等离子清洗机应用及原理
宽幅等离子清洗机原理

宽幅等离子清洗机原理宽幅等离子清洗机是一种常用于清洗宽幅物料表面的设备,广泛应用于电子、印刷、纺织、塑胶等行业。
它采用等离子体技术,通过产生高能量的等离子体来清洗物料表面,能够有效去除表面污染物、氧化层和有机物,提高物料的表面质量。
宽幅等离子清洗机的工作原理主要包括气体离子化、等离子体产生、等离子体清洗和尘埃去除等步骤。
宽幅等离子清洗机将工作室内的气体经过高频高压电场的作用,使气体分子电离成正离子和电子。
同时,通过电场的作用,将正离子加速到一定能量,并形成高能量的等离子体。
然后,高能量的等离子体通过喷嘴喷射到待清洗的物料表面。
等离子体的高能量使其能够穿透物料表面的污染物、氧化层和有机物,与其发生物理化学反应,使其分解、去除或转化为易挥发的物质。
等离子体清洗过程中,等离子体与物料表面发生的反应主要包括化学反应、氧化反应和还原反应。
化学反应是指等离子体与物料表面的污染物发生化学反应,使其变为易挥发的物质;氧化反应是指等离子体与物料表面的氧化层发生氧化反应,使其还原为金属表面;还原反应是指等离子体与物料表面的有机物发生还原反应,使其变为无机物。
宽幅等离子清洗机通过吸附装置将产生的尘埃和挥发物吸附起来,保持工作室内的清洁环境。
同时,为了避免等离子体对物料表面的过度清洗,宽幅等离子清洗机还可以根据物料的不同特性和清洗要求,调节等离子体的能量、流量、喷射角度等参数。
宽幅等离子清洗机的原理基于等离子体技术,具有清洗效果好、操作简单、清洗速度快、环境友好等优点。
它可以适用于各种不同材料的清洗,如金属、玻璃、塑胶等。
同时,宽幅等离子清洗机还可以与其他设备进行联动,实现自动化生产线的清洗工艺。
总结起来,宽幅等离子清洗机通过产生高能量的等离子体来清洗宽幅物料表面,通过气体离子化、等离子体产生、等离子体清洗和尘埃去除等步骤实现清洗效果。
它的原理简单清晰,具有广泛应用前景和市场需求。
随着科技的不断发展,宽幅等离子清洗机将会在各个行业中得到更广泛的应用。
等离子清洗原理

等离子清洗原理等离子清洗是一种物理性清洗方法,利用等离子体产生的高温、高能量等特性,在表面清洗过程中去除尘埃、油污、氧化物等杂质。
它具有高效、环保、非腐蚀性等优点,被广泛应用于各个领域的表面处理和清洗工艺中。
等离子清洗的原理可以简单概括为两个关键过程:等离子体产生和表面反应。
等离子体产生是通过气体放电形成的,即在负极板和正极板之间产生高电压,使得气体电离而形成等离子体。
这种放电可以是直流放电、交流放电或射频放电等。
当放电电压超过气体击穿电压时,气体电离产生电子、阳离子、自由基等等离子体成分。
等离子体产生后,会在表面触碰到的地方引发化学反应。
等离子体表面反应主要包括两种:化学反应和物理反应。
化学反应是指气体等离子体与物体表面的物质发生化学反应,例如:氧离子和水蒸气的化学反应生成氧化还原物质;高能氮氧化物等离子体与表面金属氧化物的反应生成金属氧化物;氮氧化物等离子体对表面氧化物的还原。
物理反应主要是指等离子体的能量和速度对清洗表面物质的冲击和溶解,例如:高温等离子体可以使沉积在表面的污染物迅速挥发;离子束对杂质表面作用力大于粘连力使其脱落。
等离子清洗具有许多优点。
首先,清洗效果好。
等离子体产生的高能粒子可以对表面物质产生强烈的碰撞,去除杂质和污染物。
其次,清洗过程无需液体介质,减少了化学废液的产生,既节约了水资源,又减少了环境污染。
此外,清洗过程中无需机械接触,避免了机械清洗可能带来的划伤和破损,同时也避免了对表面涂层、印刷、电子元件等的损害。
最后,等离子清洗装置体积小巧,操作相对简便,适用于各种复杂形状和大小不一的物体表面清洗。
然而,等离子清洗也存在一些问题。
首先,等离子体的生成需要较高的能量,所以清洗过程需要较高的电压和电流,消耗大量的电能。
其次,清洗过程中产生的臭氧等有害气体可能对环境和健康产生危害。
此外,如果清洗不当,过高的电压和能量可能对物体表面产生氧化和损坏。
总结来说,等离子清洗是一种高效、环保、非腐蚀性的表面清洗方法。
等离子体清洗机的清洗工作原理

等离子体清洗机的清洗工作原理等离子体清洗机的清洗原理等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。
等离子体状态中存在以下物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反响的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等体子体轰被清洗产品面.以到达清洗目的。
等离子体清洗机的结构一、控制单元:目前国内使用的等离子清洗机,包括国外进口的,控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为啷个大的局部:1)电源局部:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子,主要的功能作用,前面已经提到了,这里就不一一介绍了。
2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。
