FMCS在半导体工厂项目上的设计应用
厂务设施中央监控系统设计指引
Facility Monitoring and Control SystemDesign Guide厂务设施中央监控系统设计指引技术手册高科技项目/仪电组目录1.0系統簡介 (3)1.1系統用途 (3)1.2主要設備 (3)1.3控制功能 (5)2.0設計準則 (5)3.0設計步驟及注意事項 (7)3.1建立廠務監控系統架構圖 (7)3.2依設備需求製作控制系統之I/O L IST (9)3.3繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 (10)3.4選擇相關軟體 (10)3.5控制器與儀器平面配置圖 (11)3.6廠務監控系統規範書 (11)3.7儀器規範書 (12)3.8完成廠務監控系統圖面設計與規範 (12)3.9圖面設計與規範書之校核、審定與核准 (12)3.10圖面設計與規範書確認 (13)1.0 系统简介1.1 系统用途半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺利，维持高良率。
负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统(统称为SCADA，Supervisory Control And Data AcquisitionSystem) 例如Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW SCADA….等。
中央监控系统(FMCS)，简单的说是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。
1.2 主要设备厂务监控系统，主要之设备如下：1.控制器‧PLC (Program Logic Controller)可程控器‧DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器‧SLC (Single Loop Controller)单回路控制器‧DCS (Distribution Control System)分布式控制系统目前半导体电子厂之FMCS架构大都以PLC或空调用DDC为Base较多。
FMCS 设计说明
主要功能
文字语音转换功能，实现最 大的灵活性 多交付机制（电话/语音， ＰＡ/扬声器，传呼机，电 子邮件等） InTouch HMI和ArchestrA报 警确认功能 允许高度定制的语音记录器 灵活的调度允许按照班、日 或时间提交信息
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FMCS系统常用软件介绍
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FMCS子系统硬件规范 FMCS子系统软件规范 FMCS子系统SCADA规范 FMCS系统整合规范
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FMCS系统常用软件需求
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 软件名称 Wonderware Intouch 10 Wonderware Activefactory v9.2 Wonderware SCADA Alarm Wonderware Historian Wonderware HMI 报表 Wonderware Information Server Wonderware DA Server 其它 用途 SCADA 人机界面软件 历史数据查看器 实现Call Out 及邮件等播 报功能 历史数据库软件 报表制作软件 HMI网络应用软件 数据通迅软件 计算机操作系统软件
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FMCS常用系统架构
