激光干涉仪的使用方法和技巧
高性能激光干涉仪安全操作及保养规程
高性能激光干涉仪安全操作及保养规程背景介绍激光干涉仪是一种测量物体形状、表面变形和内应力的高端测量仪器。
通常与激光技术相结合，通过测量光波干涉的原理来实现精确测量。
与传统的物理测量相比，激光干涉仪具有精度高、非接触等优点。
因此在航空航天、国防、机械制造等领域被广泛应用。
在使用激光干涉仪的过程中，安全操作和正确的保养规程是保证其正常运行和延长使用寿命的关键。
安全操作规程1. 装置放置在确定使用地点和场地后，需要按照安装说明书上的方法将激光干涉仪固定好。
应保证放置稳定，不易发生晃动，并确保周边空间足够以方便操作和检修。
2. 电源连接激光干涉仪的电源连接需按照安装说明进行，确保电源和线路正确接通。
公司要求：1、激光干涉仪电源需要接地插座;2、电缆需要使用防护套管;3、电源出口必须连接过流保护开关和漏电保护器。
如有其他特殊安全要求，需要按照公司要求执行。
3. 操作者安全激光干涉仪是高端精密仪器，操作难度较高，需要进行专业培训后再进行操作。
人身安全至关重要，操作人员需要穿戴相应的安全装备。
同时，需要明确操作流程，并按照流程执行操作，避免出现人为操作差错和疏忽。
4. 防止对周围环境产生影响激光干涉仪的使用会对周围环境产生一定影响，因此在操作时需采取正确的措施。
特别是要注意防止激光干涉仪的使用对周围的人员产生影响，如激光造成眼睛损伤等。
5. 维护保养激光干涉仪的保养和维护是其能够长时间稳定工作的关键。
操作人员要认真学习和执行维护保养规程。
建议每年对激光干涉仪进行一次大型保养，对使用寿命较长的部件进行及时检查并更换。
保养方法激光干涉仪作为高端仪器，要采用正确的保养方法来保证其正常运行，延长使用寿命。
同时，保养过程中应注意安全，防止人身伤害和环境污染等风险。
1. 清洁激光干涉仪使用过程中，由于灰尘、污垢和液态介质的积累，会影响测量精度。
一般来说，需要根据实际需要对仪器进行清洗，以确保其保持良好的测量精度。
a. 外部清洁要将仪器表面上的灰尘、油脂和化学物质等清洗干净，不能使用刷子和湿毛巾以免划伤表面。
激光干涉仪实际应用培训教案
应用具体讲解
• 下面具体讲解一下，如何用激光干涉仪 对数控机床进行精度检测。先以数控立式 车床GTC16090（系统为西门子802D）的 机床为例： • 1.首先检查机床是否设有软限位。在机床数 据内查找36110，并且设置好机床的最大行 程。 • 2.看刀补OFFSET内X和Z是否有数？如果 有要清零。
• 此螺距补偿文件中，第一个0是表示此机床没有光栅尺。 第二个0是表示补偿顺序的序号。AX3是表示的补偿轴。 STEP表示步长。MIN表示激光程序运行起始点的最小坐 标值。MAX表示激光程序运行起始点的最大坐标值。
注意事项
• 值得注意的是，激光束的波长取决于所通过的空 气折射率。由于空气折射率会随着温度、压力和 相对湿度而变化，用来计算测量值的波长值可能 需要加以补偿，以配合这环境参数改变。实际上 就测量准确度而言，此类补偿在进行线性位移(定 位精度)测量，特别是量程较大时，非常重要。
检测螺距误差必要性
•
开环和半闭环数控机床的定位精度主要 取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一 定螺距误差，因此在加工过程中会造成零 件的外形轮廓偏差。由上面的原因可以得 知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的 常值系统性定位误差。检测螺距误差是为 了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏 差，即提高机床的精度。
激光干涉仪使用方法
激光干涉仪简介
检测螺距误差必
要性 工作原理 使用技巧 实际应用 日常维护与保养
激光干涉仪
1.ML10基本组成： ML10 激光器 三脚架 EC10 环境补偿装置 线性测量镜 组
2.XL80基本组成： XL80 激光器 三脚架 XC-80 环境补偿装置 线性测量 镜组
电脑设置过程
• 1.打开电脑，程序--Renishaw LaserXL--线 性测长。到如下图： • 2.单击目标点--等距定义目标--第一定位点 （0）--最终定位点（所检测轴的全长，假 设为1000）--间距值（100）--目标数（自 然生成）--确定
激光跟踪干涉仪安全操作及保养规程
激光跟踪干涉仪安全操作及保养规程激光跟踪干涉仪是一种高精度的测量仪器，广泛应用于制造、科研、医疗等领域。
为了保证激光跟踪干涉仪的安全运行和延长其使用寿命，我们应该掌握正确的操作方法和保养规程。