二、真空腔体:真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体,2)石英腔体。
三、真空泵:真空泵分为两种:1)干泵、2)油泵等离子体清洗机的优势一、清洗对象经等离子清洗之后是枯燥的,不需要再经枯燥处理即可送往下一道工序。
可以提高整个工艺流水线的处理效率;二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害,同时也防止了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题; 三、防止使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。
这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。
等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。
等离子清洗机应用及原理

等离子清洗机应用及原理一、应用领域在电子行业中,等离子清洗机主要用于清洗电子元件的表面。
因为电子元件表面存在大量的有机污染物和灰尘,这些污染物会对元件的电性能产生不良影响。
等离子清洗机通过离子击穿、电子碰撞等作用,将污染物从表面去除,提高电子元件的质量和可靠性。
在半导体行业中,等离子清洗机主要用于清洗半导体硅片的表面。
半导体硅片表面存在大量的杂质、氧化物和胶粘剂,这些污染物会对半导体器件的电性能产生不良影响。
等离子清洗机通过高能离子撞击、化学反应等作用,将污染物从表面去除,提高半导体器件的质量和可靠性。
在航空航天行业中,等离子清洗机主要用于清洗航空航天器件的表面。
航空航天器件表面存在大量的油污、颗粒和化学污染物,这些污染物会对航空航天器件的工作性能产生不良影响。
等离子清洗机通过离子轰击、激活反应等作用,将污染物从表面去除,提高航空航天器件的质量和可靠性。
二、原理介绍具体来说,等离子清洗机的工作过程包括等离子体产生、气体传输、清洗、抽真空等步骤。
1.等离子体产生:等离子体是由气体分子或原子在电场的作用下电离产生的一种带电粒子。
等离子清洗机一般采用射频放电等方法产生等离子体。
2.气体传输:等离子体产生后,需要将其输送到清洗腔室。
等离子清洗机一般采用气体注入、气体喷射等方法实现气体的传输。
3.清洗:等离子体进入清洗腔室后,会与表面的污染物发生碰撞和解离反应。
等离子清洗机通过调节清洗气体、温度、压力和清洗时间等参数,以及设计合适的电场结构,实现对表面污染物的清洗效果。
4.抽真空:清洗完毕后,需要将清洗腔室内的气体抽出,使得被清洗表面不受任何污染。
等离子清洗机一般会配备真空泵,实现高度真空状态下的抽真空。
三、总结等离子清洗机是一种先进的表面清洗设备,广泛应用于电子、半导体、航空航天等领域的表面清洗工艺。
它通过利用等离子体技术,将气体转变为带电粒子,实现对表面的清洗效果。
其清洗原理是利用带电粒子加速到表面与污染物发生碰撞、吸附和解离反应。
等离子清洗机工作原理

等离子清洗机工作原理清洗是许多创造和加工过程中不可或者缺的一环。
传统的清洗方法包括机械清洗、化学清洗和热处理等,但随着科技的进步,等离子清洗机作为一种新型的清洗设备,逐渐被广泛应用于各个行业。
本文将详细介绍等离子清洗机的工作原理。
1. 等离子体的生成等离子清洗机的核心是等离子体的生成。
等离子体是由气体份子或者原子在高能电场的作用下失去或者获得电子而形成的带电粒子。
在等离子清洗机中,常用的气体有氢气、氮气和氧气等。
当这些气体通过高频电场或者电子束加热时,气体份子或者原子会发生电离,产生正离子和自由电子,形成等离子体。
2. 等离子体的清洗作用等离子体具有很强的化学活性和能量,可以对被清洗物表面的污染物进行清除。
等离子体清洗主要通过以下几个作用来实现:(1)化学反应:等离子体中的电子和离子与被清洗物表面的污染物发生化学反应,使其转化为易挥发的物质,从而实现清洗效果。
(2)物理冲击:等离子体中的离子具有较高的动能,可以对被清洗物表面的污染物进行物理冲击,使其脱落。
(3)氧化还原反应:等离子体中的氧离子可以与被清洗物表面的有机物发生氧化反应,将其转化为无机物,从而实现清洗效果。
3. 等离子清洗机的工作过程等离子清洗机的工作过程主要包括以下几个步骤:(1)真空抽取:首先,将待清洗的物体放入等离子清洗机的清洗室内,并通过真空泵将清洗室内的气体抽取至真空状态。
真空状态下,可以有效减少气体份子之间的碰撞,提高等离子体的密度和活性。
(2)气体注入:在清洗室内建立一定的气体环境,通常使用氢气、氮气或者氧气等气体。
通过控制气体的流量和压力,使气体在清洗室内形成一定的气氛。
(3)等离子体生成:通过高频电场或者电子束加热,使气体份子或者原子发生电离,产生正离子和自由电子,形成等离子体。
等离子体在清洗室内均匀分布,与待清洗物表面的污染物发生作用。
(4)清洗效果检测:在清洗过程中,可以通过监测清洗室内的气体成份和压力变化,以及被清洗物表面的污染物含量,来评估清洗效果。
等离子清洗机介绍及应用原理

等离子清洗机介绍及应用原理等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。