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FMCS系统技术规范
FMCS系统技术规范目的是提供给各子系统之工作指引与规范，以期 未来所有子系统之画面风格、操作方式、颜色定义能够一致，以利厂 务人员之日常操作。各监控系统设计人员须严格遵循，以避免事后修 改，也有利于未来整合的工作。 当监控系统设计期间，若因特殊情况无法依照规范执行，须通知业主 及FMCS承商，业主及FMCS承商负责人员将视状况调整规范文件内 容。 其规范内容包括：
fmcs应用实例
fmcs应用实例
FMCS是集监测、计量、控制、管理于一体的工厂设备智能管理系统，应用于制药企业管理系统中。
该系统包括变配电子系统、给排水子系统、空压子系统、通风子系统、制冷子系统、空调子系统、智能照明子系统、电梯系统等多个现场子系统，同时为能源管理系统提供了大量的数据支撑，构成了能源管理系统的基础部分。
FMCS的应用可以实现各设备子系统的远程集中监控，提高各子系统负荷随动的自动化程度，提升各子系统的运行可靠性，提升生产管理能效。
通过能源消耗统计、分析，促进企业节能减排，为企业打造全厂信息化管理的智能工厂。
FMCS在实际应用中，可以根据不同行业和领域的需求进行定制化开发，以满足不同场景的需求。
集成架构在大型TFT-LCD工厂FMCS中的应用
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・
信 息的 管理 和分 享 异常和 故障 的排 除 运 转模 式的 建立
控 制策 略的 修正
电子 工厂厂 务 自动化 控 制 系统 中的应 用 ，及 集成架 构 的优 势 ，特点 和 创新
性。
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关 键词 ：集成 架 构 （ｎ ｇａ ｄ ｒｈｔ ｔ ｅ ｌＦ Ｓ Ｆ －Ｃ Ｉｔ ｒｔ Ａ ｃｉｃ ｒ） ＭＣ ；Ｔ ＴＬ Ｄ ｅ ｅ ｅｕ
李 中原 （ ７一 １ ６） ９
男，内蒙古乌兰浩特 人，工程师，本科 ，现 就职干 中国电子工程 设计院 世源科技 工程 有 限公司，主要研究方 向为Ｔ ＴＬ Ｆ －ＣＤ￣ｙ 自动 化控制 。
２ Ｆ Ｓ ＭＣ 系统 和集 成构 架简 介
Ｆ ＣＳ — Ｆａ ｉｉ ａ ａ ｅ ｅ ｔＣｏ ｒ ｌＳ ｔｍ Ｍ — ｃｌ ｙＭ ｎ ｇ ｍ ｎ ｎｔｏ ｙｓｅ ｔ
ｅｅ ｔ ｃ ｎ ｆ ｃｕ ｎ ａ ｉ ｔ ｓ ａ ｄｗｈ ｔ ｓｔｅａ ｖ ｎ ａ ｅａ ｄｉｎｏ ａｉ ｎｏ ． ｌｃｒ ｓ ｉ ｍａ ｕ ａ ｔ ｒ ｇｆ ｃｌ ｉ ， ａ ｄ ａ ｔｇ ｎ ｉ ｉｅ ｎ ｉ ｈ ｎ ｖ ｔ ｆ ＡＩ ｏ Ｉ
Ｋ ｅ ｒ ：ｎ ｅ ｒｔｄＡｒ ｈｔｃｕ ｅ Ｆ ｃｌｙ ｍ ａ ａ ｅ ｅ ｔ ｏ ｔ ｌ ｙ ｔ ； Ｆ － ＣＤ ｙｗｏ ￣ Ｉ ｔｇａ ｅ ｃ ｉ ｔｒ ； ａ ｉｔ ｎ ｇ ｍ ｎ ｎｒ ｓｅ Ｔ Ｔ Ｌ ｅ ｉ ｃ ｏｓ ｍ
・
Ａｂｔａ ｔ Ｂ ｓｄｏ Ｇ Ｆ － Ｃ ＭＣ ｒ ｅｔｗｅ ｎ ｏ ｕ ｅＦ Ｓ ｓｌｔ ｎ ｓ ｃ： ａｅ ａ ６Ｔ Ｔ Ｌ Ｄ Ｆ Ｓｐｏ ｃ ｒ ｎ ｊ ， ｔ ｄ ｃ ＭＣ ｕｉ ｉｒ ｏ ｏ
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工业厂房FMCS系统设计概述
工业厂房 FMCS系统设计概括FMCS〔Facility Monitoring Control System厂务监控系统〕是将厂务设备各系统的监控资料利用Ethernet 、控制器、通信设备等集成至中央监控设备，形成全厂监控系统，以抵达以下目的：互通全厂信息、提高整体管理绩效、简化运行保护困难度、降低管理本钱等。
一FMCS的构造FMCS是一个采纳分层的散布式构造的监控系统，按控制级别分，分为三层：第一层为现场设备层。
该层包含各种传感器、变送器、探测器、阀门履行机构，变速设备，马达电机，限位开关及其余有关工艺设备及装置，实现对现场数据的上传和控制器命令的履行的功能。
第二层为控制层。
该层包含可达成单元层操作的软件和硬件。
