电子级(高纯)氢氟酸生产工艺和质量指标介绍
[电子级氢氟酸技术及市场调研报告]电子级氢氟酸
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[电子级氢氟酸技术及市场调研报告]电子级氢氟酸电子级氢氟酸技术及市场调研报告 20xx-04-16 电子级氢氟酸技术及市场调研报告报告编号:A7908 报告媒质:纸张、电子文档报告价格:3500.00元出版日期:20xx年2月 021-********(订购时请提供报告编号) 本技术部分对电子级氢氟酸的生产工艺及技术进展做了详细的介绍，从工艺原理、工艺流程、工艺过程、反应机理、副反应及预防控制措施、设备、岗位定员、成本估算、环境保护、技术特点、产品质量标准等许多方面进行了深入探讨，可以供国内电子级氢氟酸技术开发参考;本通过参考大量专利文献对电子级氢氟酸的工艺技术进展做了系统介绍。
本市场部分从电子级氢氟酸的用途、下游产品、国内外生产状况、国内潜在生产厂家、国外生产厂家及规模、国内外产量走势、市场状况及预测、供需状况分析及预测、价格、进出口状况、国内外市场分布、国内需求厂家及联系方式、国外需求厂家统计及潜在客户等诸多方面对电子级氢氟酸的市场状况及发展方向做了详细论述，可作为电子级氢氟酸的市场销售、客户开发、产品深加工等方面的重要参考信息。
本最后一部分对电子级氢氟酸技术开发、项目投资、生产及销售等方面提出了指导性建议。
第一章:电子级氢氟酸简介第一节:产品概述第二节:产品说明第三节:理化性质第四节:技术指标第二章:电子级氢氟酸国内外生产工艺及技术进展第一节:国内外主要生产工艺介绍第二节:国内外核心生产工艺详述 1)工艺原理2)工艺流程 3)工艺过程 4)设备一览表 5)岗位定员 6)成本核算 7)环境保护 8)技术特点 9)产品质量标准 10)项目可行性分析第三节:各种生产方法优缺点比较第四节:国内外生产技术研究最新进展第三章:电子级氢氟酸用途第一节:用途概述第二节:下游产品解析第三节:国内外最新应用研究进展第四章:电子级氢氟酸国内外生产状况及生产厂家第一节:国内外生产状况第二节:国内生产厂家及规模第三节:国外生产厂家及规模第四节:国内外产量走势分析第五章:电子级氢氟酸市场行情第一节:市场状况分析及预测第二节:供需状况分析及预测第三节:价格分析第四节:进出口状况分析第六章:电子级氢氟酸销售策划第一节:国内外市场分布第二节:国内需求厂家及联系方式第三节:国1外需求厂家及联系方式第四节:潜在客户分析第七章:电子级氢氟酸技术开发、项目投资、生产及销售注意事项第一节:产品技术开发注意事项第二节:项目投资注意事项第三节:产品生产注意事项第四节:产品销售注意事项第八章:参考文献附件I:秉奇化工网简介附件II:报告订购流程附件III 表1:电子级氢氟酸基本性质表2:电子级氢氟酸技术指标表3:电子级氢氟酸生产设备一览表表4:电子级氢氟酸生产成本及效益估算表520xx年国内电子级氢氟酸生产厂家及生产规模统计表620xx年国外电子级氢氟酸生产厂家及生产规模统计表720xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量统计表820xx年-20xx年电子级氢氟酸全球需求预测表920xx年国内电子级氢氟酸主要生产公司最新价格表10:电子级氢氟酸在各应用行业占有市场份额表11:电子级氢氟酸国内需求厂家及联系方式表12:电子级氢氟酸国外需求厂家及联系方式表13:电子级氢氟酸国内外经营公司图1:电子级氢氟酸生产工艺流程示意图图2:电子级氢氟酸在国际市场上按地区占有市场份额图320xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量走势图420xx年-20xx年电子级氢氟酸全球产量走势预测图5:电子级氢氟酸化学结构或产品图片图5-n:电子级氢氟酸下游产品化学结构或产品图片秉奇化工主要以医药及中间体、农药及中间体、涂料染料颜料及中间体、香精香料及中间体、食品添加剂、饲料添加剂、日用化学品、高分子单体及聚合物、化工助剂、有机化工原料、无机化工原料等为调研对象，为客户提供从生产技术、市场行情、用途及下游产品、国内外生产状况(厂家、产量、价格)、国内外需求厂家及联系方式等全方面咨询。
一种电子级氢氟酸的制备方法
一种电子级氢氟酸的制备方法
一、制备方法
1、配料
（1）氟酸钠：把普通氟酸钠放在一个大容器里，用温水进行融化；
（2）甲醇：根据所需比例，将甲醇精炼至一定浓度；
（3）电解质溶液：根据需要，将NaOH、KOH等各种碱性盐类混合，用水充分混合，放入一个大容器里，加热至90度左右。
2、把氟酸钠溶于甲醇中，分别添加不同量的电解质溶液，把所有原料均匀混合，并加热至150度左右，用蒸发锅将混合物蒸发至乳状液；
