L-edit实验一
L-EDIT软件在“半导体器件”教学中的应用
ｕ ｄ ｒ ｔ ｎ ｉ ｇ ｔ ｅ ｋ ｏ ｅ ｇ ｆ ｐ ｙ ｉ ａ ｐ ｉ ｃｐ ｅ ｆ ｓ ｍｉｏ ｄ ｃ ｏ ｅ ｉｅ ， ｔ ｅ ｄ ｖ ｃ ｔ ｕ ｔ ｒ ｎ ｎ ｅ ｓ ａ ｄ ｎ ｈ ｎ ｗｌ ｄ ｅ ｏ ｈ ｓｃ ｌ ｒｎ ｉ ｌ ｓ ｏ ｅ ｃ ｎ ｕ ｔ ｒ ｄ ｖ ｃ ｓ ｈ ｅ ｉｅ ｓ ｒ ｃ ｕ ｅ ａ ｄ
ｍａ ｆ ｃ ｕ ｉ ｏ ｅ ｓ Ｔｅ ｃ ｎ ａ ｔｃ ｈ ｗｓ ｔ ｔ ｕ ｉｉｉ ｇ Ｌ— ｎｕ ａ ｔ ｒｎｇ ｐｒ ｃ ｓ ． ａ ｈｉ ｇ ｐｒ ｃ ｉｅ ｓ ｏ ｈａ ｔｌｚｎ ＥＤＩ ｓ ｆｗａ ｅ ｉ ｈｅ ｃ ｒ ｅ ｏ ｍｉｏ Ｔ ｏ ｔ ｒ ｎ ｔ ｏｕ ｓ ｆＳｅ ｃ ｎ—
生 对 半 导体 器 件 的 物 理 原 理 、 件结 构 及 制 造 过 程 这 三 方面 知 识 的综 合理 解 和 整 体 把 握 。教 学 实践 表 明 ， 该 课 程 中 引 入 Ｌ Ｅ Ｔ 可 以 收 到 器 在 — ＤＩ 良好 的 教学 效 果 。
关 键 词 ： 学 改 革 ； 导 体 器 件 ； — ＤＩ 软 件 教 半 ＬＥ Ｔ
（ ． 国 计 量 学 院 光 学 与 电子 科 技 学 院 ， 江 杭 州 ３ ０ １ ； １中 浙 １ ０ ８ ２ ．杭 州 电子 科 技 大 学 计 算 机 学 院 ， 江 杭 州 ３ ０ １ ） 浙 １ ０ ８
摘 要 ： 文针 对 “ 导 体 器 件 ” 本 半 的课 程 特 点 ， 讨 了 如何 应 用 Ｉ Ｄ Ｔ 软 件 改进 教 学 方 式 和 教 学 手 段 。将 【 Ｅ Ｔ 软 件 引 入 教 学 ， 有 利 于 学 探 Ｅ Ｉ ＤＩ 更
第３ ２卷
第 ６期
电气 电子 教 学 学 报 Ｊ） （ＵＲＮＡＬ ０Ｆ ＥＥ Ｅ
2021年集成电路版图设计画反相器实验报告
广西机电职业技术学院电气系试验汇报学号0211020试验名称画反相器上机时间试验成绩试验目: 1、熟悉使用版图设计软件Tanner L-EDIT 11.1; 2、了解软件操作步骤和基础参数设置;3、学会修改错误;4、学会看编译文件、电路图等;试验要求: 1、计算机; 2、Tanner L-EDIT 11.1版图开发软件;试验内容: 下面是反相器符号。
1、一、电路图1、新建一个名为“f_x_q.sdb”工程文件, Module——now新建名为“f_x_q”电路图2、保留后复制粘贴到新电路图里命名为“f_x_q_2”添加直流源和交流源3、保留后设置瞬时仿真最大值为1ns 仿真长度为400ns4、输出信号输入端（IN）和信号输出端（out）瞬时波形得下图5、开始仿真6、相同方法输入信号换成直流信号, 命名为“f_x_q_3”二、版图1、打开L-Edit软件新建名为F_X_Q.tdb文件再里头新建元件有PB(basecontactn)、NB（basecontactn）、PMOS、NMOS、IN(输入端)、OUT(输出端)、PB(basecontactn) NB（basecontactn）PMOSNMOSIN(输入端)OUT(输出端)2、以上元件都要进行DRC错误检验, 因为out端少了金属一层, 所以提醒会犯错。
3、新建元件F_X_Q导入以上全部元件并画地和电源并连线, 加入节点名称, 以下图4、检验没有错误后创建仿真文件。
得按要求添加周期为100ns高电平保持时间为50ns高低跳变时间为5ns幅度电位为0~5v交流源Va 总电源5v直流源vvdd加入仿真长度和时间1ns 400ns三、进行电路图和版图一致性对比结果:。
ex3_实验三 Tanner L-edit 编辑反相器的布局图
规则检查
54
连接栅极 Poly
55
规则检查
56
57
58
连接漏极
59
错误检查
60
绘制电源线
61
62
错误检查
63
实验三 Tanner L-edit 编辑反相器的布局图 目录
实验三 Tanner L-edit 编辑反相器的布局图 ............................................................................................1 新建文件 .................................................................................................................................................................1 复制组件.............................................................................................................................................................. 10
