等离子清洗机介绍及应用原理
宽幅等离子清洗机原理
宽幅等离子清洗机原理宽幅等离子清洗机是一种常用于清洗宽幅物料表面的设备，广泛应用于电子、印刷、纺织、塑胶等行业。
它采用等离子体技术，通过产生高能量的等离子体来清洗物料表面，能够有效去除表面污染物、氧化层和有机物，提高物料的表面质量。
宽幅等离子清洗机的工作原理主要包括气体离子化、等离子体产生、等离子体清洗和尘埃去除等步骤。
宽幅等离子清洗机将工作室内的气体经过高频高压电场的作用，使气体分子电离成正离子和电子。
同时，通过电场的作用，将正离子加速到一定能量，并形成高能量的等离子体。
然后，高能量的等离子体通过喷嘴喷射到待清洗的物料表面。
等离子体的高能量使其能够穿透物料表面的污染物、氧化层和有机物，与其发生物理化学反应，使其分解、去除或转化为易挥发的物质。
等离子体清洗过程中，等离子体与物料表面发生的反应主要包括化学反应、氧化反应和还原反应。
化学反应是指等离子体与物料表面的污染物发生化学反应，使其变为易挥发的物质；氧化反应是指等离子体与物料表面的氧化层发生氧化反应，使其还原为金属表面；还原反应是指等离子体与物料表面的有机物发生还原反应，使其变为无机物。
宽幅等离子清洗机通过吸附装置将产生的尘埃和挥发物吸附起来，保持工作室内的清洁环境。
同时，为了避免等离子体对物料表面的过度清洗，宽幅等离子清洗机还可以根据物料的不同特性和清洗要求，调节等离子体的能量、流量、喷射角度等参数。
宽幅等离子清洗机的原理基于等离子体技术，具有清洗效果好、操作简单、清洗速度快、环境友好等优点。
它可以适用于各种不同材料的清洗，如金属、玻璃、塑胶等。
同时，宽幅等离子清洗机还可以与其他设备进行联动，实现自动化生产线的清洗工艺。
总结起来，宽幅等离子清洗机通过产生高能量的等离子体来清洗宽幅物料表面，通过气体离子化、等离子体产生、等离子体清洗和尘埃去除等步骤实现清洗效果。
它的原理简单清晰，具有广泛应用前景和市场需求。
随着科技的不断发展，宽幅等离子清洗机将会在各个行业中得到更广泛的应用。
等离子清洗 原理
等离子清洗原理
等离子清洗是一种利用高能离子束清洗物体表面的技术。
其主要原理是通过电离气体，产生等离子体（即带电离子和自由电子）。
这些带电粒子能够与物体表面的污染物相互作用，并将其从物体表面解离和去除。
等离子清洗主要包含以下几个步骤：
1. 气体电离：将对物体表面污染物去除效果好的气体（如氢、氩、氧等）注入清洗室，并加入电流和高电压，使气体电离形成等离子体。
2. 等离子体生成：高能离子束通过电场加速，与气体原子或分子相互碰撞，产生新的离子和电子，形成等离子体。
3. 清洗处理：等离子束由于带有正电荷，会吸附和中和物体表面的负电荷（即污染物），从而使污染物解离并脱离物体表面。
等离子束还能通过碰撞使物体表面的残留物往往发生位移和释放。
4. 后处理：清洗结束后，等离子体失去电场加速，重新组合成气体。
物体表面可采用有效的方法对残留的污染物进行去除或处理。
等离子清洗具有高效、非接触和无损等特点，可以应用于许多工业领域，如半导体制造、航空航天等，用于清洗金属、陶瓷、玻璃等材料的表面。
等离子清洗机应用及原理
等离子清洗机应用及原理一、应用领域在电子行业中，等离子清洗机主要用于清洗电子元件的表面。
因为电子元件表面存在大量的有机污染物和灰尘，这些污染物会对元件的电性能产生不良影响。
等离子清洗机通过离子击穿、电子碰撞等作用，将污染物从表面去除，提高电子元件的质量和可靠性。
在半导体行业中，等离子清洗机主要用于清洗半导体硅片的表面。
半导体硅片表面存在大量的杂质、氧化物和胶粘剂，这些污染物会对半导体器件的电性能产生不良影响。
等离子清洗机通过高能离子撞击、化学反应等作用，将污染物从表面去除，提高半导体器件的质量和可靠性。
在航空航天行业中，等离子清洗机主要用于清洗航空航天器件的表面。
航空航天器件表面存在大量的油污、颗粒和化学污染物，这些污染物会对航空航天器件的工作性能产生不良影响。
等离子清洗机通过离子轰击、激活反应等作用，将污染物从表面去除，提高航空航天器件的质量和可靠性。
