基于MAX1452硅压力传感器温度补偿系统的设计

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压力传感器温度补偿的硬件实现方案

温度补偿羁络参数Ｒ１
２０７
Ｒ２
２０Ｏｏ
Ｒ３
８０２
Ｋｒ
５１（
其中：：Ｐ外界压强ｍＨ或ＫａｍｇＤ、Ｋ：ｐ传感器的灵敏系数Ｉ：电流ｍ激励ＡＫ：Ｔ传感器的温度系数．一般按满跨度描述此传感器的应用温度范围５４０，－０压强３０ｍｇＣ０ｍＨ。
ＲＫＩ２Ｋ２一５＂
将式④代人式③ 得：
Ｖ＝１Ｋｒ２￣）ＫＶｅＲ）Ｐｏ［一Ｔｆ－５ｃ］ｐ（ｒｆｚ／［一Ｔ（－５Ｃ］ＫＶｅ［－Ｔｆ－５）Ｒ２Ｐ１ＫＴ２￣）（ｒｆ（Ｋｆ２￣）／１＊如果Ｋ＝Ｔ，ＴＫ ’ 则传感器输出Ｖ＝ｐＶｅ门ｏＫ＊ｒ￣ＰＲ ⑤ 从式⑤可见：传感器的输出是与其温度系数无关的一个值。所以传感器温度补偿设计的关键就是设计一个温度系数等于传感器温度系数的恒流电阻网络
将式①代人式②得：
Ｖ＝１Ｋ（－５Ｃ］Ｋ０【一Ｔ２￣）ｐＩＰ
＝１Ｋ＊一５］Ｋ＊ｒ／ｚＰ［Ｔ（２℃）ｐ（ｅＲ） ③ 一ＴＶｆ＊在恒流激励电阻Ｒ位置引入负温度系数的热敏电阻，ｚ见图２。
图２
假设：Ｒ＝１Ｋ＊；ｚＫ一２Ｔ其中：１（是系数，是温度℃ 。Ｋ，２ｌＴ经整理变换得：
１压力传感器及其温度补偿简介．
压力传感器是工程中常用的测量器件．而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成．这样的传感器也称为压电传感器。我们了解，晶体是各向异性的，晶体是各向同性的。非某些晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时，产生了极化效应：就当机械力撤掉之后，又会重新回到不带电的状态。也就是受到压力的时候，某些晶体可能产生出电的效应．这就是所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研制出了压力传感器压力传感器是把压力的变化转换成电阻值的变化来进行测量的．通常压力传感器输出的微小信号需通过后续的放大器进行放大．再传输给处理电路才能进行压力的检测。其阻值随压力的变化而变化大多数传感器的静特性与环境温度有着密切的联系。实际工作中由于传感器的工作环境温度变化较大．由于温度变化引起的热输出又也较大，这将会带来较大的测量误差：继而影响到传感器的静特性．所以设计中必须采取措施以减少或消除温度变化带来的影响在传感器的应用中，为使传感器的技术指标及性能不受温度变化影响而采取一系列具体技术措施称为温度补偿技术一般传感器都在标准温度（￣：Ｔ标定，工作环境温度也可能由零下几十摄２５ｃｏ但其氏度升到零上几十摄氏度。传感器由多个环节组成。尤其是金属材料和半导体材料制成的敏感元件，其静特性与温度有着密切的关系信号调理电路的电阻、电容等元件特性基本不随温度变化所以必须采取有效措施以抵消或减弱温度变化对传感器特性造成的影响即必须进行压力传感器的温度补偿本文将根据压力传感器的实际应用介绍一种巧妙的硬件温度补偿方案。

