真空等离子清洗机原理

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PLASMA清洗原理sn

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PLASMA清洗原理就是"物理冲击+化学反应":1.离子体离子体通常称作物质的第四种状态,前三种状态是固体、液体、气体,它们是比较常见的,就存在于我们周围。

离子体尽管在宇宙的别处非常丰富,但在地球上只存在于某种特定环境。

离子体的自然存在包括闪电、北极光。

就好象把固体转变成气体需要能量一样,产生离子体也需要能量。

一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)混合组成。

离子体能够导电,和电磁力起反应。

2.离子技术等离子清洗技术清除金属、陶瓷、塑料表面的有机污染物,可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度。

离子化过程能够容易地控制和安全地重复。

如果有效的表面处理对于产品的可靠性或过程效率的提高是至关重要的,那么等离子技术对你也许就是最理想的技术。

通过表面活化、蚀刻、表面沉积,等离子技术可以改善绝大多数物质的性能:洁净度、亲水性、斥水性、粘结性、标刻性、润滑性、耐磨性。

3.离子清洗原理与创新给一组电极施以射频电压(频率约为几十兆赫兹),电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。

4.物理轰击: 离子被电场加速,获得高能量冲击要清洗表面,会把能量传递给表面原子,但能达到一定程度使原子,足以脱离被清洗表面,然后被负压抽出清洗腔体;容易证明腔体内壁有一层基板材料;同时轰击可以把有机物冲击而悬浮物体表面,可使化学反应更充分。

化学反应: 如有H+, 和表面有机物中C反应生成CH4,和O生成H2O,最后变成气体排出。

实际上,在整个制造过程中,等离子清洗系统的关键控制要素包括过程温度、射频功率、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等。

对系统和这些交互影响参数的控制对于系统性能是最为关键的。

Plasma Clean所用材料主要是水滴角度测试仪和纯水。

等离子清洗工作原理

等离子清洗工作原理

等离子清洗工作原理等离子清洗工作原理什么是等离子清洗?等离子清洗是一种利用等离子体(包括氧气等离子体和惰性气体等离子体)进行表面处理和清洗的技术方法。

它可以用于去除物体表面的有机污染物、金属氧化物、附着的颗粒物等。

等离子体是什么?等离子体是一种由电离的气体分子和自由电子构成的物质状态。

在一定的条件下,气体分子可以吸收充足的能量,电子脱离分子成为自由电子,从而形成等离子体。

等离子体具有高电离度、高电导率和高能量状态的特点。

氧气等离子清洗的工作原理氧气等离子清洗采用的是氧气等离子体(氧等离子体)对物体表面进行清洗的原理。

具体步骤如下: - 产生氧等离子体:将氧气通入到一个特殊的清洗室中,通过高频电场或者微波辐射等方法激发氧气分子,使其脱离电荷,并形成氧等离子体。

- 清洗物体表面:将待清洗的物体放置在清洗室中,通过调整电场强度和等离子体浓度,使氧等离子体覆盖到物体表面。

氧等离子体在物体表面产生离子撞击和化学反应,将有机污染物、金属氧化物和颗粒物等清除掉。

- 清洗后处理:清洗后物体的表面可能会被氧化,需要进行适当的后处理,如用惰性气体或者某种化合物处理。

惰性气体等离子清洗的工作原理惰性气体等离子清洗是利用惰性气体等离子体对物体表面进行清洗的原理。

具体步骤如下: - 产生惰性气体等离子体:将惰性气体(如氖、氩等)通过高频电场或者微波辐射等方法激发,使其成为惰性气体等离子体。

- 清洗物体表面: - 物理清洗:通过惰性气体等离子体的电子和离子撞击作用,将物体表面附着的异物和污染物剥离。

- 化学清洗:将惰性气体等离子体辅以适当的化学药剂,使其与物体表面的污染物发生反应,降解和清除。

- 清洗后处理:清洗后物体的表面可能会因为气体等离子体的撞击而变得粗糙,需要进行抛光等适当的处理。

等离子清洗的优点•高效:等离子清洗能够在较短时间内完成对物体表面的清洗和处理,提高清洗效率。

•无残留:等离子清洗过程中使用的气体能够完全转化为无害的气体,不会在物体上留下任何残留物质。

等离子表面处理原理

等离子表面处理原理

等离子表面处理原理
一、等离子体表面清洗作用
等离子体表面清洗作用是指利用等离子体中的离子和电子与物体表面的污垢和杂质发生物理和化学反应,从而达到清洗表面的目的。