操作规程1. 前置准备在开始操作激光跟踪干涉仪之前，应先进行以下准备工作：•确保所使用的电压、频率、电流等参数符合激光跟踪干涉仪的要求；•确保使用环境温度、湿度、气压等参数符合激光跟踪干涉仪的要求；•穿戴好防护设备，如护目镜、手套等。
2. 操作步骤1.开机前，应检查所有设备连接是否正确、激光管是否损坏、激光器是否处于正常工作状态。
2.打开电源，启动激光跟踪干涉仪程序。
3.进行校准，使激光跟踪干涉仪处于最佳工作状态。
4.将待测物品放置于测量平台上，调整位置，确保测量平台处于水平状态。
5.点击测量按钮，开始进行测量。
6.测量结束后，关闭激光跟踪干涉仪程序，关闭电源。
3. 安全注意事项在操作激光跟踪干涉仪时，应注意以下安全事项：1.不要直接注视激光光束，以防伤害眼睛。
2.使用防护设备，如护目镜、手套等。
3.禁止在激光跟踪干涉仪周围吸烟、放火或使用易燃气体。
4.禁止将手指、头发等物品伸入激光光束中。
5.关闭电源和激光跟踪干涉仪程序后，禁止再次触碰设备。
保养规程1. 日常保养1.清洁激光跟踪干涉仪与测量平台表面的灰尘，使用干净的软布进行擦拭。
2.定期清理激光管和激光器表面的灰尘。
3.定期清理激光跟踪干涉仪程序缓存、测量记录等数据。
2. 定期维护1.检查激光管和激光器是否需要更换或维修。
2.定期检查仪器的接口、电源线等连接是否松动。
3.检查激光跟踪干涉仪程序是否需要更新。
3. 特殊注意事项在进行维护时，应注意以下事项：1.断开电源，等待仪器冷却后再进行维护。
2.在维护过程中，禁止使用含有石棉的清洁剂。
3.维护期间，禁止触碰未知电源和设备。
总结通过本文，我们了解了激光跟踪干涉仪的安全操作和保养规程。
遵守这些规程可以保证激光跟踪干涉仪的安全运行和延长其使用寿命。
激光干涉仪使用手册8.24
激光干涉仪使用手册目录第一单元 激光干涉仪的应用第一节 激光干涉仪的光路第二节 激光干涉仪的基本使用方法第二单元 FANUC 0iMC系统有关螺距误差补偿的参数第一节数控系统的相关操作画面提示第二节与数控机床轴限位相关的参数的应用第三节与螺距误差补偿相关的参数的应用第三单元 检测机床螺距误差的运行程序第一节检测加工中心X轴螺距误差的运行程序第二节检测加工中心Y轴螺距误差的运行程序第三节检测加工中心Z轴螺距误差的运行程序第四节机床预热程序第五节测得反向间隙的运行程序第六节二次检测的机床运行程序第四单元 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装及运用 第一节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件介绍第二节 Agilent5529激光干涉仪测量零部件的组装第三节干涉镜和反射镜的组装及光束的调节方法第五单元 Agilent5529/5530检测软件的应用第一节 Agilent5529/5530检测软件的界面介绍第二节 Agilent5529/5530检测软件的案例第六单元 VMC650加工中心螺距误差补偿案例第一单元激光干涉仪的应用提示：因Agilent5529/5530激光干涉仪为双频检测，所以本单元节重点介绍双频检测的原理1.什么是激光干涉仪？激光干涉仪(laser interferometer)以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
2.什么是干涉？干涉(interference)为两波重叠时组成新合成波的现象。
高精度激光干涉仪的调试步骤与测量结果分析方法
高精度激光干涉仪的调试步骤与测量结果分析方法激光干涉仪是一种用于测量光程差的精密仪器，在科研、工业制造和生物医学等领域得到了广泛应用。
高精度激光干涉仪能够实现亚纳米级的测量精度，因此其调试步骤和测量结果分析方法非常关键。
一、激光干涉仪的调试步骤1. 光学路径的校准：激光干涉仪中最重要的部分是干涉仪的光路。
首先要保证光源的稳定性和亮度，通常使用氦氖激光器作为光源，并使用聚焦透镜获得平行光。
然后要调整两束光线的平行度，使用准直器或像差调节器进行调整。
最后，通过调整反射镜和平行板的位置，使两束光线相互平行，保证光束之间的光程差为零。
2. 干涉图案的调试：将两束光线合并后，会出现一条干涉条纹。
通过调节平行板的角度或物镜的位置，可以调整干涉条纹的间距和亮度。
要使条纹清晰且对称，可以适当调整反射镜的位置。
3. 线性度和非线性度的校准：利用参考杆来测试激光干涉仪的线性度和非线性度。
将参考杆平行放置在干涉仪的测量平台上，测量不同位置处光程差与参考杆长度的关系。
通过分析这些数据，可以得到激光干涉仪的线性度和非线性度，并进行校准。
4. 测量系统误差的校正：激光干涉仪在实际测量中可能存在系统误差，如温度变化、机械振动等。