新建文件
1
2
3
4
5
6
7
8
9
复制组件
复制 NMOS
10
11
12
13
14
15
16
同样的方式复制 PMOS
17
18
19
20
引用 NMOS 组件
tanner L-edit 软件基本操作知识
三、使用L_EDIT绘制版图
（10）设计规则检查： 由于绘制的图样是要 制作集成电路的掩膜 图样，必须配合设计 规则绘制图层，才能 确保制程时的效率。 选择 工具---DRC 命令， 打开 Design Rule Check 对话框，如右图 所示，报错“最小宽 度少于两个Lambda”
三、使用L_EDIT绘制版图
三、使用L_EDIT绘制版图
（13）修改对象：此 已经无错误
三、使用L_EDIT绘制版图
（14）绘制多边型： 在长方形 Poly旁间 隔 1 个格点处，选 择 Drawing 工具栏 中的多边形工具， 可利用鼠标左键拖 曳并点出多边型的 端点，单击结束， 如右图
三、使用L_EDIT绘制版图
（14）设计规则检查 DRC报错，查看 DRC设置，发现两 个相邻poly之间距 离最小为2个 lambda
三、使用L_EDIT绘制版图
（13）修改对象：可选择编辑 ---编辑物项命令，在 Show box 表框中选择 bottom left corner and dimensions选项， 如图 所示，再将 Width 微 调框改为2.，单击“确定” 按钮，即可修改完成。也 可以利用 Alt 键加鼠标拖曳 的方式来修改对象大小。 修改为宽度为两个格点后， 再进行设计规则检查，这 时已无错误
（12）修改对象：可选择编辑 ---编辑物项命令，在 Show box 表框中选择 bottom left corner and dimensions选项， 如图 所示，再将 Width 微 调框改为2.000，单击“确 定”按钮，即可修改完成。 也可以利用 Alt 键加鼠标拖 曳的方式来修改对象大小。 修改宽度为两个格点后， 再进行设计规则检查，这 时已无错误
基于L-Edit的mos管版图设计开题报告
1.课题研究及主要研究内容
集成电路版图设计师就是高科技催生新职业的代表。集成电路版图设计职业伴随IC产业的发展而产生,由于国内起步较晚，工作内容中科技含量较高,对从业人员的专业知识和技能要求较高，IC版图设计人员是IC行业的紧缺技术人才之一。集成电路版图设计国家职业资格设“中级、高级、技师和高级技师”4个等级，分别是版图设计员、助理版图设计师、版图设计师、高级版图设计师。
2.1集成电路版图设计软件概述...............................................................6
2.2Tanner软件的L-Edit介绍..................................................6
画电路元器件的版图需要熟练使用版图设计软件，熟悉电路知识和版图设计规则，掌握MOS管，电阻，电容等基本元器件的内部结构及版图画法，通过对门电路和主从JK触发器电路的版图设计，熟悉电路元器件的版图布局，元器件版图间的连线等设计方法，在版图设计规则无误的前提下做到电路的版图结构紧密，金属连线达到最优化的目的;本文的主要任务是掌握MOS管，电阻，电容等基本元器件的内部结构及版图画法，通过主从JK触发器电路的版图设计，掌握版图布局及元器件版图间的连线等设计方法。
2.5基本设计编辑.......................................................................................10
2.6颜色及调色板的设置...........................................................................10
L—EDIT 11.1安装步骤
下列L—Edit 11.1的安装步骤（本人所用压缩文件是余祖良同学的29M的）
第一步：下载文件，并下载一个WinRAR的解压软件。
并用这个解压软件解压所有的文件。
建议将解压后的文件放在桌面上。
第二步：打开解压后的文件。