在等离子体中,高能粒子能够与物体表面的污垢和杂质发生碰撞,使其能量被吸收并转化为热能,从而使得污垢和杂质被分解、气化或升华。

同时,等离子体中的离子和电子还能够与物体表面的分子发生相互作用,使其极化并脱离表面,从而达到清洗表面的效果。

二、等离子体表面活化作用
等离子体表面活化作用是指利用等离子体中的高能粒子对物体表面进行处理,使其表面活性增加,从而提高表面的润湿性和粘附性。

在等离子体中,高能粒子能够与物体表面的分子发生相互作用,使其能量增加并处于激发态,从而使得表面的化学键被破坏或重组,形成新的化学键和表面结构。

这些新的化学键和表面结构具有更高的活性和反应性,能够提高表面的润湿性和粘附性。

三、等离子体表面刻烛作用
等离子体表面刻烛作用是指利用等离子体中的高能粒子对物体表面进行刻蚀处理,从而改变表面的形貌和结构。

在等离子体中,高能粒子能够与物体表面的分子发生相互作用,使其能量增加并被电离成离子和电子。

这些离子和电子能够与物体表面的原子发生相互作用,使其能量增加并被电离成新的离子和电子。

这些新的离子和电子能够继续与物体表面的原子发生相互作用,从而形成连续的刻蚀作用。


时,等离子体中的气体成分也能够对物体表面进行刻蚀处理。

总之,等离子表面处理原理主要包括等离子体表面清洗作用、等离子体表面活化作用和等离子体表面刻烛作用等方面。

这些原理的应用能够提高物体的表面质量和性能,在材料科学、电子工程、生物医学等领域具有广泛的应用前景。

真空射频等离子

真空射频等离子

真空射频等离子简介真空射频等离子(Vacuum Radio Frequency Plasma,简称VRF Plasma)是一种利用真空环境下的射频电磁场产生等离子体的技术。