二、原理介绍具体来说，等离子清洗机的工作过程包括等离子体产生、气体传输、清洗、抽真空等步骤。
1.等离子体产生：等离子体是由气体分子或原子在电场的作用下电离产生的一种带电粒子。
等离子清洗机一般采用射频放电等方法产生等离子体。
2.气体传输：等离子体产生后，需要将其输送到清洗腔室。
等离子清洗机一般采用气体注入、气体喷射等方法实现气体的传输。
3.清洗：等离子体进入清洗腔室后，会与表面的污染物发生碰撞和解离反应。
等离子清洗机通过调节清洗气体、温度、压力和清洗时间等参数，以及设计合适的电场结构，实现对表面污染物的清洗效果。
4.抽真空：清洗完毕后，需要将清洗腔室内的气体抽出，使得被清洗表面不受任何污染。
等离子清洗机一般会配备真空泵，实现高度真空状态下的抽真空。
三、总结等离子清洗机是一种先进的表面清洗设备，广泛应用于电子、半导体、航空航天等领域的表面清洗工艺。
它通过利用等离子体技术，将气体转变为带电粒子，实现对表面的清洗效果。
其清洗原理是利用带电粒子加速到表面与污染物发生碰撞、吸附和解离反应。
等离子清洗机使用方法
等离子清洗机使用方法标题：等离子清洗机使用手册一、前言等离子清洗机是一种先进的清洗设备，广泛应用于各种行业，包括电子制造、医疗器械、航空航天等领域。
本手册将详细介绍等离子清洗机的使用方法，以确保用户能够正确、高效地操作设备，达到最佳清洗效果。
二、设备概述1. 设备外观和主要组成部分等离子清洗机外观精致，主要由控制面板、清洗室、电源系统和气体供给系统等组成。
用户在操作前应该熟悉设备的各个部分，以确保正确连接和使用。
2. 设备工作原理等离子清洗机利用等离子体技术，通过产生高能离子束，去除工件表面的有机和无机污染物。
清洗过程不会产生任何化学残留物，确保工件表面的完整性和洁净度。
三、操作步骤1. 设备准备在操作等离子清洗机之前，确保设备连接正常，电源和气体供给系统运行正常。
检查清洗室是否清洁，准备好待清洗的工件。
2. 设备启动按照设备启动顺序，打开电源开关，并启动气体供给系统。
等待设备自检完成后，进入控制面板界面。
3. 设置清洗参数根据待清洗工件的特性，设置清洗参数，包括清洗时间、等离子体功率等。
确保参数设置合理，以获得最佳的清洗效果。
4. 放置工件将待清洗工件放置在清洗室中，注意工件的摆放位置和方向。
确保工件表面暴露在等离子束的有效清洗区域内。
5. 启动清洗过程确认参数设置无误后，启动清洗过程。
等离子清洗机会根据预设参数自动完成清洗过程，用户无需手动干预。
6. 清洗完成和工件取出清洗过程完成后，等离子清洗机会发出提示。
关闭设备，等待清洗室内的压力降至安全范围后，打开清洗室门取出清洗后的工件。
四、注意事项1. 安全操作在操作等离子清洗机时，用户应注意安全，避免直接接触等离子束。
戴好相关的个人防护设备，确保清洗过程中不会对人体造成危害。
2. 定期维护定期对等离子清洗机进行维护，包括清洗室的清理、气体供给系统的检查和电源系统的维护等。
保持设备的良好状态，确保长时间稳定运行。
3. 参数调整根据不同工件的清洗要求，适时调整清洗参数。
真空等离子清洗机工作原理
真空等离子清洗机工作原理真空等离子清洗机是一种高新技术的清洗设备，它是利用气体离子化产生高能离子束，使表面附着的被清洗物质离解、脱落的过程中产生的电化学反应来实现清洗目的，从而达到高效、快速、彻底、无损伤的清洗效果。
下面我们来了解一下真空等离子清洗机的工作原理。
1.真空系统的工作原理真空等离子清洗机主要由真空系统和等离子源两部分组成。
在清洗过程中，首先要关闭所有的阀门，启动真空泵将清洗室的气体抽成真空，使出现的气体种类和数量尽量少，并且保证真空度符合清洗的需求。
真空泵的工作原理为连续抽排。
等离子源主要由高频发生器、电极和等离子体组成。
其工作原理为高频发生器将电源的交流电能转化为等离子体所需要的高频交流电能，经过电极将高频电流导入等离子体，使气体分子发生离子化，形成等离子体。
等离子体包括电子、正/负离子、活性物种等。