从通常的能量排布:气体>液体>固体的角度来说,等离子的能量比气体更高,能表现出一般气体所不具有的特性,所以也被称为物质的第四态。
当气体电离生成电子正离子一般在段时间内发生结合,回到中性分子状态,这个过程产生的电子、离子的一部分能量以电磁波等不同形式消耗,在分子离解时常生成自由基,生成的电子结合中性原子,分子形成负离子。
因此,整个等离子体是电子正负离子激发态原子,原子以及自由基的混合状态。
因为各种化学反应都是在高激发态下进行的,与经典的化学反应完全不同。
这样使等离子体的原子或分子的本性通常都发生改变,即使是较稳定的惰性气体也会变得具有很强的化学活泼性。
等离子体在电磁场的作用下高速运动,冲击物体表面,起到清洗、刻蚀、活化、改性的目的。
应用:1. 电子行业1.1 灌装- 提高灌注物的粘合性灌装是指通过灌注树脂来保护电子元件。
灌装前的等离子活化可以确保良好的密封性,减少电流泄露,提供很好的邦定性能。
灌装提供了绝缘性,还可以防止潮湿、高/低温、物理及电子应力的影响。
1.2 邦定板的清洁- 改善打线效果大气式等离子清洗机在邦定板的清洁领域。
在生产中,等离子笔可以很容易的集成到邦定机上,实现在线式清洁。
等离子笔的清洁效果比类似电晕放电等技术要好的多,而且处理的温度也更低。
低运行成本(工艺气体是压缩空气)、低设备成本使等离子笔在邦定清洁领域大受欢迎。
1.3 改善塑胶材料的胶接性能等离子技术很适合处理胶接前的塑料、金属、陶瓷、玻璃等材料。
在处理时可以在原子级别使表面粗糙化,从而提供更多的表面结合位置,改善粘合效果。
同时,还可以通过等离子中的活性原子化学性的改变表面,从而在基体材料表面形成很强的化学键。
这些急性键可以帮助水和粘合剂浸润到所有塑料缝隙中。
这样就可以极大地改善粘合性能。
在有些应用中,结合力甚至可以提高50倍以上。
等离子清洗机的原理及应用

等离子清洗机的原理及应用1. 等离子清洗机简介等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备,可以有效去除物体表面的污垢和有机物质,广泛应用于电子、航空航天、半导体等领域。
2. 等离子清洗机的工作原理等离子清洗机的工作原理是利用气体放电产生的低温等离子体对物体表面进行清洗。
具体过程如下: - 步骤1: 空气或其他气体被注入到清洗室中,形成一定的气压。
- 步骤2: 清洗室内的电极产生高压电场,导致气体分子离子化形成等离子体。
- 步骤3: 等离子体中的电子和离子以高速碰撞物体表面,将污垢和有机物质击碎。
- 步骤4: 清洗室内的真空泵将产生的气体和污垢抽出,完成清洗过程。
3. 等离子清洗机的主要组成部分等离子清洗机主要由以下几个组成部分组成: - 清洗室:用于装载待清洗的物体,通常是一个封闭的空间。
- 电极系统:包括正极和负极,产生高压电场和气体离子化。
- 高频电源:提供电能以产生等离子体。
- 抽真空系统:用于控制清洗室内的气压,同时抽出产生的气体和污垢。
- 控制系统:用于控制整个清洗过程的参数,如电场强度、气压等。
4. 等离子清洗机的应用等离子清洗机在各个领域都有广泛的应用,主要包括以下几个方面: - 电子行业:用于清洗半导体芯片、集成电路、显示屏等电子元器件,可以去除表面的有机物质和金属离子,提高元器件的可靠性和性能。
- 航空航天行业:用于清洗航空发动机叶片、涡轮、航天器外壳等零部件,可以去除表面的油脂、污垢和氧化层,提高零部件的使用寿命和工作效率。
- 医疗行业:用于清洗医疗器械、手术工具等,可以去除表面的细菌和血液等有害物质,提高器械的卫生安全性。
- 光学行业:用于清洗镜片、光学元件等,可以去除表面的指纹、油脂等污垢,提高光学器件的透光性和成像质量。
- 汽车行业:用于清洗汽车零部件,例如发动机缸体、气缸套等,可以去除表面的油污和氧化物质,提高零部件的使用寿命和性能。
5. 等离子清洗机的优势相比传统的清洗方法,等离子清洗机具有以下优势: - 高效清洗:等离子体产生的高速离子可以快速击碎物体表面的污垢和有机物质,清洗效率高。
等离子清洗机工作原理

等离子清洗机工作原理清洗是许多行业中必不可少的一个环节。
传统的清洗方法通常使用溶剂、碱性或酸性溶液,但这些方法存在一些问题,如对环境和人体健康的影响,以及清洗效果不佳等。
为了解决这些问题,等离子清洗机应运而生。
等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备。
它的工作原理是通过产生等离子体来清洗物体表面。
等离子体是一种高度激活的气体,由正、负离子以及自由电子组成。
在等离子清洗机中,通过加入能量源(如电弧、射频电场等),将气体激发成等离子体。
等离子体清洗的过程主要包括以下几个步骤:1. 气体激发:在清洗室中加入适当的气体,如氢气、氮气等。
通过加热或电弧放电等方式,使气体激发成等离子体。
2. 等离子体产生:等离子体在清洗室中形成,并释放出大量的能量。
这些能量可以分解污垢、氧化物等有机物,使其转化为气体或溶于溶液中。
3. 清洗作用:等离子体释放的能量可以破坏物体表面的化学键,并使其表面变得更加活性。
这样一来,污垢、油脂等有机物就可以被彻底清除。
同时,等离子体还可以杀灭细菌、病毒等微生物。
4. 气体排放:清洗过程中产生的气体会通过排气管道排放出去。
