半导体无尘室安全工作规范
无尘车间的安全管理制度
一、目的为确保无尘车间内生产安全，防止事故发生，保障员工生命财产安全，特制定本制度。
二、适用范围本制度适用于本厂所有无尘车间及其相关区域。
三、职责1. 车间主任负责无尘车间安全管理的全面工作，组织、协调、监督车间安全管理工作。
2. 安全管理人员负责无尘车间安全检查、事故调查、隐患整改等工作。
3. 员工应遵守本制度，积极参加安全教育培训，提高安全意识，自觉遵守操作规程。
四、安全管理措施1. 人员管理（1）所有进入无尘车间的人员必须经过培训，熟悉车间安全操作规程。
（2）进入无尘车间的人员必须穿戴清洁工作服、鞋帽，并按要求进行净化处理。
（3）禁止携带与生产无关的物品进入无尘车间。
2. 设备管理（1）设备必须定期检查、维护，确保设备安全运行。
（2）严禁使用非标设备、不合格设备。
（3）操作人员必须严格按照操作规程进行操作，不得擅自更改设备参数。
3. 环境管理（1）保持无尘车间清洁、整洁，定期进行消毒、杀虫处理。
（2）禁止在无尘车间内吸烟、饮食。
（3）严格控制温度、湿度、尘埃等环境因素，确保生产环境符合要求。
4. 防火安全管理（1）无尘车间应配备足够的消防设施，并定期检查、维护。
（2）严禁在无尘车间内使用明火、易燃易爆物品。
（3）电气设备必须符合防爆要求，电线敷设、安装要符合规范。
5. 事故管理（1）发生事故时，立即启动应急预案，组织救援。
（2）事故发生后，立即上报公司领导，配合相关部门进行调查、处理。
（3）对事故原因进行分析，制定整改措施，防止类似事故再次发生。
五、奖惩措施1. 对严格遵守本制度、在安全生产工作中表现突出的个人和集体给予表彰、奖励。
2. 对违反本制度、造成安全事故的个人和集体，依法依规追究责任。
六、附则1. 本制度由无尘车间主任负责解释。
2. 本制度自发布之日起实施。
无尘车间安全管理制度
一、总则为了保障无尘车间内工作人员的人身安全及财产安全，确保生产设备的正常运行，提高产品质量，根据国家有关法律法规和行业标准，结合我司实际情况，特制定本制度。
二、适用范围本制度适用于我司所有无尘车间及其相关人员。
三、安全责任1. 无尘车间主任对本车间的安全生产负全面责任，确保车间内各项安全措施落实到位。
2. 各岗位员工应严格遵守本制度，积极参与安全生产活动，对车间内的安全隐患有权提出批评和建议。
3. 安全生产委员会负责对无尘车间的安全生产进行监督、检查和指导。
四、安全管理措施1. 设备管理（1）车间内所有设备必须符合国家安全标准，并定期进行维护、保养。
（2）设备操作人员必须经过专业培训，取得操作资格证书后方可上岗。
（3）设备操作过程中，应严格按照操作规程进行，不得擅自改变设备参数。
2. 人员管理（1）新员工进入车间前，必须接受安全生产教育培训，考试合格后方可上岗。
（2）员工应熟悉本岗位的安全操作规程，严格遵守劳动纪律。
（3）车间内禁止吸烟、饮酒，禁止携带易燃易爆物品。
3. 环境管理（1）车间内应保持整洁、卫生，定期进行消毒、通风。
（2）车间内禁止存放无关物品，不得随意堆放废弃物。
（3）车间内应设置明显的警示标志，提醒员工注意安全。
4. 应急管理（1）车间内应配备必要的应急救援设施，如灭火器、急救箱等。
（2）员工应熟悉应急救援设施的使用方法，掌握应急逃生路线。
（3）发生事故时，应立即启动应急预案，及时报告上级领导，确保事故得到妥善处理。
五、监督检查1. 安全生产委员会定期对无尘车间的安全生产进行监督检查，发现问题及时整改。
2. 员工有权对车间内的安全隐患进行举报，车间主任应及时处理。
3. 对违反本制度的行为，视情节轻重给予警告、罚款、降职、解聘等处分。
六、附则1. 本制度由安全生产委员会负责解释。
2. 本制度自发布之日起实施，原有相关规定与本制度不符的，以本制度为准。
3. 本制度如有未尽事宜，可根据实际情况予以补充和修改。
半导体厂房安全管理制度
第一章总则第一条为确保半导体厂房内工作人员及设备的安全，预防安全事故的发生，保障公司财产安全，根据国家有关安全生产法律法规，结合公司实际情况，特制定本制度。
第二条本制度适用于公司所有半导体厂房及其相关配套设施，包括但不限于生产车间、仓库、实验室、办公区等。
第三条本制度旨在规范半导体厂房的安全管理，明确各部门、各岗位的安全责任，加强安全教育和培训，提高全员安全意识，确保公司安全生产目标的实现。
第二章安全责任第四条公司成立安全管理部门，负责全面负责半导体厂房的安全管理工作。
第五条各部门负责人对本部门半导体厂房的安全管理工作负直接责任。
第六条各岗位员工对本岗位工作区域的安全负直接责任。
第七条公司定期对各部门、各岗位的安全责任落实情况进行检查，对未履行或未正确履行安全责任的行为，追究相关责任。
