工艺文件
工艺文件管理制度(标准版)
工艺文件管理制度（标准版）1.引言工艺文件是制造业中的重要组成部分，它是指导生产、保证产品质量、提高生产效率的基础。
工艺文件管理制度的建立和完善，有助于规范工艺文件的管理，提高工艺文件的准确性和可靠性，从而为企业的生产和发展提供有力支持。
本文档旨在制定一套标准化的工艺文件管理制度，以规范企业的工艺文件管理。
2.工艺文件管理原则2.1科学性原则工艺文件应基于科学、合理的工艺流程和技术要求编制，确保生产过程的稳定性和产品质量的可靠性。
2.2系统性原则工艺文件管理应涵盖工艺文件的编制、审核、批准、发布、实施、修订等全过程，形成完整的工艺文件管理体系。
2.3动态管理原则工艺文件管理应适应生产发展和工艺改进的需要，及时对工艺文件进行修订和完善，确保工艺文件的现行有效。
2.4保密原则工艺文件涉及企业的核心技术，应严格控制工艺文件的传播和使用范围，防止技术外泄。
3.工艺文件管理职责3.1工艺文件编制部门负责制定、修订工艺文件，确保工艺文件的正确性、完整性和可行性。
3.2工艺文件审核部门负责对工艺文件进行审核，确保工艺文件符合相关法规、标准和企业内部规定。
3.3工艺文件批准部门负责对审核合格的工艺文件进行批准，具有对工艺文件的最终决策权。
3.4工艺文件发布部门负责将批准的工艺文件发布到相关部门和岗位，确保工艺文件的有效实施。
3.5工艺文件实施部门负责按照工艺文件要求组织生产，并对工艺文件的实施情况进行监督和检查。
3.6工艺文件修订部门负责根据生产实际和工艺改进情况，对工艺文件进行修订，提高工艺文件的适应性。
4.工艺文件管理流程4.1工艺文件编制编制依据工艺文件编制应依据产品图纸、技术标准、工艺规程等相关资料进行。
编制要求工艺文件应明确工艺流程、工艺参数、操作方法、质量控制等内容，确保生产过程的顺利进行。
编制审批工艺文件编制完成后，需提交至工艺文件审核部门进行审核，审核通过后，由工艺文件批准部门进行批准。
4.2工艺文件发布发布范围工艺文件发布范围应涵盖相关部门和岗位，确保相关人员了解和掌握工艺文件内容。
工艺文件管理办法
工艺文件管理办法工艺文件管理办法第一章：总则第一节：目的和依据为了规范和规范化工艺文件的编制、审批、发布和变更，保证工艺文件的准确性和可靠性，提高工艺生产的质量和效益，制定本管理办法。
本管理办法依据《企业组织机构设置管理办法》、《工艺文件编制规范》等相关法律法规进行制定。
第二节：适用范围本管理办法适用于所有生产工艺文件的编制、审批、发布和变更。
第三节：工艺文件的定义工艺文件是指记录和规范化工艺流程、工艺参数、操作要求以及相关质量控制措施的文件，包括但不限于工艺流程图、工艺说明书、工艺参数表等。
第二章：工艺文件的编制第一节：责任和权限1. 生产部门负责工艺文件的编制。
2. 生产部门负责指定责任人员和审核人员，并明确其权限和责任。
第二节：编制要求1. 工艺文件应包含完整的工艺流程图和详细的操作要求。
2. 工艺文件应根据实际生产情况进行必要的修订和更新。
3. 工艺文件应由责任人员进行审核，并确保其准确性和可靠性。
第三章：工艺文件的审批和发布1. 生产部门负责对编制好的工艺文件进行审批。
2. 审批程序包括初审、复审和最终审批。
第二节：发布要求1. 审批通过的工艺文件应及时发布给相关人员。
2. 发布方式可以采用内部通知、文件传阅等方式。
第三节：变更管理1. 生产部门负责对已发布的工艺文件进行变更管理。
2. 变更管理应包括变更申请、变更审批和变更通知。
第四章：工艺文件的使用和更新第一节：使用要求1. 执行生产操作时，必须按照工艺文件的要求进行操作。
2. 工艺文件应放置在指定位置，以便操作人员查阅。
1. 工艺文件应定期进行审核和更新。
2. 更新程序包括文件的修订、审批和发布。
第五章：附则本管理办法自发布之日起施行，如有补充或修改，另行发布。
工艺文件完整性管理制度
工艺文件完整性管理制度引言为了保证企业生产过程的规范化和可持续性发展，提高生产效率和产品质量，并同时适应现代信息化建设，企业需要对工艺文件进行全面的管理。
工艺文件是传达生产过程中各个环节，特别是生产车间操作的必备知识和文档。
在生产过程中，工艺文件涉及到产品的质量、工艺规范、生产设备的控制等事项。