等离子体是由离子和电子组成的高度激发的气体,具有高能量和活性,可应用于多个领域,如材料表面改性、化学反应、等离子体显示等。

真空射频等离子的原理真空射频等离子的核心是通过射频电磁场激发气体分子,使其电离成离子和电子。

射频电磁场通过电极引导到真空室内,形成一个高频交变电场。

当气体通过电极间的缝隙进入真空室时,受到高频电场的作用,气体分子被电离成离子和电子,形成等离子体。

真空射频等离子的应用真空射频等离子在多个领域具有广泛的应用。

表面改性真空射频等离子可用于材料表面的改性。

通过调节射频电磁场的频率、功率和气体种类,可以控制等离子体的性质,实现对材料表面的精确处理。

例如,可以使材料表面变得更疏水、更亲水,增加材料的附着性、耐磨性和耐腐蚀性。

化学反应真空射频等离子可用于催化化学反应。

等离子体具有高度激发的能量和活性,可以使化学反应发生在较低的温度和压力下。

这有助于提高反应速率、选择性和产率,减少能源消耗和废物产生。

等离子体显示真空射频等离子可用于等离子体显示技术。

等离子体显示是一种新型的显示技术,利用等离子体的发光特性实现高亮度、高对比度和高刷新率的显示效果。

真空射频等离子可以产生高亮度的等离子体,用于显示屏的背光源。

其他应用真空射频等离子还可以应用于材料表面清洁、材料薄膜沉积、气体处理等领域。

例如,可以利用等离子体清洗技术去除材料表面的有机污染物;可以利用等离子体沉积技术在材料表面形成薄膜;可以利用等离子体处理技术净化气体。

真空射频等离子设备真空射频等离子设备主要由真空室、射频发生器、电极和气体供应系统等组成。

真空室是放置射频电磁场和气体的空间,具有良好的真空密封性能。

射频发生器提供射频电磁场的能量,通过调节频率和功率来控制等离子体的性质。

等离子清洗机使用方法

等离子清洗机使用方法

等离子清洗机使用方法标题:等离子清洗机使用手册一、前言等离子清洗机是一种先进的清洗设备,广泛应用于各种行业,包括电子制造、医疗器械、航空航天等领域。

本手册将详细介绍等离子清洗机的使用方法,以确保用户能够正确、高效地操作设备,达到最佳清洗效果。

二、设备概述1. 设备外观和主要组成部分等离子清洗机外观精致,主要由控制面板、清洗室、电源系统和气体供给系统等组成。

用户在操作前应该熟悉设备的各个部分,以确保正确连接和使用。

2. 设备工作原理等离子清洗机利用等离子体技术,通过产生高能离子束,去除工件表面的有机和无机污染物。

清洗过程不会产生任何化学残留物,确保工件表面的完整性和洁净度。

三、操作步骤1. 设备准备在操作等离子清洗机之前,确保设备连接正常,电源和气体供给系统运行正常。

检查清洗室是否清洁,准备好待清洗的工件。

2. 设备启动按照设备启动顺序,打开电源开关,并启动气体供给系统。

等待设备自检完成后,进入控制面板界面。

3. 设置清洗参数根据待清洗工件的特性,设置清洗参数,包括清洗时间、等离子体功率等。

确保参数设置合理,以获得最佳的清洗效果。

4. 放置工件将待清洗工件放置在清洗室中,注意工件的摆放位置和方向。

确保工件表面暴露在等离子束的有效清洗区域内。

5. 启动清洗过程确认参数设置无误后,启动清洗过程。

等离子清洗机会根据预设参数自动完成清洗过程,用户无需手动干预。

6. 清洗完成和工件取出清洗过程完成后,等离子清洗机会发出提示。

关闭设备,等待清洗室内的压力降至安全范围后,打开清洗室门取出清洗后的工件。

四、注意事项1. 安全操作在操作等离子清洗机时,用户应注意安全,避免直接接触等离子束。

戴好相关的个人防护设备,确保清洗过程中不会对人体造成危害。

2. 定期维护定期对等离子清洗机进行维护,包括清洗室的清理、气体供给系统的检查和电源系统的维护等。

保持设备的良好状态,确保长时间稳定运行。

3. 参数调整根据不同工件的清洗要求,适时调整清洗参数。

等离子清洗工作原理

等离子清洗工作原理

等离子清洗工作原理
等离子清洗是一种利用高能等离子体去除物体表面污染的技术。

它的工作原理基于等离子体反应和物理化学效应,主要包括电离、激发、辐射和化学反应等过程。

首先,在等离子清洗装置中,通过加热或加电使气体中的原子或分子被离子化,生成带正电荷的离子和带负电荷的电子。

这些离子构成了高能等离子体,也称为等离子体。

接下来,高能等离子体与污染物表面发生相互作用。

离子轰击、部分电子的扰动和激发以及自由基和活性物质的反应等多种物理化学效应共同作用,移除表面污染物。

等离子清洗还可以借助等离子体放射出的光与物体表面发生光致反应。

光照射会产生光解反应,将表面的污染物分解或溶解,进一步清洗表面。

此外,等离子清洗还包括等离子体表面电荷效应。

等离子体的正电荷和电子云与物体表面的负电荷相互作用,形成静电场。

静电场的作用下,污染物被从物体表面逐渐解离,并最终被等离子体吸附或击穿去除。

综上所述,等离子清洗利用高能等离子体的电离、辐射和化学反应等过程,以及静电场和光照射等效应,去除物体表面的污染物。

这种清洗方式无需使用溶剂、化学品和机械刷洗等,能够高效、环保地清除表面污染。

PLASMA等离子清洗

PLASMA等离子清洗FPC/PCB除胶渣工艺-PLASMA等离子清洗简要描述:一.等离子简介: PLASMA等离子清洗(又称电浆),起源于20****初期,随着高科技的发展,现大量应用在电路板钻孔后孔内清洁工序,传统的湿法高锰酸钾除胶渣工艺因有液体张力等原因,在现有电路板小孔,密孔,肓孔(BlindVia)等产品加工后常有残留胶渣(smear)。

一.等离子简介:PLASMA等离子清洗(又称电浆),起源于20****初期,随着高科技的发展,现大量应用在电路板钻孔后孔内清洁工序,传统的湿法高锰酸钾除胶渣工艺因有液体张力等原因,在现有电路板小孔,密孔,肓孔(Blind Via)等产品加工后常有残留胶渣(smear)。