这些气体经过处理后,可以达到环境排放标准。
等离子清洗机具有许多优点:1. 高效清洗:等离子体释放的能量可以彻底清除物体表面的污垢,清洗效果非常好。
2. 环保健康:等离子清洗机使用的是气体作为清洗介质,不需要使用有害溶剂,对环境和人体健康无害。
3. 多功能性:等离子清洗机可以用于清洗各种材料,如金属、塑料、玻璃等。
4. 易操作:等离子清洗机采用自动化控制系统,操作简单方便。
5. 节能省电:等离子清洗机使用的是气体作为能量源,相比传统的溶剂清洗方法,能够节省能源。
需要注意的是,等离子清洗机在使用过程中也存在一些问题:1. 能耗较高:由于清洗过程需要产生等离子体,因此会消耗一定的能量。
2. 设备成本高:等离子清洗机的设备成本相对较高,对于一些小型企业来说可能难以承担。
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等离子清洗机应用及原理
一、金属表面去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
在这种情况下的等离子处理会产生以下效果:
1.1灰化表面有机层
-表面会受到化学轰击(氧下图)
-在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发
-污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
-紫外辐射破坏污染物
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚。
指纹也适用。
1.2氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应(下图)
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。
有时也采用两步处理工艺。
第一步先用氧气氧化表面5分钟,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。
也可以同时用几种气体进行处理。
1.3焊接
通常,印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。
在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。
1.4键合
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。
同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。
二、等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时,下图)。
处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。
不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。
等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。
刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。
等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
三、刻蚀和灰化
PTFE刻蚀
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。
众所周知,使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力,但是这种方法不容易掌握,同时溶液是有毒的。
使用等离子方法不仅仅保护环境,还能达到更好效果。
(下图)
等离子结构可以使表面最大化,同时在表面形成一个活性层,这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
PTFE混合物的刻蚀
PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。
处理气体可以是氧气、氢气和氩气。
可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。
同时,玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。
等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。
同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也可以处理。
•不需要用溶剂进行预处理
•所有的塑料都能应用
•具有环保意义
•占用很小工作空间
•成本低廉
等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证,处理过的样品表面完全被水润湿。