打开其中的Utilities文件夹，再打开此文件夹下的tlicinst，打开后将会显示一个对话框，如此步骤的第三幅图所示。
第三步：点击Browse,然后会显示一个对话框，如此步骤第一幅图所示。
选择license.tlu，然按“打开”。
接下来会出现一个对话框，如此步骤第二幅图所示，然后按Install,再
按Exit即可。
第四步：返回解压文件，打开L-Edit 11.1。
点击打开ledit,如第二幅图所示。
打开后如第三幅图所示。
传输门
实验六 CMOS传输门的版图设计【1】实验名称:CMOS传输门的版图设计【2】目的：设计CMOS传输门的版图，并对其进行DRC检测和T-Spice模拟仿真。
【3】使用设备和工具：微型计算机一台；Tanner软件【4】实验时间：2011-05-23【5】版图设计要求：1、在做此项目之前明确此项目设计到的技术资料，知道所用的工艺。
2、设置软件环境,即打开L_edit后一定要进行替换设置，具体操作方法见“IC版图设计—Tanner软件基本操作”。
3、设计规则与版图图层定义:弄清楚版图层次，根据工艺设计规则开始绘制版图。
4、设计尺寸PMOS的W/L=12um/2um、NMOS的W/L=6um/2um的传输门器。
【6】电路图如下图所示：【7】设计步骤如下：1、绘制W/L=12/2的PMOS管，如下图所示：2、绘制W/L=6/2的NMOS管，如下图所示：3、由电路图可知，一个12/2的PMOS管和一个6/2的NMOS管串联和并联，分别如下：4、PMOS衬底，如下图所示：4、NMOS衬底，如下图所示：5、绘制输入输出端口，如下图所示：6、将绘制好的所有器件连接起来，如下图所示：7、绘制过程完成。
下面进行仿真。
8、同样如下面那样的提取过程。
将二输入与非门的版图成果转化成 T-Spice文件。
可选择“Tools”—>“Extract Setup”命令(或单击按钮)，打开“Setup Extract ”对话框，单击其中的按钮，在弹出的对话框中Browser选择D:\Program Files\Tanner EDA\L-Edit and LVS\SPR\Lights\Layout\lights.ext，再到 Output 选项卡，在Write nodes and devices as选项组中选中 Name 单选按钮，即设定输出节点以名字出现，并在SPICE include statement 文本框输入“.include F:\csm\bsim3_sample.md”，如图所示。
基于L—Edit的集成电路版图设计
毕业设计（论文）----- 基于L—Edit的集成电路版图设计专业班次姓名指导老师成都信息工程学院二00九年六月摘要集成电路版图是电路系统与集成电路工艺之间的中间环节，集成电路版图设计是指把一张经过设计电子电路图用于集成电路制造的光刻掩膜图形，再经过工艺加工制造出能够实际应用的集成电路。
画电路元器件的版图需要熟练使用版图设计软件，熟悉电路知识和版图设计规则，掌握MOS管，电阻，电容等基本元器件的内部结构及版图画法，通过对门电路和主从JK触发器电路的版图设计，熟悉电路元器件的版图布局，元器件版图间的连线等设计方法，在版图设计规则无误的前提下做到电路的版图结构紧密，金属连线达到最优化的目的;本文的主要任务是掌握MOS管，电阻，电容等基本元器件的内部结构及版图画法，通过主从JK触发器电路的版图设计，掌握版图布局及元器件版图间的连线等设计方法。
关键词L—Edit软件版图设计AbstractThe layout of integrated circuit is the intermediate link between the circuit systematic technology of integrated circuit, the territory design of integrated circuit denotes to seek one via design electronic circuit, is used in the photoetching of the production of integrated circuit to cover membrane graph, happen again via technology processing production can the integrated circuit of actual application.The layout needs of drawing circuit components are skilled to use layout design