通过在实验中引入补偿措施，可以对这些误差进行校正。
例如，可以在实验过程中保持温度稳定，使用防振设备减小机械振动对测量的影响。
5. 预处理与信号分析：在测量过程中，激光干涉仪会产生一系列干涉信号。
这些信号需要进行预处理和信号分析，以获得最终的测量结果。
常用的方法包括锁相放大器、频谱分析仪等。
二、测量结果分析方法1. 干涉条纹解析：干涉仪产生的干涉条纹是通过测量光程差得到的。
根据不同的应用需求，可以利用不同的方法对条纹进行解析，如三角法、Fourier变换等。
解析干涉条纹可以得到物体的形貌信息和变形分布等。
2. 测量结果精度评估：对于高精度激光干涉仪的测量结果，需要进行精度评估来判断测量结果的可靠性。
常用的方法包括误差分析、重复性测试和对比实验等。
激光干涉仪检测平行度的方法
激光干涉仪检测平行度的方法《激光干涉仪检测平行度的方法》激光干涉仪是一种用于测量光程差的仪器，广泛应用于工业领域中对平行度的测量。
平行度是指两个平面之间的相对姿态偏差，常被用于评估工件制造过程中的精度和质量。
在实际工作中，精确测量物体的平行度是非常重要的，因为偏离平行的物体会导致部件与设备的不匹配，从而影响产品的精度和功能。
本文将介绍一种使用激光干涉仪来检测平行度的方法。
首先，需要准备一台激光干涉仪，以及待测物体和支撑系统。
激光干涉仪通常由激光发生器、分束器、反射器和干涉场镜等组成。
待测物体和支撑系统可以是精密加工的平行块或平行导轨，确保其表面光滑，没有明显的缺陷或杂质。
首先，将激光干涉仪放置在一个稳定的台面上，以确保其不受外界振动的干扰。
然后，将激光束从激光发生器中发出，并由分束器将其分成两束。
一束经过反射器反射，然后射向待测物体的一个表面，而另一束直接通过分束器射向对应的表面。
接下来，观察干涉场镜中的干涉图案。
干涉图案是由两束光产生的干涉而形成的，其形状和干涉条纹的数量取决于待测物体的平行度。
如果待测物体是完全平行的，则干涉条纹将呈现平行的形状。
如果待测物体存在平行度偏差，则干涉条纹将出现扭曲、错位或形状不规则的情况。
通过调整待测物体的姿态，可以观察到干涉图案的变化。
如果待测物体的平行度不符合要求，可以根据干涉图案的变化来调整其姿态，直到干涉图案呈现平行形状。
此外，还可以借助计算机和图像处理软件来分析干涉图案。
通过将干涉图案转换为数字图像，并进行图像处理算法，可以快速检测出干涉条纹的数量、间距和形状，从而 quant 获得待测物体的平行度偏差值。
综上所述，激光干涉仪是一种非常有效的工具，可以用于检测平行度。
通过观察和分析干涉图案，可以快速准确地确定待测物体的平行度偏差并进行调整。
这种方法不仅具有高精度和可靠性，而且操作简便，适用于大多数平行度测量的场景。
API激光干涉仪使用方法
API激光干涉仪使用方法
1、开机：接通电源打开电源开关，1分钟后开始检测。
（因为刚开机激光器不稳定）
2、光路调整：旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点，显示器上显示完整的圆形图像。
3、透镜面形检测：调节沉座到被检透镜的适合尺寸，（建议大批量固定透镜的检测，自己加工固定的沉座）放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合，观测显示器是否出现干涉条纹，条纹越少精度越高。
干涉图像与对准系统同步，无需切换，任何人都能简单操作。
星点重合干涉条纹（判读可参考第三节）
沉座尺寸M46X1M70X1高度调节机构
高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸，可简便的测量出曲率半径。
4、透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关（清零），调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条），凸透镜向上调节高度（凹透镜向下调节高度）到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮，使图像出现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。
猫眼干涉条纹
标尺（标尺上红点按键为标尺电源开关长按标尺红点按键为关）。
激光平面干涉仪说明书讲解
一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。
对于干涉条纹可目视、测量读数。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。