3、将乳状液放入模具中，施压并加热干燥至固体，再将固体放入实验室的罐里进行磨细粉碎，得到电子级氢氟酸。
二、技术要求
1、氟酸钠：采用当地行业标准的普通氟酸钠为原料，经过放入水中融化，湿度不得超过60％。
2、甲醇：采用99.5％的甲醇为原料，经过精炼至比例所需的浓度。
3、电解质溶液：采用NaOH、KOH等不同碱性盐类混合，用水混匀，温度在90—100度之间。
4、混合：用大容器对氟酸钠、甲醇、电解质溶液进行混合，保持温度不超过150度，混合时间约15分钟，混合均匀。
5、蒸发：将混合物放入锅中，加热蒸发，使混合物达到乳状，蒸发时间约需要10分钟。
电子级氢氟酸行业分析报告
电子级氢氟酸行业分析报告一、定义电子级氢氟酸是用于制造电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等的重要原材料。
一般含量在99.99%以上，可以通过氟化氢水溶液的蒸馏法制得。
二、分类特点电子级氢氟酸主要分为高纯度电子级氢氟酸和低纯度电子级氢氟酸两种。
高纯度电子级氢氟酸适用于制造半导体、光学玻璃等高精度元器件，而低纯度电子级氢氟酸则主要用于太阳能电池板的制造。
三、产业链电子级氢氟酸产业链包括原材料供应链、生产加工链、销售渠道链和应用环节链。
原材料供应链包括氟石、碳酸钙等物料的采购，生产加工链包括电子级氢氟酸的生产、加工和储存，销售渠道链包括电子级氢氟酸的销售和物流配送，应用环节链则包括电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等产业的应用。
四、发展历程电子级氢氟酸产业自上世纪80年代起逐步发展壮大。
在国内，这项产业得到了政府的大力支持，相关技术也日益成熟。
目前国内电子级氢氟酸产业已初步形成规模化的产业格局。
五、行业政策文件国家及地方政府出台了一系列电子级氢氟酸产业相关的政策文件，包括对产业的支持、政策优惠等方面。
六、经济环境电子级氢氟酸产业受到国内外经济环境的影响。
近年来，环保政策趋紧、原材料价格上涨、国际经贸形势变化等因素，给电子级氢氟酸产业带来了一定的挑战。
七、社会环境电子级氢氟酸产业涉及的环保问题，已成为社会关注的焦点。
与此同时，消费者对高品质的电子产品、太阳能电池板等的需求也越来越高。
八、技术环境电子级氢氟酸产业依赖于先进的技术与设备，需要不断更新升级，并积极进行技术创新。
近年来，我国电子级氢氟酸的生产技术逐渐成熟，正向着高品质、高纯度的方向发展。
九、发展驱动因素电子级氢氟酸产业的发展离不开多方面的推动因素，包括政策扶持、市场需求增长、技术进步等。
十、行业现状当前，电子级氢氟酸产业处于快速发展阶段。
我国在这个领域已经形成了一批领先的生产厂家，市场份额逐年增长。
十一、行业痛点电子级氢氟酸产业面临的主要痛点包括产能过剩、环保压力增大、价格波动等。
氢氟酸纯度
氢氟酸纯度
氢氟酸是一种常用的无机酸，广泛应用于化学、半导体制造、玻璃蚀刻等领域。
但由于其高度腐蚀性和毒性，纯度成为使用过程中需要严格控制的重要参数。
氢氟酸的纯度主要指其含有杂质的量。
杂质包括水分、五氧化二磷、硫酸等。
其中，水分的含量是最容易受到影响的因素之一。
一般来说，氢氟酸的纯度要求在98%以上，最好能达到99%以上。
氢氟酸的纯度可以通过多种方法测定，包括光度法、电导法、化学分析法等。
其中，化学分析法是最常用的方法之一。
在化学分析法中，可以采用滴定法、重量法、原子吸收光谱法等多种方法，通过对氢氟酸样品进行化学反应，计算出其中杂质的含量，从而得到氢氟酸的纯度。
氢氟酸纯度的高低对其应用性能有着直接的影响。
高纯度的氢氟酸可以保证半导体的制造质量稳定，减少生产过程中的损失；同时，在科学研究中也可以获得更加准确的结果。
因此，在使用氢氟酸时，必须注意控制其纯度，以确保安全和效果。
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电子级氢氟酸制备及配套技术
约１ ８ ４ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ ， 其 中国外约 ４ ２ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国大陆 １ ２ ５ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国 台湾 地 区 １ ７ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ 。从 发 展 趋 势来 看 ， 国外 产
能在 萎缩 ， 中国 电子 氢氟 酸产 能增长 较快 。
