镀层厚度测量仪器校准方法探讨
涂层测厚仪检定规程
涂层测厚仪检定规程
涂层测厚仪（也称为涂层厚度测量仪）是用于测量涂层的厚度的仪器。
检定涂层测厚仪的目的是确保仪器的测量结果准确可靠，以保证涂层质量的控制。
下面是一份涂层测厚仪的检定规程参考，具体操作步骤和指标可以根据实际情况进行调整：
1. 检定仪器的测量范围：选择一系列已知厚度的标准片，使用涂层测厚仪测量其厚度，并记录测量结果。
与标准片的实际厚度进行对比，计算仪器的测量误差。
测量范围应包括常用涂层厚度的范围。
2. 检定仪器的测量精度：选择一系列已知厚度的标准片，使用涂层测厚仪测量其厚度，并记录测量结果。
计算仪器的测量偏差和标准差，评估仪器的测量精度。
3. 检查涂层测厚仪的量程线性：选择一系列已知厚度的标准片，使用涂层测厚仪测量其厚度，并记录测量结果。
绘制测量结果与标准片厚度的线性关系曲线，评估仪器的量程线性。
4. 检查仪器的稳定性：选择一个标准片，使用涂层测厚仪连续进行多次测量，并记录测量结果。
分析测量结果的稳定性，评估仪器的稳定性。
5. 检查仪器的重复性：选择一个标准片，使用涂层测厚仪进行连续的多次测量，并记录测量结果。
计算测量结果的重复性，评估仪器的重复性。
6. 检查仪器的校准：根据仪器的使用说明书进行校准操作。
校准操作应定期进行，以确保仪器的测量准确性。
7. 检查仪器的外观和功能：检查涂层测厚仪的外观是否完好，按下各个按钮和旋转调节钮，检查仪器的功能是否正常。
这是一份大致的涂层测厚仪检定规程参考，实际操作时应结合仪器的使用说明书和检定要求进行具体操作。
提升镀锌层测厚仪校准精准度有隐秘 测厚仪常见问题解决方法
提升镀锌层测厚仪校准精准度有隐秘测厚仪常见问题解决方法镀锌层测厚仪是是用电池供电的便携式测量仪器，接受电涡流原理。
测量方法合乎国内规范ISO2360和 gou家规范GB4957、它接受计算机技术，无损检测技术等多项先进技术，无需损伤被测体就能jing确地测量出它的厚度。
Nf型探头可测量非导磁金属基体上的绝缘包裹层厚度，如铝、铜、锌、无磁不锈钢等资料外表上的油漆、塑料、橡胶涂层，也可测量铝或铝合金资料的阳极氧化层厚度。
本仪器宽泛利用于制作业、金属加工业、化工业、商检等检测畛域；是资料珍惜业余必备的仪器，是测量非导磁资料上绝缘包裹层的厚度。
镀锌层测厚仪校准方法：1、按住开关机键不松手直到显示器呈现”CAL”（此进程大约必需4秒钟）,显示器会显示”F:H”,此时轻按校零键确认（探头确定要悬空）2、按住开关机键不松手直到显示器呈现”Ln” （此进程大约必需9秒钟）显示器会呈现”0.8XX”的数字,假如在测试中发觉高端数据偏大,也就是说127um正确,而420um左右的膜片偏大,可将该数字加大（用”+”键）,反之将该数字减小（用”—“键）.大约该数字每加大0.001,420um左右会相应减小2um.而后按校零键确认. （探头确定要悬空）3、无论是操作一步和第二步完结后,均应在操作完结后从新校零.注意传感器插头的方法.开机后将探头压到铁基上,轻按校零键.将规范膜片（127um左右）放到铁基上,如测量后果不在127um左右,可经过加减键调整.127um左右膜片调整后,别离测量52um和420um 左右的膜片,看能否在允许误差范畴内.假如发觉一切膜片值根本正确,则校准胜利.以上是介绍镀锌层测厚仪校准方法，希望本文对大家有帮忙！覆层测厚仪有哪些使用参数？覆层测厚仪是一种超小型测量仪，它能快速、无损伤、精密地进行磁性金属基体上的非磁性覆盖层厚度的测量。