MAX1452的问题解答

1. MAX1452支持工业典型标准的4-20mA应用。

2. 问：这些信号调理器的传感器激励模式是什么?答：默认模式是电流桥驱动。

但是，MAX1452也可以配置为电压桥驱动。

ISRC和BDR引脚短路在一起可以实现这一配置。

MAX1455不支持电压桥配置。

3. 问：MAX1452能够用于电压桥驱动模式吗?答：是的，把ISRC和BDR引脚短路在一起，将MAX1452配置为电压桥驱动模式。

4. 问：MAX1452能够用在4-20mA应用中吗?答：是的。

MAX1452正常工作时吸收的最大电流小于4mA，因此，能够用在4-20mA应用中。

5. 问：在没有外部放大器的情况下，能够产生4V范围(VDD = 5V)的最小传感器输出是多少?答：当最大激励电压设置为4.5V (VDD = 5V)，并采用最大PGA增益(234倍)时，可以确定传感器最小输出。

使用的公式为：传感器输出(mV/V) = 电压范围(V) / [VBDR (V) * PGA增益(V/V)] * 1000传感器最小输出是4mV/V。

6. 问：在没有外部电路的情况下，能够产生4V范围(VDD = 5V)的最大传感器输出是多少?答：当最小激励电压设置为1.5V (VDD = 5V)，并采用最小PGA增益(39倍)时，可以确定传感器最大输出。

使用的公式为：传感器输出(mV/V) = 电压范围(V) / [VBDR (V) * PGA增益(V/V)] * 1000传感器最大输出是68mV/V。

7. 问：我可以自由使用运算放大器来为输出电压提供更大增益吗? 答：可以。

8. 问：当工作在数字模式下，输出MUX采用―infinite‖输出宽度时，在接收数字命令之前，通信中断了大约9秒钟。

在设计生产中，这是禁止出现的。

从DMM读取输出后，怎样才能避免这种不需要的等待?答：信号调理器的电源VDD必须能够周期上电。

如果采用了提供的KEY和评估(EV kit)套件，必须执行serial.dll中的hard_init (mode = 1)函数，实现周期上电。

利用压力传感器高精度测量时对其误差的补偿方案

利用压力传感器高精度测量时对其误差的补偿方案
0 引言
在石油、化工、冶金、电力、纺织、轻工、水利等工业及科研领域中，都必须进行相关的压力检测与分析。

压力传感器测量误差大小直接影响到测控系统的性能。

扩散硅压阻式压力传感器是应用最广泛的压力传感器之一，它相当于一个有四只电阻的桥路。

半导体电阻有温度系数，会产生温度误差;传感器的压敏特性又有非线性误差。

因此，压力传感器在实际应用中会有温度和压力误差存在。

利用压力传感器进行高精度测量时，就要对压力传感器的误差进行补偿。

按照实现的条件可以将误差的补偿方法分为用硬件电路补偿和在智能芯片或微机中以软件方法实现补偿。

本压力数据采集系统在硬件上，采用AT89S52 单片机控制X 型精密硅压式压力传感器MPX2100 和高精度积分式A/D 转换器ICL7135 等器件，对压力信息进行采集转换;软件上，在分析基于最佳拟合直线原理的压力传感器非线性补偿模型的基础上，对采集的压力数据进行非线性修正，实现压力数据的高精度输出。

1 硬件设计
1.1 系统结构原理
基于单片机的压力数据采集系统组成框图如1 所示。

系统的压力传感器选用Motorola 公司的高精度X 型硅压力传感器MPX2100，转换精度高、灵敏度高，具有极好的线性度，其输出的模拟信号通过信号调理电路放大调理。

调理后的模拟电量在AT89S52 单片机的控制下，通过ICL7135 进行A/D 转换，可以保证系统具有高数据采集精度和很强的抗干扰能力，转换后的数字量传送给单片机进行运算及软件补偿等处理。