比如单回路控制器和可编程的逻辑办理器等设备，实现对基层设备的数据收集，下发控制命令，监督现场控制状况的功能。
第三层为管理层〔SCADA 〕，该层分为现场子系统管理和全厂管理。
管理层包含操作站、工程师站、主效力器、 OPC 效力器、 WEB 效力器、热备份效力器、图形打印机、报警打印机、SCADA 用的 HMI 软件等。
现场子系统管理主要达成各子系统的监督和操控，进行现场数据的提取，并将数据作为集成系统的 OPCServer 数据源，现场子系统管理是保证各子系统独立运行的根基。
全厂管理是监督和管理中心，负责整个系统协调运行和综合管理。
二各层间的数据传输现场设备层至现场控制器层，有两种数据传输门路。
一种是控制电缆，应用于常规 I/O 点数据的传达；一种是现场总线，应用于自带控制柜和网络接口的成套设备的数据传达，以及远程 I/O 模块与主控制器之间的通信。
现场控制器层至管理层的数据传输，以及控制器层本次通信、管理层本层通信主要依赖的是以太网。
最上层的公司管理层网络，主要用于公司的方案、销售、库存、财务、人事以及公司的经营管理等方面信息的传输。
简略原理图以以下图所示：控制电缆种类、现场总线种类与采纳协议种类需依据详细工程状况而定。
智慧厂务信息化集成系统（FMCS)研究
智慧厂务信息化集成系统（FMCS)研究摘要:智慧厂务信息化集成系统（FMCS）是一种集成信息技术与厂务管理的智能系统。
本文旨在研究FMCS的应用和优势。
首先，对FMCS的构成与特点进行详细介绍，包括数据采集、实时监测、分析与决策等功能。
其次，通过实地调研与案例分析，探讨FMCS在厂务管理中的应用场景，如生产计划优化、资源调度、故障诊断等。
然后，重点分析FMCS在提高生产效率、降低成本、优化资源利用等方面的优势。
最后，讨论FMCS的局限性和未来发展方向。
本文旨在为厂务管理者和信息技术专业人员提供FMCS应用的理论参考和实践指导。
关键词:智慧厂务信息化集成系统，FMCS，数据采集，厂务管理，生产效率引言:随着信息技术的快速发展，智慧厂务信息化集成系统（FMCS）作为一种融合了先进信息技术和厂务管理的智能系统，已逐渐成为现代工业生产的重要支撑。
FMCS通过数据采集、实时监测、分析与决策等功能，实现了对厂务运营的全方位监控与优化。
本文旨在深入研究FMCS在厂务管理中的应用和优势，通过实地调研与案例分析，探讨FMCS在生产计划优化、资源调度、故障诊断等方面的应用场景，并重点分析其在提高生产效率、降低成本、优化资源利用等方面的优势。
同时，本文也将探讨FMCS在实际应用中可能面临的局限性，并对其未来发展方向进行展望。
通过本文的研究，我们希望为厂务管理者和信息技术专业人员提供FMCS应用的理论参考和实践指导，促进智能制造与厂务管理的融合发展。
1.智慧厂务信息化集成系统（FMCS）的构成与特点智慧厂务信息化集成系统（FMCS）是一种集成信息技术与厂务管理的智能系统。
其构成主要包括数据采集模块、实时监测模块、分析与决策模块和应用服务模块。
首先，数据采集模块是FMCS的基础，通过传感器和设备采集厂务运营过程中的各种数据，如生产数据、设备状态、能耗数据等。
这些数据是FMCS的信息来源，为后续的分析和决策提供了支持。
其次，实时监测模块对采集到的数据进行实时监控和展示，将数据转化为可视化的信息，使管理者能够及时了解厂务运营的状态。
某半导体厂房供配电系统建设简介
嘉石科技电力专线路径概况B
B、110KV仁宝变电站：电缆从110KV核动力变电站 出线，沿迎宾大道已建电缆沟沿路敷设至本项目 10KV总配，总长约6KM。采用市政已建电缆U型槽 进行敷设。
电力专线建设流程图
施工单位负责
fmcs应用实例 -回复
fmcs应用实例-回复FMCS应用实例- 基于故障模式和影响分析方法的应用引言（150-200字）：故障模式和影响分析（FMCS）是一种在工程和技术领域中广泛应用的方法，用于识别、分析和解决设备或系统故障。
本文将以FMCS应用实例为主题，详细介绍一种基于FMCS的故障诊断和维修方法，并探讨该方法在实际案例中的应用场景和效果。
