汽车轮胎压力传感器芯片与应用
气压传感器芯片
气压传感器芯片气压传感器芯片（Pressure Sensor Chip）是一种能够实时测量气压变化的电子元件。
它广泛应用于气象观测、工业自动化、汽车电子、医疗仪器等领域。
作为一种微型化的传感器，气压传感器芯片通常由压力传感器、信号转换电路和数据处理电路组成。
压力传感器部分主要包括感应元件和封装材料。
感应元件可以是微型电阻应变器、微弯曲驱动器、厚膜共振器等。
封装材料可以是有机聚合物、玻璃、陶瓷等。
信号转换电路将感应元件的物理信号转变为电气信号。
数据处理电路则用于放大、滤波、线性化和数字化处理电信号。
气压传感器芯片的工作原理通常是基于压电效应、电阻效应或共振效应。
其中，压电效应是最常见的工作原理之一。
当外界施加压力时，感应元件会发生形变，进而改变其电阻或电容，从而产生相应的电信号。
气压传感器芯片有许多优点。
首先，它具有高精度和高灵敏度，能够准确测量气压的微小变化。
其次，它具有快速响应的特点，能够实时监测气压的变化。
此外，气压传感器芯片的体积小、重量轻，便于集成和安装，适用于各种场合。
此外，它还具有低功耗和低成本的优点，能够在长时间使用和大规模生产中发挥出色的性能。
气压传感器芯片在各个领域都有广泛的应用。
在气象观测领域，气压传感器芯片可以用于监测大气压力的变化，预测天气变化。
在工业自动化领域，它可以用于测量液体和气体的压力，实现工艺控制和质量监测。
在汽车电子领域，它可以用于测量胎压，提高行车安全性。
在医疗仪器领域，它可以用于测量血压、呼吸压力等生理指标，帮助医生进行诊断和治疗。
尽管气压传感器芯片具有许多优点和广泛的应用前景，但也面临一些挑战。
首先，高精度和高性能的芯片需要先进的制造工艺和精湛的技术。
其次，应用场景的多样性和复杂性要求芯片具有更高的可靠性和适应性。
最后，与其他传感器芯片相比，气压传感器芯片的市场需求相对较小，竞争激烈。
为应对这些挑战，研究人员和企业致力于提高气压传感器芯片的性能和可靠性、降低成本，拓宽应用领域。
轮胎压力传感器 原理
轮胎压力传感器原理
轮胎压力传感器是一种用于测量车辆轮胎内压力的装置。
它可以帮助车主监测并调整轮胎压力，以确保车辆在行驶过程中的安全性和性能。
该传感器通常由以下组件组成：压力传感器、信号处理器、无线通信模块和电池。
压力传感器位于轮胎内部，并通过气嘴与轮胎外部连接。
当轮胎内气压发生变化时，传感器会感应到这一变化，并将信号发送到信号处理器。
信号处理器会对接收到的信号进行处理和转换，将压力值转化为数字信号，并进行校准和补偿。
然后，处理器会将处理后的数据发送到无线通信模块。
无线通信模块负责将处理后的数据通过无线信号发送给车辆上的显示屏或其他接收设备。
通过这种方式，车主可以实时监测每个轮胎的压力情况。
轮胎压力传感器的工作原理是基于压力对传感器的影响。
当轮胎内部的气压发生变化时，传感器受到压力的作用，进而改变其电阻或电容值。
这种改变被转化为电信号，并进行相应的处理和传输。
轮胎压力传感器的使用可以提供多种优势。
首先，它可以帮助车主及时发现轮胎漏气或气压不足的情况，从而减少因轮胎问题造成的事故风险。
其次，合适的轮胎压力可以提高车辆的燃油效率和操控性能，从而节省燃料消耗并提升驾驶体验。
总的来说，轮胎压力传感器是一种重要的车辆安全装置，通过实时监测轮胎压力，能够提供及时且准确的信息，帮助车主保持轮胎在最佳工作状态下，确保行车安全和性能表现。
胎压传感器工作原理
胎压传感器工作原理胎压传感器通常由以下几个主要部分组成：感应器、处理器、通信模块和电源。