可广泛用于制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。
由于该仪器体积小、测头与仪器一体化，特别适用于工程现场测量。
涂层测厚仪如何使用才可避开降低误差测厚仪常见问题解决方法
涂层测厚仪如何使用才可避开降低误差测厚仪常见问题解决方法涂层测厚仪如何使用才可避开降低误差在使用涂层测厚仪测量的时候尽量使用被测材料来作为调零的基体,以避开由于不同的材料而导致导磁性不同，而显现测量误差。
等到在被测材料的同一部位调零以后，再进行相同部位的测量，如在侧脸工件边缘及中心部分时应当分别调零。
在利用涂层测厚仪进行测量的时候还应当注意探头和被测料面保持垂直，以免产生大的误差。
若是测量的同一个点，可将探头每次都离开10公分以上，间隔几秒以后再进行测量，以免被测材料探头磁化而影响测量结果。
涂层测厚仪作为调零用的表面需要尽量保持光滑，假如表面不光滑，应当视情况取平均值，由于表面粗糙度对测量的数值影响较大。
结构不同应分别进行调零测量，平面调零侧脸平面，测量凹面调零后测量，测量凸面调零后进行测量，避开由于结构不同而在测量上产生误差。
珠海天创仪器专业代理销售国内外超声探伤产品：超声波测厚仪、超声波探伤仪、各种配件、超声波探头、耦合剂等涂装系列产品：涂层测厚仪、喷涂表面检测、片材测试、物料测试、耐腐蚀测试等磁粉探伤产品：便携式交直流磁轲、荧光磁粉、一般磁粉，各种紫外线灯、紫外线照度计等环保系列产品：温湿度计、风速计、噪音计、环境检测仪器、各种气体检测仪、气体分析仪等建筑检测产品：钢筋探测仪、混凝土保护层测厚仪、激光测距仪、水准仪、经纬仪、全站仪等光测量计系列：分光辐射亮度计、颜色亮度计、颜色分析计、光谱仪等测色仪器系列：分光测色计、色差计、颜色管理软件、光泽度计等电子电工产品：示波器、万用表、钳形表、相序表、电力检测仪器等涂镀层测厚仪的常见故障及处理介绍今日为大家讲解涂镀层测厚仪（简称膜厚仪）使用频繁、工作环境等原因造成仪器测量时有故障总结使用中常见故障及处理方法:涂镀层测厚仪仪器不开机:①请检查确认电池是否有电，或更换新的电池。
②请检查电池是否接触良好，且电极片没有氧化或生锈等一（如生锈一可用工具刮掉氧化层）③请检查按键是否按压到位，且按键正常有弹性。
X-RAY镀层测厚仪检测及校正方法浅析
Ｓ ｔ ｕ ｄ ｙ ｏ ｎ Ｍｅ ｔ ｈ ｏ ｄ ｓ ｏ ｆ Ｔｅ ｓ ｔ ｉ ｎ ｇ ａ ｎ ｄ Ｃｏ ｒ ｒ ｅ ｃ ｉ ｔ ｎ ｇ ｏ ｆ Ｘ— — Ｒａ ｙ Ｃｏ ａ ｔ ｉ ｇ ｎ Ｔｈ ｉ ｃ ｋ ｎ ｅ ｓ ｓ Ｇａ ｕ ｇ ｅ
Ｓ ｉ Ｗｅ ｉ ｚ ｈｅ ｎ ｇ Ｍｅ ｉ Ｗｅ ｎｈ ｕ ａ Ｇｕ Ｚｈ ｉ ｘ ｉ ｎ ｇ
发 而从 原 子 中释放 出来 ， 导 致 该 电子 层 出现 相 应 的 电子 空 位 。此 时处 于 高能量 电子层 的 电子会 跃迁 到 该低 能量
２ 检测 方法 分析
图 １
２ ． １ 检测 前 的准备
仪 器开 机 ， 预热 ３ ０分 钟左 右 ， 首 先进 行 定 位 片基 准 测量 ， 取 出纯 元 素 样 板 ， 将 Ａ ｇ 元 素置于工作台上 ， 调 整 好位 置 ， 并 聚焦 清 晰进 行 测 量 ； 其次将 ｃ ｕ元 素置 于 工作
