激光干涉仪使用技巧讲解
高性能激光干涉仪安全操作及保养规程
高性能激光干涉仪安全操作及保养规程背景介绍激光干涉仪是一种测量物体形状、表面变形和内应力的高端测量仪器。
通常与激光技术相结合，通过测量光波干涉的原理来实现精确测量。
与传统的物理测量相比，激光干涉仪具有精度高、非接触等优点。
因此在航空航天、国防、机械制造等领域被广泛应用。
在使用激光干涉仪的过程中，安全操作和正确的保养规程是保证其正常运行和延长使用寿命的关键。
安全操作规程1. 装置放置在确定使用地点和场地后，需要按照安装说明书上的方法将激光干涉仪固定好。
应保证放置稳定，不易发生晃动，并确保周边空间足够以方便操作和检修。
2. 电源连接激光干涉仪的电源连接需按照安装说明进行，确保电源和线路正确接通。
公司要求：1、激光干涉仪电源需要接地插座;2、电缆需要使用防护套管;3、电源出口必须连接过流保护开关和漏电保护器。
如有其他特殊安全要求，需要按照公司要求执行。
3. 操作者安全激光干涉仪是高端精密仪器，操作难度较高，需要进行专业培训后再进行操作。
人身安全至关重要，操作人员需要穿戴相应的安全装备。
同时，需要明确操作流程，并按照流程执行操作，避免出现人为操作差错和疏忽。
4. 防止对周围环境产生影响激光干涉仪的使用会对周围环境产生一定影响，因此在操作时需采取正确的措施。
特别是要注意防止激光干涉仪的使用对周围的人员产生影响，如激光造成眼睛损伤等。
5. 维护保养激光干涉仪的保养和维护是其能够长时间稳定工作的关键。
操作人员要认真学习和执行维护保养规程。
建议每年对激光干涉仪进行一次大型保养，对使用寿命较长的部件进行及时检查并更换。
保养方法激光干涉仪作为高端仪器，要采用正确的保养方法来保证其正常运行，延长使用寿命。
同时，保养过程中应注意安全，防止人身伤害和环境污染等风险。
1. 清洁激光干涉仪使用过程中，由于灰尘、污垢和液态介质的积累，会影响测量精度。
一般来说，需要根据实际需要对仪器进行清洗，以确保其保持良好的测量精度。
a. 外部清洁要将仪器表面上的灰尘、油脂和化学物质等清洗干净，不能使用刷子和湿毛巾以免划伤表面。
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧干涉仪是一种用于测量光学路径差的仪器，广泛应用于物理学、化学、生物学等领域的研究中。
本文将介绍干涉仪的使用方法以及干涉谱的分析技巧。
一、干涉仪的使用方法1. 调节光源：首先需要确保光源的亮度和稳定性。
可以使用氙灯、钠灯等白光源或激光器作为光源。
调节光源的亮度和位置，使光线尽可能地垂直射入干涉仪。
2. 调整干涉仪的干涉臂长度：干涉仪的干涉臂长度决定了光程差的大小。
通过调整干涉仪的干涉臂长度，可以改变干涉谱的特性。
一般可以通过调节干涉仪的反射镜或移动反射镜的位置来实现。
3. 调节干涉仪的角度：干涉仪的两个反射镜之间的夹角也会对干涉谱产生影响。
调节干涉仪的角度可以改变干涉条纹的间距和形状。
通常可以通过调节干涉仪的支架或移动一个反射镜来实现。
4. 实施干涉实验：当调整好干涉仪的参数后，可以进行干涉实验。
将待测样品放入干涉仪中，观察干涉条纹的变化。
可以通过调整样品的位置、旋转样品或调节光源的亮度来改变干涉条纹。
二、干涉谱的分析技巧1. 干涉条纹的形状：观察干涉条纹的形状可以获得关于样品的信息。
例如，干涉条纹的明暗交替说明样品存在厚度或折射率变化。
条纹的形状还可以用于测量样品的表面形貌或薄膜的厚度。
2. 干涉谱的解析：干涉谱是干涉仪输出的光信号在频率域上的分布。
通过分析干涉谱可以获得关于样品的更多信息。
可以利用光源的光谱信息和干涉仪的干涉谱来推断样品的光学性质。
3. 干涉谱的拟合：通过将实际测量得到的干涉谱与理论模型的干涉谱进行拟合，可以得到样品的参数。
对干涉谱进行拟合需要掌握数学拟合方法和理论模型，并根据实际情况选择合适的模型。
4. 干涉谱的计算：干涉仪输出的光信号一般是电压信号或强度信号。
可以利用傅里叶变换等方法将信号转化为干涉谱。
计算干涉谱需要掌握信号处理和数值计算的方法。