最后将数据显示出来，同时可经串行接口传送。

硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现

硅压阻式压力传感器的高精度补偿算法及其实现聂绍忠【摘要】Silicon piezoresistive pressure sensors are widely used in various fields of national economy, such as automotive,medical,aerospace,environmental protection,etc. With the development of science and technology,the requirements for pressure measurement accuracy are higher and higher in various fields. However, due to the inherent characteristics of semiconductor materials,silicon piezoresistive pressure sensors commonly exist with zero temperature drift,sensitivity changes with temperature and nonlinear problems. In order to improve the measurement accuracy of the sensors and reduce the outputerror,several common compensation algorithms are analyzed and compared, and the method of surface fitting high-precision compensation algorithm based on least-squares method is proposed. This compensation algorithm effectively eliminates sensor zero drift,sensitivity drift and nonlinear error,and improves sensor output accuracy. The experimental results show that the accuracy of the measurement is greatly improved and the output error of the sensor is less than 0. 01％F·S within the temperature range of -40～+80 ℃ after calculation by this compensation algorithm.%硅压阻式压力传感器广泛应用于汽车、医疗、航空航天、环保等领域.随着科学技术的发展,各领域对压力测量精度的要求越来越高.但由于半导体材料的固有特性,硅压阻式压力传感器普遍存在零点随温度漂移、灵敏度随温度变化和非线性等问题.为了提高硅压阻式压力传感器测量精度、降低输出误差,对该传感器的几种常用补偿算法进行了对比分析和研究,提出了一种基于最小二乘法的曲面拟合高精度补偿算法.该补偿算法能有效消除硅压阻式压力传感器零点漂移、灵敏度漂移和非线性误差,提高该传感器的输出精度.试验结果表明,在-40～+80℃温度范围内,硅压阻式压力传感器经该补偿算法计算后,测量精度得以大幅度提高,输出误差小于0.01％F·S.【期刊名称】《自动化仪表》【年(卷),期】2018(039)006【总页数】5页(P49-53)【关键词】硅压阻式压力传感器;零点漂移;灵敏度漂移;非线性;曲面拟合;补偿算法【作者】聂绍忠【作者单位】重庆四联测控技术有限公司,重庆 401121【正文语种】中文【中图分类】TH701;TP301.60 引言随着科学技术的发展，各领域对压力测量精度的要求越来越高。

信号调理芯片MAX1452在棉纤维强力仪中的应用

・嘲
满量程温度漂移系数的确定。故可通过调节Ｏ和ＢＬ
进行修正。
零位补偿由ＯＦＥＡＦＳＴＤＣ和０ＦＥＴＣＤＣ完ＦＳ１ｒＡ成。在不同的温度点上，ＦＳＴＤＣ和ＯＦＥＴＯＦＥＡＦＳＴＣ
高棉纤维电子强力仪的测量精度，
择１ｌ４到ｌ个温度点补偿传感器，允许选择简单的一
【文获全国总社项目：本电子强力仪中拉力传感器性能研究课题资助，题编号：ＸＳＹ６４】课ＧＺＫ０００
！墅塾匦墨！笙墅固堡塑
３ … Ｏ
昏
阶线性修正或者配一段特定的温度曲线来补偿传感器温度响应，对多达ｌ４独立的ｌ位ＥＰＯ１个６ＥＲＭ单
元编程．在一０Ｃ到＋２可４ｌＣｌ５℃ 范围内以１．的间隔５℃
改变Ｕｂ。
２零位补偿．．
题：．致忡问题：于Ｉ的关系．使同一批生１一ｍ艺即
片，其引脚图如图ｌ所示，能框图如图２示主要功所
是用于补偿和校正传感器的温度漂移及非线性．具体的可以补偿压阻式传感器的失调（ＦＳＴ、ＯＦＥ１满量程（Ｓ）ＦＯ、零点温度漂移ｆＴ）ＯＣ、满量程温度漂移（ＳＴ）满量程的非线性度（Ｓｏｌｅｒｙ经ＦＯＣ和ＦＯｎｎｉａｉ）ｎｔＭＡ４２Ｘ１５信号调理后的压阻式传感器总的误差可以达到传感器满量程的１。内，且不会使输出端信％以并号引入量化噪声

压力传感器温度补偿技术

压力传感器温度补偿技术压力传感器温度补偿技术摘要压力传感器是一种较为常用的传感器件，由于自身的非线性特点以及外界因素的影响，传感器的输出结果容易产生误差，其中温度的影响最大，因此，对传感器的温度补偿就显得尤为重要。