未 处理 的氟化 氢及 其含 的杂 质 （ 即粗氟 化氢 ） 通 入 水 溶液中， 持续 通 入 至 呈 饱 和 状 态 ， 继续通人 ， 易 溶 于
势企业的竞争力正在不断增强 ， 长期成 长空间巨大 ，
巳成为 化工 行 业 中发 展 速 度 最快 、 最 具 活 力 的行 业
之一。据不完全最新 统计 ， 国内外 高纯氢 氟酸产 能
ｏ ｕ ｎ ｇ ｉ ｆ ｎ ｅ 、 Ｍｉ ｎ ｅ ｒ ｓ ａ 、 墨西 哥 化 学 等 公 司及 台 湾 地 区 的 台塑 、 台硝 、 侨力 、 长 新化 学 等 。其 关 键 技 术 过 去 较 长 时间垄 断在美 国 、 德国、 日本 等 发 达 国家 的跨 国企 业集 团手 中 ， 近 年来 我 国通 过 引 进 、 合 作 开 发 和 自主 研发 有 了较大 的发 展 。随着世 界 半 导体 制 造业 向 中 国大 陆 的逐步转 移 ， 国内 （ 不 包括 台湾 ） 电子级 氢 氟 酸需 求 量 年增 长 约 １ ０ ％， 已有 不 少企 业 开 始 涉足 这
电子级氢氟酸也不多 ， 有Ｍ ｅ ｒ ｃ ｋ— Ｋ ａ ｎ ｔ ｏ 、 Ｓ ｏ ｌ ｖ ａ ｙ 、 Ｈ ｏ ｎ －
ｅ ｙ ｗ ｅ ｌ ｌ 、 Ａ ｖ ａ ｎ ｔ ｏ ｒ Ｐ ｅ ｒ ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｎ ｃ ｅ Ｍ ａ ｔ ｅ ｒ ｉ ａ ｌ ｓ （ 原 名 Ｍａ ｌ ｌ ｉ ｎ ｃ ｋ —
电子级氢氟酸研究进展
第52卷第8期 辽 宁 化 工 Vol.52，No. 8 2023年8月 Liaoning Chemical Industry August，2023收稿日期： 2021-08-23 电子级氢氟酸研究进展朱博超，章志成（浙江森田新材料有限公司，浙江 金华 321200）摘 要： 随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。
电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。
介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
关 键 词：氢氟酸； 分类； 电子级中图分类号：TQ124.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-0935（2023）08-1217-032021年3月13日，《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》（以下简称《纲要》）发布，《纲要》中提到，加快智能制造、高端芯片等领域关键核心技术突破和应用。
未来五年，中国力争在芯片、人工智能、量子计算等先进技术领域取得领先的地位[1]。
围绕“光芯屏端网”等，攻克一批卡脖子技术，推动“临门一脚”关键技术产业化，增强产业核心竞争力[2]。
打造“光芯屏端网”等具有国际竞争力的万亿产业集群。
集成电路是指采用一定的工艺，将近亿晶体管等半导体器件与电阻、电容、电感等基础电子元件连接集成于小块基板，然后封装于管壳内，将组装为微型电子部件的集成电路通常称为芯片。
电子级多晶硅（以下简称“硅料”）是国家大力发展的一种战略性原材料，也是集成电路产业不可缺少的基础性原料[3]。
目前，西方等发达国家企业掌握其主要生产技术，而中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本为国外生产，同时我国生产电子级氢氟酸的企业还未达到10家[4-5]，所以攻克电子级多晶硅关键生产技术可以增强产业在国际上的核心竞争力[6-7]。
硅料化学清洗作为电子级多晶硅生产关键核心工序，可以有效去除硅料表面颗粒及化学性沾污。
氢氟酸作业指导书分析
一、精馏1目的按生产任务把AHF配制成电子级氢氟酸，并罐装到专用容器。
2适用范围：适用于电子级氢氟酸生产的操作。
3职责3.1制造部：负责将反应AHF从亨元化工打到反应酸槽，并通过精馏后制成合格AHF，按比例添加处理后的超纯水，制成合格的电子级氢氟酸，协助罐装人员将产品输入成品贮槽。
4程序4.1工艺流程图超纯水4.2开车产品指标与控制指标超纯有水酸指标:HF%=49.0%±0.5%a.进料量：300kg/hb.精馏塔釜压力：42±4KPac.精馏塔釜温度：40±3℃d.精馏塔中压力：42±4KPae.精馏塔中温度：35±3℃f.精馏塔顶压力：40±4KPag.精馏塔顶温度：35±3℃h.冷水上水温度:7-10℃i.冷却水上水流量：100m³/hj.稀释槽温度：≤50℃k.进混合器AHF流量：269.5kg/h（参考）l.进混合器纯水流量：280.5kg/h（参考）m.热水温度：60-70℃n.精馏塔釜残酸排放量：每2小时40㎏4.3操作方法与要求4.3.1 开车前准备检查本系统所有管道、阀门、设备有无泄漏。
