超高真空系统操作标准作业程序pdf
真空包机设备操作规范
設備名稱真空包裝機設備功能真空包裝文件編號
設備型號廠商版本
二﹑操作順序：
1.完成數位記憶設定(參照數位面板使用說明)。
2.將要包裝之真空袋開口部份排列於真空機之封口線上。
3.工作時只須將上蓋用雙手輕壓上後即立行啟動，動作完成後上蓋會自動開啟。
三﹑注意事項
1.注意電源(220V/50HZ)﹐切勿插錯。
2.真空包裝機離牆距離10cm,以便通風散熱。
3.每天清潔外觀。
4.開機后檢查指示燈﹑排氣扇﹑電源指示燈及LCD屏幕是否正常。
5.每15天對加熱器用布條擦淨。
6.封口作業中如出現異常﹐請及時聯絡儀保人員。
核准審核制作日期。
超高真空系统测漏标准作业程序
超高真空系統測漏標準作業程序一、前言1.根據實驗室規範，操作本系統前，必須取得合格操作人執照。
2.真空系統不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。
3.假漏(virtual leak) 與實漏(real leak) 的判定假漏：真空系統中所有可能產生氣體的機制均屬於假漏，例如：真空腔體表面吸附氣體的脫附、腔壁內部陷補或溶解的氣體經由擴散機制至腔體內，以及任何蒸氣壓高的物質包括污染等在真空腔內蒸發均為假漏，如Figure 1所示。
假漏的現象有一特點，即上述發生的氣體壓力達到與其周圍壓力相等時即產生平衡，故壓力不再上升。
實漏：外部氣體經由腔體、管壁銲接缺陷或有刮傷刀口之法蘭及接頭等處進入腔體內部，如Figure 1所示。
若有實漏發生，停止抽氣後腔體壓力最終將會與環境壓力達到平衡。
Figure 1. 真空系統的可能漏氣途徑，其中a,b,c,d為假漏的可能方式。
4.漏氣的各種可能途徑4.1.材料製造過程及加工處理：小孔、裂縫、銲接處的裂痕以及材料加工的紋理等。
4.2.材料本身的性質用來作真空系統的主體如真空腔，或真空元件如管路、氣密襯墊以及絕緣體等材料，其本身即具有某種性質可能為漏氣的條件。
故只要選用此種材料即無法避免漏氣。
4.2.1.多孔性材料的微孔有些陶瓷絕緣體或襯墊具多孔特性，故應考慮含有此類材料的真空元件可能的漏氣率。
4.2.2.分子或晶體間隙的滲透(permeation)滲透的機制為氣體分子經由材料的分子間隙或晶格間的空隙穿過進入真空系統內部。
除非更換不同的材料，否則滲透將不可避免且無法改善。
滲透與環境溫度、材料選用、氣體分子大小以及氣體分子濃度有關。
例如，玻璃及石英在性質上較金屬材料容易被滲透，又氫氣或氦氣因分子較小，所以比氧氣或氮氣容易滲透。
5.測漏時機：壓力未達幫浦所被預期的工作極限、抽氣速率過慢、真空系統再組裝或翻修後以及實驗品質管制（例：因實驗需要監測特定氣體分壓）。
真空机组标准操作规程
目的：规范真空机组的操作程序，保证真空机组正常运行
范围：适用于真空系统。
职责：真空岗位操作人员负责真空机组的使用、维护保养，QA负责监督检查。
内容：
1运转前
1.1确认电源之电压，电源指示灯亮
1.2确认冷却水正常供应
1.3确认水箱水位在24~26㎝之间
2启动
2.1合上电源开关
2.2自动启动方式
2.2.1将1#泵、2#泵运行开关转向“投入”
2.2.2将系统运行开关转向“自动”，机组开始运转
2.3手动启动方式
2.3.1将系统运行开关转向“手动”
2.3.2将1#泵运行开关转向“投入”，1#泵即开始运转
将2#泵运行开关转向“投入”，2#泵即开始运转
3运转
请将温度保持在40℃以下
4停止
请将系统运行开关转向“停止”，机组即停止运转
5注意事项
5.1机组运转时，温度超过40℃时，可采取以下两种方式。
5.1.1打开排水阀和补水阀，在保证水位不变的情况下，将机组内部冷却水
置换排出以降低温度。
5.1.2 停机自然降温，同时启动另一机组运行使用。
5.2若发现有异常响动或较大震动时，请立即停机排查检修。
真空系统设备操作规程