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧是进行干涉实验和研究的基础。
掌握这些方法和技巧可以帮助研究者更准确地获得样品的光学信息，并推断样品的性质。
激光干涉仪日常使用需注意的事项
激光干涉仪日常使用需注意的事项激光干涉仪是一种用于测量长度变化以及形状改变的精密测量工具。
在实际应用中，使用激光干涉仪需要注意以下事项：1. 安全使用激光干涉仪使用激光技术，因此在使用时需要注意安全问题。
特别是在激光发射时，应尽量避免激光束直接照射人眼，因为激光对眼睛具有破坏性。
使用激光干涉仪时，应戴上适当的防护眼镜以保护双眼。
在连接器和接口处还需注意检查线路是否正确连接，避免发生短路，防止发生电击事故。
2. 操作注意事项使用激光干涉仪进行测量时，应注意以下操作事项：2.1 清洁镜面由于测量精度的高要求，激光干涉仪需要保证测量位置的光路通畅，因此需要在使用前定期清洁镜面。
清洁时应注意使用干净的棉布或专门清洁镜面的纸巾来擦拭，不能使用普通的纸巾和织物等材料，以免刮伤镜面。
2.2 避免光源遮挡在进行测量时，应避免被测物体遮挡光源，这样会导致干涉光路无法正常形成，造成测量误差。
2.3 避免环境光干扰激光干涉仪在环境光较强的情况下容易受到干扰，会导致测量结果失准。
因此使用时应尽量避免在有直射光线的地方使用。
在使用时应关闭室内强光源、卸下手表和首饰等反光性物体，并在测量的时候采用防干扰措施进行保护。
2.4 保持仪器水平使用激光干涉仪时应保持仪器水平，尽量避免颠簸和震动，因为任何形式的移动和震动都会对测量结果产生干扰，导致误差增多。
3. 仪器维护激光干涉仪是一件精密仪器，在日常使用中，要注意长期维护和保养。
需要定期对激光干涉仪进行检查和校准，以确保测量结果准确。
在仪器存放时，要尽量保持仪器干燥、不受潮湿、不受环境温度引起的影响。
以上是使用激光干涉仪时需要注意的几个方面，只有在细心用心的操作下，才能够更加准确稳定地获取到精度精细的测量结果。
激光干涉仪实际应用培训教案
应用具体讲解
• 下面具体讲解一下，如何用激光干涉仪 对数控机床进行精度检测。先以数控立式 车床GTC16090（系统为西门子802D）的 机床为例： • 1.首先检查机床是否设有软限位。在机床数 据内查找36110，并且设置好机床的最大行 程。 • 2.看刀补OFFSET内X和Z是否有数？如果 有要清零。
• 此螺距补偿文件中，第一个0是表示此机床没有光栅尺。 第二个0是表示补偿顺序的序号。AX3是表示的补偿轴。 STEP表示步长。MIN表示激光程序运行起始点的最小坐 标值。MAX表示激光程序运行起始点的最大坐标值。
注意事项
• 值得注意的是，激光束的波长取决于所通过的空 气折射率。由于空气折射率会随着温度、压力和 相对湿度而变化，用来计算测量值的波长值可能 需要加以补偿，以配合这环境参数改变。实际上 就测量准确度而言，此类补偿在进行线性位移(定 位精度)测量，特别是量程较大时，非常重要。
检测螺距误差必要性
•
开环和半闭环数控机床的定位精度主要 取决于高精度的滚珠丝杠。但丝杠总有一 定螺距误差，因此在加工过程中会造成零 件的外形轮廓偏差。由上面的原因可以得 知：螺距误差是指由螺距累积误差引起的 常值系统性定位误差。检测螺距误差是为 了减少加工过程中造成零件的外形轮廓偏 差，即提高机床的精度。
激光干涉仪使用方法
激光干涉仪简介
检测螺距误差必
要性 工作原理 使用技巧 实际应用 日常维护与保养
激光干涉仪
1.ML10基本组成： ML10 激光器 三脚架 EC10 环境补偿装置 线性测量镜 组
2.XL80基本组成： XL80 激光器 三脚架 XC-80 环境补偿装置 线性测量 镜组
电脑设置过程
• 1.打开电脑，程序--Renishaw LaserXL--线 性测长。到如下图： • 2.单击目标点--等距定义目标--第一定位点 （0）--最终定位点（所检测轴的全长，假 设为1000）--间距值（100）--目标数（自 然生成）--确定
光纤激光干涉仪的操作要点
