XRD
XRD分析方法介绍
XRD分析方法介绍X射线衍射（X-ray diffraction，简称XRD）是一种非常重要的物质结构表征技术，广泛应用于材料科学、化学、地球科学、生命科学等领域。
它通过将X射线射向样品，然后测量和分析X射线经过样品后的衍射图样，从而得到样品的结构信息。
1.非破坏性：XRD是一种非破坏性分析方法，样品在接受X射线照射后不会发生永久性损伤，可以反复使用。
2.不受样品形态限制：XRD适用于固体、液体、薄膜和粉末等形态的样品，对样品的晶型、晶体结构和晶粒尺寸等信息进行分析。
3.高分辨率：XRD可以提供较高的分辨率，可以检测出样品中微小的结构变化，如晶格畸变、相变等。
4.定量分析：XRD可以进行定量分析，通过衍射峰的强度和位置，可以获取样品中不同晶相的含量，并计算晶格参数、物相纯度等信息。
5.多功能性：除了结构表征外，XRD还可以用于拟合数据、表面分析、粒度分析等应用。
1.菲涅尔衍射法：菲涅尔衍射法是一种传统的XRD方法，主要用于粉末样品的结构分析。
它是通过测量样品晶粒间隔的变化，然后将这些信息转换为衍射图样，从而得到样品的结构信息。
2. Laue衍射法：Laue衍射法是一种快速的结构分析方法，主要用于晶体表面和薄膜样品的分析。
它通过将样品放在X射线束下，然后测量并分析样品中衍射出的X射线图样，从而得到样品的结构信息。
3.粉末衍射法：粉末衍射法是一种广泛应用的XRD方法，主要用于粉末样品的结构分析。
它是通过将样品制成细粉，然后进行衍射测量，并根据布拉格方程计算晶格参数和相量等信息。
4.单晶衍射法：单晶衍射法是一种高精度的XRD方法，主要用于单晶样品的结构分析。
它是通过将样品制成单晶，然后测量和分析样品中衍射出的X射线图样，从而得到样品的三维晶体结构信息。
5.傅立叶变换衍射法：傅立叶变换衍射法是一种用于薄膜和多晶样品的XRD方法，主要用于分析样品中的表面形貌、界面反应等信息。
它是通过将样品经过傅立叶变换，将时域中的信号转换为频域中的信号，然后提取相应的结构信息。
xrd分析
xrd分析
【什么是xrd？（X射线衍射）】
XRD 即X-ray diffraction 的缩写，X射线衍射，通过对材料进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。
【X射线衍射的应用】
物相分:X射线衍射在金属中用得最多的方面，分定性分析和定量分析
精密测定点阵参数:常用于相图的固态溶解度曲线的测定
取向分析:包括测定单晶取向和多晶的结构
晶粒大小和微观应力的测定:由衍射花样的形状和强度可计算晶粒和微应力的大小
宏观应力的测定:宏观残留应力的方向和大小，直接影响机器零件的使用寿命
对晶体结构不完整性的研究:包括对层错、位错、原子静态或动态地偏离平衡位置，短程有序，原子偏聚等方面的研究
合金相变:包括脱溶、有序无序转变、母相新相的晶体学关系
结构分析:新发现的合金相进行测定，确定点阵类型、点阵参数、对称性、原子位置等晶体学数
液态金属和非晶态金属;研究非晶态金属和液态金属结构
高温、低温和瞬时的动态分析
小角度散射用于研究电子浓度不均匀区的形状和大小,X射线形貌术用于研究近完整晶体中的缺陷如位错线
【服务项目】
断面结构分析，纳米材料检测，物质鉴定物相分析物质结构分析应力测试产品质量检测物质成分分析药材结构确证，
【仪器】
X射线衍射原理
X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。
晶体可被用作X光的光栅，这些很大数目的粒子（原子、离子或分子）所产生的相干散射会发生光的干涉作用，从而使得散射的X射线的强度增强或减弱。
由于大量粒子散射波的叠加，互相干涉而产生最大强度的光束称为X射线的衍射线。
xrd原理
xrd原理X射线衍射（X-ray diffraction，XRD）是一种非常重要的材料表征技术，它可以用来分析晶体结构和晶体学性质。
XRD原理的理解对于材料科学和固体物理研究具有重要意义。
本文将对XRD原理进行详细介绍，希望能够帮助读者更好地理解和应用这一技术。
X射线衍射是一种通过物质对X射线的衍射现象来研究物质结构的方法。