感应器是胎压传感器的核心组件，它通过测量轮胎内的压力来判断胎压是否正常。
处理器则负责对感应器获取的数据进行处理和分析，以确定轮胎当前的状态。
通信模块负责与车辆的中控系统进行通信，将数据传输给驾驶员或相关的控制系统。
电源则为胎压传感器提供工作所需的电力。
胎压传感器的工作原理主要基于力学和电气原理。
当车辆行驶时，轮胎与地面之间会产生接触压力，该压力会传导到胎内，通过胎压传感器感应器的感应部分，产生相应的力或位移信号。
感应器通常采用压电式或压阻式传感器。
压电式传感器是通过压电材料获得的电磁信号产生电荷来感应轮胎压力的变化的。
当轮胎受到压力时，压电材料发生微小变形，导致电荷分布的不均匀，从而产生感应电流。
这些电流信号被传送到处理器进行进一步处理。
压阻式传感器则是通过压力变化引起的阻值变化来感应轮胎压力的变化的。
传感器内部有一个感应部分，通常是由两片成型的金属电极构成，两个电极之间填充了一些电阻材料。
当轮胎受到压力时，电阻材料的压力变化会导致电阻值的变化。
通过测量电阻值的变化，可以判断轮胎的压力变化情况。
感应器获取到压力变化的信息后，会将数据传送到处理器进行分析和处理。
处理器可以根据事先设定的阈值来确定轮胎是否出现异常。
如果轮胎压力低于或超过设定的阈值，处理器会向驾驶员发出警示。
通信模块负责将处理器处理的数据传送给车辆的中控系统，供驾驶员或相关的控制系统使用。
另外，胎压传感器还需要一个电源来提供工作所需的电力。
一般情况下，胎压传感器的电源可以由车辆的电池供电，也可以使用独立的电池供电。
总结来说，胎压传感器工作原理是通过感应器感应轮胎压力的变化，然后通过处理器进行处理和分析，最后将结果通过通信模块传送给驾驶员或相关的控制系统。
这样可以及时监测轮胎的压力变化，并提醒驾驶员采取必要的措施，保障车辆行驶的安全性和稳定性。
mems压力传感器原理及应用
mems压力传感器原理及应用一、MEMS压力传感器的基本原理MEMS压力传感器是一种微机电系统（MEMS）技术应用的传感器，它通过测量介质的压力来实现对物理量的检测。
其基本原理是利用微机电系统技术制造出微小结构，通过这些结构对介质产生的压力进行敏感检测，并将检测到的信号转换为可读取的电信号。
二、MEMS压力传感器的结构1. 敏感元件：敏感元件是MEMS压力传感器最核心的部分，它通常由微型弹性薄膜或微型悬臂梁等制成。
当介质施加在敏感元件上时，它会发生形变，从而改变其阻抗、电容、电阻等物理参数。
2. 支撑结构：支撑结构是用于支撑敏感元件和保持其稳定工作状态的部分。
通常采用硅基板或玻璃基板制成。
3. 封装壳体：封装壳体主要用于保护敏感元件和支撑结构不受外界环境影响，并提供良好的密封性和机械强度。
三、MEMS压力传感器的工作原理1. 压电式压力传感器：压电式压力传感器是利用压电效应来测量介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，并产生相应的电荷，从而实现对介质压力的检测。
2. 电阻式压力传感器：电阻式压力传感器是利用敏感元件阻值随着形变程度的变化来检测介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，从而改变其阻值大小。
3. 电容式压力传感器：电容式压力传感器是利用敏感元件与基板之间的微小空气间隙产生的电容值随着形变程度的变化来检测介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，从而改变其与基板之间空气间隙大小。