台上 ， 调 整好 位置 ， 聚焦 清 晰并进 行测 量 。虽然 国 内外生
电子层 来 补充 相应 的电子 空位 。由于 不 同电子 层之 间存
在着 能 量 差 ， 这 些 能 量 差 以 二 次 ｘ 射 线 的 形 式 释 放 出
来， 不 同 的元素 所 释放 出来 的二 次 ｘ 射线 具 有 特 定 的能 量 特征 。因为 每一 种 元 素 的 原 子 ， 各 电子 层 能 级 是 一定
内层 电子 的跃 迁 ， 这种 跃迁 只 能产 生有 限 的几组 谱线 ， 所
以不 同元 素所 具有 的特 征 Ｘ射 线谱 线是 不 同 的 ， 如图 １ 。 Ｘ—Ｒ Ａ Ｙ荧 光 光谱 分 析 法 是 一 种 表 面 分 析 ， 将 被 测
若 是 圆型 、 棒型 、 斜面 、 台阶、 曲面等尽 可能 选择较 小 的准
涂层测厚仪校准方法
涂层测厚仪校准方法
一、定义
涂层测厚仪校准就是根据规定的标准和样板，对涂层测厚仪的精度和稳定性进行校准，使测量值精确符合国家规定的标准，以确保测量结果的准确性和有效性。
二、校准条件
（一）测厚仪使用前必须进行校准，校准样品应符合国家规定的标准，确保测量结果
的准确性。
（二）校准时测厚仪必须在室内进行，避免日晒及仪器受外部环境影响，影响测量精度。
（三）涂层测厚仪应安装在水平的实验台上，避免损坏仪器。
三、校准步骤
（一）开机的前提下，将校准样品放置在测厚仪上，然后调节测量厚度为规定值。
（二）调整校准块，以符合测量该厚度所需要的增益。
（三）以参考值标定样品，然后拿掉样品，在参考值下保存将测量数值。
（四）根据可调步长，继续校准，直至每个门限的测量数值达到所需要的精度。
四、校准后的护理
（一）校准后，应定期检查测厚仪的耗材，保证堵塞及球头等使用的正常。
（二）测厚仪的贴片维护：定期更换贴片，长期不使用和改变环境温度时应该及时更
换贴片。
（三）定期测试：定期在室内可以稳定的环境下，对测厚仪再次校准，确保测量精度。
五、注意事项
（一）涂层测厚仪的校准实验应该在精密的环境中进行，温度和相对湿度都必须严格
控制，以保证测厚仪的正常使用。
（二）校准过程中，不要靠近涂层测厚仪，以免发出电磁波对测厚仪测量精度产生影响。
镀层测厚仪测量对象引入的误差有哪些？
镀层测厚仪测量对象引入的误差有哪些？
镀层测厚仪测量对象引入的误差有哪些？
镀层测厚仪采用磁性测厚方法，可无损伤检测磁性金属基体上非磁性覆层的厚度.仪器广泛地应用于制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。
镀层测厚仪测量对象引入的误差有哪些？
覆盖层厚度的影响：对于较薄的覆盖层，由于受仪器本身测量精度和覆盖层表面粗糙度的影响，较难准确测量覆盖层厚度，尤其是当覆盖层厚度小于5μm的情况；对于较厚的覆盖层，其测量结果相对误差近似为一常数，绝对误差随覆盖层厚度增加而增大。
基体金属厚度的影响：由于磁场在铁磁性基体材料中的分布状态在一定范围内与基体厚度密切相关，当基体厚度达到某临界厚度时，这种影响才能减小或忽略。
若试样基体厚度小于临界厚度时，应通过化学方法除去试样的局部覆盖层，利用试样基体对仪器校准。
镀层测厚仪的故障排除方法：
不显示数字：