光纤激光干涉仪的操作要点光纤激光干涉仪是一种重要的精密测量仪器，常用于科研实验室以及工业生产中的各种精密测量、质量控制等方面。
它以其高精度、高灵敏度和便捷的操作性能，成为科技领域中不可或缺的工具之一。
本文将介绍光纤激光干涉仪的操作要点，以帮助读者更好地掌握和使用这一仪器。
首先，使用光纤激光干涉仪前，我们需要准备一些必要的设备和材料。
首先是激光器，它是光纤激光干涉仪的核心部件，负责产生稳定的激光光源。
其次是光纤，光纤用于传输激光信号，要选择质量好、损耗低的光纤。
此外，我们还需要干涉仪的控制器、光路调整平台、光电探测器等设备。
在操作光纤激光干涉仪时，首先需要将激光器与光纤相连接。
将激光器输出端的激光束通过适当的光学元件，如准直器和偏振分束器，输入到光纤中。
在连接过程中要注意保证光纤的插入深度适中，避免损坏激光器和光纤。
接下来，我们需要调整光纤激光干涉仪的光路。
首先，调整光纤的位置和角度，使激光能够顺利通过干涉仪的各个光学元件。
可以使用光路调整平台来微调光纤的位置，确保激光光束尽可能平行且垂直于光学元件表面。
调整完光纤的位置后，我们需要调整干涉仪的两个光路长度，即参考光路和待测光路。
光纤激光干涉仪利用干涉现象实现精密测量，其中的关键就是保证两个光路的光程差恒定。
为了实现这一点，我们可以使用干涉仪的控制器，通过微调反射镜或位移平台来改变光路的长度，使得光纤激光干涉仪处于干涉峰值状态。
在进行实际测量之前，我们还需要对光纤激光干涉仪进行校准。
校准目的是消除系统误差，提高测量的准确性和可靠性。
光纤激光干涉仪的校准方法多种多样，可以根据不同需求选择合适的方法。
例如，可以使用标准光源对干涉仪进行校准，或者使用已知长度的参比杆进行比对校准。
校准完成后，我们可以进行实际的测量工作。
光纤激光干涉仪在科学研究和工业应用中有着广泛的用途，如长度测量、表面形貌测量等。
在进行测量时，要注意保持实验环境的稳定，避免外界干扰对测量结果的影响。
物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解
物理实验技术中激光干涉仪操作步骤详解激光干涉仪是一种常用的物理实验技术，它利用激光的干涉现象来测量光学元件的性能。
本文将详细介绍激光干涉仪的操作步骤，包括调节光路和实施测量等过程。
首先，激光干涉仪的调节光路是关键的一步。
在调节光路之前，我们需要准备好一束稳定、单色的激光器和一些基本的光学元件，例如反射镜、透镜等。
1. 校准光路：首先，将激光器稳定放置在平坦的台面上，并连接好电源。
然后，使用一块平行玻璃或反射镜将激光器的光束分成两束，使其相互平行。
这可以通过调节反射镜的角度来实现。
2. 调整波长：使用光学元件来调整激光器的波长，以匹配干涉仪所使用的光学元件。
这可以通过调节光栅或控制激光器参数等方法来实现。
3. 调整光路长度：在干涉仪中，需要调整光路的长度，使得两束光相互干涉。
这可以通过移动反射镜或调节镜子的位置来实现。
需要注意的是保持两束光的相对位置稳定，以避免干涉产生失真。
完成光路的调节后，我们可以开始实施测量。
激光干涉仪的主要测量对象包括薄膜膜层、透镜曲率、表面形貌等。
1. 薄膜测量：将待测薄膜放置在干涉仪的光路中，通过测量光的干涉条纹来确定薄膜的厚度或者折射率。
这可以通过调节光路长度或者改变薄膜的位置来实现。
2. 透镜曲率测量：将待测透镜放置在光路中，通过测量光的干涉条纹来确定透镜的曲率半径。
这可以通过调节光路长度或者改变透镜的位置来实现。
3. 表面形貌测量：通过测量光的干涉条纹来确定物体表面的形貌。
这可以通过调节光路长度、移动探测器位置或者改变样品的位置来实现。
在进行测量过程中，我们需要注意以下几点：1. 确保实验环境的稳定性，如避免外界震动和温度变化对实验的影响。
2. 实施测量时应使用合适的探测器，如光电二极管或相机。
探测器的位置应在干涉条纹中心，以保证测量的准确性。
3. 进行实验时要小心避免对光学元件的损坏，尤其是透镜和反射镜，避免触摸它们的表面。
通过以上步骤，我们可以成功地进行激光干涉仪的操作和测量。
雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册
镭射干涉仪操作手册手册内容一.RENISHAW 公司简介 1二.镭射干涉仪原理 2(1)波的速度 3(2)干涉量测原理 3(3)镭射干涉仪 4(4)镭射干涉仪一般量测项目 4三.注意事项 5四.镭射干涉仪防止误差及保养 5(1)镭射干涉仪防止误差 5(2)镭射干涉仪保养方法 6五.安全及注意事项 6六.镭射光原理及特性7七.镭射硬件介绍8八.镭射架设流程图15九.定位量测原理及操作16(1)线性定位量测原理16(2)量测方式17十.镭射易发生之人为架设误差20(1)死径误差20(2)余弦误差21(3)阿倍平移误差21 十一.镭射操作之步骤22(1)软件安装之步骤22(2)执行量测软件22(3)定位量测硬件架设之操作23(4)镜组架设前之注意事项24(5)镜组架设之步骤24 十二.定位量测之程序范例29 十三.定位量测之软件操作步骤30 热漂移量测38 快速功能键44 十四.动态软件量测之操作45(1)动态量测硬件之架设45(2)执行量测之软件46(3)位移与时间48(4)速度与时间49(5)加速度与时间50 十五.角度量设之操作52(1)注意事项52(2)镜组架设的种类53(3)镜组架测之步骤54(4)角度量测之软件操作步骤57 十六.RX10旋转轴之量测62(1)说明62(2)硬件配件之介绍62(3)硬件操作之步骤64(4)软件操作之步骤67 十七.直度量测之操作75(1)直度之分类75(2)直度量测之硬件架设75(3)镜组架设之步骤75(4)直度软件之操作步骤80 十八.Z轴直度镜组织架设方法85 十九.垂直度量测之操作89(1)垂直度镜组架设之步骤89(2)软件操作之步骤95 二十.平面度量测之原理与操作101(1)硬设备101(2)操作之原理102(3)镜组架设之步骤102(4)软件操作之步骤110RENISHAW 公司简介RENISHAW为一家英国公司,产品营销全世界,主要产品有三次元量床之测头、测针、BALLBAR循圆测试仪、镭射干涉仪････････等等及产品经NPL(英国国家标准)认证为ISO 9001之合格厂商RENISHAW公司为机器设备制造商提供量测检验系统的仪器,提供各种用于机器精度检定的量测设备进而改善机器的精度RENISHAW XL80 高性能镭射干涉仪是机床、三次元坐标量床及其它定位装置精度校准用的高性能仪器,由于最新电子技术的应用,使其镭射波长非常稳定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW 产品介绍：镭射干涉仪量测系统循圆测试仪器(BALLBAR)量测系统三次元测头测针系列黏贴式光学尺系列镭射干涉仪量测原理MICHELSON E0 干涉原理两个频率振幅波长相同的镭射光波因相位变化而发生不同程度的干涉a.相长干涉(建设性干涉)b.相消干涉(破坏性干涉)相长干涉相消干涉1.波的速度V＝fλ 若f，λ const . 则V const2.干涉量测原理3.镭射干涉仪：一般镭射干涉仪均为氦氖镭射,其镭射光为红色波长0.6329μm长期稳定误差0.05ppm以下(10个波长相差0.5个波)其优点：a.测量范围大b.简化以往光学仪器结构c.测量速度快缺点：易受大气环境影响因波长常会随温度、气压、湿度而变化(因镭射光以空气为传递介质)4.镭射干涉仪一般量测项目：(一)定位精度、距离量测、重复性(二)速度、加速度、动态量测(三)角度量测：a.垂直方向角度(pitch)b.水平方向角度(yaw)(四)真直度量测：a.垂直方向b.