第三章安全教育培训第八条公司定期组织安全教育培训，提高员工安全意识和技能。
第九条新员工入职前必须接受公司统一的安全教育培训，考核合格后方可上岗。
第十条定期组织安全知识竞赛、应急演练等活动，增强员工的安全防范能力。
第四章安全检查与隐患排查第十一条公司定期开展安全检查，对检查中发现的安全隐患，要求相关部门立即整改。
第十二条各部门应定期对本部门负责的区域进行安全隐患排查，发现隐患及时上报。
第十三条对重大安全隐患，应立即停止作业，采取有效措施进行整改，整改合格后方可恢复作业。
第五章安全设施与设备第十四条公司为半导体厂房配备必要的安全设施与设备，如消防器材、防护用品、通风设备等。
第十五条安全设施与设备应定期检查、维护，确保其正常使用。
第十六条安全设施与设备不得擅自拆除、损坏或挪作他用。
第六章应急管理第十七条公司建立健全应急管理体系，制定应急预案，明确应急组织机构、职责和程序。
第十八条各部门应定期组织应急演练，提高应对突发事件的能力。
第十九条发生安全事故时，立即启动应急预案，采取有效措施，最大限度地减少损失。
第七章附则第二十条本制度由公司安全管理部门负责解释。
无尘室操作安全操作规程
无尘室操作安全操作规程无尘室，又称为洁净室，是一种特殊的作业环境，主要用于对产品或材料进行高度洁净的处理和制造。
无尘室内空气中的微尘数量严格控制，以确保产品的质量和可靠性。
在无尘室内操作时，必须严格按照安全操作规程进行，以防止污染和事故的发生。
首先，进入无尘室前的准备工作非常重要。
无尘室内严格限制异物进入，因此在进入无尘室之前，必须穿戴适当的无尘服和鞋套，并戴上防尘帽和口罩。
此外，还需对手部进行彻底的清洁，并使用洗手液进行消毒。
只有确保了自身的清洁，才能确保无尘室内的环境不被污染。
其次，使用无尘室内的设备和工具时，必须遵循正确的操作步骤。
操作人员应严格按照规定的程序和方法进行操作，避免操作失误导致的事故和污染。
在使用设备之前，应先检查设备的运行状况是否正常，并按照要求进行设备开启和关闭的步骤。
在操作过程中，应注意保持设备的清洁和维护，定期进行清洗和消毒以防止细菌滋生和交叉污染。
同时，无尘室内也存在着一些特殊的操作要求和限制。
例如，对于易燃易爆物品的操作，必须在无尘室内严格控制静电和火源，以防止发生火灾和爆炸事故。
在操作过程中，应使用防爆工具和设备，并定期对设备进行维护和检查。
此外，对于一些有毒性物质的操作，必须采取措施防止毒物泄露和扩散，如在操作过程中配备合适的防护装备和通风设备，以确保操作人员的安全。
另外，在无尘室内进行工作时，严禁随意进食、吸烟和饮食。
这不仅会对无尘室内的洁净度造成污染，还有可能导致食品残渣进入产品或材料中，影响产品的质量。
因此，无尘室内应设置专门的食堂和吸烟区，工作人员在需要休息时方可进入相应的区域。
最后，无尘室的安全意识培养非常重要。
所有操作人员在进入无尘室之前必须接受安全培训，并了解相关操作规定和注意事项。
定期组织安全会议，分享安全经验和教训，加强操作人员的安全意识。
同时，建立健全的安全管理制度和监管机制，对无尘室内的操作进行监督和检查，确保工作的安全进行。
总之，无尘室操作的安全操作规程至关重要。
无尘净化车间安全操作及保养规程
无尘净化车间安全操作及保养规程前言无尘净化车间是用于生产高端产品的特殊环境，在生产过程中安全操作和保养是非常重要的。
本文档旨在规范工作人员在无尘净化车间中的操作流程和保养方式，以确保生产过程的安全，保证产品的质量。
安全操作规程1.着装要求在进入无尘净化车间之前，必须穿着合适的工作服、防静电服和鞋套。
工作服必须清洁，防静电服必须穿脱正确，鞋套必须完全包裹住鞋子。
2.进出车间程序进出无尘净化车间时，必须严格按照规定程序操作，保持车间的内外环境清洁。
工作人员须先在换鞋区、更衣区更换鞋套、工作服和防静电服，然后进行身体消毒后，方可进入车间。
退出车间时，要先进行身体消毒，然后在更衣区更换衣物和鞋套。
3.工具和设备在无尘净化车间进行作业时，使用的工艺工具必须清洁，保持无尘状态。
设备必须定期检修，确保正常工作。
4.使用材料在无尘净化车间进行作业时，使用的材料必须精细、无尘、无毒。
选用材料应根据产线工艺规定，选择符合质量标准的材料。
5.保持车间清洁无尘净化车间是一个非常特殊的生产环境，需要保持车间的清洁和整洁。
在操作结束后，应该及时清理工作区域，保持其无尘状态。
6.食品和饮料在无尘净化车间中，任何形式的食品和饮料都是禁止的。
工作人员不得在车间内进食或饮水。
7.防止火灾无尘净化车间中应该禁止吸烟、火源和静电等物品。
特别注意防止火源进入车间。
保养规程1.环境温度和湿度无尘净化车间的环境温度和湿度是非常重要的。