如果工艺文件不完整、不合规、不及时，将会直接影响到企业的生产效率、产品的质量和企业的信誉度。
因此，企业应建立完整性管理制度，保证生产追溯和质量安全的防范。
管理制度1. 工艺文件创建的规范1.1 工艺文件的编制工艺文件编制是与产品质量密切相关的，企业需要在生产过程中做好各个生产车间的工艺文件编制工作，尤其需要在原材料、生产、装配等方面确定工艺规范，达到稳定、可行、高效的目标。
在编制工艺文件时，要充分参考企业的生产实际情况，确保工艺参数、设备规范、工序流程等等都符合实际的生产操作。
1.2 工艺文档的存档企业要建立完整的工艺文件存储制度，存档要求考虑到工艺文件的安全性、保密性以及可溯源性。
要求保存的工艺文件必须符合相关法律法规、行业规定和企业管理标准。
在保存工艺文件时，要标注文档的名称、编号、版本以及保存日期等信息，以方便进行工艺追溯。
同时，工艺文件要按照安全等级分类存储，严格控制权限，保证企业信息安全。
2. 工艺文件修改的规范2.1 工艺文件修改机制工艺文件的修改是基于实际生产过程中的变化和不断的改进，要合理控制修改的范围和频率。
修改时需考虑到技术可行性、经济效益和维修成本等实际问题，确保修改后的工艺文件符合产品的标准质量要求。
在修改工艺文件时，还需做好备案工作，确定修改的原因、范围、内容和涉及到的人员，并有规范的流程。
2.2 工艺文档的版本控制企业应当对工艺文件进行版本控制，防止旧版本的文件没有修改后导致操作不正确，造成不良的生产影响。
确立版本控制方式，严格控制相关权限，保证各个环节的工艺文件正确性。
3. 内部审计与监督的规范3.1 内部审计机制设计企业应设立完善内部审计机制，管理规范、相互稽核，质量过程控制和生产资料的完整性。
工艺文件范例
工艺文件范例一、产品概述本产品为一款便携式充电式手持风扇，适用于夏季使用，可以随时随地解暑。
该风扇具有小巧轻便的特点，内置锂电池可充电，使用便捷，适合户外活动或办公室使用。
二、产品特点1. 外观设计时尚简约，符合年轻人审美；2. 内置锂电池，可重复充电使用；3. 多档风速可调，满足不同需求；4. 静音设计，不会影响到他人休息；5. 高效风扇叶片设计，风力强劲；6. 可拆卸清洁设计，方便清洁保养；7. 高品质材料制造，耐用可靠。
三、工艺流程1. 组件采购：采购电机、锂电池、风扇外壳、风扇叶片等材料和零部件；2. 部件加工：对采购回来的零部件进行加工处理，如电机安装、电池固定、外壳注塑等；3. 组件组装：将加工好的零部件进行组装，安装风扇叶片、加装开关等配件；4. 装配调试：对组装好的产品进行电路连接及风扇启停测试，确保产品无故障；5. 清洁包装：对通过测试的产品进行清洁处理，包装打包，包装成品。
四、工艺参数1. 产品型号：XYZ-0012. 额定电压：5V3. 额定功率：3W4. 电池容量：2000mAh5. 充电时间：2小时6. 使用时间：2-4小时7. 风扇速度：4000转/分钟8. 材质：ABS塑料五、检测标准1. 外观检查：检查产品外观是否完整，无划痕、变形等现象；2. 功能检测：测试产品风扇功能是否正常，是否有异常声音；3. 充电性能测试：测试产品充电是否正常，电池容量是否符合要求；4. 安全性检测：测试产品是否符合电气安全标准，电池是否存在短路等安全隐患。
六、包装要求1. 单品包装：采用彩盒包装，包装图案应醒目美观；2. 外箱包装：采用五层瓦楞纸箱，保护产品不受挤压；3. 包装材料：采用环保材料，不含有害物质。
七、质量控制1. 严格执行工艺流程，保证每一道工序都符合标准；2. 增加工艺测试环节，确保产品质量；3. 建立质量反馈机制，及时处理质量问题；4. 使用优质原材料，保证产品质量。
工艺文件管理制度
工艺文件管理制度工艺文件管理制度是指企业为保证产品质量和生产效率，规范和管理工艺文件的一套制度。
该制度旨在确保工艺文件的准确性、完整性和可靠性，以提高产品的质量和生产效率，同时也为企业的持续改进和技术创新提供支持。
一、制度目的工艺文件管理制度的目的是确保工艺文件的准确性、完整性和可靠性，促进产品质量的提高，提高生产效率，并为企业的持续改进和技术创新提供支持。
二、适合范围本制度适合于企业内所有涉及工艺文件的部门和人员。