造成测厚仪不显示数字的简单原因就是检查电池是否电量充足，确定电池电量充足后如发现测量还是不显示数值。
示值显示不稳定：
导致涂镀测厚仪示值显示不稳定的原因主要是来自工件本身的材料和结构的特殊性，比如工件本身是否为导磁性材料，如果是导磁性材料我们就要选择磁性涂镀层测厚仪，如果工件为导电体，我们就得选择涡流涂镀层测厚仪，还有工件的表面粗糙度和附着物也是引起仪器示值显示不温度的原因，工件表面粗糙度过大、表面附着物太多。
排除故障的要点就是要将粗糙度比较大的工件打磨平整，出去附着物即可，再有就是选择适合的涂镀层测厚仪。
金属镀层厚度测量结果的一致性研究
０ 引言
的一致性 问题进行 初 步研究 和探讨 。
１ 实验方 法
表 面涂覆 技术 是现代 表 面工程领 域在新 零部件 表 面
层样 品 ， 表 面镀 ｃ ｒ 层厚度 规格分别 １ ． ５ ， １ ． ２／ ． ｔ ｍ 和 Ｏ ． ５ ｔ ａ ｎ 。制备 时首 先 在 经机 械 抛 光 的 Ｎ ｉ 基 底 上利 用 磁 控 溅射 技术镀 Ｃ ｒ 层， 再通 过特殊 的手 段去 除 表 面部 分膜 层 以造 成台 阶结构 。其 中 Ｎ ｉ 基底和 Ｃ ｒ 镀 层 均选 用 高 纯 金属材 料 ， 纯度均 为 ９ ９ ． ９ ％ 以上 。为便 于在 扫 描 电镜 下
修饰和强化、 设备失效零部件修复方面一种常用方法， 常
用 的技术 有 电镀 、 电刷镀 、 化 学镀 、 喷涂 、 堆 焊 以及 表面 黏 涂 等 。表面镀 层 的厚 度是 涂 覆 层 质量 的重 要 指 标 ， 若镀
１ ． １ 样 品制备
实验 利用一 种特 制 的具 有 台 阶结 构 的 Ｃ ｒ ／ Ｎ ｉ 类 型镀
部件 的表 面处 理 中 ， 表面镀 层厚 度 的测 量极 为重要 。
测量镀层厚度 ， 在磁控溅射镀 Ｃ ｒ 层 的同时制备参 比样 品， 参 比样 品基 底选 用硅 片 ， 并 与试验 样 品在 同一 真空 室
内、 相 同条 件下 获得 ｃ ｒ 镀 层 。测 量 时将 参 比样 品脆 断 ， 通过 观察 断面 以直 观地 获得镀 层 的厚 度值 。
层 太薄 ，可能满 足不 了零 部件 表 面性 能 的要 求 ， 达 不 到 表 面处理 的 目的 ； 若 镀 层 太 厚 ，不仅 造 成 材 料 的浪 费 ，
镀层测厚仪的检测方法
镀层测厚仪的检测方法简介镀层测厚仪是用于表面涂层厚度测量的仪器，在工程和制造业领域广泛应用。
常用于对金属、陶瓷、塑料等材料中的薄膜、涂层、覆盖层以及表面处理层的测量检测。
本文将介绍镀层测厚仪的检测方法。
测量原理镀层测厚仪是通过测量表面涂层和底材之间的差距，计算并显示涂层厚度的仪器。
涂层测量仪的测量原理随着涂层性质的不同而不同，常见的测试原理有：磁涂层测厚仪磁涂层测厚仪应用磁学原理来测量镀在金属表面的涂层厚度。
其原理是在被检测物表面施加一个磁场，形成不均匀磁场梯度，因此与磁场垂直的涂层表面在磁场中会形成一个感生电动势。
测量仪器利用感应电势大小的变化来推算涂层的厚度。
比重涂层测厚仪比重涂层测厚仪的测量原理是在测量器的尖端放置一个离心轮，离心轮内填充有已知密度的材料。
将测量仪的尖端放置在被测层上，然后快速旋转仪器并停止。
由于离心力作用于密度不均匀的涂层和底材之间，涂层的密度可以被确定并用来计算其厚度。