真空系统设备操作规程Vacuum system’s equipment operation唐南湘起草/Prepared by设备工程师签名/Signatur e日期/Date 审核/Reviewed by管曙光车间主任签名/Signature日期/Date康碧波电气工程师签名/Signature日期/Date王胜QA经理签名/Signature日期/Date 批准/Approved by张鸣生产总监签名/Signature日期/Date季兵项目总监签名/Signature日期/Date郭红质量总监签名/Signature日期/Date 分发/Distribution变更历史Change History目的Purpose规范真空系统机组运行操作的基本要求，确保设备安全正常运行，为车间提供符合工艺生产要求的真空。
范围Scope适应于M产品车间（五车间）配套的真空系统设备。
职责Responsibility生产部、五车间负责真空系统设备的日常运行操作，记录运行相关参数负责真空系统设备的日常维护，记录日常维护内容质量保证二部负责审核修订操作规程，确保操作规程规范执行参考Reference《真空系统操作安装维修手册》安全注意事项Safety precautions1.真空系统设备的操作人员必须严格按照本规程进行相关操作，禁止对该系统内各机组设备进行违规操作。
2.进入真空系统操作区域须配备耳塞。
术语Glossary无内容Procedure1正常状态下，真空系统设备开停机工作。
1.1开机前检查设备是否处于可开机运行状态。
1.1.1.检查液环真空泵是否安放平稳，地脚螺栓是否紧固。
1.1.2检查液环真空泵的风机运转是否灵活。
点动按钮，运转方向是否正确。
1.1.3检查分离器的液位计读数是否正常。
1.1.4检查系统内压力表，温度计读数是否正常，是否在校核有效期内。
1.1.5检查各阀门是否安装到位，开启关闭灵活，是否处于关闭状态。
真空系统操作SOP
真空系统操作SOP1 目的建立真空系统使用的标准操作规程。
规范其操作。
2 适用范围适用于车间真空系统的操作。
3 职责3.1操作人员严格按此操作法要求进行操作。
3.2设备管理人员负责监督检查操作人员是否按此操作法的要求规范操作和指导。
3.3生产负责人抽查本操作法的执行情况。
4 内容4.1设备开启前的准备工作。
4.1.1打开冷冻水进水阀，检查冷冻水是否畅通。
4.1.2齿轮箱内的润滑油的油位须在油窗直径的1/2高度，润滑油尽量采用粘度为46的机械油。
4.2开机启动4.2.1确保泵的旋转方向正确，从电机风扇端看是逆时针方向旋转，首次运行应该采用点动方式查看电机旋向。
在检查电机旋向时务必打开泵入口进气阀。
4.2.2打开进气阀，泵持续运行20-30min。
此时，检查泵的各项运行参数有无异常，比如震动、油温、泵温、冷却水排出温度、噪声、电机电流等是否有异常。
一般如果有异常都是由于泵的润滑不当或安装不当造成的。
4.2.3如果泵在正常负荷下运行有异常，应该立即停机，通知设备管理人员解决问题后才可以重新启动泵。
4.2.4泵的进气温度不得过高于50℃，排气口最高温度150℃,泵体不得超过60℃，油箱最高温度70℃，吸气端轴承最高温度80℃。
4.2.5泵的冷却水进出口温差应小于7℃为宜。
4.3停机流程4.3.1断开电机电源前关闭进气口的主阀。
4.3.2如果被抽气体含有腐蚀性或危害性，停机前应对泵腔进行吹扫。
通常是通入惰性气体持续吹扫30min。
4.3.3停止冷却水供给关闭阀门。
4.3.4打开积液器排污阀排污。
4.4注意事项4.4.1运转中严禁调试保养设备。
4.4.2发现异常现象，应立即报告班长并通知设备管理人员，设备管理人员采取相应措施或停机检查。
真空作业指导书
真空作业指导书全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：真空作业是一项常见的工作，涉及到许多行业和领域，如航空航天、半导体制造、医疗器械等。