一、FMCS基本原理与概述（200-300字）FMCS方法主要基于故障模式和故障影响分析两个关键概念。
故障模式是指设备或系统可能发生的故障事件的描述，而故障影响是指故障事件的结果和对系统性能、安全性产生的影响。
在FMCS方法中，首先需要建立设备或系统的故障模式库，该库包括详细描述各种可能的故障模式。
然后，通过定量分析和评估每种故障模式的影响程度，以确定其对系统性能和安全性的重要性。
二、FMCS在航空技术中的应用（500-600字）航空领域对于系统可靠性和故障诊断的要求非常高，因此应用FMCS方法进行故障分析和诊断在该领域中具有广泛的应用。
以航空发动机为例，我们将介绍一种基于FMCS的故障诊断和维修方法。
1. 数据收集与故障模式库建立：首先，通过传感器和监控设备收集发动机运行数据。
然后，将这些数据与先前建立的故障模式库进行比较，以识别可能存在的故障。
2. 故障模式分析：利用收集到的数据和故障模式库，对发动机运行状态进行分析，并确定可能的故障模式。
通过对故障模式进行定量评估和排序，确定故障的严重性和影响程度。
3. 故障诊断与维修：基于故障模式分析结果，将故障定位到具体的发动机组件或系统。
通过进一步的检测和测试，确认故障位置，并进行修复或更换。
4. 故障后评估与预防：对修复后的发动机进行测试和评估，以确保故障彻底解决。
同时，对故障模式库进行更新和改进，以提高以后的故障诊断准确性和效率。
三、FMCS方法的优势和应用场景（400-500字）基于故障模式和影响分析方法的故障诊断和维修具有以下优势：1. 提高效率和准确性：通过建立故障模式库和定量评估故障影响，可以帮助准确定位故障和制定相应的维修计划。
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△１ ＿ ｒ １是 温 度 偏 差 值 （ 可调 ） 。通 过 设 定 温 度 与 反 馈 温 度 的 比较
的到 Ｐ Ｉ Ｄ 运 算 的 一 个 正 比 例 的值 Ｐ Ｖ Ｃ一 ２和 一 个 反 比 例 的 值
Ｐ ＶＣ一 ３。
Ａ： Ｔ Ｔ ｏ ＞ ： １ ＿ ｒ ｓ ２ ＋△Ｔ Ｔ Ｂ ： Ｔ Ｔ ｏ ＜ ： Ｔ Ｔ ｓ ２ 一 △Ｔ Ｔ Ｃ： Ｉ ｌ １ － ｒ ｏ 一 １ ＿ ｒ ｓ ２ ｌ Ｉ ＜△Ｔ Ｔ
关键词 ： 集成 控 制 ， Ｐ Ｌ Ｃ， ＤＤ Ｃ
Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ
Ｔ ｈ ｉ ｓ ｐ ａ ｐ ｅ ｒ ｉ ｎ ｔ ｒ ｏ ｄ ｕ ｃ ｅ ｓ ｔ ｈ ｅ ａ ｐ ｐ ｌ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｆ ＭＣ Ｓ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｉ ｎ Ｓ ｈ ａ ｎ ｇ ｈ ａ ｉ Ｓ ａ ｎ Ｄ ｉ ｓ ｋ ｐ ｈ ａ ｓ ｅ ｌ Ｉ ｐ ｒ ｏ ｊ ｅ ｃ ｔ ｔ ｏ ｍｅ ｅ ｔ ｉ ｎ ｔ ｅ ｇ ｒ ａ ｔ ｅ ｄ ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ
ｒ ｅ ｑｕ ｉ ｒ ｅｍｅｎ ｔ Ｔｈ ｅ ｄ ｅｓ ｉ ｇｎ ａ ｎ ｄ ｏ ｐｅｒ ａ ｔ ｉ ｏｎ ｄｅ ｓ ｃｒ ｉ ｐｔ ｉ ｏｎ ｍａ ｉ ｎ ｌ ｙ ｆ ｒ ｏ ｍ ｔ ｈ ｒ ｅ ｅ ａｓ ｐ ｅｃ ｔ ｓ： ＰＬ Ｃ ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏｌ ａ ｎ ｄ ＤＤＣ ｃ ｏｎ ｔ ｒ ｏｌ Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｄ ｓ： ｉ ｎ ｔ ｅ ｇｒ ａ ｔ ｅｄ ｃｏ ｎ ｔ ｒ ｏｌ ， Ｐ ＬＣ， ＤＤＣ
如下 ：
了数 据传 输 的快 速 和 稳 定 性 。
上 位 机 设 立 了 １个 工程 师站 ， １个 操 作 员 站 ， 工 程 师 站 位 于 Ｆ Ａ Ｂ １三层 Ｆ ＭＣ Ｓ控 制 器 ， 操作员站位于 Ｆ Ａ Ｂ ２四层 ＭＡ Ｕ 一 ４风