水平方向(五)直角度量测(六)平面度量测(七)平行度量测(八)旋转角度量测注意事项：(1)三脚架置于待测物适当位置,地基稳固不可摇晃及避免人员和机器碰触的地方(2)三脚架之水平气泡调至中央位置固定(3)信号线之插头,红点表示向上,各线接头缺口部份确实吻合方可插入(4)各电源线、信号线连接或拔除时,各仪器需均在OFF状态,否则会对仪器造成伤害(5)给予稳定独立电源,确实不漏电环境中使用(6)短距离量测(50mm内)亦产生余弦误差,先校直度再作定位(6)对焦时避免反射回来的镭射光打在镭射光射出口处(7)镭射先热机稳定后,再做镭射量测(8)操作中确认XC80(环境补偿系统)是监控中,每7秒各侦测一项,以42秒为一次循环(9)镭射干涉仪设备存放地点尽量保持干燥镭射干涉仪防止误差及保养1﹒镭射干涉仪防止误差(1)量测周围环境应尽量避免太阳光直接照射或突然流动的风产生扰流现象(2)装设干涉镜及反射镜在被测机台上时,必须牢固,否则机台移动会造成不可预期的量测误差(3)环境侦测感应器与材料温度感应器是否作动,必须于量测前确实检查,以免造成不必要的误差(4)要获得最佳精度并减少误差,建议遵守下列规定：a﹒在校验环境条件中执行量测b﹒激光束需作确实校直c﹒需注意量测时的周围条件d﹒牢固地装设镜组(3)在量测执行中不可因其它因素而中断,量测必须一次完成检验,若发生量测中断情形,必须重新执行检验2﹒镭射干涉仪保养方法(1)使用时应防止碰撞及震动(2)工作完毕应循操作方法反顺序逐一拆卸并且擦拭干净置回仪器盒内(3)金属平台在使用完后应擦拭干净(4)干涉镜及反射镜片应使用光学镜片专用擦拭纸做圆形回转擦拭(注意严禁使用酒精或具有挥化性及腐蚀性之清洁液擦拭,请干擦,因镜面有镀一层蓝色薄墨,而激光束是靠此薄墨产生折射与反射,如果使用具有挥化性或腐蚀性之清洁液会将此薄墨破坏,如果镜面没有薄墨折射率既减弱而影响光强,且无法再镀上此薄墨,请注意小心使用)(5)应小心搬运尤其对镜片类应有适当防护与防震,暂不用时以干净东西覆盖安全注意事项1.镭射光属二级镭射,建议勿长时间直视镭射光2.镭射预热时可将镭射光闸暂时关闭,镜组对焦时再予以打开3.对焦时尽量避免反射之镭射光打在镭射头的镭射发射出口处,以免镭射造成不良影响4.架设镜组前,先将机器欲测轴全行程来回移动,观察机器移动空间并决定镜组架设位置,当镜组架设至机台后,使用手动慢速移动机器确定移动空间无其它干涉物后,机器才可改为自动移动5.架设或操作镭射干涉仪时,闲杂人等避免靠近,以免拌到电源线或传输线6.确认电压伏特是否正确,并且所使用的电力来源尽量能够独立,并加稳压器.镭射光原理及特性1.光的相关原理光为一种无质量的微粒子(牛顿)光为一种电磁波(马克士威尔)光具有粒子与波动的性质2.光的特性方向性直线性波动性3.波的基本物理量频率f、周期T、振幅A、波长λ、其中波长是长度单位4.何谓镭射光对某种元素施予能量,使其原来稳定的基态(低能阶)变为不稳定的激态(高能阶),元素会由激态(高能阶)释放出能量后变回原来的基态(低能阶) 再释放能量的过程中会产生一种光,我们谓之镭射光5.镭射光之特性A.高单频性：光的频率即是色,高纯频率即是高单色,一般可见光包含红、澄、黄、绿、蓝、靛、紫、频率纯度较低B.高方向性：镭射光配合聚光镜的发散角度非常小,而一般光线其扩散角度都非常大C.高亮度性：其光线亮度比一般光线亮度大数倍(视镭射而定)硬件介绍XL80 镭射头XC80 环境补偿系统8XC80 环境补偿系统插槽示意图夹持器组线性定位量测镜组角度量测镜组Z轴直度量测镜组及附件垂直度量测镜平坦度量测镜组旋转轴量测系统镭射头微调平台重负荷三脚架镭射架设联机流程图1﹒镭射架设及量测流程表15定位量测原理及操作1﹒线性定位量测原理：(一)架设方式：干涉镜不动,移动反射镜反射镜不动,移动干涉镜(二)何谓线性定位精度：CNC机器执行时,程序之坐标点未必是机器的坐标点,程序坐标点为理想值,机器坐标点为实际值,两者之间差为机器的定位精度(三)线性定位误差原因：误差原因可能是导程误差、控制器误差、机器几何误差及震动等原因(四)线性定位量测的目的：量测出机台可能因零件和组装所造成的误差,可利用机器参数补偿或重新组装改进机器加工机精度,确保机器加工的质量(五)镭射干涉仪定位量测发生误差的原因：a﹒空气、温度、湿度、气压等影响b﹒待测物之热膨胀系数c﹒电子误差d﹒死径误差(图一)e﹒阿倍(ABBE)误差(图二)f﹒余弦(COS)误差(图三)g﹒震动误差h﹒镜组热膨胀飘移镭射干涉仪量测数据是以数值方式显示,并没有一般量测时有人为读值判定所产生的误差162﹒量测方式a﹒线性(linear)方式---单向---2次b﹒线性(linear)方式---双向---2次17C﹒朝圣(pilgrim)方式---单向---2次d﹒朝圣(pilgrim)方式---双向---2次18e﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次f﹒钟摆(pendulum)方式---单向---2次镭射架设易发生之误差1﹒死径误差(如图一所示)˙死径误差是一种与使用XC80 