software, familiar circuit knowledge and layout design rule, grasp MOS pipe, the internal structural and layout technique of painting of the basic components such as resistance and capacity is designed through the layout of the circuit of the house opposite and the JK trigger circuit of principal and subordinate, it is close that the even line etc. design method between components layout and the layout of familiar circuit components accomplish the layout structure of circuit under the layoutdesign regular prerequisite without mistake, metal links the purpose with the line reaching optimization. The major task of this paper is to grasp MOS pipe, the internal structural and layout technique of painting of the basic components such as resistance and capacity is designed through the layout of the JK trigger circuit of principal and subordinate, grasp the even line etc. design method between territory layout and components layout.Key Words：L—Edit software layout目录第一章绪论 (4)第二章版图设计基础 (6)2.1 集成电路版图设计软件概述 (6)2.2Tanner软件的L-Edit介绍 (6)2.3 L-Edit具体使用 (7)2.4 基本对象编辑 (9)2.5 基本设计编辑 (10)2.6 颜色及调色板的设置 (10)2.7 设计规则检查 (11)2.8 小结 (11)第三章版图设计基础 (12)3.1版图设计规则 (12)3.2 基本器件的版图设计 (17)3.3 小结 (27)第四章主从JK触发器的版图设计 (29)4.1 主从JK触发器 (29)4.2 主从JK触发器组成分析.................................................. (30)4.3 主从JK触发器的版图设计 (37)4.4 小结 (41)参考文献 (43)致谢 (44)第一章绪论集成电路版图设计是非常重要的一个设计工作。
tanner L-edit 软件基本操作知识演示幻灯片
三、使用L_edit绘制版图
（5）取代设定：选择 “文件”--“替换设 置”，从Browse选 择“D:\Program
Files\Tanner EDA\L-
Edit and
LVS\SPR\Lights\Lay out\lights.tdb”，主要 是采用其内的DRC 信息、layers信息。
（11）检查错误：打开 “设置”--DRC设置， 则可以观看详细的设 计规则，， 从Rules list列表框中选择3.1
Poly Minimum Width 选项中可以观看该条 设计规则设定poly最小 宽度为2个lambda，依 此修改poly宽度为2个 lambda，那么如何修 改呢？
三、使用L_edit绘制版图
三、使用L_edit绘制版图
（10）设计规则检查： 由于绘制的图样是要 制作集成电路的掩膜 图样，必须配合设计 规则绘制图层，才能 确保制程时的效率。 选择 工具---DRC 命令， 打开 Design Rule Check 对话框，如右图 所示，报错“最小宽 度少于两个Lambda”
三、使用L_edit绘制版图
三、使用L_edit绘制版图