四、MEMS压力传感器的应用1. 工业领域：MEMS压力传感器广泛应用于工业自动化、流量计量、液位控制等领域中。
2. 汽车领域：MEMS压力传感器在汽车领域的应用主要包括轮胎压力检测、制动系统控制、发动机燃油喷射等方面。
3. 医疗领域：MEMS压力传感器在医疗领域的应用主要包括血压计、呼吸机等方面。
4. 生物医学领域：MEMS压力传感器在生物医学领域的应用主要包括心脏起搏器、人工耳蜗等方面。
传感器芯片
传感器芯片传感器芯片是一种用于测量和监测环境参数和物体特性的微型芯片。
它可以将物理量转化为电信号，并通过数据处理和分析，提供实时的反馈和控制。
传感器芯片在工业、医疗、汽车、消费电子等领域有着广泛的应用。
传感器芯片由传感器和信号处理电路两部分组成。
传感器负责将感知到的环境信息转化为电信号，而信号处理电路则负责将电信号进行放大、滤波、模数转换等处理，进而得到准确的测量结果。
在工业应用中，传感器芯片常用于温度、湿度、压力、流量等参数的监测和控制。
例如，温度传感器芯片可以测量环境温度的变化，并根据测量结果控制加热或制冷设备的运行，实现温度的精确控制。
湿度传感器芯片可以测量空气中的湿度，用于智能农业、仓储等领域的湿度控制。
在医疗应用中，传感器芯片可以实时监测人体的生命体征，如心率、血压、血氧浓度等。
这些传感器芯片通常被嵌入到智能手环、智能手表等可穿戴设备中，可以实时监测用户的健康状况，并提供预警和建议。
此外，传感器芯片还可以用于医疗设备的监测和控制，如电子血糖仪、呼吸机等。
在汽车应用中，传感器芯片被广泛应用于车辆的安全和舒适性控制。
例如，借助于传感器芯片，汽车可以实时监测车辆的轮胎气压、触底深度等信息，以提醒驾驶员及时充气或更换轮胎。
传感器芯片还可以监测车辆的动力系统状态，如发动机温度、油位等，以实现智能化的故障诊断和维修。
在消费电子领域，传感器芯片可以实现手机、平板电脑、智能家居设备等的智能化和人机交互。
通过传感器芯片，我们可以利用手机的重力传感器进行游戏操作、利用陀螺仪实现虚拟现实的头部追踪、利用距离传感器实现手势控制等。
传感器芯片的发展离不开微电子技术的进步。
随着微电子技术的不断发展，传感器芯片越来越小型化、高精度化和低功耗化。
这使得传感器芯片能够更好地适应各种应用场景的需求，并具备更广阔的应用前景。
总之，传感器芯片作为信息时代的关键技术之一，正在为各个领域的发展带来巨大的推动力。
随着技术的不断创新和突破，相信传感器芯片将继续发挥更重要的作用，为人类创造更美好的生活。
半导体压力传感器
半导体压力传感器导语：半导体压力传感器是一种能够将压力转化为电信号的装置，被广泛应用于各行各业。
本文将对半导体压力传感器的工作原理、应用领域以及未来发展进行详细介绍。
一、工作原理1.1 压阻效应半导体压力传感器的核心是一块由硅等半导体材料制成的薄膜。
当外部施加压力作用在薄膜上时，导电材料内部的阻值会发生变化。
这种变化通过电路传递至输出端口，并由输出电路进行处理，最终转化成压力信号。
1.2 电桥结构大部分半导体压力传感器采用了电桥结构。
电桥结构由四个电阻组成，其中两个电阻是压敏电阻，另外两个是补偿电阻。
通过调整电桥中的电阻比例，可以实现对输出信号的准确控制。
1.3 敏感层技术为了提高压力传感器的灵敏度和准确度，研究人员将敏感层技术应用于传感器的设计中。
敏感层可以增加传感器对压力变化的响应，并有效降低温度、湿度等外界环境的影响。