它们在电极的作用下，形成高能离子束，并对被清洗物质表面的杂质附着、污染的物质进行电离、活化、脱附等作用，使其达到清洗目的。
3.清洗室和等离子源的协调工作在清洗过程中，等离子体可以通过清洗室与被清洗物质表面进行物理和化学反应。
清洗室材料通常采用玻璃或不锈钢材料，其作用主要是用于承容被清洗样品和保护样品不受等离子体的破坏。
等离子源则通过电极来调整等离子体的数量和类型等参数，以便在清洗室内形成一个理想的等离子体状态。
同时，对于特殊材质的被清洗物，还需要对等离子源的参数进行适当的调整，保证清洗效果。
这些就是真空等离子清洗机的工作原理，当然，实际操作中需要根据被清洗物体和清洗要求来设置和调整一些参数和步骤。
通过科学的调整和操作，真空等离子清洗机可以达到高效、快速、彻底、无损伤的清洗效果。
等离子清洗机介绍及应用原理
等离子清洗机介绍及应用原理等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。
从通常的能量排布：气体>液体>固体的角度来说，等离子的能量比气体更高，能表现出一般气体所不具有的特性，所以也被称为物质的第四态。
当气体电离生成电子正离子一般在段时间内发生结合，回到中性分子状态，这个过程产生的电子、离子的一部分能量以电磁波等不同形式消耗，在分子离解时常生成自由基，生成的电子结合中性原子，分子形成负离子。
因此，整个等离子体是电子正负离子激发态原子，原子以及自由基的混合状态。
因为各种化学反应都是在高激发态下进行的，与经典的化学反应完全不同。
这样使等离子体的原子或分子的本性通常都发生改变，即使是较稳定的惰性气体也会变得具有很强的化学活泼性。
等离子体在电磁场的作用下高速运动，冲击物体表面，起到清洗、刻蚀、活化、改性的目的。
应用：1. 电子行业1.1 灌装- 提高灌注物的粘合性灌装是指通过灌注树脂来保护电子元件。
灌装前的等离子活化可以确保良好的密封性，减少电流泄露，提供很好的邦定性能。
灌装提供了绝缘性，还可以防止潮湿、高/低温、物理及电子应力的影响。
1.2 邦定板的清洁- 改善打线效果大气式等离子清洗机在邦定板的清洁领域。
在生产中，等离子笔可以很容易的集成到邦定机上，实现在线式清洁。
等离子笔的清洁效果比类似电晕放电等技术要好的多，而且处理的温度也更低。
低运行成本（工艺气体是压缩空气）、低设备成本使等离子笔在邦定清洁领域大受欢迎。
1.3 改善塑胶材料的胶接性能等离子技术很适合处理胶接前的塑料、金属、陶瓷、玻璃等材料。
在处理时可以在原子级别使表面粗糙化，从而提供更多的表面结合位置，改善粘合效果。
同时，还可以通过等离子中的活性原子化学性的改变表面，从而在基体材料表面形成很强的化学键。
这些急性键可以帮助水和粘合剂浸润到所有塑料缝隙中。
这样就可以极大地改善粘合性能。
在有些应用中，结合力甚至可以提高50倍以上。
等离子清洗机的原理及应用
等离子清洗机的原理及应用1. 等离子清洗机简介等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备，可以有效去除物体表面的污垢和有机物质，广泛应用于电子、航空航天、半导体等领域。
2. 等离子清洗机的工作原理等离子清洗机的工作原理是利用气体放电产生的低温等离子体对物体表面进行清洗。
具体过程如下： - 步骤1: 空气或其他气体被注入到清洗室中，形成一定的气压。
- 步骤2: 清洗室内的电极产生高压电场，导致气体分子离子化形成等离子体。
- 步骤3: 等离子体中的电子和离子以高速碰撞物体表面，将污垢和有机物质击碎。
- 步骤4: 清洗室内的真空泵将产生的气体和污垢抽出，完成清洗过程。
3. 等离子清洗机的主要组成部分等离子清洗机主要由以下几个组成部分组成： - 清洗室：用于装载待清洗的物体，通常是一个封闭的空间。
- 电极系统：包括正极和负极，产生高压电场和气体离子化。
- 高频电源：提供电能以产生等离子体。
- 抽真空系统：用于控制清洗室内的气压，同时抽出产生的气体和污垢。