目标温度应该在18℃ ~ 24℃之间，相对湿度应该在45% ~ 65%之间。
必须保持恒定的环境温度和湿度，以确保生产质量。
2.空气过滤设备空气过滤设备是保持无尘净化车间内环境无尘的重要设备。
定期对其进行维护，保持其良好的运作状态。
3.工艺设备定期对生产过程中使用到的工艺设备进行维护，保持其正常工作状态，减少故障发生率，确保生产的顺利进行。
4.清洗和消毒无尘净化车间必须定期进行清洗和消毒。
清洗和消毒应该按照特定的标准要求进行，并记录相关信息。
无尘室装修工程安全操作规定
无尘室装修工程安全操作规定前言无尘室是指在通风、过滤、洁净技术等方面采取措施，达到一定的洁净度，以满足特定的生产和科研要求的封闭空间。
在无尘室装修工程中，由于涉及到环境卫生和安全方面的问题，必须严格遵守相关安全操作规定，以保证人身安全和装修工程质量。
本文将为大家详细介绍无尘室装修工程的安全操作规定。
一、环境卫生1.无尘室装修工程必须在保证施工现场卫生干净的情况下进行。
施工现场应经常清理，尤其是在喷涂喷淋和焊接工作时，必须保持环境干净，并通过通风设备来排放空气中的有害物质。
2.在施工现场，不得随意乱扔垃圾，必须将垃圾放到指定的垃圾桶中。
垃圾桶应该密闭，以防止污染施工环境。
3.施工现场工人应在干净的施工区域内工作，尽量减少施工区域内的移动，以避免扬尘和污染施工区域。
二、施工安全1.在施工现场，应设立专人负责安全管控工作，规范管理施工现场的安全工作，如设置安全警示牌、分配特定施工区等。
并且所有施工人员必须接受必要的安全培训，并具备必要的施工技能和安全意识。
2.搭建脚手架、安装设备和使用吊装工具时，必须符合相关规定。
有关安装、拆卸、移动梯子的标准、使用方法或是安全工作注意事项，应在现场操作前集中进行培训，以保证在操作过程中的人身安全。
3.施工现场工人必须穿着必要的劳动防护用品，如口罩、手套、防护衣等，并根据施工环境的具体情况来选择不同的劳动防护用品。
对于在施工中涉及到用电时，除了根据电压等级来选用适合的劳保用品外，还必须按照国家有关规定进行线路及电器的保护措施。
三、设备安全1.在无尘室装修工程中，设备的安全也是一个重要环节。
安装设备时必须注意其合理性，所选用的材料、设备必须符合国家有关标准和规定，并应经过严格的质量检验。
2.设备运行过程中，应设置相应的保护措施以防止出现危险或意外情况。
如发现异常情况，必须及时报告并进行维修或更换。
在设备停机维修时，必须严格按照保险锁的使用规定进行操作，并注意防止误触启动。
无尘车间的管理制度及规范
无尘车间的管理制度及规范无尘车间是现代工业生产中的关键环节，它为保证产品质量和生产效率提供了一个洁净的工作环境。
要确保无尘车间的正常运行，必须建立起严格的管理制度和规范。
本文将就无尘车间的管理制度及规范进行探讨。
一、无尘车间的管理制度1. 安全管理制度无尘车间是一个对人员和设备都要求高度安全的工作环境。
针对无尘车间的特点，需要制定相关的安全管理制度，并确保所有工作人员严格遵守。
该制度包括下列方面：（1）工人必须佩戴符合规范的个人防护装备，如无尘服、防护眼镜等；（2）严禁携带易燃物品进入无尘车间；（3）设立应急预案，防患于未然。
2. 进出管理制度无尘车间的进出管理是保障洁净环境的重要环节。
制定适当的进出管理制度，对工作人员和物品的进出进行监控和管制是必要的。
该制度包括以下要点：（1）使用电子身份识别系统，对人员进行有效的身份认证；（2）定期对工作人员进行培训，保证他们了解进出管理制度；（3）监控视频监测系统，监控进出口的情况。
3. 清洁管理制度无尘车间的清洁管理是确保洁净度的重要手段之一。
建立完善的清洁管理制度，保证无尘车间的正常运行和生产质量。
该制度包括以下内容：（1）定期进行清洁消毒，确保无尘车间的洁净度；（2）设立专门的清洁人员，负责对无尘车间进行日常清洁；（3）传递做好无尘车间清洁的意识和方法，提高员工的自觉性。
4. 设备维护制度无尘车间中的设备对保持洁净环境至关重要，因此建立设备维护制度是非常重要的。
制定相应的维护计划和流程，并确保全面执行，做到防患于未然。
该制度包括以下方面：（1）定期对设备进行保养和维修；（2）建立设备维护记录，记录设备的使用情况和维护细节；（3）指定专人负责设备维护，确保及时有效。
二、无尘车间的管理规范1. 工作人员要求（1）工作人员应接受严格的培训，熟悉无尘车间管理制度及规范；（2）禁止在无尘车间内吃东西、吸烟或嚼口香糖等；（3）不得擅自更换或移动无尘车间内的设备和物品。
无尘操作室规程细则
无尘操作室规程细则随着科技的不断发展和人们对卫生要求的日益提高，无尘操作室应运而生。
无尘操作室是一种具备特殊环境条件的工作场所，用于进行高精度、高要求的工作操作，如电子器件制造、医疗手术等。