所以以等离子清洁的干式制程受到瞩目。

二.电浆(以下统称电浆)产生方式:能产生电浆的方式很多,以下是几种高密度电浆的产生方式:1.感应耦合式电浆产生法(ICP)感应耦合式电浆工作原理,如下图,线圈上加一高频电源,当线圈电流发生变化时,由安培定律∇⨯H = J + ε0(∂E/∂t)知,可产生变动磁场,同时由法拉第定律∇⨯E = - μ0(∂H/∂t)知此变动之磁场会感应一反方向电场,并加速电子与线圈电流相反的二次电流。

下图为电浆实际工作中的照片。

2.中空阴极电浆产生法(HCP)3.电子回旋共振电浆产生法(ECR)三.电浆工作原理电浆是紫外线发莹光的产物,继固体,液体,气体之后,电浆体是物质的第四态。

电浆是一团带正,负电荷之粒子所形成的气体,正常情况下,正,负电荷总数相等;电浆中还含有中性的气体原子,分子及自由基。

至于整团气体粒子中,正离子(或电荷)所占的比例,则定义为离子化程度(ionization degree),所以电浆产生方式的不同,压力,电源供应器之功率不一,离子化程度也会不一样。

所有电浆都会发光(glow),原理类同日光灯的原理,在真空环境下激发态粒子(excited state, X*)返回基态(ground state, X)时,将其能量以光子的形式放出来所造成。

等离子清洁原理

等离子清洁原理
等离子清洁技术是近几十年来开发起来的一项先进的技术,它能够将污染物从表面上去除,从而使表面恢复原来的完整性和状态。

清洁是通过一种叫做等离子体的原理实现的。

等离子体技术是一种物理性清洁技术,它直接通过电离和激光在表面上产生的气体电离或微粒,来去除污染物,而不接触表面的性质。

等离子清洁技术的原理是通过一种名为“气体电离”的等离子体现象来实现的。

它是一种物理性清洁技术,通过使用离子激光穿透表面,将受污染表面的微粒或气体电离,使之灰尘大部分失去凝聚力,电场的作用使其悬浮于空气中。

由于灰尘的重量不会被带走,所以电离的物质悬浮在空气中不会被带走,这样就实现了清洁。

等离子技术的优点是它不仅能够去除污染物,而且不需要去接触表面的任何化学物质来实现清洁。

这种技术的缺点是它的效率很低,因为它需要通过离子激光来穿透表面,这样会耗费很多时间。

在应用方面,等离子清洁技术主要用于去除金属表面上的污垢、油污、氧化层、碳酸盐和细菌污染物等。

它可以用于重要的微电子器件、微机电系统、航天和航空航天器件、汽车、船舶和海洋电子设备等的清洁和维护。

它也可以用于家用和医疗设备的清洁,比如床单、枕头、手术器械等。

等离子清洁技术具有高效、环保、安全、低耗能等优势,因此它在很多领域中都得到了广泛的应用。

它的应用越来越多,将为科技发展及社会发展做出重要贡献。

总之,等离子清洁技术是一种具有重要应用价值的技术,它不仅能够有效地除去表面污染,而且环保、安全、高效、低耗能,为提高表面清洁水平和实现表面状态恢复提供了有力的技术保障。