（7）环境设定：绘制布局图， 必须要有确实的大小，因此 绘图前先要确认或设定坐标 与实际长度的关系。选择 “设置”命令，打开 “设计” 对话框，在其中的 Technology 选项卡中出现使用技术的名 称、单位与设定，本范例中 的技术单位 Technology units 为以 Lambda 为单位， 而 Lambda单位与内部单位 Internal Unit的关系可在 Technology setup选项组中进 行设定，我们设定一个 Lambda 为1000个 Internal Unit， 也设定一个 Lambda 等于一个 Micron。
L-edit_版图绘制基础
选中图形，按住中间滚轮键，拖动选 中对象到你想移动到的地方
原位复制一个所选 择的对象
对选中对象进行上 下镜像操作
17
Company name
生成一个新 的cell
18
Company name
19
Company name
20
Company name
21
Company name
很多设备都不能直 接处理.tdb格式的文件， 这就需要一种通用性好 中间文件格式进行转换 ，如：gds文件。
37
Company name
图形编辑：可以改变对象的大小和形状，在多边形中添加顶点，以及 对对象进行切割、合并和掏空等操作。 改变对象的大小和形状：在编辑图形前首先要选中对象，然后用鼠标 中键在对象的边或顶点的距离等于或小于编辑范围时按下，然后拖动鼠标 ，可以改变对象的大小和形状。编辑范围在设计参数对话框中设置。 多边形中添加顶点：把鼠标指针放在任意角多边形的边上，按下Ctrl 和MOVE-EDIT键，拖动鼠标，鼠标指针所在边上的点将变为一个新的顶 点，并随鼠标指针移动。
30
Company name
Application为应用参数的设定： Workgroup用来指定设计组配置文件的路 径和名称；user用来指定设计者配置文件 的路径和名称。 General中编辑选项栏（Editing options） 中Paste to cursor指剪贴板上的图形粘贴到 鼠标指针上；Auto-panning指自动平移窗 口；Active-push rubberbanding指只需要定 义端点就可画出图形。 Toolbars中 Layer icon用于设置层定义区各 图标的尺寸，单位是像素；Drawing为设 定绘图模式。 Recently used file list：表示最近使用的文 件列表。 Keyboard用于设置键盘的热键。 Warning为警告框列表。 UPI为用户编程页面。
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实验一 L-Edit的使用
一、实验目的
1、了解TANNER Pro软件的构成及其功能；
2、熟悉版图设计工具L-Edit的使用环境；
3、掌握L-Edit的使用方法；
二、基本原理
1、版图设计的概念：版图设计是创建器件或者系统的工程制图的物理描述过程，而这一物理描述遵守有制造工艺、设计流程以及通过仿真显示为可行的性能要求所带来的一系列约束。
2、TANNER Pro简介
Tanner Tools Pro是一套集成电路设计软件，包含S-Edit, T-Spice, W-Edit, L-Edit 与LVS,各软件的主要功能整理如表1所示。
表1 Tanner Pro 各软件的主要功能
Tanner Pro 的设计流程如图1所示。
将要设计的电路先以S-Edit 编辑出电路图，再将该电路图输出成SPICE文件。
接着利用T-Spice 将电路图模拟并输出成SPICE文件，如果模拟结果有错误，则回到S-Edit检查电路图，如果T-Spice模拟结果无误，则以L-Edit进行布局图设计。
用L-Edit进行布局图设计后要以DRC功能做设计规则检查，若违反设计规则，再将布局图进行修改直到设计规则检查无误为止。
将验证过的布局图转化成SPICE文件，再利用T-Spice模拟，若有错误，再回到L-Edit修改布局图。
最后利用LVS将电路图输出的SPICE文件与布局图转化的SPICE文件进行对比，若对比结果不相等，则回去修正L-Edit或S-Edit的图。
直到验证无误后，将L-Edit 设计好的布局图输出成GDSII文件类型，再交由工厂去制作整个电路所需的掩膜板。
3、版图设计图例
图1 热驱动器版图设计
图2 微梳齿谐振器版图设计
图3微马达的版图设计
图4 MEMS二维旋转镜
三、实验内容及步骤
1、基本操作
（1）打开L-Edit程序：双击图标，执行ledit.exe程序，界
面如下图所示。
（2）另存新文件：选择File---Save AS命令，打开“另存为”对话框，在“保存在”下拉列表框中选择存储目录，在“文件名”
文本框中输入新文件的名称，例如：My_design，后缀名为.tdb。