风 管 出 口温 度 Ｔ Ｔ ｏ ， 风管 出 口温 度设 定值 Ｔ Ｔ ｓ ２ ， △１ ＿ ｒ ２允 许
的温 度 ， 以保 证 出 口温 度 的 恒 定 。 当 温 度 高 于设 定 值 时 加 大 冷 水
阀门开度 ， Ｐ Ｉ Ｄ运算控制加 热阀做补充 ； 温度 低时 ， 通过风 管 出
口温 度 与 风管 出 口温 度 设 定 值 比较 进 行 Ｐ Ｉ Ｄ运 算 ， 得到一个 Ｏ ～ １ Ｏ Ｏ ％ 的控 制 变 量 ， 控 制 加 热 调节 阀 。 输 出基 准 点 设 置 在 ０ ％。 在 其 右 设 置 一个 死 区 ， 在这 个 区 间 内阀 门 不 动作 。 加热 阀调 节 控 制 优 先 于冷 水 阀开 度 控 制 。 温 湿 度 控 制 中湿 度 优 先 。 具体控制说 明
行 Ｐ Ｉ Ｄ运算 ， 得到一个 ０ － １ Ｏ ０ ％ 的控 制 变 量 ， 正 比例 加 大 冷水 阀 ＭＣＶ ｌ ５开 度 制 冷 ， 反 比例 减 小 加 热 阀 Ｔ Ｃ Ｖ １ ５开度 做 补 充 ；
２ ） 风管 出 口 温度 丌 ｏ ， 与 风 管 出 口温 度 设 定 值 １ ｈ ｒ ｓ ２比 较 进 行 Ｐ Ｉ Ｄ运算 ， 得到一个 ０ － １ ０ ０ ％ 的控 制 变 量 ， 正 比例 减 小 冷 水 阀
温度偏 差范 围（ 可调 ） ， 新 风温度 下限值 Ｔ Ｔ Ｌ ＝ Ｔ Ｔ ｓ 一△１ ＿ ｒ １ ， 其中
机 房 。工 程 师 站 可对 下 位 机 （ 霍 尼韦 尔 Ｘ Ｌ ８ ０系列 Ｄ Ｄ Ｃ） 进 行 程
序 的编 制 和修 改 ，还 可 对 上 位 机 的 Ｓ Ｙ Ｍ 人 机 操 作 界 面 进 行 组 态 。工 程 师 站 拥 有操 作 员 站 的所 有 权 限 。操 作 员站 可对 设 备 启 停， 数据 记 录进 行 操 作 ， 权 限高 的 员工 还 可 对 系统 参 数 进 行 必 要
本 控 制 系 统 针 对 晟 碟 半 导 体 上 海 有 限 公 司 二 期 动 力 厂 房 以 及综合厂房 （ 研 发） 的 空 调 系 统 进 行 自动 的 Ｐ Ｌ Ｃ 逻 辑 控 制 来 保 证 室 内温 度 ， 湿 度 的恒 定 。 其 主要 功 能 是 控 制 各 空调 系统 中的 送 风 和 回风 温 湿 度 ， 重要房 间的温湿度 ， 冷冻机组水泵及 阀 门， 排 风系统。 用 ８套 霍 尼 韦 尔 的 Ｘ Ｌ ８ ０系列 的 ＤＤ Ｃ 来作 为数 据 采 集 和处理的子站 ， 用 模 块 自带 的 Ｃ — Ｂ Ｕ Ｓ作 为 通 讯 载 体 ， 从 而 保 证
１ ） 风管 出 口温 度 １ ＿ ｒ Ｏ ， 与 风 管 出 口温 度 设 定 值 丌 ｓ ２比较 进
本 系 统 的 数 据 记 录 分 为 ２种 ，它 们 在 电 子 记 录存 档 的 同 时 还 提 供 纸 质 的 打 印 记 录 ，一 类是 实 时／ 历史报表／ 历 史 的 数据 趋 势的打印， 可 根据 人 为 的需 求 ， 而 随时 的打 印 出 数 据 的 报表 。
王 辉 （ 美施 威 尔（ 上海） 有 限公 司 ， 上海 ２ ０ ０ ０ ０ ０ ）
，
摘 要
采用 Ｆ ＭＣＳ系统 来 满足 上 海 晟 碟 半 导 体 二 期 项 目控 制 集 成 需 求 ， 主要 从 Ｐ Ｌ Ｃ控制、 ＤＤ Ｃ 控 制 等 方 面 进 行 了全 面设 计
及 运 行 方 案 的论 述 。
１ 目上 的设 计 应 用
Ｆ Ｍ Ｃ Ｓ在半导体工厂项 目上的设计应用
Ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ａ ｎ ｄ Ａ ｐ ｐ ｌ ｉ ｃ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｆ ＭＣ Ｓ ｉ ｎ Ｓ ｅ ｍｉ ｃ ｏ ｎ ｄ ｕ ｃ ｔ ｏ ｒ Ｍａ ｎ ｕ ｆ ａ ｃ ｔ ｕ ｒ ｅ Ｉ ｎ ｄ ｕ ｓ ｔ ｒ ｙ Ｐ ｒ ｏ ｊ ｅ ｃ ｔ