长时间的等离子处理(大于15分钟),材料表面不但被活化还会被刻蚀,刻蚀表面具有最大润湿能力。
常用的处理气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
五、等离子涂镀
聚合
在涂镀中两种气体同时进入反应舱,气体在等离子环境下汇聚合。
这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。
典型的应用是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。
涂镀层非常薄,通常为几个微米,此时表面的亲和力非常好。
常用的有3种情况
•防水涂镀—环己物
•类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
•亲水涂镀---乙烯醋酸
小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点,与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洁小型机具有以下优点:
1、可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、不会对人员的身体造成任何伤害。
3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
小型等离子设备广泛应用于等离子清洗和表面改性等场合。
通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
其具体应用包括:
1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化
玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是没有极性的,因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。
2、金属去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
焊接操作前:通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。
在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。
键合操作前:好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。
同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。
特点:
•操作简便、成本低廉
•高效真空电极
•气体流量通过流量计和针阀实现精确控制
•功率可在200W以内调节控制(完全能够能够满足清洁需要,200W以上功率用于刻蚀)
•自动阻抗匹配
•自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力
•安全保护功能:真空触发、舱门锁。
小型等离子清洗、刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于大学、科研机构高科技生产单位的以下场合:
•半导体开发
•集成电路开发
•真空电子行业
• TEM、SEM样品及支架清洁
•生命科学实验
与动辄十几万美元的大型产品相比具有以下优点
1、可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。
3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。
通过其处理,能够改善材料的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
其具体应用包括:
1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化
玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是没有极性的,因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。
2、金属去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
焊接操作前:通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。
在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。
键合操作前:好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。
同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。
3、等离子刻蚀
特点:
•操作简便、成本低廉
•处理舱可以分层方置样品
•高效真空电极
•气体流量通过流量计和针阀实现精确控制
•手动过程控制
•安全保护功能:真空触发、舱门锁。