提前1小时通知冰机岗位开启冰机，冰机操作及记录由亨元冰机班具体执行，亨泰制造部每月检查一次操作记录表，对不合格项开出纠正预防措施单。
打开阀门A-1-C-001、A-1-C-003、A-1-C-004、A-1-C-006、A-1-C-007、A-1-C-008，开启盐水泵。
打开阀门A-1-C-021 、A-1-C-022、 A-1-C-025、A-1-C-026,、A-5-C-017、 A-5-C-018、 A-3-C-019 、A-3-C-020，开启冷却水泵，将精馏顶冷却器预冷；检查精馏塔釜排入至回收酸槽阀门C-1-A-005、C-1-A-006、 C-1-A-008为打开状态，塔顶冷却器至混合器阀门C-4-A-006关闭状态。
upss级氢氟酸纯度
upss级氢氟酸纯度氢氟酸（HF）是一种无色液体，具有强烈的腐蚀性。
它是许多工业领域中重要的化学品之一，广泛应用于金属表面处理、半导体制造、玻璃蚀刻等工艺中。
由于其腐蚀性极强，对人体健康和环境造成的危害也非常大，因此对氢氟酸的纯度要求非常高。
upss级氢氟酸纯度指的就是在各种工业应用中，对氢氟酸的纯度进行了更高要求的一种级别。
upss级氢氟酸纯度是指氢氟酸溶液中杂质含量极低的一种产品。
杂质的存在会影响氢氟酸的化学性质和腐蚀性能，因此在一些高精度工艺中，需要使用纯度更高的氢氟酸。
upss级氢氟酸纯度要求杂质含量低于0.1ppm，确保了氢氟酸的稳定性和可靠性。
氢氟酸的制备主要有两种方法：直接合成法和间接法。
直接合成法是将氟化物与酸反应生成氢氟酸，而间接法则是通过氟化物与硫酸反应生成氟硫酸，然后通过加热分解得到氢氟酸。
在制备过程中，需要注意控制反应温度、反应时间和反应物的比例，以保证产物的纯度。
upss级氢氟酸纯度的控制主要涉及到杂质的去除和纯化过程。
首先，通过蒸馏、结晶等方法去除氢氟酸中的杂质。
其次，利用吸附剂、离子交换树脂等技术进一步提高氢氟酸的纯度。
最后，经过精密的质量检测和分析，确保产品符合upss级的纯度要求。
upss级氢氟酸纯度的提高，对于工业生产具有重要意义。
首先，纯度更高的氢氟酸可以提高工艺的可靠性和稳定性，降低生产过程中的故障率。
其次，纯度更高的氢氟酸可以减少对环境的影响，降低废水处理的成本。
此外，纯度更高的氢氟酸还可以提高成品的质量，增强产品在市场上的竞争力。
在氢氟酸的应用中，upss级纯度要求是不容忽视的。
只有确保氢氟酸的纯度达到upss级标准，才能保证工艺的正常进行，避免对人体健康和环境造成的危害。
因此，在氢氟酸的生产和使用过程中，要严格控制纯度，确保产品质量和工艺安全。
upss级氢氟酸纯度是工业生产中对氢氟酸纯度要求更高的一种级别。
通过控制制备过程、去除杂质和提高纯化工艺，可以达到upss级氢氟酸纯度的要求。
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电子级（高纯）氢氟酸生产工艺和质量指标介绍
一、氢氟酸生产主要流程介绍
1.将浮选厂烘干的萤石粉将萤石送至萤石贮仓。
通过尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空，萤石贮仓的萤石粉经计量，用调速螺旋送至回转反应炉。
2. 将发烟硫酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气中HF的硫酸送至混酸槽，在此与来自洗涤塔的稀酸混合。
3. 混酸进入回转反应炉；回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反应所需的热量。
炉尾排出的炉渣用消石灰中和过量酸后经炉渣提升机送至炉渣贮斗。
4. 反应的产物气体首先进入除尘器、洗涤塔除尘、冷却，而后依次进入初冷器、HF一级凝器和HF二级冷凝器。
5. 在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔；在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分。
6.精馏塔釜液返回洗涤塔；塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。
脱气塔釜液为产品。
7. HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔，在此用硫酸吸收其中大部分HF，然后依次进入第一、第二水洗塔，生成氟硅酸。