三、定义1. 工艺文件：指用于指导产品生产过程的文件，包括但不限于工艺流程图、工艺参数、工艺标准、工艺规程等。
2. 工艺文件管理：指对工艺文件进行规范、管理和控制的活动，包括工艺文件的编制、审核、发布、变更和废止等。
四、工艺文件编制1. 工艺文件应由专业的工艺工程师或者相关技术人员编制，确保其准确性和可靠性。
2. 工艺文件应按照标准格式编制，包括工艺流程图、工艺参数、工艺标准、工艺规程等。
3. 工艺文件编制应考虑生产设备、工艺流程和产品特性等因素，确保工艺文件的适合性和可操作性。
五、工艺文件审核1. 工艺文件应经过专业人员的审核，确保其准确性和合理性。
2. 审核人员应对工艺文件进行全面的审查，包括工艺流程的合理性、工艺参数的准确性和工艺标准的合规性等。
六、工艺文件发布1. 经过审核的工艺文件应由专人负责发布，确保其及时性和有效性。
2. 工艺文件的发布应采用统一的方式和渠道，以确保所有相关人员都能及时获取到最新版本的工艺文件。
七、工艺文件变更1. 工艺文件的变更应经过专业人员的评估和批准，确保其合理性和可行性。
2. 变更后的工艺文件应及时通知相关人员，并进行相应的培训和指导，以确保变更的顺利实施。
八、工艺文件废止1. 对于再也不适合或者已过期的工艺文件，应及时废止并通知相关人员。
2. 废止的工艺文件应进行归档和保留，以备查阅和审计。
九、工艺文件的管理责任1. 各部门和人员应按照本制度的要求，严格执行工艺文件的管理要求。
工艺技术文件范本
工艺技术文件范本工艺技术文件文件编号：GJ-2021-001文件名称：产品组装工艺流程1. 文件目的本文件旨在规范产品组装的工艺流程，确保产品质量和生产效率。
2. 适用范围本文档适用于我公司生产的所有XX产品的组装过程。
3. 定义和缩略语无4. 执行者生产部门负责人5. 工艺流程步骤 1：准备工作5.1. 确保所有零部件齐全，并按照物料清单进行核对。
5.2. 准备必要的工具和设备，确保其正常运转并进行必要的维护和校准。
5.3. 将所有零部件进行分类和标识，以方便组装过程中的识别和使用。
步骤 2：组装前检查5.4. 检查所有零部件的质量和外观，确保其符合相关要求。
5.5. 检查工具和设备的可用性和状态，确保其正常工作。
5.6. 检查产品组装区域的清洁度和安全性，确保环境符合要求。
步骤 3：组装过程5.7. 按照装配顺序和相关文件（例如装配图、装配说明等）进行组装。
5.8. 严格执行组装规范，确保零部件的正确安装和连接。
5.9. 在适当的阶段进行产品测试，以验证其功能和质量。
5.10. 在组装过程中进行必要的检测和调整，确保产品的尺寸和性能符合要求。
步骤 4：组装完成后检查5.11. 检查已组装产品的外观和功能，确保其质量和完整性。
5.12. 检查产品标识的准确性和清晰度，确保其符合要求。
步骤 5：修正和纠正5.13. 如果发现组装过程中的错误或质量问题，立即停工并及时进行修正。
5.14. 对组装过程中出现的问题进行记录和分析，并采取措施防止类似问题的再次发生。
6. 相关记录6.1. 零部件清单6.2. 工具和设备维护记录6.3. 产品测试记录6.4. 组装过程检测记录6.5. 修正和纠正记录7. 变更记录无8. 审核记录审核人：日期：9. 批准记录批准人：日期：以上为产品组装工艺流程的范本文件，生产部门负责人应根据实际情况进行适当调整和完善，并确保其执行和监督。
工艺文件管理制度(行业通用版)
工艺文件管理制度（行业通用版）一、概述工艺文件是制造业生产过程中至关重要的技术文件，它对产品质量、生产效率及成本控制等方面具有重要影响。
为确保工艺文件的编制、审核、批准、发放、使用、更改和作废等环节的规范化管理，提高工艺文件的管理水平，制定本制度。
二、工艺文件的范围本制度所指的工艺文件主要包括：产品图样、工艺规程、作业指导书、检验规程、包装规程等。
三、工艺文件的编制1.编制原则：工艺文件编制应遵循科学、合理、先进、经济、可行的原则，确保产品满足设计要求和客户需求。
2.编制依据：工艺文件编制应依据产品设计图样、技术标准、工艺规范、生产条件等。
3.编制流程：工艺文件编制应按照设计评审、工艺方案设计、工艺规程编制、作业指导书编制、检验规程编制、包装规程编制等环节进行。