X射线衍射仪是实现这一目的的关键设备，它包括X射线源、样品台、衍射角度测量装置和X射线探测器等部件。
在实验中，X射线源会发出一束单色的X射线，这些X射线经过样品后会发生衍射现象，衍射角度和衍射强度的测量可以提供有关样品晶体结构的重要信息。
X射线衍射的原理基于布拉格定律，即nλ=2dsinθ，其中n为衍射级数，λ为X射线的波长，d为晶格间距，θ为衍射角。
通过测量衍射角和X射线波长，可以计算出晶格间距，从而揭示样品的晶体结构。
对于多晶样品，X射线衍射可以得到晶粒大小和晶粒取向分布等信息。
X射线衍射不仅可以用于固体材料的分析，还可以用于分析液态和非晶态材料。
在液态和非晶态材料的研究中，X射线衍射可以提供材料的局部结构信息，例如原子间的相互作用和配位数等。
因此，X射线衍射在材料科学、物理化学、生物化学等领域具有广泛的应用价值。
除了单晶和多晶材料的分析，X射线衍射还可以用于薄膜、纳米材料和表面结构的研究。
通过X射线衍射技术，可以了解材料的晶体结构、晶格畸变、应变分布等信息，为材料设计和性能优化提供重要参考。
总之，X射线衍射是一种非常重要的材料表征技术，它可以提供关于材料晶体结构的丰富信息。
通过对XRD原理的深入理解，可以更好地应用这一技术进行科研和工程实践。
希望本文对读者有所帮助，谢谢阅读！。
(完整版)XRD技术介绍
在劳厄等发现X衍射不久，W.L.布拉格(Bragg )父子对劳厄花样进行了深入 的研究，提出花样中的各个斑点可认为是由晶体中原子较密集的一些晶面反射 而得出的，并导出了著名的布拉格定律。
1913年英国布拉格父子（W.H .bragg .WL Bragg)建立了一个公式--布喇格公式。 不但能解释劳厄斑点，而且能用于对晶体结构的研究。
晶体的三维光栅 Three-dimensional “diffraction grating”
劳厄想到了这一点，去找普朗克老师，没得到支持后，去找正 在攻读博士的索末菲，两次实验后终于做出了X射线的衍射实 验。
晶体的三维光栅 Three-dimensional “diffraction grating” Laue spots proves wave properties of X-ray.
1954 化学
鲍林Linus Carl Panling
1962 化学
肯德鲁John Charles Kendrew 帕鲁兹Max Ferdinand Perutz
1962 生理医学 Francis H.C.Crick、JAMES d.Watson、 Maurice h.f.Wilkins
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
1964 化学
Dorothy Crowfoot Hodgkin
1985 化学 1986 物理 1994 物理
霍普特曼Herbert Hauptman 卡尔Jerome Karle 鲁斯卡E.Ruska 宾尼希G.Binnig 罗雷尔H.Rohrer 布罗克豪斯 B.N.Brockhouse 沙尔 C.G.Shull
φ
O .
φ
d A . φ. .B
C
d
晶面间距
XRD
点阵常数的精确测定
X射线测定点阵常数是一种间接方法，它直接测量的是某一衍射线
条对应的θ角，然后通过晶面间距公式、布拉格方程计算出点阵常数。以 立方晶体为例，其晶面间距公式为：
根据布拉格方程2dsinθ=λ，则有：
在式中，λ是入射特征X射线的波长，是经过精确测定的，有效数字
可达7位数，对于一般分析测定工作精度已经足够了。干涉指数是整数无 所谓误差。所以影响点阵常数精度的关键因素是sinθ。
干涉的波程差
=
k
明纹 K为整数 暗纹
1 2
X射线衍射波的形成模型
原子或离子中的电 子——受迫振动。 入射X射线
振动着的电
子成为次生X 射线的波源，
向外辐射与
入射 X 射线 同频率的电 磁波，称为 散射波。
1.2 X射线衍射基本特征
X射线学是以X射线在晶体中的衍射现象为基础的，衍射波具有两个 基本特征：衍射方向和衍射强度。 衍射方向、强度、线型包含了大量的物质结构信息。 衍射方向—— 决定于晶体的点阵类型、点阵常数、晶面指数和X射 线 波长。 衍射强度—— 与上述因素有关外还决定于构成晶体各元素的性质和 原子在晶胞中的位置。 衍射线型—— 反映了晶体内部的缺陷。