文章对目前常用的温度补偿方法进行了分析，在此基础上，提出了一种新的温度补偿方法，并对BP神经网络进行了改进，从研究结果来看，该方法有效提高了传感器的稳定性及精度。

关键词压力传感器;温度漂移;温度补偿压力传感器的输出结果精度容易受到多种因素的影响，其中，唯独是影响传感器输出精度的最主要因素。

目前，国内经常使用硬件补偿和软件补偿两类方法对压力传感器进行温度补偿。

硬件补偿方法调试难度较高、精度低、通用性也较差，在实际工程中应用时，难以去得较好的效果;而软件补偿方法有效弥补了硬件补偿的缺点，其中BP神经网络补偿在实际工程中运用十分广泛，但是典型BP神经网络补偿法虽然精确度高，但是整个流程过于复杂、整个过程耗时较长，因此，本文提出了一种基于主成分分析的BP神经网络补偿方法，希望对提高补偿效率和准确性起到一定的.作用。

1 典型BP神经网络补偿原理分析BP神经网络是目前研究中应用范围最广的神经网络模型之一，BP神经网络术语单向传输网络结构，整个信息传输的过程呈现出高度的非线性特点。

典型的BP神经网络结构包括输入层、隐含层和输出层3层结构。

通常情况下BP神经网络只有这3层结构，这主要是由于单隐层的BP神经网络既可以完成从任意n维到m 维的映射。

其典型结构如下图所示。

BP神经网络结构模型BP算法设计到了信息的正向传播以及误差的反向传播，信息首先从输入层传入，然后经过隐含层的处理传入输出层，最终输出的信息可以用下面的形式进行表示：其中：、分别代表了隐含层及输出层的权值;n0、n1分别对应了输入节点数及隐含层节点数。

输出层神经元的激励函数f1通常呈现出线性特点;而隐含层神经元的激励函数f2通常采用如下所示的形式在(0，1)的S型函数中进行输出：由于BP神经网络隐含层采用的传递函数为对数S型曲线，其输出范围在(0，1)之间。

硅压阻式压力传感器的硬件温度补偿方法概述

硅压阻式压力传感器的硬件温度补偿方法概述作者：王鑫来源：《科学与信息化》2019年第19期摘要基于压阻效应的硅压阻式压力传感器因其输出灵敏度高而广泛用于各种压力测试场合。

但压阻效应受温度影响较大，传感器的设计中必须设计相应的温度补偿方法来弥补其不足。

本文主要阐述一种基于电阻网络的硬件温度补偿方法，促进该方法在压阻传感器技术中的应用。

关键词硅压阻；传感器；硬件温度补偿；电阻网络压阻式压力传感器广泛应用于石油化工，医疗，航空航天等领域，得益于压阻效应，使得传感器具有灵敏度高，响应时间短，稳定性好等特点。

但对于温度场变化的压力测试，必须进行合理的温度补偿，才能克服压阻效应受温度影响较大而导致测量压力值误差较大的弊端。

因此，掌握压阻式压力传感器测压原理，针对性设计温度补偿电路至关重要。

1 压阻式压力传感器原理压阻式压力传感器的感压膜片上分布了四个半导体压敏电阻，四个电阻构成惠斯通电桥。

外界压力的变化导致桥路电阻的变化，通过对变化的阻值标定来测量压力。

图1为压敏电阻组成的惠斯通桥路的壓力传感器电路模型。

压力膜片受力后阻值与应力变化关系如下：式中，R为桥臂电阻阻值，π为压阻系数，E为弹性模量，l为长度，υ为泊松比，G为应变因子，ε为应变量。

公式1中的G主要由πd额大小决定，即压阻系数的大小决定了电阻率的变化。

2 传感器硬件温度补偿方法压阻式压力传感器的压敏电阻受温度影响较大，影响传感器的压力温度特性体现在传感器的零点温漂和灵敏度温漂。

最常用的方法是将对应的惠斯通桥臂进行串并联电阻，通过调节桥臂电阻的阻值和桥臂电阻的温度系数，进行传感器温补[1-3]。

2.1 零点温度补偿方法假设对桥臂1进行串接电阻，对桥臂2进行并接电阻，则取当前温度和Δt温度下零点温度应满足对臂电阻乘积相等的原则建立方程组如下：联立方程即可求出串联电阻阻值Rc和并联电阻阻值Rb。