4.编制要求：工艺文件编制应内容完整、结构清晰、表述准确、符号规范，确保操作者易于理解、便于执行。
四、工艺文件的审核与批准1.审核流程：工艺文件编制完成后，应进行内部审核。
审核人员应具备相关专业知识和技能，确保审核的独立性和权威性。
2.审批权限：工艺文件经内部审核合格后，由相关部门负责人进行审批。
审批人员应根据工艺文件的类别和重要性，按照公司规定行使审批权限。
3.审批要求：审批人员应对工艺文件的合法性、合规性、合理性、可行性进行全面审查，确保工艺文件符合公司战略目标和生产实际。
五、工艺文件的发放与使用1.发放对象：工艺文件发放对象包括生产、质量、采购、仓储等相关部门。
2.发放方式：工艺文件发放应采用统一、规范的方式，确保文件的安全、完整、准确。
3.使用要求：各部门应按照工艺文件的要求进行生产、检验、包装等作业，确保产品质量和生产效率。
六、工艺文件的更改与作废1.更改条件：当产品设计变更、生产条件变化、工艺优化等原因导致工艺文件内容不适用时，应及时进行更改。
2.更改流程：工艺文件更改应按照编制、审核、批准的流程进行，并对更改内容进行版本控制。
工艺文件管理制度(实用指南)
工艺文件管理制度（实用指南）一、引言工艺文件是制造业企业生产过程中至关重要的技术文件，它对产品质量、生产效率及成本控制等方面具有重要影响。
为确保企业工艺文件的编制、审核、批准、发布、实施、更改及作废等环节的规范化、标准化，提高工艺文件管理的效率，降低生产成本，特制定本制度。
二、工艺文件分类根据我国《工艺文件编制与管理办法》的相关规定，工艺文件可分为以下几类：1.工艺规程：主要包括工艺路线、工艺流程、工艺参数、工艺要求等。
2.工艺指导书：主要包括工艺方法、操作步骤、质量控制要求等。
3.工艺卡片：主要包括工序名称、工序内容、工序顺序、工序时间等。
4.工艺定额：主要包括材料消耗定额、工时定额、设备定额等。
5.工艺图纸：主要包括产品图、零件图、装配图、工装图等。
6.工艺变更单：主要包括变更原因、变更内容、变更日期等。
三、工艺文件编制1.编制依据：企业应根据产品设计图纸、技术标准、生产条件等因素编制工艺文件。
2.编制流程：企业应按照产品开发流程，结合产品特点、生产规模、设备能力等因素，制定合理的工艺文件编制流程。
3.编制要求：工艺文件应内容完整、数据准确、文字简练、图表清晰，便于操作者理解和执行。
4.编制责任人：企业应明确工艺文件编制的责任人，确保编制质量。
四、工艺文件审核与批准1.审核流程：工艺文件编制完成后，应进行内部审核，审核通过后报企业技术负责人批准。
2.审核内容：审核工艺文件的完整性、准确性、合理性和可行性，确保工艺文件符合产品设计和生产要求。
3.批准权限：企业技术负责人应根据工艺文件的重要性及影响程度，确定批准权限。
五、工艺文件发布与实施1.发布范围：企业应根据生产组织形式，确定工艺文件的发布范围。
2.发布方式：企业可采用纸质文件、电子文件或信息化系统等方式发布工艺文件。
3.实施监督：企业应加强对工艺文件实施的监督，确保操作者按照工艺文件要求进行生产。
六、工艺文件更改与作废1.更改条件：当产品设计、生产条件、技术标准等发生变化时，应及时对工艺文件进行更改。
工艺文件管理制度(全程解析)
工艺文件管理制度（全程解析）一、引言工艺文件是制造业企业生产过程中至关重要的技术文件，它对产品质量、生产效率及成本控制等方面具有重要影响。
因此，建立一套完善的工艺文件管理制度，对提高企业核心竞争力具有重要意义。
本文将从工艺文件的定义、分类、编制、审批、发布、变更、执行、归档等方面进行全面解析，以期为制造业企业提供参考。
二、工艺文件的定义与分类1.定义：工艺文件是指在生产过程中，为保证产品质量、提高生产效率、降低成本，对产品及其组成部分的加工方法、操作规程、检验标准等技术要求进行明确规定的文件。
2.分类：工艺文件可分为产品工艺文件和过程工艺文件两大类。
产品工艺文件主要包括产品图样、工艺路线、工艺规程等；过程工艺文件主要包括作业指导书、检验规程、设备操作规程等。