（3）取代设定：选择File---Replace Setup命令，将出现一个对话框，单击From file下拉列表框右侧的Browser按钮，选择所
需要的.tdb文件，单击OK按钮，就可以将该文件的设定选择
性应用在目前编辑的文件中。
（4）编辑组件：L-Edit编辑方式是以组件(Cell)为单位而不是以文件(File)为单位的，每个文件可以有多个Cell，而每个Cell
可以表示一种电路布局或说明，每次打开新文件时也自动打开
一个Cell并将之命名为Cell0，在编辑画面中的十字代表坐标
原点。
（5）环境设定：绘制布局图，必须要有确定的大小，因此绘图前先要确认或设定坐标与实际长度的关系。
选择Setup命令，打开
Design对话框，该对话框共有六页，分别是：Technology(工
艺参数)、Grid(网格参数Selection(选择参数)、Drawing(绘
图参数)、Curves(曲线参数)、Xref files(外部交叉引用参数)。
在其中的Technology选项卡中出现使用技术的名称、单位与设
定，如下图所示，设定1个Lambda为1000个Internal Unit，也设定1个Lambda等于1个Micron。
（6）选择掩膜图形层：用鼠标在模式栏(Mode Bar)的掩模层选择区(Layer Area)中选择所要处理的层名（层号）。
（7）选择绘图形状：在绘图工具栏中选择工具，直角多边形、45度斜边多边形、任意拐角多边形，直角拐弯线、45度斜线连接、任意拐角线，圆形、圆环、扇区等项目，按鼠标左键拖拽可以
画图。
如要绘制一个方形的Poly图层，注意左下角有状态栏，
表面绘制的形状、图层、宽度(W)、高度(H)、面积(A)与周长(P)。
分别选择长方形工具、多边形工具，可利用鼠标左键拖拽并点
出多边形的端点，右键单击结束，如下图所示。
（8）设计规则检查：选择Tools---DRC Setup命令，打开Design Rule Check对话框，如下图所示，若单击按钮会出现Setup Design Rules对话框，可以设定设计规则。
（9）检查错误：选择Tools---DRC命令，则进行设计规则检查。
当
出错时，系统会显示其违背了设计规则，并标出错误的坐标范围。
（10）修改对象：将Poly图层的宽度改为2个Lambda，可选择Edit---Edit Object(s)命令，打开Edit Object(s)对话框，在Boxs下拉列表中选择bottom left corner and dimensions 选项，将Width微调框改为2.000，单击“确定”即可；也可利用Alt键加鼠标拖拽的方式来修改对象大小。
修改完毕后再进行设计规则检查。
（11）移动对象：选择Draw---Move By命令，打开Move By对话框，设定移动量X方向向右移动一格，单击确定即可。
2、常用操作
键盘操作
◇用 "+"或 "-"键放大缩小屏幕；
◇用 "Home" 键可在全屏幕显示完整图形；
◇用 "→"、"←"、"↑"、"↓"键移动图形；
鼠标操作
◇把鼠标指向图形中部任何部位，用Alt + 鼠标左键（或者Shift + Alt +鼠标左键）可拖动整个图形移动，形状不变。
◇按下”Z”键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，可放大观察修改细部；
◇鼠标左键在某图形上定位后，按下”Q”键可使该坐标清零，
再次按”Q”键坐标值复原；
复制、拷贝操作
◇图形层内部被选择的图形复制：首先用鼠标选择需要复制的图形，点击 Edit/Copy（或者Ctrl+C）把图形存入粘贴缓冲区(Paste-•Buffer)，点击Edit/Paste（或者Ctrl+V）即可调出存入粘贴缓冲区中的图形(注意：图形坐标已变动)。
若再点 Edit/Paste 还可继续调出存入粘贴缓冲区中的图形，•并按上述移动的间距两倍的位置精确定位，以此类推可重复Copy多组图形，用Shift + Alt + 鼠标左键将图形拖动到需要安放的位置。
◇当前图形层中被选择的图形复制到另外一个图形层上：首先用鼠标选择需要复制的图形，点击Edit/Copy（或者Ctrl+C）把图形存入粘贴缓冲区，用鼠标点击图层版中另外一个图层。
点击Edit/Paste to Layer（或者Alt+V）即可调出存入粘贴缓冲区中的图形复制到该图层上。
(注意: 图形坐标已变动)。
◇需要清除某些图形时，用鼠标器右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形，进入 Edit/Cut 即可。