为了确保无尘操作室的正常运行和有效性，规程细则的制定和执行至关重要。
一、无尘操作室准入规定1.1 工作人员进入无尘操作室前，必须接受相应的培训，了解无尘操作室的重要性、原理和规范操作流程。
1.2 所有人员进入无尘操作室前，应穿戴干净的工作服，并进行必要的防护措施，如戴口罩、帽子等，以防止外部细菌、尘埃等物质的进入。
1.3 工作人员在进入无尘操作室前，应接受定期的身体健康检查，确保身体健康状况符合操作室的要求。
二、无尘操作室内的严格卫生要求2.1 对于无尘操作室内的地面，应保持干净整洁，定期进行清洁和消毒，避免灰尘和细菌的滋生。
2.2 无尘操作室内的工作台和设备应定期进行清洁和消毒，以保持表面的干净和无菌状态。
2.3 在无尘操作室内禁止食物和饮料的进入，以避免杂物的留存和细菌的滋生。
2.4 工作人员在无尘操作室内工作时应注意个人卫生，如勤洗手、戴手套等，避免细菌的传播和污染。
三、无尘操作室气流控制规范3.1 无尘操作室内的气流控制应符合标准，确保操作室内的空气质量符合要求。
必要时应使用空气净化设备进行过滤和净化，确保无尘操作室内的空气干净无菌。
3.2 在无尘操作室内，应设立合适的排风系统，及时排除室内污浊空气，保持良好的空气流通。
四、物料和工具的管理4.1 无尘操作室内的物料和工具应定期检查，确保其无尘、无菌。
4.2 物料和工具进入无尘操作室前，应进行相应的消毒和清洁，以防止细菌和污染物的带入。
4.3 所使用的工具应专为无尘操作设计，减少粉尘和细菌的产生，并定期进行维护和清洁。
五、防静电措施5.1 在无尘操作室内，应采取必要的防静电措施，避免静电对设备和物料造成的损害。
5.2 工作人员应穿戴防静电工作服，并使用合适的防静电工具、设备，以减少静电的产生。
无尘室管理规定
无尘室管理规定无尘室是一种特殊的工作环境，为了确保无尘室的正常运营和保持房间内的洁净度，必须制定严格的管理规定。
下面是无尘室管理规定的内容：1. 进入无尘室人员必须进行严格的培训，了解无尘室的使用规定和操作流程，并签署了解规定的文件。
2. 进入无尘室前必须穿戴适当的防护服，并进行适当的消毒处理，如洗手、穿戴手套等。
3. 进入无尘室的物品必须经过清洁和消毒处理，禁止携带灰尘、细菌等污染物进入无尘室。
4. 进入无尘室的人员不得携带金属物品，如钥匙、手机等有可能产生静电的物品。
5. 运输和存放无尘室所需的材料必须进行严格的包装和标示，以防止材料在运输和存放过程中受到污染。
6. 在无尘室中进行工作时，必须按照规定的工作程序进行，禁止随意更改操作流程。
7. 进行无尘室工作时，必须使用清洁剂和器具进行清洁和维护，及时清除产生的灰尘和污垢。
8. 禁止在无尘室中食用食物和饮用水，以防止食物和液体的进入给无尘室带来污染。
9. 在无尘室中必须禁止吸烟，以免烟雾、灰尘和烟灰污染无尘室空气。
10. 在无尘室工作结束后必须及时清理工作区域，保持无尘室的整洁和清洁。
11. 定期对无尘室内的空气质量进行检测，以确保无尘室的洁净度符合标准。
12. 对于无尘室中出现的污染物或故障，必须及时进行处理和修复，防止污染物和故障传播和扩大。
13. 进行无尘室工作的人员必须按照规定的工时进行工作，不得随意加班或擅自进入无尘室。
14. 无尘室管理部门必须定期进行培训和考核，确保员工对无尘室管理规定的了解和遵守。
以上是无尘室管理规定的一些基本内容，通过制定、执行和监督这些规定，可以保证无尘室的正常运营，并提高工作效率和产品质量。
无尘车间的安全管理制度
一、目的为确保无尘车间内工作人员的生命财产安全，保障生产活动的顺利进行，防止事故的发生，特制定本安全管理制度。
二、适用范围本制度适用于公司所有无尘车间及进入无尘车间的工作人员。
三、组织机构与职责1. 安全管理部门：负责无尘车间的安全管理、监督和检查，制定安全管理制度，组织安全教育培训，确保各项安全措施落实到位。
2. 车间主任：负责本车间的日常安全管理，监督员工遵守安全规章制度，定期组织安全检查，确保生产安全。
3. 员工：遵守本制度，提高安全意识，正确使用生产设备，积极参与安全管理。
四、安全管理制度1. 人员管理（1）进入无尘车间的人员必须经过专业培训，掌握无尘车间的安全操作规程。
（2）进入无尘车间的人员需穿戴符合规定的无尘服、无尘鞋、无尘帽等防护用品。
（3）禁止携带非生产必需品进入无尘车间。
2. 设备管理（1）设备必须定期检查、保养，确保设备正常运行。
（2）操作设备时，必须遵守操作规程，严禁违规操作。
（3）设备发生故障，应立即停止使用，报告上级，并采取相应措施。
3. 消防安全管理（1）无尘车间应配备足够的消防器材，并定期检查、更换。
（2）禁止在无尘车间内吸烟、使用明火。
（3）无尘车间内禁止存放易燃、易爆物品。