三、工艺文件的编制与审批1.编制：工艺文件的编制应遵循以下原则：（1）依据产品设计图纸、技术标准、工艺要求等资料；（2）结合企业现有生产设备、工艺水平、人员素质等因素；（3）确保文件内容完整、准确、清晰、统一；（4）有利于生产组织、质量控制、成本核算等方面。
2.审批：工艺文件编制完成后，需进行审批流程。
审批流程如下：（1）编制人将工艺文件提交给部门负责人进行初审；（2）部门负责人对工艺文件进行审查，提出修改意见；（3）编制人根据修改意见进行修改，直至审批通过；（4）审批通过后，由部门负责人签署意见并加盖部门公章；（5）将审批后的工艺文件提交给企业技术负责人进行终审；（6）企业技术负责人对工艺文件进行审查，签署意见并加盖企业公章；（7）审批完成的工艺文件正式生效。
四、工艺文件的发布与变更1.发布：审批完成的工艺文件应进行发布，以保证相关人员及时了解和掌握工艺要求。
发布方式如下：（1）在企业内部公告栏进行张贴；（2）通过企业内部网络进行发布；（3）将工艺文件发放给相关人员。
2.变更：在生产过程中，如遇到产品设计、工艺要求等方面发生变化，需对工艺文件进行变更。
工艺技术文件 概述
工艺技术文件概述工艺技术文件概述工艺技术文件是一个企业在生产过程中必备的重要工具，它对企业的生产管理和产品质量的控制具有重要意义。
本文将从文件的概念、编制目的和要求以及文件的内容等方面对工艺技术文件进行概述。
一、文件的概念工艺技术文件是企业在生产过程中为了保证产品质量和生产效率而编制的一类文件，它是对生产过程进行规范和指导的依据，具有强制性的要求。
它包括图纸、工艺流程图、工艺规程、工艺参数、工艺说明书、品质标准等各种文件形式。
二、编制目的和要求工艺技术文件的编制目的是为了对生产过程进行有效的管理和控制，做到规范化、标准化和可靠化。
编制工艺技术文件应该遵循以下原则：准确性、可行性、全面性和操作性。
准确性：工艺技术文件中所包括的数据和信息必须准确无误，否则会给企业的生产过程带来不必要的风险和损失。
可行性：工艺技术文件中所包括的工艺流程和方法必须实际可行，能够在企业的生产环境中得到有效的应用。
全面性：工艺技术文件应该覆盖企业生产过程中的各个环节，包括从原材料采购到成品出厂的全过程。
操作性：工艺技术文件应该便于操作，并能够在生产现场得到实际应用。
三、文件的内容工艺技术文件的内容应包括：1. 产品图纸：包括产品的外观尺寸、结构形式、配件和安装要求等。
2. 工艺流程图：详细描述产品的加工流程，包括材料准备、加工工序和工艺参数等。
3. 工艺规程：规定产品加工的步骤、方法和标准，包括加工工艺和检验要求等。
4. 工艺参数：规定产品加工过程中的各项参数，如温度、压力、速度等。
5. 工艺说明书：详细描述产品加工过程中的各个环节，包括操作方法、注意事项和预防措施等。
6. 品质标准：规定产品的各项物理性能、化学成分、外观质量等指标，以及对产品的检验方法和标准等。
工艺技术文件的编制应根据企业的实际情况和生产需求进行，具体内容可以根据工艺过程的特点进行调整和完善。
综上所述，工艺技术文件是企业生产过程中不可或缺的重要文件，它对于保证产品质量和提高生产效率具有重要意义。
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合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件1 / 6 文件名称 氮化镓基LED白光外延工艺文件
文件编号
HL/DN-35-07-001-2.0
产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 1.0
1 目的 用MOCVD制造出2inch及4inch外延片，制造出B15B、B30A等版型的芯片产品，为保证外延片质量符合客户需求，特制定本工艺文件。
2 适用范围 本工艺文件为外延制程过程中外延生长环境和各结构提供关键工艺参数，适合外延生长过程。此工艺文件只能在公司内部使用。
3 工具 吸笔、衬底盒、手推车