- 控制系统：用于控制整个清洗过程的参数，如电场强度、气压等。
4. 等离子清洗机的应用等离子清洗机在各个领域都有广泛的应用，主要包括以下几个方面： - 电子行业：用于清洗半导体芯片、集成电路、显示屏等电子元器件，可以去除表面的有机物质和金属离子，提高元器件的可靠性和性能。
- 航空航天行业：用于清洗航空发动机叶片、涡轮、航天器外壳等零部件，可以去除表面的油脂、污垢和氧化层，提高零部件的使用寿命和工作效率。
- 医疗行业：用于清洗医疗器械、手术工具等，可以去除表面的细菌和血液等有害物质，提高器械的卫生安全性。
- 光学行业：用于清洗镜片、光学元件等，可以去除表面的指纹、油脂等污垢，提高光学器件的透光性和成像质量。
- 汽车行业：用于清洗汽车零部件，例如发动机缸体、气缸套等，可以去除表面的油污和氧化物质，提高零部件的使用寿命和性能。
5. 等离子清洗机的优势相比传统的清洗方法，等离子清洗机具有以下优势： - 高效清洗：等离子体产生的高速离子可以快速击碎物体表面的污垢和有机物质，清洗效率高。
等离子清洗机工作原理
等离子清洗机工作原理清洗是许多行业中必不可少的一个环节。
传统的清洗方法通常使用溶剂、碱性或酸性溶液，但这些方法存在一些问题，如对环境和人体健康的影响，以及清洗效果不佳等。
为了解决这些问题，等离子清洗机应运而生。
等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行清洗的设备。
它的工作原理是通过产生等离子体来清洗物体表面。
等离子体是一种高度激活的气体，由正、负离子以及自由电子组成。
在等离子清洗机中，通过加入能量源（如电弧、射频电场等），将气体激发成等离子体。
等离子体清洗的过程主要包括以下几个步骤：1. 气体激发：在清洗室中加入适当的气体，如氢气、氮气等。
通过加热或电弧放电等方式，使气体激发成等离子体。
2. 等离子体产生：等离子体在清洗室中形成，并释放出大量的能量。
这些能量可以分解污垢、氧化物等有机物，使其转化为气体或溶于溶液中。
3. 清洗作用：等离子体释放的能量可以破坏物体表面的化学键，并使其表面变得更加活性。
这样一来，污垢、油脂等有机物就可以被彻底清除。
同时，等离子体还可以杀灭细菌、病毒等微生物。
4. 气体排放：清洗过程中产生的气体会通过排气管道排放出去。
这些气体经过处理后，可以达到环境排放标准。
等离子清洗机具有许多优点：1. 高效清洗：等离子体释放的能量可以彻底清除物体表面的污垢，清洗效果非常好。
2. 环保健康：等离子清洗机使用的是气体作为清洗介质，不需要使用有害溶剂，对环境和人体健康无害。
3. 多功能性：等离子清洗机可以用于清洗各种材料，如金属、塑料、玻璃等。
4. 易操作：等离子清洗机采用自动化控制系统，操作简单方便。
5. 节能省电：等离子清洗机使用的是气体作为能量源，相比传统的溶剂清洗方法，能够节省能源。
需要注意的是，等离子清洗机在使用过程中也存在一些问题：1. 能耗较高：由于清洗过程需要产生等离子体，因此会消耗一定的能量。
2. 设备成本高：等离子清洗机的设备成本相对较高，对于一些小型企业来说可能难以承担。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
等离子清洗机介绍及应用原理
等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。
从通常的能量排布：气体>液体>固体的角度来说，等离子的能量比气体更高，能表现出一般气体所不具有的特性，所以也被称为物质的第四态。
当气体电离生成电子正离子一般在段时间内发生结合，回到中性分子状态，这个过程产生的电子、离子的一部分能量以电磁波等不同形式消耗，在分子离解时常生成自由基，生成的电子结合中性原子，分子形成负离子。
因此，整个等离子体是电子正负离子激发态原子，原子以及自由基的混合状态。
因为各种化学反应都是在高激发态下进行的，与经典的化学反应完全不同。
这样使等离子体的原子或分子的本性通常都发生改变，即使是较稳定的惰性气体也会变得具有很强的化学活泼性。