X射线涂层测厚仪X射线涂层测厚仪测量原理是通过向涂层表面发射一束X射线，测量X射线经过涂层后被吸收的能量，从而推算涂层厚度。
X射线表面分析仪通常用于对非金属表面和复合材料表面涂层的测量。
测量步骤准备工作首先，将需要检测涂层的表面处理清洁干燥。
并确保测量仪器已被正确校准和校准日期未过期。
开始测量1.编制测量计划并选择合适的检测仪器。
2.将测量仪器放置在待测面上，确保仪器与表面无间隙。
3.如有必要，根据涂层特性和厚度测量的类型，仔细地调整测量仪器。
4.启动测量仪器，记录或显示当前读数。
5.如有必要，在涂层破损区域进行多次比较测量以获取准确数据。
6.完成测量后，评估测试结果并记录数据。
测量结果的影响因素影响测量结果的因素有很多，例如：•材料特性：注重厚度和颗粒大小、化学构造、压力和温度等物理性质。
•测量仪器：磁涂层测厚仪、比重涂层测厚仪、X射线表面分析仪等不同类型的测量仪器。
•校准和维护：选择时效性良好的校准标准和合适的维护程序并规定清洁校准方法，尽早及时排除问题。
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镀层厚度测量仪器校准方法探讨
0前言
作为近年来新兴的一个技术门类，金属表面处理技术在现代社会中越来越受到重视。
利用电镀、化学镀、热喷涂、气相沉积等方法为金属基体赋予一层新的镀层，既可提高基体的硬度、耐磨性、耐腐蚀性，也可赋予材料表面某种特殊的功能特性如导电、导热、高反光性等，同时还具有美观装饰作用，因此镀层在当前工业生产实践中应用十分广泛。
镀层厚度一直是衡量镀层质量的重要指标，目前已出现许多可直接或间接测量镀层厚度的仪器设备。
本文将主要介绍几种常用镀层测量仪器的工作原理和特性，并对其检定和仪器校准方法进行探讨。
1镀层厚度测量仪器分类
通常镀层厚度测量仪器按是否在测量时对镀层造成破坏进行分类，主要分为无损和有损(破坏)两类仪器。
无损类仪器主要有磁性和电涡流测厚仪、超声波测厚仪、台阶仪或轮廓仪、x射线荧光测厚仪等；有损类仪器主要有电解式测厚仪以及需要制作破坏式断面样品的金相显微镜、扫描电子显微镜等。
2常用测量仪器及其检定、校准方法
2．1磁性和电涡流测厚仪
磁性测厚仪按工作原理分为磁吸力式和磁感应式两种。
磁吸力式测厚仪的工作原理主要是通过测量永久磁铁(测头)与导磁基体之间因镀层引起的磁吸力变化，得到镀层厚度大小，主要形式有手持式和笔式两种。
该类仪器操作简单、无需电源、价格低廉，适合在车间做现场初步质量控制。
磁感应式测厚仪是通过测量测头与基体金属之间因镀层引起的磁通量或磁阻变化，经计算获得镀层厚度；电涡流式测厚仪则是通过测量测头与基体之间涡流信号的变化得到镀层厚度。
两种测厚仪的工作原理不同，主要表现在测头不同、信号频率不同以及信号大小、标度的不同。
磁性测厚仪一般用于测量磁性金属基体上的非磁性镀层或其它非金属覆盖层，如钢材表面的知、Cr镀层以及油漆、塑料、搪瓷等；电涡流测厚仪主要用于测量非磁性基体上的非导电涂层，如有色金属表面的氧化层、油漆层和涂料等。
两种仪器的测量范围通常为(0—1500)pm，最大可达30nma，仪器的最高分辩率可达0．1tun，精度可达到±1％以上。
有些厂家将两种类型测厚仪结合在一起，同时配备磁性探头(F型)和非磁性探头(N型)以方便测量，或配备一个同时具有F型和N型探头功能的州型探头，实现在磁性和非磁性基体上的自动转换测量。