4外延制程工艺条件 4.1 外延生产无尘室环境要求 4.1.1 外延生产无尘室洁净度要在10万级及以下； 4.1.2 外延生产无尘室温度要求： MOCVD生产车间23±2℃； 测试间23±2℃； 衬底存放间23±2℃。 4.1.3 外延生产无尘室湿度要求： MOCVD生产车间50±10%； 测试间50±10%； 衬底存放间50±10%。 4.2物料品质： 1. 衬底B类以上（含B类） 2. 石墨盘表面品质判定合格 3. 金属MO源试用合格 4. 外延生长各工艺气体质量要求： 1)N2纯度：99.9999999%； 2)H2纯度：99.9999999%； 3)NH3纯度：99.9999999%；
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期
拟 编 审 核 标准化 批 准 文件名称 氮化镓基LED白光外延工艺文件
文件编号 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件2 / 6 HL/DN-35-07-001-2.0
产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 1.0
4.3 外延结构图 4.3.1 GaN- Buffer layer； 4.3.2 U-GaN； 4.3.3 N-GaN:Si； 4.3.4 MQW； a) GaN b) InGaN 4.3.5 P-GaN:Mg
4.4白光Veeco K465i外延片工艺制程条件 工艺类型 B15B B30A
Buffer 温度 540±40℃ 540±40℃ 反应腔压力 500±20Torr 500±20Torr TMGa流量 50±30sccm 50±30sccm 厚度 25±10nm 25±10nm
3D 温度 1000±100℃ 1000±100℃ 反应腔压力 500±20Torr 500±20Torr TMGa流量 270±50sccm 270±50sccm 厚度 1.0±0.2μm 1.0±0.2μm
2D 温度 1085±100℃ 1085±100℃ 反应腔压力 200±20Torr 200±20Torr TMGa流量 315±60sccm 315±60sccm 厚度 2.0±0.4μm 2.0±0.4μm 生长速率 2.3±0.3μm/h 2.3±0.3μm/h
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期 拟 编 审 核 标准化 批 准 文件名称 氮化镓基LED白光外延工艺文件
文件编号
HL/DN-35-07-001-2.0
产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 1.0
Al2O3 Buffer U-GaN
N-GaN
MQW(GaN/InGaN) P-GaN 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件3 / 6 NGaN 温度 1080±100℃ 1080±100℃ 反应腔压力 200±20Torr 200±20Torr TMGa流量 315±60sccm 315±60sccm 载流子浓度 -2*1018～-1*1019 -2*1018～-1*1019 厚度 3.0±0.4μm 3.0±0.4μm 生长速率 2.3±0.3μm/h 2.3±0.3μm/h
MQW(GaN) 温度 880±50℃ 880±50℃ 反应腔压力 200±20Torr 200±20Torr TEGa流量 430±80sccm 430±80sccm 周期厚度 120±20nm 120±20nm
MQW(InGaN) 温度 750±50℃ 750±50℃ 反应腔压力 200±20Torr 200±20Torr TMIn流量 210±40sccm 210±40sccm TEGa流量 140±30sccm 140±30sccm 厚度 30±10nm 30±10nm
PGaN 温度 950±50℃ 950±50℃ 反应腔压力 200±20Torr 200±20Torr TMGa流量 85±25sccm 85±25sccm 载流子浓度 5*1016～2*1017 5*1016～2*1017 厚度 220±50nm 220±50nm
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期 拟 编 审 核 标准化 批 准 文件名称 氮化镓基LED白光外延工艺文件