自动补偿的线性量测过程中的环境因子变化有关的误差。
雷妮绍激光干涉仪的使用
第四步：软件设置
1) 采集来自环境空气温度值、物体表面温度值； 2) 物体膨胀效应补偿：不带光栅尺的为11.7/带光栅尺的为8.0；
3) 点击软件最左边第一个工具，进入设置对话框；
4) 采集数据设定第一项： 设置第一定位点， 最终定位点 ， 间距值，完成后进入 下一项；
5) 采集数据设定第二项：定位方式选择“线性定位方式”，测量次 数一般设为2，选择方向为“双向”，其他不变，点击进入下一项
6) 采集数据设定第三项，填写“机器名称”、“轴”等信息；
7) 采集数据设定第四项：越程量大小改为：0.0000mm 其他保持不变， 点击完成设定。
第五步：执行测量程序
1) 打开倍率旋钮开关，将程序中第一步的1mm余量走完后，再次 关闭倍率旋钮；
2) 软件清0（注意正负号），打开倍率旋钮，即可自动执行程序采 集测量数据，绘制测量曲线；
3) 等待程序执行完毕后，按“回车”键结束，机床侧按“RESET” 键结束程序执行。
第六步：分析测量数据
1) 点击“分析数据”，进入数据分析窗口；
2) 点击“分析数据”选择一个标准，点击进行曲线分析机床的各项指标；
3) 若检测下来机床的精度需要提高，则可按照当前检测结果进行补偿， 点击“误差补偿图表”；
L14 ；
X-1. ；
G4 X1.
；
X1.
；
G4 X4
；
M98 P0402
L14 ；
M99；
（主程序）
O0401 G0 G91 X-50. ； G4 X4. ； M99；
（子程序1）
O0402 G0 G91 X50. ； G4 X4. ； M99；
（子程序2）
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魏纯：激光干涉仅使用技巧
雹
证ｚ轴的测量范围。３．２．２选择磁性表座
磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具，选择时需要注意，表座工作面上需有Ｍ８的螺孔以配合安装镜组安装杆，主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选
作者曾经在一台大型铣床位置准确度检测过程中，遇到测量中电脑无端重启，导致之前测量过程中的数据全部丢失的情况。过后检查该电脑，没有发现病毒或其他问题，但确实长时间用于激光干涉仪测量中，会出现重启的现象。
电脑专属专用，利于测量数据长期保存，方便测量人员进行数据分析、问题查找。
３．５
日常维护
ＭＬＩＯ激光干涉仪使用中日常维护也同样重要，
5.期刊论文高媛.郭丽莎激光干涉仪测角系统的精度补偿方法-计量技术2003(1
提出一种新的准直方法,对HP5528A激光干涉仪测角实现了精密计量.
6.期刊论文黄天喜.严祯.曾韬. HUANG Tian-xi. YAN Zhen. ZENG Tao几种测量机床导轨直线度误差的方法-机械工程与自动化2008(2
3.学位论文成相印激光准直测量中几个基础性问题的研究1994
该文综述了当前激光准直测量方法,通过比较分析,认为下面三个问题带有一定普遍性,值得仔细研究:1激光的稳频;2光学、光路的自适应;3结构分析.该文提出了一种用双频激光干涉仪测量直线度的新方法.从激光头出射的激光,通过第一个渥拉斯屯棱镜变成两束夹一小角度的光束,再通过第二个渥拉斯屯棱镜变成两束平行光,经直角体反射回激光头,通过对测量光束和参考光束比相,就可获得直线度偏差.