磁性和电涡流测厚仪均可制成便携式，适用于现场检测，但其对基体和待测镀层的选择性较大，应用具有一定局限性。
磁性、电涡流测厚仪依据“JJG818—2005磁性、电涡流式覆层厚度测量仪检定规程”进行检定，所用检定设备为具有一定厚度均匀性要求的厚度标准片(通常为均匀性较好的塑料薄膜片)，该标准片的厚度首先经电感式测微仪或精密测长机测量标定后用于测厚仪检定。
依据规程检定的主要项目为示值误差及示值重复性，经检定合格的磁性和电涡流测厚仪已基本符合实际样品的检测要求。
2．2电解式测厚仪
电解式测厚仪主要利用阳极溶解库仑法对镀层厚度进行测量，其工作原理是根据镀层／基体类型选用适当的电解液，阳极溶解精确限定面积的表面镀层，通过电解池电压的变化测定镀层的完全溶解，镀层的厚度值通过电解所需时间及所消耗的电量计算得到。
电解式测厚仪适合测量单层金属镀层(如Au、Ag、盈、cu、Ni、Cr等)、
多层金属镀层(如Cu／Ni／Cr等)以及合金镀层和合金化扩散层的厚度。
除可以测量平面试样镀层，配合不同类型电解池还可以测量圆柱形和线材的镀层厚度。
此外，电解式测厚仪的一个突出优点是适合测量多层镍镀层的厚度及其电位差。
电解测厚仪的测量误差一般控制在±10％以内，且不受基体材料影响、操作简便、成本较低，在国内外电镀行业得到了一定的应用。
目前，国内还没有电解式测厚仪的计量检定规程或校准规范，各计量部门校准该类仪器时尚未形成统一的方法，实际中主要参考JJC,818利用电解式测厚仪专用的标准片对仪器的示值误差和重复性进行检查。
笔者认为在该类仪器使用中，橡胶电解池的腐蚀损耗较大，应定期对电解池胶圈尺寸进行检查以校准阳极溶解面积。
此外，针对该类仪器国内尚未有商品化的标准片销售，各计量机构主要通过购置国外的标准厚度片开展相关校准工作。
目前可供选择的标准片种类和规格极其有限，很难保证校准后的仪器真正符合用户的实际使用要求。
国内计量部门应尽快制定国家校准规范并研制各类符合实际校准需要的标准厚度片。
2．3 X射线荧光测厚仪
x射线荧光测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器，其测量原理是由x射线管产生初级x射线照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出的二次x射线(x荧光)被探测器接收，此二次辐射具有该样品材料的波长和能量特征，同时镀层厚度和二次辐射强度也有一定的关系，经多道分析及能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度。
该设备适合用于测定电子、半导体、首饰、表面处理等行业多种金属材料成份和多种镀层厚度的需要。
x射线荧光测厚仪由于测量速度快、精度高、对样品无破坏性，目前在企业生产过程中正得到越来越多的应用。
x射线荧光镀层测厚仪依据“JJFl306—201 1X射线荧光镀层测厚仪校准规范”进行校准。
主要校准工具为标准厚度片，通常选用的标准厚度片有厚度不确定度为2％的l级片和5％的2级片两种，形式主要有金属薄片或基体覆盖镀层的标准块。
仪器检查的计量特性主要有厚度测量的重复性、仪器示值稳定性和厚度测量示值误差三项。