二、应用领域2.1 工业控制半导体压力传感器广泛应用于工业控制领域。
在制造过程中，通过监测和控制压力变化，可以保证设备的正常运转，提高生产效率和安全性。
半导体压力传感器可用于汽车制造、化工、机械、电子等行业中的压力控制和检测。
2.2 医疗保健在医疗保健领域，半导体压力传感器被广泛用于测量人体内部压力，如心脏和呼吸系统。
通过监测这些压力变化，医生可以提前发现疾病和异常情况，并及时采取措施。
2.3 环境监测随着环境污染程度的不断加剧，环境监测变得尤为重要。
半导体压力传感器可用于测量大气压力、液位以及水压等指标，帮助保护环境和提升生活质量。
2.4 汽车工程半导体压力传感器在汽车工程领域具有广泛的应用。
它可以用于监测车辆轮胎的胎压、制动系统的压力以及涡轮增压器的气压等。
通过实时监测这些参数，车辆的性能和安全性能得到了显著提升。
三、未来发展未来的半导体压力传感器将更加便携、微型化和智能化。
随着科技的不断进步，传感器的体积将进一步缩小，从而应用于更多领域。
同时，通过与其他传感器的融合，半导体压力传感器将具备更强大的功能，如智能控制、自适应调节等。
压力传感器 应用场景
压力传感器应用场景
压力传感器在各种应用场景中发挥着关键的作用，其主要功能是测量、监测和传递压力信息。
以下是一些常见的压力传感器应用场景：
汽车工业：在汽车中，压力传感器用于测量发动机油压力、制动系统压力、轮胎压力等，以确保汽车的安全性和性能。
医疗领域：在医疗设备中，压力传感器用于测量血压、呼吸机的气道压力、液体输送系统的压力等，为医生提供患者健康状况的重要数据。
工业自动化：在工业自动化中，压力传感器被广泛用于监测液体或气体的压力，用于控制和调整流程，确保生产过程的稳定性和效率。
空调和制冷系统：压力传感器用于监测制冷系统中的制冷剂压力，以确保系统的正常运行和高效性能。
消费电子：在智能手机、平板电脑等设备中，压力传感器可以用于测量海拔高度、气压等，为一些导航、天气预测和健康监测应用提供数据支持。
环境监测：在气象站、空气质量监测站等场合，压力传感器用于测量大气压力，帮助进行气象和环境监测。
航空航天：在航空和航天领域，压力传感器用于测量飞机和宇航器的大气压力，为导航和高度控制提供关键数据。
石油和天然气行业：压力传感器被广泛用于石油和天然气勘探、生产和输送系统中，用于监测管道中的压力和流量。
水处理和污水处理：在水处理过程中，压力传感器用于监测水流、水位和管道中的压力，以确保水处理系统的正常运行。
这些场景只是压力传感器应用的一部分，随着技术的发展，压力传感器在不同领域的应用将继续扩展。
压力传感器 应用 案例
压力传感器应用案例压力传感器是一种将物理压力转换为电信号输出的装置，广泛应用于各种领域中，例如汽车、工业、医疗、航空航天以及环境测试等。
下面分别介绍一些压力传感器的应用案例。
1.汽车制造压力传感器在汽车制造中被广泛应用，常常用于汽车轮胎的压力检测。
轮胎压力过低或过高，都会对行驶安全产生很大的影响，因此汽车厂商都会在车辆中安装压力传感器，通过不断地检测轮胎压力，确保车辆安全运行。
2.工业生产在工业生产中，很多场景需要对液体或气体的压力进行监测。
比如说，在化工厂中，需要对蒸汽管道的压力进行监测，确保生产过程中不会发生爆炸事故。
此时，可以使用压力传感器实时检测管道内部的压力变化，并通过信号传输给控制终端，从而及时采取安全防护措施。
3.医疗领域在医疗领域中，常常需要通过压力传感器来检测人体内部的压力变化，例如血压计。