等离子体在电磁场的作用下高速运动，冲击物体表面，起到清洗、刻蚀、活化、改性的目的。
应用：1. 电子行业1.1 灌装- 提高灌注物的粘合性灌装是指通过灌注树脂来保护电子元件。
灌装前的等离子活化可以确保良好的密封性，减少电流泄露，提供很好的邦定性能。
灌装提供了绝缘性，还可以防止潮湿、高/低温、物理及电子应力的影响。
1.2 邦定板的清洁- 改善打线效果大气式等离子清洗机在邦定板的清洁领域。
在生产中，等离子笔可以很容易的集成到邦定机上，实现在线式清洁。
等离子笔的清洁效果比类似电晕放电等技术要好的多，而且处理的温度也更低。
低运行成本（工艺气体是压缩空气）、低设备成本使等离子笔在邦定清洁领域大受欢迎。
1.3 改善塑胶材料的胶接性能等离子技术很适合处理胶接前的塑料、金属、陶瓷、玻璃等材料。
在处理时可以在原子级别使表面粗糙化，从而提供更多的表面结合位置，改善粘合效果。
同时，还可以通过等离子中的活性原子化学性的改变表面，从而在基体材料表面形成很强的化学键。
这些急性键可以帮助水和粘合剂浸润到所有塑料缝隙中。
这样就可以极大地改善粘合性能。
在有些应用中，结合力甚至可以提高50倍以上。
2. 生物医疗2.1 活化- 改善细胞和生物材料对临床诊断平台的粘附性免疫诊断、细胞培养基及其他临床诊断培养基的平台大多是聚合物材料。
这些材料具有很好的惰性、机械稳定性。
它们不能提供足够的结合点来使细胞和具有生物活性的分子有效的结合在它们的表面。
为了细胞繁殖和生物分子吸附，必须对合成聚合物平台的表面进行改性来改善它们的性能。
2.2 氨化- 氨化为聚合物材料提供可结合生物和传感器分子的结合点在生物科学材料技术中，特别是细胞培养和医学诊断平台中，表面氨化是一个很重要的工艺。
氨基可以为惰性聚合物平台提供一个吸附生物和传感器分子的结合点。
2.3 其他功能性- 改善生物活性分子对细胞培养平台的选择性粘合
3.医疗器械 3.1 微流体器件微流体装置需要亲水性的表面以便于分析物可以持续平缓的流经用等离子体处理可以氧化微通道的表面，使它们变成亲水性，从而防止气泡的形成。
电动抽吸时的表面电荷密度同样会影响流动速率。
等离子体可以有效地促进带电表面的电渗透流动。
这是用等离子处理微流体器件的又一个好处。
3.2 医用导管- 通过减少蛋白质在导管上粘合来尽量减少凝血酶原，提高生物相容性。
为了在提高体内材料的生物相容性，等离子处理通过对表面进行特殊的改性从而大大提高了这些涂层的结合力度。
这是通过活化惰性表面来实现的。
这种处理的工艺取决于特定的基体材料、抗凝血酶的合成物以及期望的产品寿命。
3.3 药物输送- 解决药物粘附在计量腔壁上的问题带有计量腔体的药物输送装置不允许药物粘附在其内壁上。
通过等离子增加化学气相沉积（PECVD）可以把这种涂层很容易的粘附在大多数材料表面。
3.4 防止生物污染- 提高体内和体外医疗器械的生物相容性材料的表面能决定了浸润性、可印刷性、化学稳定性和生物污染等性能。
通常，高表面能的材料是亲水性的，对细胞和蛋白质等生物材料是可浸润的；低表面能的材料则表现出疏水和"不粘"的性质。
4. 光学领域4.1 镜片清洗清洗是等离子体最常见的应用。
等离子清洁机通常用来去
除有机薄膜。
去除表面上的有机污染层后就得到了非常清洁的表面。
4.2 隐形眼镜- 提高隐形眼镜的浸润性等离子体广泛的应用在隐形眼镜的生产中。
等离子用来在镀膜前活化镜片材料，也可用来侵蚀表面，暴露出下面的表层。
4.3 光纤- 改善光纤连接器的光学传输玻璃纤维的有机污染会降低传输率，影响一致性。
即使保持光学路径的清洁，塑料气泡、粘合剂的防气、指纹等也会造成有机污染。
等离子可以分解这些表面污染，使之变成惰性的和挥发性的气体。
5. 橡胶5.1 表面摩擦力- 减少密封条和O型圈的表面摩擦力具有弹性和可变形性的聚合物可用来制作密封条和O型圈。
但这些性能也会导致表面的摩擦和磨损。
等离子体通过可控的化学和物理改性可减少摩擦力。
5.2 粘结- 提高粘合剂对橡胶的粘结力橡胶材料很难粘合在橡胶或其他材料上。