目前，国内尚无商品化的标准厚度片提供，所需标准片几乎全部为国外进口，主要供应商有德国Fischer公司、英国Oxford公司等，上述厚度标准片的量值在国内也尚未实现溯源。
2．4金相显微镜
金相显微镜主要利用光学成像原理观察金相样品的形貌并照相，配合一定的图像分析软件可以用于测量金相样品中镀层或氧化层的局部厚度。
与其方法相比，用金相显微镜测量镀层厚度更为直观方便，也适合于了解镀层和基体内部更多信息。
通常金相显微镜可清晰成像的最高放大倍数为1000倍，在这一放大倍数下，测量lpm 以下的镀层厚度比较困难。
通常镀层厚度越大测量误差越小。
由于样品需进行破坏处理且对金相制样的要求较高，一般不适合工业生产上现场快速检测使用。
目前，金相显微镜尚无国家计量检定规程或校准规范，国内计量单位主要依据“J旧(教委)012微镜检定规程”进行该类设备的校准，检定的计量性能指标主要为物镜分辨率和总放大倍数，这两项指标在设备实际使用中意义并不大。
对于目前使用的绝大部分金相显微镜来说，尺寸测量功能已较为普遍并获得广泛应用，因此有必要对尺寸测量的准确性予以检查。
在普通的放大倍数范围内，利用经校准的分度值为O．01rmn的玻璃刻度尺即可实现对金相显微镜尺寸测量误差的校准。
2．5扫描电子显微镜
扫描电子显微镜的工作原理是利用电子束扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应(主要是样品的二次电子和背散射电子发射)，通过对二次电子或背散射电子信号的成像来观察样品的表面形态。
将镀层样品制成金相样或利用一定的方法直接获得镀层的断面，即可利用扫描电子显微镜测量镀层厚度。
由于扫描电镜景深大、焦距长、成像清晰、放大倍数高，更适合亚微米及纳米尺寸的镀层厚度测量。
通过直接对样品的断面进行扫描分析，也可避免金相制样时对样品镀层边缘的影响，从而获得更高的测量精度。
但由于扫描电镜运行维护成本较高、样品需破坏并需经一定的前处理，分析效率并不高，适合于在实验室进行分析研究或抽样检测。
目前我国有“JJG550—88扫描电子显微镜检定规程(试行)”，是由上海市计量测试技术研究院最早提出并起草，1988发布并试行。
随着科学技术的进步和扫描电子显微设备的飞速发展，该规程中有些检定方法已不适合现今的检定实际要求，但至今该规程仍未进行过修订。
JJG550—88规定了对扫描电镜的放大倍数误差、放大倍数示值重复性、图像线性失真度等重要指标进行检查，与金相显微镜一样，尺寸测量同样是扫描电镜设备使用较多的重要功能，但规程中并未提出对尺寸测量误差进行检查。
目前，用于扫描电镜校准用的标样如格栅、线宽、线节距样板等基本都来自国外，在国内一直存在着量值溯源问题。
受标样的限制，目前可对扫描电镜进行校准的计量单位并不多，迫切需要国内研究机构研发多种类型的标准样板并解决量值溯源问题。
3结束语
目前已存在多种商品化的镀层厚度测量仪，由于其工作原理和特点不同，适用于不同场合。
电解式测厚仪和金相显微镜缺少国家计量校准规范、扫描电子显微镜的试行检定规程也已不符合当前仪器的实际检定要求，因此急需国内计量单位开展相关规程和规范的制、修订工作。
电解式测厚仪、x荧光测厚仪以及扫描电子显微镜的检定和校准都需专用的标准样品，而目前这几类标样基本都依赖进口，同时在国内也存在量值溯源问题，迫切需要国内计量机构开展相关的研究工作。