1.3 X射线衍射方向基本方程
1. Laue方程
入射线单位基矢S0 前提条件： • X射线源、观测 A C O CO= -Rl ·S0 衍射加强条件： 有：ko=(2/ ) S0 Rl D OD= Rl ·S Rl · （ S－S0 ）= k=(2/ ) S 点与晶体的距离 都比晶体的线度 衍射线单位基矢S 大的多， • 入射线和衍射线 可看成平行光线； • 散射前后的波长 不变,且为单色。
1.4 Bragg 方程的讨论
XRD
X射线衍射分析（X-ray diffraction，简称XRD），是利用晶体形成的X射线衍射，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。
将具有一定波长的X射线照射到结晶性物质上时，X射线因在结晶内遇到规则排列的原子或离子而发生散射，散射的X射线在某些方向上相位得到加强，从而显示与结晶结构相对应的特有的衍射现象。
X射线衍射方法具有不损伤样品、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整性的大量信息等。
X射线衍射分析-样品要求1、金属样品如块状、板状、圆拄状要求磨成一个平面，面积不小于10X10毫米，如果面积太小可以用几块粘贴一起。
2、对于片状、圆拄状样品会存在严重的择优取向，衍射强度异常。
因此要求测试时合理选择响应的方向平面。
3、对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），测量残余奥氏体，要求样品不能简单粗磨，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层。
4、粉末样品要求磨成320目的粒度，约40微米。
粒度粗大衍射强度底，峰形不好，分辨率低。
要了解样品的物理化学性质，如是否易燃，易潮解，易腐蚀、有毒、易挥发。
5、粉末样品要求在3克左右，如果太少也需5毫克。
6、样品可以是金属、非金属、有机、无机材料粉末。
用途1、物相分析衍射图晶体的Ｘ射线衍射图像实质上是晶体微观结构的一种精细复杂的变换，每种晶体的结构与其Ｘ射线衍射图之间都有着一一对应的关系，其特征X射线衍射图谱不会因为它种物质混聚在一起而产生变化，这就是Ｘ射线衍射物相分析方法的依据。
制备各种标准单相物质的衍射花样并使之规范化，将待分析物质的衍射花样与之对照，从而确定物质的组成相，就成为物相定性分析的基本方法。
鉴定出各个相后，根据各相花样的强度正比于改组分存在的量（需要做吸收校正者除外），就可对各种组分进行定量分析。
目前常用衍射仪法得到衍射图谱，用“粉末衍射标准联合会（JCPDS）”负责编辑出版的“粉末衍射卡片（PDF卡片）”进行物相分析。
材料现代测试方法-XRD
布拉格定律
hkl
h1 k1 l1
h2 k2 l2
h3 k3 l3
h4 k4 l4
h5 k5 l5
.
.
.
dhkl dh1k1l1 dh2k2l2 dh3k3l3 dh4k4l4 dh5k5l5 .
X射线的产生
• 封闭式X射线管
X射线的产生
• 旋转阳极靶X射线管
其他X射线源
• 放射源 • 同步辐射
X射线与物质的相互作用
• X射线与物质相互作用时，就其能量转换而 言，可分为三部分：1）一部分被散射；2） 一部分被吸收；3）一部分透过物质继续沿 原来的方向传播。
散射
相干散射（瑞利散射) 非相干散射 (康普顿散射）
1913年，英国Bragg（布喇格父子）导出X射线 晶体结构分析的基本公式，即著名的布拉格公式。 并测定了NaCl的晶体结构。（1915年获得诺贝尔 奖)
1
X射线的本质
X射线和可见光 一样属于电磁 辐射，但其波 长比可见光短 得多，介于紫 外线与γ射线之 间，约为10－2 到102埃的范围。 与晶体中的键 长相当。
c
d 21 3
b
o
a
晶面(213)及d213
c
d300
b
o
a
晶面(300)及d300
晶面指标hkl及晶面间距dhkl
思考1：对于给定的晶胞，对于任意三个整数hkl（000除外）， 我们可以画出这个（hkl）晶面吗？相邻晶面的距离可知吗？