血压计通过袖带检测人体血管的压力变化，并将检测结果转化为数字信号输出，这样医生就可以对病人血压情况进行分析和判断，从而采取早期预防和治疗措施。
4.航空航天在航空航天领域中，压力传感器的应用非常普遍。
例如，在宇航员的航天服中，常常包含有多个压力传感器，用来检测空气的压力变化。
这样，就能及时发现飞船内部的氧气浓度是否正常，从而确保宇航员的安全。
另外，在飞机飞行时，也需要将空气压力变化的信息传输给飞行控制系统，从而实现飞机的自动控制。
5.环境测试压力传感器还可以用于环境测试中，例如气象领域的空气压力检测和海洋科学领域的水下深度检测。
在这些场景中，压力传感器可以实时检测大气或者水下压力的变化，将数据传输给数据处理系统，从而分析出气象或海洋的物理变化情况，研究气象和海洋的变化规律。
总之，压力传感器应用广泛，不仅仅是工业制造、医疗、航空航天和环境测试等领域，还包括其他几乎所有电子设备领域。
在未来，压力传感器的应用场景也会更加丰富多样化。
mems压阻式压力传感器的应用实例
mems压阻式压力传感器的应用实例压阻式压力传感器是一种常用的压力测量设备，它利用受压导电材料的电阻值随受压程度的变化而发生变化的原理进行压力传感。
下面将介绍几个压阻式压力传感器的应用实例。
1.汽车行业压阻式压力传感器在汽车行业得到广泛应用。
例如，在汽车的发动机控制系统中，压阻式压力传感器可以用于测量燃料压力、废气压力等参数，以便发动机控制单元能够准确控制燃料喷射和排放系统。
此外，压阻式压力传感器还可用于测量轮胎压力，实现胎压监测功能，并提醒驾驶员及时进行充气。
2.工业自动化压阻式压力传感器在工业自动化领域也有广泛应用。
例如，在液压系统中，压阻式压力传感器可以测量液体的压力，为系统提供实时的压力信息，以确保系统的稳定运行。
此外，在气压系统中，压阻式压力传感器可以实现对气体流量、压力的精确测量，并为系统的控制提供必要的数据支持。
3.医疗设备压阻式压力传感器在医疗设备中的应用也非常广泛。
例如，在呼吸机和血压监测设备中，压阻式压力传感器可以测量呼吸气流和血压的变化，以帮助医生对患者的呼吸和心血管状况进行监测和诊断。
此外，压阻式压力传感器还可用于测量人体接触物体的力度，如人体姿势检测、床垫压力监测等。
4.石油与天然气工业压阻式压力传感器在石油与天然气工业中的应用非常重要。
例如，在油井探测设备中，压阻式压力传感器可测量井口的压力，为石油开发提供必要的数据支持。
此外，在管道运输系统中，压阻式压力传感器可用于测量管道的压力和流量，以确保管道的安全运行。
5.空调与制冷设备压阻式压力传感器在空调与制冷设备中也有广泛应用。
例如，在冷冻空调系统中，压阻式压力传感器可以测量制冷剂的压力和温度，以保证系统的高效运行。
此外，在家用空调中，压阻式压力传感器还可用于测量空气流量和空气质量，提供舒适的室内环境。
综上所述，压阻式压力传感器在各个领域的应用非常广泛。
通过测量压力变化，它可以帮助实现对各种参数的准确测量和控制，为相关行业的设备和系统提供数据支持，提高生产效率和产品质量。
压力传感器工作原理详解
压力传感器工作原理详解压力传感器是一种广泛应用于工业、医疗、汽车等领域的传感器，它可以测量物体受力后产生的压力变化，并将其转化为电信号输出。
本文将详细介绍压力传感器的工作原理及其应用。
一、压力传感器的基本原理压力传感器的工作原理基于压力对物体的变形产生的影响。
当一个物体受到外力作用时，它会发生形变，而形变的大小与受力的大小成正比。
压力传感器利用这个原理，通过测量物体的形变来间接测量压力的大小。
二、压力传感器的结构压力传感器通常由弹性元件、传感器芯片和信号处理电路组成。