2.2 灵敏度温度补偿方法当以恒流源激励时，桥路输出电压为：温度的变化导致压阻系数变化，而压阻系数影响传感器的灵敏度。

温度补偿电路设计方法

温度补偿电路设计方法温度补偿电路（Temperature Compensation Circuit）是一种用于消除电子元件在不同温度下的性能变化的电路，通过对元件的温度变化进行监测和补偿，可以有效地提高电路的稳定性和可靠性。

温度补偿电路在各种电子设备中广泛应用，特别是在高精度仪器仪表、自动控制系统等领域。

一、温度补偿电路的设计原理温度补偿电路的设计原理是基于电子元件在不同温度下的特性变化，通过监测温度变化并根据预先设定的补偿参数，调整电路中的参数使得其在不同温度下具有相同的性能。

常见的温度补偿电路设计方法主要有以下几种：1. 精确监测温度变化温度补偿电路首先需要准确地监测温度的变化，一般采用温度传感器来实现。

常见的温度传感器包括热敏电阻、热敏电容和热电偶等。

这些传感器能够根据温度的变化产生相应的电信号，通过将这些信号与参考温度进行比较来确定温度的变化值。

2. 确定补偿参数根据元件的特性、温度变化范围和补偿要求，可以确定合适的补偿参数。

补偿参数一般包括温度系数和补偿电阻等。

温度系数表示元件性能随温度变化的程度，通常以单位温度变化引起的性能变化百分比来表示。

补偿电阻则是通过调整电路中的电阻值来实现对性能的补偿。

3. 设计补偿电路在确定好补偿参数后，可以根据元件的特性和电路要求设计出相应的补偿电路。

常用的补偿电路包括电阻网络、差动放大器和运算放大器等。

这些电路能够根据温度变化调整电路中的参数，使其具有与参考温度下相同的性能。

4. 电路测试和调整完成补偿电路的设计后，需要对其进行测试和调整，以确保在不同温度下能够有效地对元件的性能进行补偿。

测试过程中可以通过改变温度，观察电路输出的变化，以确定补偿效果。

如果发现补偿不理想，可以进行相应的调整，直到满足设计要求。

二、温度补偿电路的应用温度补偿电路在各种电子设备中都有广泛的应用。

它能够有效地提高电路的稳定性和可靠性，并改善仪器仪表的精度和性能。

1. 高精度仪器仪表在高精度仪器仪表中，如电压源、电流源、阻抗测量器等，温度补偿电路是非常重要的。

MAX1452非线性修正应用电路

MAX1452非线性修正应用电路概述对于非线性输出传感器(例如，湿度传感器)，信号调理器是否能够修正传感器的非线性输出非常关键。

