以得到整个平台的平面度。
图24-平面度测量原理图25-平面度测量分析1.5.2. 平面度应用及方法测量一个平面的平面度，需要在平面上采集若干条测量直线，平面度测量有常用的方法为：对角线法，又称米字法图26-平面度测量方法对角线法测量平面度时，若激光头位于G点出，光线射向E点时，建议按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序进行测量。
图27-大理石平台平面度测量实例1.6. 回转轴测量利用SJ6000激光干涉仪的角度测量附件，结合高精密零级多齿分度台，便可以对回转轴进行校准。
高精度零级多齿分度台的运行间隔为5°，因此可以旋转并锁定到相对原点0°~360°范围内的72个位置中的任何一个。
高精密零级多齿分度台内包含一个可自动控制的高精密齿盘，在锁定状态下能够实现±1″的角度定位。
图28- 高精密分度转台用激光头、角度干涉镜和角度反射镜测量转台的角度位置。
软件将转台的角度位置与来自激光头和角度光学镜的读数合并在一起，就是被校准机轴的真实转角位置。
测量后，自动按照选择的机床标准计算回转轴误差，对机床经行补偿。
2. 动态测量动态测量包含基于时间的动态测量和基于距离的动态测量。
其中通过基于时间或位移的两种方式采集到大量的数据，对这些数据进行动态分析和FFT分析，其中动态测量与分析包括：位移－时间曲线、速度－时间曲线、加速度－时间曲线、振幅与频率。
软件可与线性、角度或直线度光学镜组配合使用，用于线性振动、速度波纹监控、角度振动、动态直线度等切削或切割应用场合。
可以“实时”监控数据（如调试机器参数），并可保存最终结果用动态分析软件进行进一步分析。
2.1. 基于时间的动态测量基于时间的采集使动态软件能够提供相对位移数据，动态软件通常在用户设定的时间范围内采集并保存这些数据。
2.1.1. 机器位置控制●运动控制器PID参数设置●高速运动后机器的稳定性和稳定所需时间●用于高性能运动控制的微小步幅（亚微米）运动测试2.1.2. 振动监视●扫描应用：用于定位精度不重要、但恒速对实现高质量成像非常关键的场合●FPD检测/维修平台：用于对“速度波纹”有特别要求的重要指标的场合，而“速度波纹”通常被定义为工作速度的百分比（如0.1% @ 20 mm/s）●机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工2.1.3. 振动分析●分析被测对象的振动频率●通过快速傅立叶变换(FFT) 分离振动频率2.2. 基于距离的动态测量基于距离的动态测量激光系统沿着轴线“飞行”测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户指定的间隔采集数据。