在进行真空作业时，必须严格遵守操作规程，以确保工作的安全性和有效性。
为达到这一目的，制定一份详细的真空作业指导书是非常必要的。
本文将介绍真空作业指导书的编写要点和内容。
一、编写真空作业指导书的目的编写真空作业指导书的目的是为了规范和标准化真空作业流程，确保工作的安全性和效率。
通过指导书，可以明确真空设备的操作方法、维护保养要点、事故处理措施等内容，使操作人员能够准确了解工作步骤，并有效地应对突发情况。
1. 真空设备的基本知识- 真空定义及相关概念- 常见真空设备的种类和结构- 真空泵的工作原理和分类2. 真空作业流程- 启动真空设备的步骤和顺序- 真空度监测方法和要求- 真空系统的调试和操作- 真空设备的停机和故障处理3. 真空设备的维护保养- 定期检查真空设备的状态和运行状况- 清洁真空设备及其附件- 更换使用寿命到期的零部件- 维护保养记录和报告的要求4. 真空作业中的安全措施- 安全操作规程和注意事项- 防止真空设备泄露的方法- 遇到事故时的应急处理流程- 紧急情况下的撤离和救援措施5. 真空作业中的常见问题解决- 真空度不稳定的原因及处理方法- 真空泵工作异常的诊断和修复- 真空管路漏气的检测和处理- 真空系统泄漏地点的查找和修复1. 清晰明了：指导书的语言要简洁清晰，避免使用过多的专业术语和复杂的句子，以便操作人员能够轻松理解和记忆。
2. 全面详实：指导书的内容要全面详实，包括真空设备的基本知识、操作方法、维护保养要点、安全措施等方面，不留死角。
3. 实用有效：指导书应具有实用性和实效性，能够有效地指导操作人员进行真空作业，解决实际问题，确保工作的顺利进行。
4. 定期更新：随着技术的发展和工作环境的变化，真空作业指导书也需要不断更新和完善，以确保内容的时效性和准确性。
真空系统操作规程
真空系统操作规程真空操作主要分蒸汽喷射泵系统、罐口密封及阀门切换。
一、蒸汽喷射泵系统操作规程：1、与蒸汽锅炉房联系供蒸汽，压力要求稳定在0.55—0.60Mpa之间。
2、启动冷凝水泵。
（启动前确定冷凝水管道阀门正确打开，启动后确定水泵正常工作。
）3、检查测控仪表、开启压力表及真空表和阀门。
检查系统中阀门的启闭位置是否正确。
4、引入蒸汽预热管道和汽包，排出冷凝水。
5、分级启动：将各个冷凝器的冷却水打开，依照低真空向高真空的方向逐级启动。
但要求上一级泵达到工作真空后启动下一级泵，并在启动过程中不断地调整冷却水量，使冷凝器在稳定的温度下工作。
一号冷凝器的工作温度为35-36度，二号冷凝器的工作温度为43-44度。
冷凝器工作的时候，从冷凝器上部到下部的温度逐渐地上升，冷凝器的上部接近进水温度，而下部接近工作温度。
6、五级泵的工作是一个串联的过程，每一级泵都有自己的工作真空：一级： 3—10Pa二级： 30—60Pa三级： 300—600Pa四级： -0.095MPa五级： -0.075Mpa。
7、分级停泵：停泵的时候，首先将系统前的真空阀门关闭，以免泵中的蒸汽进入真空管道；然后依照高真空向低真空的方向逐级停泵。
8、随时注意冷水池温度，当水温超过25℃时，启动冷却塔。
使冷水池温度不得超过30℃。
二、罐口密封及切换控制：1、罐顶、罐底大盖密封圈和罐底插销处密封圈，每次出炉必须仔细检查，看密封圈是否托槽。
如有下列情况，则必须更换密封圈。
※密封圈表面有烧伤※密封圈破损或老化无弹性※密封圈表面有明显挤压凹槽2、装料结束后，盖上大盖，上大盖翻转时注意密封圈是否脱槽。
3、和出渣工段联系，检查该罐各密封处密封完好后，打开预抽阀门。
通知中控室，注意该罐真空状态。
达标（达标要求待定）后，中控室通知真空工。
真空工用麦氏真空表测得预抽达标后，准备切换。
4、切换前通知中控室，监控该组主抽真空。
切换时必须先关闭预抽阀门，再打开主抽阀门（决不许先开主抽，在关预抽）。
超高真空系统操作标准作业程序pdf