如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。
二、主要数据1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。
工作直径：D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面（B面），不镀膜。
工作直径：D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm焦距：f=400mm4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°，成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长：632.8nm6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。
7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量：100公斤图一第一标准平面（A面）精度照片图二第二标准平面（B面）三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。
波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。
（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。
M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。
等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。
相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。
KND系统使用激光干涉仪进行螺补技巧
首先，清空补偿值，反向间隙和螺补全部清空。
注意，螺补有效需P0002.2DOG参数设为1，再，确定机床坐标0点位置，再确定螺补起始位置，螺补位置有以下几种情况，情况1：负A 0 B（例如-200 到0 到800）情况2：0 B（例如0 到1000）情况3：正B （例如200到1200）以上三种情况，都是补行程1000的范围，而相对于机床坐标是不一样的。
机床轴运行方向也有2种情况，向机床坐标正值的方向，（0到800，还是-800到0都是向正值方向运行）向机床坐标负值的方向。
调光，先固定三脚架，确保左右移动，水平变化不会太大，不然就让折光镜头换个位置，放好三脚架后，不用先调，后期还要调整，固定折光镜头，固定反光镜头，让反光镜头一个边靠近折光镜头，用手轮左右移动反光镜头，确保折光镜头入光或出光的那个面垂直或平行与机床运行轴，眼镜瞄着差不多即可，调整反光镜头，让折光镜头出光面和反光镜头入光面平行，可以重合后，退出去，容易找平行，把反光镜头用手轮移至远离折光镜头最远的地方，安装激光仪，连好线，把激光仪云台都调到中间位置，留有精调量。
让激光穿过折光镜头，，通过移动激光仪和三脚架，让通过折光镜头的光打在远处的反光镜头上，，在移动的激光仪的时候，注意打在反光镜头上光点位置，通过光点位置确定左右上下移动激光仪，反光镜头上的光点在镜头上后，，激光仪视窗处基本就是2个光点了，在通过云台调整2个光点重合在接收区即可。
移动反光镜头到近处，基本也不会差太多，编程序，见图片，设置，运行，，注意！！开始运行前，第一步前，要通过手动运行，把反向间隙消掉，意思是，在运行程序前，手动朝着程序运行的方向运行一下，或者直接运行到起始位置，然后直接运行程序，，让程序运行的第一步不要有反向间隙，得出补偿值，如果机床向坐标正值方向运行，则补偿值就按得到的补偿值去掉第一个0值，直接填入即可。
如果机床向坐标负值方向运行，则补偿值应从得到的补偿值最后一个值倒着填入系统，如果起始位置是情况1，螺补间隔是100，则螺补零点参数应填2，因为是机床0点负方向2个间隔区域，如果起始位置是情况2，则螺补零点不用管，如果起始位置是情况3，则螺补零点也不用管，但是，螺补参数应从第3个数开始填写，填上反向间隙补偿，螺补间隔，，螺补参数后，，再打一次，结果好转就正确结束。
XL-80型激光干涉仪操作规程
激光干涉仪操作规程1、本规程适用范围适用于专职从事激光干涉仪测量工作的作业指导。
2、作业目的2.1 对仪器设备操作人员的具体操作进行正确的理论指导；2.2 对该仪器设备操作的初学人员的培训提供正确的指导规范；3、作业前的准备3.1 熟悉激光干涉仪的正确操作步骤；3.2 检查激光干涉仪机箱中的各个部件、相关配套装置和所需工具是否齐全；4、作业过程4.1 三脚架安装。