文件编号
HL/DN-35-07-001-2.0
产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本 1.0 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件4 / 6 5 作业流程: 工艺流程 操作要求 遵循《K465i外围检查》 填写《K465i生长前点检表》 在衬底存放间衬底领料 填写《衬底领用登记表》
检查衬底盒标记是否为所需衬底 去热氮柜间取用石墨盘，遵循《取放石墨盘作业指导书》，填写《热N2柜出入库》
遵循《K465i吹盘作业指导书》 遵循《K465i放片作业指导书》 遵循《传盘作业指导书》 程序工艺参数设定参照“4.4白光Veeco K465i外延片工艺制程条件” 生长过程监控 并记录生长数据、机台状态，填写《MOCVD Veeco K465i生产记录表》，如有异常遵循《异常处理流程》 遵循《传盘作业指导书》 生长结束取片 遵循《K465i取片作业指导书》 遵循《送烤盘流程图》 1、记录衬底号；2、激光打码（遵循《激光雕刻机操作指导书》）；3、PL（遵循《PL测试作业指导书》）；4、XRD（遵循《XRD测试作业指导书》）；5、EL（遵循《EL测试作业指导书》）；6、表面判定（遵循《蓝绿光外延片外观检验标准》）7、默认为不测Hall，除特殊需要可加测（遵循《Hall测试操作指导书》）。测试前，填写《外延送测试记录表》。
记录数据并导入数据库 凭单送生管入库 如有报废，则填写《外延入半成品库报废交接单》 将入库单交给综合管理员
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期 拟 编 审 核 标准化 批 准 文件名称 氮化镓基LED白光外延工艺文件
文件编号
HL/DN-35-07-001-2.0
产品型号或材料代号 工艺代号 生效日期 替代版本
1.0
衬底领用 生长前检查 衬底检查 取盘 吹盘 放片 传盘 确认程序并调用 生长过程监控 传盘 取片 送考盘
数据录入 送测试
送生管入库 提交入库单 合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件5 / 6 6 相关文件 文件编号 文件名称 页数 备注 HL/C1-02-001-1.0 K465i外围检查作业指导书 2 HL/C1-02-002-1.0 取放石墨盘作业指导书 2 HL/C1-02-003-1.0 K465i吹盘作业指导书 4 HL/C1-02-005-1.0 传盘作业指导书 3 HL/C1-02-006-1.0 K465i取片作业指导书 3 HL/C1-02-007-1.0 Hall测试操作指导书 3 HL/C1-02-009-1.0 PL测试作业指导书 3 HL/C1-02-030-1.0 XRD测试作业指导书 5 HL/C1-02-012-1.0 EL测试作业指导书 3 HL/C1-02-024-1.0 激光雕刻机操作指导书 4 HL/DN-5-02-002-1.0 送烤盘流程图 1 HL/DN-23-02-001-1.0 氮化镓基 LED外延片2吋外观检验标准 2 HL/DN-23-02-005-1.0 氮化镓基 LED外延片4吋外观检验标准 2
7 记录 记录编号 记录名称 页数 备注 HL/D-II-27-1.0 K465i生长前点检表 HL/D-II-50-1.0 衬底领用登记表 HL/D-II-51-1.0 外延送测试记录表 HL/D-II-53-1.0 热N2柜出入库 HL/D-I-122-1.0 外延入半成品库报废交接单
更改标记 更改单编号 更改员 日期 更改标记 更改单编号 更改员 日期 拟 编 审 核 标准化 批 准 附：文件履历表 文件编号 版本 文件名称 修订原因 拟编 发布日期 页数 HL/DN-35-07-001-1.0 1.0 白光外延工艺文件 新发布 李刚 2012.4.18 6
HL/DN-35-07-001-2.0 2.0 氮化镓基LED白光外延工艺文件 修改无尘室环境要求 李刚 6