超高真空度技術手冊前言：為了增進抽真空的效率，如非必要應盡量避免使腔體暴露於大氣下，即使不做實驗時也要讓腔體維持在真空環境中(至少在10-3 torr等級)，如此將可大幅縮短抽氣與baking的時間。
操作流程：1.先用scroll pump將腔體壓力抽至1x10-2 torr以下（約5分鐘），再開啟turbopump抽氣，讓腔體和ion pump內部真空度達到1x10-7 torr左右（約需20分鐘，當壓力低於10-3 torr時，要改用ion gauge讀壓力值），之後可開啟ion pump 暖機。
剛開啟ion pump時（電壓設為7 Kv）。
因為電壓會慢慢上升然後瞬間下降（最後會上升到7 Kv），所以腔體壓力會反覆上升下降（注意勿讓壓力高於10-5 torr）。
等電壓升至7 Kv並觀察約半小時確定電壓穩定後（不會突然降為零），按下protect鈕；如在protect mode下電壓出現不穩，則ion pump 控制器的屏幕上會顯示error 2訊息（如圖1，此時將ion pump電源關閉再重開即可。
圖12.開啟加熱系統（共4組，腔體2組，T型管1組，ion pump 1組），加熱帶溫度約200 ℃。
3.在腔體溫度夠熱（手摸會燙）且ion gauge與RGA已degas完畢後［Ion gauge和RGA的degas動作（詳見degas步驟）需要在e-beam bombard之前進行。
］，即可開啟e-beam bombard system（記得先關閉ion pump的gate valve），步驟如下：A.確認電線已正確接好，接法如圖2－4：圖2圖3：power supply 1，用來供應電子數目。
圖4：Power supply 2，用來提供偏壓，給予電子動能。
B.將power supply 2的電壓調至 -1000 V（如圖5）。
圖5C.先以1伏特為單位慢慢增加power supply 1 （以下簡稱P1）的電壓，同時需觀察power supply 2（以下簡稱P2）的電流值，當P2出現電流值時（如圖6），則P1的電壓增加幅度改為0.1~0.2 V，並觀察P2的電流值，當P2電流值達到30 mA時（最大負載電流為50 mA），即可停止增加P1的電壓值。
利用超高真空技术的物理实验实施步骤与操作技巧
利用超高真空技术的物理实验实施步骤与操作技巧超高真空技术（Ultra High Vacuum, UHV）是一种用于实施精密物理实验的关键技术。
在UHV条件下，实验环境中的气体分子被抽除，使得实验物体与外界几乎没有任何接触，从而可以避免实验中的干扰和污染。
本文将探讨利用UHV技术进行物理实验的实施步骤与操作技巧。
首先，实施UHV实验前需要准备一台高质量的真空系统。
这个系统通常由主真空室、抽真空系统以及监测和控制系统组成。
主真空室是实验装置的核心部分，其内部应具备足够强度和密封性，以保证超高真空的环境。
抽真空系统则通过使用高效的真空泵来抽出室内气体，通常包括机械泵、分子泵和离子泵等。
监测和控制系统用于实时监测真空度，并调整真空系统的工作状态。
在装置准备完毕后，接下来是样品的准备和加载。
样品通常是需要进行实验的固体材料，可以是单晶、薄膜或者纳米结构等。
在准备过程中，重要的一点是确保样品的表面干净无尘，以免对实验结果产生不良影响。
样品的加载通常通过样品传输机构实现，该机构可以在UHV环境下将样品从外界引入主真空室，并实现对样品的定位和固定。
当样品成功加载到主真空室后，下一步是实验仪器和探测器的连接和调整。
实验仪器通常是用于施加各种电磁场、温度场或其他激励条件的设备，如电极、磁铁或加热器等。
这些仪器需要精确调整位置和参数，以确保实验的准确性和重复性。
而探测器则用于记录实验过程中产生的信号，如电流、电压、荧光等，从而获取实验结果。
实验开始后，需要注意的一点是维护和监测超高真空环境。
由于气体分子在常规大气压下含量极高，因此超高真空环境对泄漏源的控制非常重要。
检测和维护UHV条件通常包括两个方面：泄漏检测和气体污染检测。