将三脚架从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处理。
用钥匙打开仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。
4.2 XL-80激光头的安装、调整。
4.2.1 用右手拇指与其余四指分开，正确抓住XL-80激光头，左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁手柄推到松开位置后，置于三脚架的云台自锁螺母上，慢慢转动激光头，使自锁手柄与云台自锁螺母正确结合，锁紧手柄自锁。
要求：激光头射出的光束应与被测元素相对运动方向平行或一致。
4.2.2 释放云台所有旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位置，锁紧4.2.3 从机箱中拿出微型水平仪，置于激光头中间位置，通过三脚架调节激光头的整体水平。
4.3 预热激光头。
从机箱中取出激光头电源线和一条XL-LC XC USB电缆组件数据线，将其正确插入相应接口，电源插头插入电源，数据线另一端口插入电脑USB接口。
打开电源开关，激光头进入预热状态。
将激光头的镜头光闸旋转到找正光源状态位置。
激光头发射出激光束，但此时的激光束是频闪不稳定状态。
4.4安装补偿单元：4.4.1 从箱中取出强磁力吸盘，将其安装在被测元素固定部位处（安装时注意安全，防止吸盘磁力夹手）。
4.4.2取出材料温度传感器（M）和空气温度传感器（A）；4.4.3将材料温度传感器（M）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素的被测材料上，另一端接口通过XC-80补偿器的第二、第三或第四个接口与XC-80补偿器相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。
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激光干涉仪的使用方法和技巧激光干涉仪（Laser Interferometer）是一种常用于测量物体长度和表面形貌等精密测量的仪器。
本文将介绍激光干涉仪的基本原理、使用
方法和技巧，以帮助读者更好地应用激光干涉仪进行精密测量。
一、激光干涉仪的基本原理
激光干涉仪基于干涉现象进行测量。
激光光源发出的单色光通过分
束板分成两束光，然后分别经过两个光路，最后再次汇聚到一起。
当
两束光的相位差为整数倍的波长时，两束光相互叠加干涉，形成明暗
交替的干涉条纹。
通过测量干涉条纹的特征，可以计算出被测物体的
长度、形状等信息。
二、激光干涉仪的使用方法
1. 准备工作
在使用激光干涉仪之前，需要确保仪器处于良好的工作状态。
首先，检查激光光源是否正常工作，确保光束的稳定性和质量。
其次，校准
激光干涉仪的光路，确保两束光在汇聚时能够产生明确的干涉条纹。
2. 调整测量位置
将激光干涉仪放置在待测物体的旁边或上方，并使用调节装置将光
束对准物体表面。
确保光束垂直于物体表面，以获得准确的测量结果。
3. 观察干涉条纹
打开激光干涉仪的显示屏或调节装置上的干涉条纹显示功能。
观察干涉条纹的形态和变化，根据实际测量需求调整光路或物体位置，使干涉条纹清晰可辨。
4. 实施测量
根据所需测量的参数，选择合适的测量模式和功能。
根据干涉条纹的特征，采集测量数据，并使用仪器自带的软件或计算工具进行数据处理和分析。
三、激光干涉仪的使用技巧
1. 注意环境条件
激光干涉仪对环境条件相对敏感，尤其是光线和振动。
在测量过程中，尽量避免光线的干扰，选取较为安静的环境。
如果必要，可以使用隔离罩或振动吸收装置来降低外界环境对测量的影响。
2. 规避反射干扰
激光干涉仪对光线的反射比较敏感，测量时应注意避免光线被反射到其他表面上，产生干涉干扰。
可以通过调整光源角度、使用吸光材料等方式减少反射干扰。
3. 熟悉仪器功能
熟悉激光干涉仪的各种功能和测量模式，合理选择并设置相应的参数。
根据不同测量对象和要求，调整仪器的测量范围、采样率、干涉条纹的对比度等，以获得最佳的测量结果。
4. 注意安全事项
激光干涉仪使用过程中需要注意安全事项。
避免直接观察激光束，
以免对眼睛造成损伤。
在操作时佩戴适当的防护眼镜，确保安全使用。
结语
激光干涉仪作为一种精密测量仪器，广泛应用于科研、制造等领域。
通过了解激光干涉仪的基本原理、使用方法和技巧，我们可以更好地
利用该仪器进行精密测量，并获得准确的测量结果。
在实际应用过程中，要注意环境条件和安全事项，提高测量效果和保证操作人员的安全。
希望本文对读者在使用激光干涉仪时有所帮助。