等离子清洗机工作原理

等离子清洗机工作原理引言概述等离子清洗机是一种高效的清洗设备,通过等离子技术可以有效地去除表面的污垢和油脂,广泛应用于半导体、光伏、航空航天等领域。

本文将详细介绍等离子清洗机的工作原理。

一、等离子清洗机的基本原理1.1 等离子的生成等离子是一种高能带电气体,通过加热气体或者施加高压电场等方式可以生成。

在等离子清洗机中,通常采用射频等离子源来产生等离子。

射频电场会将气体份子激发至高能态,形成等离子。

1.2 等离子的作用等离子具有高能量和高活性,可以有效地击穿表面的氧化物和有机物,使其分解成气体并被吸走。

等离子清洗机通过等离子的作用,可以快速清洗表面污垢和油脂。

1.3 清洗效果由于等离子清洗机产生的等离子能够深入到微观表面结构中,清洗效果非常显著。

清洗后的表面光洁度高,无残留物,符合高端产品的要求。

二、等离子清洗机的工作流程2.1 气体净化在等离子清洗机中,首先需要对气体进行净化处理,去除其中的杂质和水分。

惟独纯净的气体才干产生高质量的等离子。

2.2 等离子清洗经过气体净化后,气体被导入等离子清洗室,通过射频等离子源产生等离子。

等离子对表面进行清洗,将污垢和油脂分解并吸走。

2.3 后处理清洗完成后,需要对设备进行后处理,包括清洗室的排气和清洗室的清洁。

确保设备处于良好的工作状态,以便下一次使用。

三、等离子清洗机的应用领域3.1 半导体行业在半导体生产过程中,表面的纯净度对产品的性能有重要影响。

等离子清洗机可以有效去除表面的有机物和氧化物,提高半导体的质量。

3.2 光伏行业光伏电池的表面需要保持干净,以确保光的吸收效率。

等离子清洗机可以快速清洗光伏电池表面,提高光伏电池的转换效率。

3.3 航空航天领域航空航天领域对零部件的清洁度要求非常高,以确保飞行安全。

等离子清洗机可以快速、高效地清洗航空航天零部件,满足行业标准。

四、等离子清洗机的优势4.1 高效清洗等离子清洗机可以快速、高效地清洗表面污垢和油脂,节省时间和人力成本。

PLASMA等离子清洗机技术介绍

PLASMA等离子清洗机技术等离子体离子体通常称作物质的第四种状态,前三种状态是固体、液体、气体,它们是比较常见的,就存在于我们周围。

离子体尽管在宇宙的别处非常丰富,但在地球上只存在于某种特定环境。

离子体的自然存在包括闪电、北极光。

就好象把固体转变成气体需要能量一样,产生离子体也需要能量。

一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)混合组成。

离子体能够导电,和电磁力起反应。

等离子技术等离子清洗技术清除金属、陶瓷、塑料表面的有机污染物,可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度。

离子化过程能够容易地控制和安全地重复。

如果有效的表面处理对于产品的可靠性或过程效率的提高是至关重要的,那么等离子技术对你也许就是最理想的技术。

通过表面活化、蚀刻、表面沉积,等离子技术可以改善绝大多数物质的性能:洁净度、亲水性、斥水性、粘结性、标刻性、润滑性、耐磨性。

等离子技术的应用等离子表面处理系统现正应用于LCD、LED、IC,PCB,SMT、BGA、引线框架、平板显示器的清洗和蚀刻。

等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度,减少电路故障的可能性。

溢出的树脂、残余的感光阻剂、溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区,短时间内就能清除。

PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。

对许多产品,不论它们是应用于工业。

电子、航空、健康等行业,可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。

不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物,等离子体都有潜能改进粘着力,提高最终产品质量。

等离子体改变任何表面的能力是安全的、环保的、经济的。

它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。

没有什么地方比医疗设备对品质和可靠性有更高的要求。

粘着性、可标记性、光滑度、亲水性等对制造各种医疗设备来说都是非常重要的参数,例如:注射器、超细管、导管、过滤器、传感器等。

等离子清洗原理与创新给一组电极施以射频电压(频率约为几十兆赫兹),电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。

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真空等离子清洗机原理
真空等离子清洗机是一种利用等离子体作用进行清洗的设备。

其工作原理主要可分为以下几个步骤:
1. 真空环境建立:首先,将待清洗的物体放置在真空室内。

通过抽取真空泵将室内空气抽出,从而建立真空环境。

这一步是为了确保等离子体的形成和工作能够在无气体环境中进行。

2. 等离子体形成:当真空达到一定程度后,通过放电电源在真空室内产生高频高压电场。

电场作用下,气体分子发生电离,产生电子和离子。

这些电子和离子就是等离子体的组成部分。

3. 离子清洗:在等离子体的作用下,离子与待清洗物体表面发生碰撞。

离子能够穿透物体表面的污垢层,引发化学反应和物理碰撞。

这些作用能够使物体表面的污垢和沉积物得到有效清除。

4. 去离子(可选):有些情况下,物体表面可能会残留一些离子,如氧离子或氮离子。

这些离子在一定程度上会影响物体的性能。

因此,可以通过引入去离子装置,将物体表面残留的离子除去,从而得到更好的清洗效果。

5. 待清洗物体取出:清洗完成后,关闭电源,停止放电。

打开真空室,将清洗完成的物体取出。

通过以上工作步骤,真空等离子清洗机能够高效清洗各种物体表面的污垢和沉积物,广泛应用于半导体、光电、航天等领域。

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