虽然ＭＬｌ０激光干涉仪安装组件比较齐全，但在实际使瘸过程孛逐是需要另外配置一ห้องสมุดไป่ตู้辕助工舆：
３．２．１
自己研制低高度云螽支架
部分机床工作台高度与地面是基本相平的，那么测量Ｚ轴器重，如果使黑激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面，则肯定会因为三角架本身的高
度，损失ｌｍ左右的测量范围。作者是采用自己研制
相似文献(10条
1.会议论文曹利波利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测2008
简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项。
2.期刊论文于迎红激光干涉仪线性光束准直的快速调整方法-计量技术2006(9
本文介绍了在生产现场激光干涉仪光束准直的快速调整方法,掌握技巧可提高工作效率.
［２］计量测试技术手册编委．计量测试技术手册第二卷．中国计
量出版社，１９９７．
［３］Ｆ．Ｔ．阿雷克Ｅ．Ｏ．舒尔茨一杜波依斯．激光器．科学出版社，１９８０．
【４】叶声华．激光在精密计量的应用．机械工业出版社，１９８２．
［５］ＲＥＮＩＳＨＡＷＭＬｌ０激光干涉仪测量系统说明书．
作者简介：魏纯，男，助理工程师。工作单位：广州市计量检测技术研究
4.学位论文陈庆基于信号调制的二维微小角度传感器的设计2007
角度测量在现代企业的质量保证体系中具有非常重要的地位，也是几何量计量技术的重要组成部分。随着纳米测试技术的进一步发展，高精度、高分辨率小角度测量方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。现阶段由于运用了各种先进的测量手段和仪器，使得测量准确度和精度达到了很高的水平。但是，传统的小角度测量仪器如激光干涉仪，光电自准直仪等，由于具有体积大、系统复杂、造价昂贵、对测量环境要求高、较难组成多维测角系统等特点而很难用于工业高精度在线测量。本课题就是在这样的背景下提出来的。为了解决上述问题，本课题基于光学内反射效应，设计并试制了一种新型二维微小角度传感器，实现二维角度的测量，为下一步设计组建小型化多自由度位移检测系统，实现对精密加工机床或坐标测量机的运动姿态及误差的测量奠定基础。本系统采用基于MSP430高性能单片机检测电路进行数据处理，提高系统的响应速度；使用光源调制方法，提高信号的测量精度。以下是本论文的主要研究内容：1.论述了本文研究的目的和意义，查阅了大量的国内外有关技术资料，综合评述了微小角度测量技术的现状和发展趋势。2.从理论上系统的分析了基于光学内反射效应测角法的原理。3.设计制作了一种可调制半导体激光器，包括准直系统和调制驱动电路。4.设计制作了基于单片机系统的处理电路，对其技术性能、工作特性进行了实验研究。5.提出该传感器的评价方法，对影响检测准确度的误差因素进行了比较系统地分析。
量工作中使用，常见的利用分光镜或者光学直角器，达到改变光路，方便测量的目的。这需要，测量人员
了解设备性能、掌握测量技巧，在满足测量准确度的前提下活学活用。
３．４配备专用电脑的重要性
ＭＬｌ０激光干涉仪常配合笔记本电脑使用，但如果不注意专用的问题，无论是软件冲突、抑或是电脑病毒，往往会影响到测量和使用。
ＭＬｌ０激光干涉仪配备有线性测量镜组、角度测
量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测
量镜组、激光器准直辅助镜等等，实际使用中，有些不
同功能的镜组也可以相互组合使用，以满足测量需要。比如角度测量镜组中的反射镜也可以替换线性测量镜组中的反射镜；激光器准直辅助镜的使用可以
减少准直调整的时间。
同时，激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测
用此方法修理带表卡尺示值误差效果明显，只是在修理时要根据示值误差的大小选用不同厚度的铜箔（或纸张）。
作者简介：张军生，男，高级技师。工作单位：中国航天科工集团７８０１
研究所。（湖南国防区域计量站４１０２校准实验室）。通讯地址：４１０２０５
湖南省长沙市５８５信箱３分箱。收稿时闻：２００７—０５—２９
激光干涉仪使用技巧
作者：魏纯
作者单位：广州市计量检测技术研究院,广东,广州,510030刊名：计量与测试技术
英文刊名：METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE年，卷(期：2007，34(10引用次数：
0次
参考文献(5条
1.杨靖岳.邵荫梅.张仁岱.周明家自准直仪19822.《计量测试技术手册》编委会计量测试技术手册19973. F T阿雷克. E O舒尔茨-杜波依斯激光器19804.叶声华激光在精密计量的应用19825. RENISHAW ML10激光干涉仪测量系统说明书
择两个（实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座），在测量时，往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。
在现场使用是激光干涉仪广泛应用的一个特点，
但往往现场工作条件比较差，装夹具不一定全。作为
校准测试人员，提前较好较全地选择配套辅助工具，根据现场情况，合理使用辅助工具，是顺利、高效完成
测量任务的重要一环。３．３镜组的灵活使用
院。通讯地址：５１００３０广州市广仁路１１号。收稿时问－＇２００７—０６一加
。
（上接第３７页）
不要用力过猛，同时不能使齿轮与齿条脱离啮合。调整好啮合间隙后将三个安装螺钉拧紧。
（７）修理示值误差。卡尺的示值误差在整个测量
范围内为负时的修理。见表ｌ。
表１
单位：ｍｉｌｌ
将主尺背面固定齿条靠近测量面第一个螺钉松
介绍了3种测量机床导轨直线度的方法,阐述了其基本原理,并对其进行了分析和比较.