4. 环境安全管理（1）无尘车间内空气质量应符合国家相关标准。
（2）定期进行环境监测，确保无尘车间内空气质量达标。
（3）禁止在无尘车间内进行可能产生污染的活动。
5. 事故处理（1）发生安全事故，应立即停止生产，报告上级，并采取相应措施。
（2）对事故原因进行调查，制定整改措施，防止类似事故再次发生。
（3）对事故责任者进行严肃处理。
五、培训与教育1. 公司应定期对无尘车间工作人员进行安全教育培训，提高员工的安全意识。
2. 培训内容包括：安全规章制度、操作规程、事故案例分析等。
六、监督检查1. 安全管理部门应定期对无尘车间进行安全检查，发现问题及时整改。
2. 员工应积极参与安全管理，对发现的安全隐患及时报告。
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半导体无尘室安全工作规范 一、无尘室须知 1. 进入无尘室前，必须知会管理人，并通过基本训练。 2. 进入无尘室严禁吸烟，吃(饮)食，外来杂物(如报章，杂志，铅笔...等)不可携入，并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。 3. 进入无尘室前，需在规定之处所脱鞋，将鞋置于鞋柜内，外衣置于衣柜内，私人物品置于私人柜内，柜内不可放置食物。 4. 进入无尘室须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐，再经空气洗尘室洗尘，并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。 5. 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住为原则，以免呼吸时污染芯片。 6. 穿著无尘衣，无尘帽前应先整理服装以及头发，以免着上无尘衣后，不得整理又感不适。 7. 整肃仪容后，先戴无尘帽，无尘帽的穿戴原则系: (1)头发必须完全覆盖在帽内，不得外露。 (2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上，穿上工作衣后，方不致下摆脱出，裸露肩颈部。 8. 无尘帽戴妥后，再着无尘衣，无尘衣应尺吋合宜，才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞，穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态，无尘衣不可反穿。 9. 穿著无尘衣后，才着鞋套，拉上鞋套并将鞋套整平，确实盖在裤管之上。 10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染)，戴上手套后，应将手套之手腕置于衣袖内，以隔绝污染源。 11. 无尘衣着妥后，经洗尘，并踩踏除尘毯，方得进入无尘室。 12. 不论进入或离开无尘室，须按规定在更衣室脱无尘衣，不可在其它区域为之，尤不可在无尘室内边走边脱。 13. 无尘衣，鞋套等，应定期清洗，有破损，脱线时，应即换新。 14. 脱下无尘衣时，其顺序与穿著时相反。 15. 脱下之无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。 16. 更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规定物品外，不得放置其它物品。 17. 除规定纸张及物品外，其它物品一概不得携入无尘室。 18. 无尘衣等不得携出无尘室，用毕放置于规定处所。 19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。 20. 任何东西进入无尘室，必须用洒精擦拭干净。 21. 任何设备的进入，请知会管理人，在无尘室外擦拭干净，方可进入。 22. 未通过考核之仪器，禁止使用，若遇紧急情况，得依紧急处理步骤作适当处理，例如关闭水、电、气体等开关。 23. 无尘室内绝对不可动火，以免发生意外。 二、无尘室操作须知 1. 处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用： (1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。 (2) 芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。 (3) 把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。 