本应用笔记介绍如何使用MAX1452 修正传感器输出的非线性，该芯片是极受欢迎的低成本、高性能信号调理器，内置闪存、温度传感器和完整的模拟信号路径。

尽管MAX1452 没有包含非线性修正功能，但可通过非常简单的外围电路实现，即利用三个附加电阻进行非线性修正。

需要注意的是，这种方法仅适合电桥驱动模式的MAX1452，并不适合MAX1455，原因是MAX1455 不能用于电桥驱动模式。

非线性修正电路对于标称值为4.7kΩ桥电阻，选择RF = 18kΩ、RS = 1.8kΩ。

ROF 的作用是保证在整个工作条件下将电桥输出偏移到正电压。

根据反馈电路的传输函数，选取ROF 时要确保电桥的差分输出始终为正值:INP - INM 0。

本应用笔记中实例电路和传感器参数设置如下：BDR 电压(FSO DAC 设置下的电压输出)为3.6V (标称值)。

BDR 电压经过RS 和传感器桥分压后产生大约2.6V 的桥驱动电压。

具体应用中，通过配置PGA 提供系统所需的增益，使0 至100%的差分电桥输出在OUT 引脚产生摆幅为0.5V 至4.5V 的电压。

这些值可进行调整，以满足应用特定的电桥失调、电桥灵敏度和输出电压范围的要求。

测试结果该测试使用的传感器具有线性输出，因此，在线性输入端(连接至MAX1452 的输入)接入上述电路将产生非线性输出，如图2 所示。

从图2 可以。

硅压阻传感器的智能温度补偿研究

第２５卷第４期
２２年４月０１
传感技术学报
ＣＮＥＪＲＮＡＥＮＯＲＳＡＨＩＥＳＯＵＬＯＦＳＳＮＤＡＴＣＵＡＯＲＴＳ
Ｖｏ．５Ｎｏ４１２．
Ａｐ．０１ｒ２２
ＳｌｏｅｏｅｉｔｅＳｎｏ ’ ｎｅｌｅｔＴｅｐｒｔｒｍｐｎａｉｎｉｃｎＰｉｚｒｓｓｉｅｓｒＳＩｔｌｇｎｍｅａｕｅＣｏｉｖｉｅｓｔｏ
会受到环境因素（要是温度）主的影响，是存在一总定的非线性，际传感器的输入和输出关系可表示为实

程，每一个温度点的补偿时间将近１ｈ补偿多个温，度点将耗大量的时间。对多个传感器进行补偿时，
Ａｉｎ电压表读取。ｇｅｔｌ
１６．７￣１０“
，
故硅压阻传感器的灵敏度系数为＝
ｒ７Ｅ一７．２４～１９６因此Ｋ５Ｋ４．ｓ０ｏ～１０ｏ即硅压０Ｋ，
阻传感器的灵敏度系数是金属应变计的灵敏度系数
上位机通过串行接口对ＭＡ１５行操作并Ｘ４２进
ＨＵｉｏｉ，ＩＣｈｎＧａｇｏｇＬａｌｎＬＵｅ，ＡＩＧｕｎｈｎ
（．ｃｏｌｆＭｅｈｎｃｌｎｒｉｏｓｕｎＥｇｎｅｎ，ｉｎＵｉｒｔｏｅｎｌｙＸ ’ １０８Ｃｉａ１ＳｈｏｏｃａｉｄＰｅｓｎＩｔｍｅｔｎｉｒｇＸ ’ ｎｖｓｙｆＴｃｏｇ，ｉｎ７０４，ｈｎ；ａａｃｉｎｒｅｉａｅｉｈｏａ