泄漏检测通过使用质谱仪等检测设备来寻找可能的泄漏位置，并及时修复。
气体污染检测则通过气体分析仪等设备来监测室内气体组分和水分含量，保证实验环境的干净。
最后，实验结束后需要进行设备的清理和维护。
因为在UHV实验中，由于实验装置与外界几乎没有接触，所以设备的清理工作相对简单。
抽高真空流程
抽高真空流程Maintaining a high vacuum flow is crucial in many industrial processes. 高真空流程的维持在许多工业流程中至关重要。
It ensures that contaminants are removed and that products are of high quality. 它确保了污染物被清除，产品的质量高。
Achieving a high vacuum flow requires careful attention to detail and the use of appropriate equipment. 实现高真空流程需要对细节仔细关注和使用合适的设备。
From selecting the right vacuum pump to properly sealing equipment, every step plays a crucial role in ensuring a successful outcome. 从选择正确的真空泵到正确密封设备，每一步都在确保成功的结果中起着关键作用。
One of the key factors in maintaining a high vacuum flow is the selection of the right vacuum pump. 维持高真空流程的关键因素之一是选择正确的真空泵。
Different types of vacuum pumps have different flow rates and capabilities, so it is important to choose one that meets the specific requirements of the process. 不同类型的真空泵具有不同的流量和能力，因此选择一个满足流程特定要求的真空泵非常重要。
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超高真空度技術手冊
前言：
為了增進抽真空的效率，如非必要應盡量避免使腔體暴露於大氣下，即使不做實驗時也要讓腔體維持在真空環境中(至少在10-3 torr等級)，如此將可大幅縮短抽氣與baking的時間。
操作流程：
1.先用scroll pump將腔體壓力抽至1x10-2 torr以下（約5分鐘），再開啟turbo
pump抽氣，讓腔體和ion pump內部真空度達到1x10-7 torr左右（約需20分鐘，當壓力低於10-3 torr時，要改用ion gauge讀壓力值），之後可開啟ion pump 暖機。
剛開啟ion pump時（電壓設為7 Kv）。
因為電壓會慢慢上升然後瞬間下降（最後會上升到7 Kv），所以腔體壓力會反覆上升下降（注意勿讓壓力高於10-5 torr）。
等電壓升至7 Kv並觀察約半小時確定電壓穩定後（不會突然降為零），按下protect鈕；如在protect mode下電壓出現不穩，則ion pump 控制器的屏幕上會顯示error 2訊息（如圖1，此時將ion pump電源關閉再重開即可。
圖1
2.開啟加熱系統（共4組，腔體2組，T型管1組，ion pump 1組），加熱帶溫
度約200 ℃。
3.在腔體溫度夠熱（手摸會燙）且ion gauge與RGA已degas完畢後［Ion gauge
和RGA的degas動作（詳見degas步驟）需要在e-beam bombard之前進行。