2. 芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。 3. 避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。 4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。 5. 芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。 6. 操作时，不论是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。 7. 使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。 8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。 9. 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。 10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。 11. 非经指示，绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。 12. 奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。 13. 仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。 14. 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。 15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。 三、黄光区操作须知 1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。 2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。 3. 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。 4. 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。 5. 曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。 四、镊子使用须知 1. 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。 2. 唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。 3. 镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，不可和实验室内各站之镊子混合使用。 4. 持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。 5. 挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。 6. 挟取芯片时，"短边" (锯状头)置于芯片正面，"长边" (平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。 7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。 8. 镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途。 五、化学药品使用须知 1. 化学药品的进出须登记，并知会管理人，并附上物质安全资料表（MSDS）于实验室门口。 2. 使用化学药品前，请详读物质安全资料表(MSDS)，并告知管理人。 3. 换酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸长袖手套，头戴护镜，脚着塑料防酸鞋，始可进行换酸工作。 4. 不得任意打开酸瓶的盖子，使用后立即锁紧盖子。 5. 稀释酸液时，千万记得加酸于水，绝不可加水于酸。 6. 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品。 7. 不明容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。 8. 所有化学药品之作业均须在通风良好或排气之处为之。 9. 操作各项酸液时须详读各操作规范。 10. 酸类可与碱类共同存于有抽风设备的储柜，但绝不可与有机溶剂存放在一起。 11. 废酸请放入废酸桶，不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。 12. 废弃有机溶液置放入有机废液桶内，不可任意倾倒或倒入废酸桶内。 13. 勿任意更换容器内溶液。 14. 欲自行携入之溶液请事先告知经许可后方可携入，如果欲自行携入之溶液具有危险性时，必须经评估后方可携入，并请于容器上清楚标明容器内容物及保存期限。 15. 废液处理：废液分酸、碱、氢氟酸、有机、等，分开处理并登记，回收桶标示清楚，废液桶内含氢氟酸等酸碱，绝对不可用手触碰。 16. 漏水或漏酸处理：漏水或漏酸时，为确保安全，绝对不可用手触碰，先将电源总开关与相关阀门关闭，再以无尘布或酸碱吸附器处理之，并报备管理人。 六、化学工作站操作 1. 操作时须依规定，戴上橡皮手套及防护口罩。 2. 不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。 3. 添加任何溶液前，务必事先确认容器内溶剂方可添加。 4. 在化学工作站工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至化学槽及清洗槽之上方，一方面可防止危险发生，另一方面亦减少污染机会。 5. 化学站不操作时，有盖者应随时将盖盖妥，清洗水槽之水开关关上。 6. 化学药品溅到衣服、皮肤、脸部、眼睛时，应即用水冲洗溅伤部位15分钟以 上，且必须皮肤颜色恢复正常为止，并立刻安排急救处理。 7. 化学品外泄时应迅速反应，并做适当处理，若有需要撤离时应依指示撤离。 8. 各化学工作站上使用之橡皮手套，避免触碰各机台及工作台，及其它器具等物，一般操作请戴无尘手套。 七、RCA Method 1. DI Water 5min 2. H2SO4:H2O2=3:1 煮10~20min 75~85℃，去金属、有机、油 3. DI Water 5min 4. HF:H2O 10~30sec，去自然氧化层(Native Oxide) 5. DI Water 5min 6. NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮10~20min 75~85℃，去金属有机 7. DI Water 5min 8. HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮10~20min 75~85 ℃ 去离子 9. DI Water 5min 10. Spin Dry 八、清洗注意事项 1. 有水则先倒水﹐H2O2最后倒﹐数字比为体积比。 2. 有机与酸碱绝对不可混合﹐操作平台也务必分开使用。 3. 酸碱溶液等冷却后倒入回收槽﹐并以DI Water冲玻璃杯5 min。 4. 酸碱空瓶以水清洗后﹐并依塑料瓶﹐玻璃瓶分开置于室外回收筒。 5. 氢氟酸会腐蚀骨头﹐若碰到立即用葡萄酸钙加水涂抹，再用清水冲洗干净，并就医。碰到其它酸碱则立即以DI Water大量冲洗。 6. 清洗后之Wafer尽量放在DI Water中避免污染。 7. 简易清洗步骤为1-2-9-10；清洗SiO2步骤为1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。 8. 去除正光阻步骤为1-2-10，或浸入ACE中以超音波振荡。 9. 每个玻璃杯或槽都有特定要装的溶液﹐蚀刻、清洗、电镀、有机绝不能混合。 10. 废液回收分酸、碱、氢氟酸、电镀、有机五种，分开回收并记录，倾倒前先检查废弃物兼容性表，确定无误再倾倒。 无尘室系统 使用操作方法 1. 首先打开控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关。 注意: ＊ 温度控制器及湿度控制器可由黄色钮调整，一般温度控制为20℃ DB ，湿度控制为50% RH。 ＊ 左侧的控制器面板上电压切换开关为【RU】，电流切换开关为【T】。右侧的控制器面板上电压切换开关为【RS】，电流切换开关为【OFF】。 2. 将箱型空气调节机的送风关关打开，等送风稳定后再将冷气暖气开关打开，此时红色灯会亮起，表示正常运作。 注意: ＊ 冷气的起动顺序为压缩机【NO.2】。 ＊ 温度调节为指针指向红色暖气【5】。 ＊ 分流开关AIR VALVE 为【ON】。 3. 无尘室使用完毕后，要先将箱型空气调节机关闭，按【停止】键即可。 4. 再将控制器面板上的【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关依序关闭。