其中，弹性元件是压力传感器的核心部件，它负责接受外界压力的作用，并产生相应的形变。
传感器芯片则用于将形变转化为电信号，而信号处理电路则负责对电信号进行放大、滤波等处理。
三、压力传感器的工作原理压力传感器的工作原理可以分为压阻式、电容式和电感式三种。
1. 压阻式压力传感器压阻式压力传感器利用压阻效应来测量压力。
它的核心部件是一个由压阻材料制成的弹性薄片，当受到外界压力作用时，薄片会发生形变，从而改变其电阻值。
传感器芯片通过测量电阻值的变化来间接测量压力的大小。
2. 电容式压力传感器电容式压力传感器利用电容的变化来测量压力。
它的核心部件是一个由两个金属电极和一个隔离层构成的电容器。
当受到外界压力作用时，隔离层会发生形变，从而改变电容器的电容值。
传感器芯片通过测量电容值的变化来间接测量压力的大小。
3. 电感式压力传感器电感式压力传感器利用电感的变化来测量压力。
它的核心部件是一个由线圈和铁芯构成的电感器。
当受到外界压力作用时，铁芯会发生形变，从而改变电感器的电感值。
传感器芯片通过测量电感值的变化来间接测量压力的大小。
四、压力传感器的应用压力传感器在工业、医疗、汽车等领域具有广泛的应用。
1. 工业领域在工业领域，压力传感器常被用于测量流体管道中的压力变化，以控制流量、监测设备状态等。
它还可以用于测量液体或气体的压力，以确保工业过程的安全性和稳定性。
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汽车轮胎压力传感器芯片与应用
汽车在高速行驶过程中，轮胎故障是驾驶者最为担心和最难预防的，也是突发性
交通事故发生的重要原因。根据美国汽车工程师学会的调查，在美国每年有26
万起交通事故是由于轮胎气压低或渗漏造成的，另外，每年75%的轮胎故障是由
于轮胎渗漏或充气不足引起的。据国家橡胶轮胎质量监督中心的专家分析，在中
国高速公路上发生的交通事故有70%是由于爆胎引起的，而在美国这一比例则高
达80%。怎样保持车胎气压在工作条件苛刻恶劣环境中，能行驶正常并及时发现
车胎漏气，是汽车防止爆胎和能否安全行驶的关键。因此，行进中的胎压检测就
显得尤为重要。
汽车轮胎压力传感器IC芯片的目标产品为MEMS技术和集成电路技术相结合的
车载轮胎压力监视系统TPMS(Tire Rressure Monitoring System)。目前直接轮胎压
力监测系统包括4个或5个(取决于备胎是否装备传感器)轮胎模块和一 个中央
接收器模块。在德国宝马的 Z8，法国雪铁龙的 C5，英国阿斯顿· 马汀的超级
跑车 Vanquish，林肯大陆，旁蒂克的旗舰Bonneville SE，梅赛德斯—奔驰S级
轿车等新车介绍中，也将TPMS系统配装于车中，另外，2002年夏天上市的克
莱斯勒与道奇(Dodge)迷你箱型车以及 Chrysler 300M 与 Concorde Limited 客
车也装有 TPMS系统。而国内多数汽车厂家目前正在进行实验性研究。
本文是基于国家创新基金项目实施工作要求，重点描述运用MEMS微机械加工
工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片，即通过微机械加工工艺制作出
低成本各参数指标和使用性能可与国外同类产品竞争的胎压传感器IC芯片，为
国内诸多TPMS厂商配套，逐步已优越的性价比为国际厂商提供芯片。
图1 E型芯片剖视与底视图
图2 芯片电桥工艺版图