8. 未被吸收的气体进入尾气塔，洗掉其中的大部分酸性气体后，未被吸收的气体排空。
尾气塔的洗涤液和地面冲洗酸性水送至废液处理装置，处理后的合格污水排入排水系统。
电子级氢氟酸概述
目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。
如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。
另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。
电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。
此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。
二、电子级氢氟酸生产工艺
将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
三、电子级氢氟酸生产方法的难点
1. 分析控制与产品检测要求高。
制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下:
(1)电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS)；
(2)电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES)；
(3)原子吸收分光光度计；
(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪；
(5)离子色谱分析仪；
(6)激光散射液体微粒计数器；
(7)水表面杂质分析系统；
(8)原子间力显微镜；
(9)光学显微镜微粒计数器；
(10)扫描电子显微镜；
(11)光学膜厚测定和表面仿形仪；
(12)表面张力测定仪；
(13) 空气中尘埃微粒测定仪；
(14)水电阻率测定仪。
2. 对水质要求高，要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。
高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。
高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。
目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。
3.对主要生产设备材料及设备制造技术、包装技术的要求较为严格。
4. 厂房、分析室、仓库等环境洁净度要求较高，与成品接触部分要达到100级。
5.整个生产过程中对产品质量管理要求极高。
四、电子级氢氟酸生产工艺技术特征
1. 杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标，在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在，而且AsF3与氢氟酸的沸
点相差不大，所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。
为去除杂质砷，可在精馏前，加入适量的强氧化剂（如高锰酸钾等）将三价态的砷进行氧化，使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。
2.生产设备与工艺：生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料，生产工艺采用常压、全封闭、连续化，采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。
3.高纯水制备：通过离子交换与过滤器先制得普通纯水，再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。
4.在无水氢氟酸预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。
5.设置尾气吸收塔、碱吸收塔，尾气可达标排放。
五、电子级氢氟酸质量指标
目前，因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；
③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。
产品包装方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。