7.期刊论文张立新.黄玉美.王峰. ZHANG Li-xin. HUANG Yu-mei. WANG Feng干涉测量的误差分析与并联机床的准确度测量-光子学报2008,37(6
对雷尼绍激光干涉仪的线性测量原理进行了详细探讨,分析了干涉仪在线性测量中的主要影响因素和误差诱因;作出了线性测量的准直误差特性曲线和阿贝误差特性曲面,并利用最小二乘法拟合得到了干涉仪准直测量误差的数学模型和沿u、v方向离散的阿贝误差特性曲线方程;给出了一种建立误差数学模型的方法采用激光干涉仪检测了并联数控机床直线轴的运动准确度,并提出了一种适合于并联机床直线轴定位准确度测量的干涉测量方法.
8.学位论文严琴落体法等效原理实验检验中的激光干涉测量系统2002
３．１
Ｚ轴激光光路快速准直方法
用激光干涉仪进行线性测量时，无论是数字机
床、还是坐标测燮枫，ｚ轴测量酵激光光路的礁童榻对Ｘ、Ｙ轴准直来说，要困难的多。尤其是在ｚ轴距离较长的情况下，要保证激光光束经反射镜反射后回到激
先探测器的强度满足测量对对光强的要求，准妻激光光路往往需要很长时间。
根据作者长期使用的经验，按照“离处动尾部，低处动整体”的调整方法，将会大大缩短漆直时闻。（“尾部”是指ＭＬｌ０激光器电源接口边上的倾斜度调蹩旋钮和三兔架云台上的旋转微调控制旋锂，“整体”是指三
开，裁剪一条长度１０ｍｍ宽度３ｍｍ厚度０．０６ｍｍ左右
的铜箔如果没有用普通打印纸也可以。将铜箔塞到齿条与主尺接触的间隙中，然后拧紧固定螺钉。注意．不要让铜箔高出齿条表面。卡尺的示值误差在整个测量范围内有正有负时的修理。见表２。修理方法基本同上。不同之处是要拧松８１．６ｍｍ附近固定齿条
的螺钉，将铜箔塞到８１．６ｍｍ处齿条与主尺接触的间隙中，然后拧紧固定螺钉。
z轴置于低处利用mll0激光器外毙中部的瞄准槽正对z轴放置分光镜左右移开z辅观察激光光路保证激光转向后大致平行于z轴左右移回z轴放置线性反射镜及光靶可以盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及控制光路的靶激光打在反射镜光靶初步调整后围定分光镜并在分光镜上安装光靶通过整体调整精确瞄准光靶后取下分光镜光鞯将z轴升离观察激光在反光镜光靶上偏离程度同时透过尾部调整使激光对准反光镜光靶若在此过程中医尾部的调整导致分光镜遮挡了部分激光嬲将z轴停止上升西到起始处重新调整整体再次对准反射镜光靶
ｌ引言高性能激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，弦者所在单位使用的是英国ＲＥＮＩＳＨＡＷ公闭生产的ＭＬｌ０激光干涉仪，具有性能稳定，使罱方便等特点。
通过较长时闯使用，作者认为测量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响测量的常规因素外，掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。