5 to 100 kPa 100 to 1000 kPa 3000 to 5000 kPa
图3按不同量程设计的芯片工艺版图
图4 工艺流程示意图
结构原理
芯片设计采用了单岛膜结构，下图为产品的单岛膜结构(又称为E型硅杯结构)
的剖视和底视示意图。相当于一个周边固支的平膜片结构(俗称C型结构)的膜片
中心有一个厚硬心岛。通过计算和实验，芯片的抗过载和抗振动能力，同时也扩
大并提高量程品种及延长使用寿命，E型硅杯原理结构如图1、2所示。
在产品技术设计上兼顾了传感器参数指标的通用性，便于芯片应用拓展至汽车发
动机电喷系统的歧管压力传感器(芯片电桥工艺版图见图2)。避免造成其参数的
非专业性配套，其温度系数偏高、过载能力低、灵敏度参数分散等问题；芯片的
衬底浓度远大于103，使电桥电阻值高，降低功耗，延长供电电池使用寿命。
根据设计计算，得出芯片版图设计E型硅杯结构为2.4×2.4mm，大膜半径R为
0.8mm，中心岛半径ro为0.4mm，电阻条宽度为4mm，长度为80mm，设计为
20个方电阻，电阻形状为单条形，为减小端头影响及误差，电阻用淡硼掺杂形
成、方电阻250欧，端头用浓硼短路、方电阻为10欧，实用光刻版还应考虑到
组桥时浓硼引出附加电阻的对准性对平衡的影响等版图设计技巧。
数学模型与分析
半径为R的同平膜片的中心最大挠度为：
而中心岛半径ro与全膜半径R的比值为C的单岛膜中心最大挠度为：
当C值为0.5时(常用设计)、单岛膜结构中心最大位移仅为平膜的四分之一。
当E型膜片的大膜内切半径为R，硬心岛外切半径为ro时，其薄膜上表面的径
向和切向应力为：
在处和r=R处，和取得最大值，其值大小相等，符号相反，即：
，是平膜边缘应力的倍。
从式中看出，应力和均近似对称，当C=0.5时，这种对称性更好，
的对称点，即=0点在r≈0.76R处，但=0的点却在r≈0.85R处，因此采用
这种方案时电阻径向分布尺寸不宜超过1/10R。
实现工艺要点
工艺版图设计
当加大并加厚芯片尺寸，可实现芯片量程拓展，芯片为一个固边固支的方形平膜
片，具有3~10倍的过载能力，图3为按不同量程设计的芯片工艺版图。
主要解决的工艺技术问题：
①高质量的硅-硅真空键合工艺；
②均匀和高合格率的减薄工艺；
③高准确度高均匀的掺杂一致性及细长电阻条一致性控制以确保传感器的低温
度漂移；
④内应力匹配消除技术以确保传感器的时间稳定性；
⑤相应的抗电磁干扰设计；
⑥封装设计与工艺中的抗高振动及离心加速度措施；
工艺流程示意图见图4。
指标测试
本项目产品是依据汽车胎压国际标准，结合国内用户提出的产品使用要求，按照
电子标准化所和北京市技术监督局审订的相关产品标准，通过航天部304所型式
实验检测后，各项性能指标均符合设计使用指标要求。
应用拓展与延伸
结合MEMS工艺特点，兼顾传感器后封装生产工艺设备的通用，在芯片结构设
计上，考虑到满足不同产品的对芯片的结构、参数要求，按照芯片尺寸与工艺版
图的最低要求和分类原则，结构设计分为三种芯片类型，大大减少了芯片品种，
扩大了芯片的应用领域。
结语
运用MEMS工艺技术生产汽车轮胎压力传感器，具有体积小、重量轻、耗能低、
性能稳定，而且有利于大批量生产，降低生产成本，提高产品附加值。同时，拓
宽了产品应用范围，提高芯片推广价值和产品的经济效益。
汽车轮胎压力传感器芯片开发，对于降低高速行驶的汽车因爆胎引发的突发性重
大、恶性交通事故，确保高速公路安全畅通，避免人身伤害和家庭悲剧发生，以
及整个国家社会的长治久安和整个国民经济发展均具有重要的社会现实意义。
图5 产品实物照片