］，即可開啟e-beam bombard system（記得先關閉ion pump的gate valve），步驟如下：
A.確認電線已正確接好，接法如圖2－4：
圖2
圖3：power supply 1，用來供應電子數目。
圖4：Power supply 2，用來提供偏壓，給予電子動能。
B.將power supply 2的電壓調至 -1000 V（如圖5）。
圖5
C.先以1伏特為單位慢慢增加power supply 1 （以下簡稱P1）的電壓，同
時需觀察power supply 2（以下簡稱P2）的電流值，當P2出現電流值時（如圖6），則P1的電壓增加幅度改為0.1~0.2 V，並觀察P2的電流值，
當P2電流值達到30 mA時（最大負載電流為50 mA），即可停止增加
P1的電壓值。
（P.S. P1電壓升至10V時鎢絲若仍未亮起則應檢查鎢絲是
否正常安置。
）
圖6
D.開始電子束轟擊時，腔體壓力會隨emission current增加而上升，運作時
間至少2.5小時。
注意事項1：當P1不再增加電壓時，P2的電流不會是固定值而會約有0.2~0.3 mA的震盪，之後P2的電流值隨時會有上升的現象，假如電流值超過運作的最大電流時，則需調降P1的電壓，因此在進行e-beam bombard時，人員必須隨時在現場注意P2的電流值。
注意事項2：E-beam bombard期間，其他儀器勿執行degas。
4.E-beam bombard結束後，當壓力降至1x10-7 torr時先，進行TSP的degas（見
degas步驟3），完畢後再開啟ion pump的gate valve繼續baking。
5.當腔體壓力在一個小時內的變化小於10 %（此時真空度約為1x10-7 torr或更
低）時，關閉加熱系統，讓腔體冷卻8小時以上後，此時壓力約可下降至2x10-9 torr左右。
整個baking過程（包含冷卻時間）約需1天。
6.電扇吹向電線接頭處（圖8）幫助散熱，開啟高電流power supply（圖9），
並切換為local模式，按下output後將電流值設為40 A，運作4到5分鐘，壓力值會先衝至10-7 torr以上再開始慢慢下降，此時開啟ion pump的gate valve 後繼續等待降壓，注意當壓力回到1.6x10-9 torr以下時要關閉turbo pump的gate valve，並將ion pump電壓降至5 Kv，1個小時左右可抽達3.5x10-10 torr，之後壓力仍會緩慢持續下降，8小時後則降至2x10-10 torr以下(補充過液態氮狀態下)。
若要維持真空度，則需每8個小時補充一次液態氮，未補充最後則
會回升至5x10-5 torr左右。
圖7
圖8
圖9
Tips : 當操作完以上程序後，若真空度達5x10-10 torr以下，可將ion pump電壓值 再降至3Kv以減少噴出的鈦離子量，或許可將壓力再往下拉低。
Degas步驟：
1.Ion gauge：按下面板上的degas鍵，此時會無法讀到壓力值，直到degas完
成後會自動恢復壓力顯示（約10~15分鐘）。
2.RGA：開啟L310-PC-022的RGA
3.0 program（圖10）
圖10 ，點選head選項中的degas（圖11）
圖11
圖12
，degas完畢圖12中的小視窗會自行關閉。
3.TSP：以30A電流對三根鈦絲各運作5分鐘，TSP釋氣時壓力會稍微上升至
約4x10-7 torr。
注意degas步驟不需灌液態氮。
注意：進行以上degas步驟前都須先確認ion pump的gate valve已經關閉。
Venting chamber：
先關閉turbo與ion pump的gate valve，然後Stop turbo pump等轉速降至0 rpm （約30分鐘）後關angle valve，關ion gauge並切換到convectron gauge，之後灌空氣進腔體到760 torr後即可打開腔體。