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ＡｂｔａｔＡｌｎｗａｎｒｄｃｄｆｒｃｍｐｎａｉｇｔｅｔｍｐｒｔｒｌｏｓａｄｔｅｎｓｒｃ：ｐａｓｉｔｕｅｏｏｅｓｔｈｅｅａｕｅｅＴｒｎｏ—ｌｅｆｔｅｓｌｏｒｓｕｅｓｎｏｙｏｎｈｉｒｏｉｃｎｐｅｓｒｅｓｒｂｎｈｉｕｉｇｔｅＭＡＸ１５ｒｃｓｏ．Ｔｅｆｍｅｏｉｃｍｐｎａｉｇｓｓｅｗａｅｃｂｄｓｎｈ４２ｐｏｅｓｒｈｒａｔｓｏｅｓｔｙｔｍｓｄｓｒｅ．Ｔｉｐｐｒｙｓｔｅｐｉｃｐｅｆｔｅｔｒ－ｆｈｎｉｈｓａｅｅｈｒｎｉｌｓｏｈｅｎｐｒｔｒｏｅｓｔｎａｄｅｅｕｖｒｃｓｅｒｅａｕｅｃｍｐｎａｉｘｃｔｅｐｏｅｓｓｏｐｅ—ｃｌｒｔｎａｄｃｍｐｎａｉｎｈｘｒｍｅｔｌｅｕｔｈｗｔａｅｒｌ－ｏｎｉｆａｉａｉｏｅｓｔ．Ｔｅｅｐｉｎａｓｌｓｏｔｈｅａｂｏｎｏｅｒｓｈｔ
关键词：度误差；压力传感器；Ｘ４２温度补偿温硅ＭＡ１５；
中图分类号：Ｐ１．Ｔ２２１
文献标识码：Ａ
文章编号：０２—１４（０００ — ０１— ４１０８１２１）４０６０
ＤｅｉｎｏｍｐｅａｉｇＳｉｃｎＰｉｚｒｓｓｉｅｓｇｆＣｏｎｓｔｎｌｏｅｏｅｉｔｖｉ
２０正０１
仪表技术与传感器
ＩｔｕｎｔＴｅｈｑａｄＳｎｏｎｓｒｍｅｃｎｉｕｅｎｅｓｒ
２００１
第４期温度补偿系统的设计
刘鹏，学友，凌辉，杨杨李雁斌
可以对多路ＭＸ４２进行控制和数据交换。Ａ１５
圈ｉ
ＲＳ２２一３通讯
力等因素还会造成输出信号的非线性，重影响传感器的灵敏严
性以及测量的精确度口３。因此，Ｉ补偿硅压力传感器的温度误
差及非线性误差是进行压力测量的一项重要工作。目前，对此类传感器的补偿方案有很多，系统是针对集该成一体化的传感器调理电路方案而设计的一套基于ＭＡ１５Ｘ４２温度补偿系统Ｊ对硅压力传感器的温度漂移和非线性误差进，行补偿与校正。经过试验确定好补偿和校正参数后，Ｘ４２ＭＡ１５
ｔｎｂｔｅｎｔｅｐｅｓｒｎｈｕｐｔｏｈｒｓｕｅｓｎｏｓｌｅｒｉｈａｇ一４ ℃ ～８￣．ｈａｕｍｅｔｒｏｉｅｗｅｒｓｕｅａｄｔｅｏｔｕｆｅｐｅｓｒｅｓｒｉｉａｎｔｅｒｎｅｏｏｈｔｎｆ００Ｃｔｅｍｅｓｒｎｒｒｉｅｅｓ
３０７）００２（天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津
摘要：针对硅压阻式传感器存在的温度漂移误差和输出信号的非线性提出了利用ＭＡ１５Ｘ４２温度调理芯片进行补偿的方案。描述了传感器温度补偿系统的整体构架，着重阐述了ＭＡ４２的补偿原理以及对传感器的补偿过程。测试结Ｘ１５果表明传感器经过补偿以后，一０～８在４０℃ 的温度范围内输出的信号与压力成较好的线性关系，测量的误差小于０８．％。
０引言
相连，ＭＡ１５对Ｘ４２发送的所有命令都由上位机的软件来控制，
基于半导体压阻效应制成的硅压力传感器在测量过程中要和被测物接触才能得到测量结果。由于被测物体的温度变化会使传感器的压阻系数产生变化，以压阻效应原理本身会所
引起传感器输出的温度漂移ｊ。同时，由于制造工艺所造成的传感器电桥电阻的不严格对称、桥臂电阻的漏电流以及装配应
单片机接收上位机的命令之后，断是对哪一路ＭＡ１５判Ｘ４２进行操作，并将命令发送到相应的ＭＡ１５Ｘ４２中。这样，上位机就
ｓｌｌｒｔａ．％．ｍａｅｈ０８ｎ ‘
Ｋｅｏｄｔｍｐｒｔｒｒｏｓ；ｉｉｏｅｏｅｉｔｖｅｏ；ｙｗｒｓ：ｅｅａｕｅｒｒｓｌｃｎｐｉｚｒｓｓｉｅｓｎｓｒＭＡＸ１２；ｅｐｒｔｅｃｅ４５ｔｍｅａｕｒｏｍｐｎａｉｎｅｓｔｏ