使用等离子体中的离子加速撞击表面或化学刻蚀来选择性的改变表面形态，从而提供更多的结合点，提高粘合性。
6. 印刷电路板（PCB） 6.1 去孔内胶渣孔内去胶渣是目前等离子技术在PCB领域应用较多、较广的工艺。
胶渣也是以碳氢化合物为主，能够与等离子中的离子或自由基很容易的发生反应，生成挥发性的碳氢氧化合物，最后由抽真空系统带出。
6.2 特氟隆具有低传导性，是保证信号快速传输、绝缘性好的很好的材料。
但这些特性又使特氟隆很难进行电镀。
因此在镀铜之前必须先用等离子活化特氟隆的表面。
6.3 去除碳化物激光钻孔时产生的碳化物会影响孔内镀铜的效果。
可以用等离子体来去除孔内的碳化物。
针对FPC而言，在经压制，丝印等高污染工序后同样会有细小残胶留于铜面，在后续表面处理时造成漏镀，异色等问题，同样用等离子可去除表面残胶。
6.4 清洁功能电路板（FPC/PCB）表面清洁。
7. 光盘领域7.1 清洁- 光盘模板清洁7.2 钝化- 模板钝化第一次电铸生成的模板叫"父版". 在用"父版"生成"母版"前，首先要对"父版"进行氧化钝化。
同样地，在用"母版"生成"子版"前，也要对"母版"进行钝化。
7.3 改善- 消除复制污点聚碳酸脂较差的脱模性会使得当模板从模具上卸下时易被划伤和阻塞。
使用等离子体技术去除光刻胶时，可以减少大约70%的这些缺陷，硬斑点可减少10%，而DVD上的水纹则全部被消除。
用于半导体工业、太阳能以及平板显示器1 半导体行业1.1 晶圆制造：光刻胶的去除 1.2 微机电系统（MEMS）：SU-8胶的去除1.3 芯片封装：a) 引线焊盘的清洁b) 倒装芯片底部填充c) 改善封胶的粘合效果1.4 失效分析：拆装 2 太阳能电池：太阳能电池片的刻蚀 3 平板显示 3.1 ITO面板的清洁活化 3.2 光刻胶的去除 3.3 邦定点的清洁（COG）高分子材料等离子体技术在高分子科学上的应用，大致可分为三个方面：(1)等离子体聚合；(2)等离子体引发聚合；(3)高分子材料的等离子体表面改性。
膜材料离子体增强化学气相沉积(FACVD)、反应离子镀(ARE)、等离子体增强外延生长(PAE)等。
低温等离子体在薄膜技术中的应用，无疑是以等离子体化学反应为基础，充分研究和利用等离子体化学反应将在下列方面优化薄膜工艺：1、膜材质多样化，由单一的金属、介质膜，发展到有机化合物、高分子、金属有机化合物及它们的复合膜；2、膜结构多样化，已制备出非晶、微晶、多晶及交联状薄膜；3、膜性高功能化，通过控制反应物种、配比、反应条件，可以获得迭层、复合、共混、共聚等多种形态的薄膜，满足高功能要求，4、膜品质高优化。
充分发挥化学键结合和过渡、界面层理论，可以在各种基体上实现薄膜的超薄、致密、无针孔、均匀、结合强度高的薄膜; 5、膜生长低温化，部分无机化合物薄膜用CVD和FACVD在低温下生长，是等离子体化学反应降低成膜温度的一个例子。
等离子体化学成膜的基本原理是在室温或较低温度时，从外部给气体施加电磁场形成等离子态，这时由于气体发生离解，产生蒸气压很低的物质，它在固体表面沉积形成薄膜。
等离子体反应薄膜沉积可分为溅射、离子镀、等离子化学气相沉积、等离子表面改性和聚合等类型。
其中最引人注目的是等离子化学气相沉积方面的研究，最具代表性的是等离子体氮化硅膜（P-SiN）和等离子体氧化硅膜（P-SiO，P-PSG）。
等离子清洗机设备应用于：等离子体清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面
处理。
通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，进行涂覆、镀等操作，能够增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
作为等离子体应用技术的世界领先者，等离子设备广泛应用于航空国防、光电电子、集成电路、生命科学、纳米材料、半导体、科研、材料物理、汽车制造、光学仪器等领域。