XRD
(1)相机结构 相机结构
(2)制样 (2)制样
▲平板照相样品要制成细窄片条，长约10mm，宽为2— 3mm，厚以0.5－1mm为宜。 ▲板材需用刀片切片制样。 ▲薄膜可剪制，不够厚时，将几层叠粘在一起，各层保持 原拉伸方向一致。 ▲纤维样品则要缠绕在适当大小的框子上，或将一束平行 纤维直接固定在框子上，既不能绑松，又要尽量减小张力。
DNA的X光衍射照片 的 光衍射照片
X射线衍射仪 仪器 射线衍射仪
ARL X'TRAX射线衍射仪 射线衍射仪
用于各种固体样 品的定性定量物 相分析。可互换 的聚焦与平行光 学系统和多种附 件的组合，满足 样品的高低温相 变、晶体结构、 薄膜、织构及应 力测量等分析需 要。
多功能高分辨X射线衍射仪 多功能高分辨 射线衍射仪 主要特点： 主要特点：
2、多晶衍射仪法
(1)多晶 射线衍射仪结构 多晶X射线衍射仪结构 多晶 多晶X射线衍射仪由三部分组成： a．高压发生器，b．测角仪，c. 外围设备(记录仪，仪器处理系 统．测角仪控制系统等)。
(2)典型聚集态的照相底片特征 典型聚集态的照相底片特征
对应不同材料或物质，它们的衍射环，对称弧(斑)，或 弥散环的黑度和直径都是不同的，即衍射强度和衍射方 向均不同。同一底片上，各环、弧或斑的黑度也不同。
▼
(6)影响因素 (6)影响因素
多晶衍射 仪实验的 影响因素 主要有三 个方面： 个方面：
多晶X 多晶X射线衍射在高聚物中的应用
作为一种考察物质微观结构形态的方法，无论 在小分子领域，还是在大分子领域，多晶X射线衍 射所分析和测定的内容基本上是相同的。高聚物在 结构形态上有其自身的复杂性和特殊性，因此，用 X射线衍射考察高聚物时，必须结合具体情况进行 分析，以获得对真实情况恰当、准确的理解。
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性质：具有很强的穿透能力，能使照片感光，空气电离。
1.1 X-射线衍射简介（续）
发现的X射线是什么呢？人们初步 认为是一种
电磁波，于是想通过光栅来观察它的衍射现象，但 实验中并没有看到衍射现象。原因是X射线的波长 太短，只有一埃（1Å）。
1912年德国物理学家劳厄想到了这一
点，去找普朗克老师，没得到支持， 去找正在攻读博士的索末菲，两次实
D
k
cos
式中： D-所规定晶面族法线方向的晶粒尺寸 θ-所规定晶面族产生衍射时，入射线与 该族晶面之间的夹角 β-因晶粒尺寸减小造成的衍射峰增宽量 λ-单色入射X射线波长
如同“指纹”成为识别物相的标记。
(3)混合物相的谱图是各组分相分别产生衍射或
散射的简单叠加。
1.2.1 物相分析（续） 工作程序： 实验得到样品的衍射图，然后将之与已知物相
在相同实验条件下的衍射图直接比较，根据峰位，
相对强度，样品结构已知信息等判别待定物相。 实验得到待定样品衍射图，求出各衍射峰对应 的面间距di，然后结合各峰相对强度Ii/I0及试样结构 已知信息等，在汇编标准（PDF卡）中用di- Ii/I0，
第一章 X-射线衍射
学习要求： 了解X-射线衍射技术的发展与基本原理 掌握运用X-射线衍射技术测定聚合物材料的物
相、结晶度
了解运用X-射线衍射技术测定聚合物材料的晶
粒尺寸以及微晶取向等结构性质
1.1 X-射线衍射简介（续）
1895年伦琴发现用高速电子冲击固体时，有一
种新射线从固体上发出来。
阴级
+
阳级
实际计算公式：
X
c
1.2.2 结晶度测定（续）
例
1.2.3 晶体取向测定 多晶材料中，微晶的取向是形态结构的一个方 面，也是影响材料物理性能的重要因素。
在高聚物材料科学中，取向常常指分子链与某
个参考方向或平面平行的程度。
依不同分类有：晶区链取向，非晶区链取向
折叠链取向，伸直链取向 等等。
1.2.3 晶体取向测定（续） X射线衍射法测定微晶取向有三种表征： (1)极图：用平面投影反映微晶在空间的取向 分布状况，信息全面 需足够的晶体几何学与空间投影知识。 (2)Hermans因子f：用一数值反映材料的轴 取向程度，表征性好 (3)轴取向指数R：用一数值反映材料的轴取 向程度，较为粗略 实验方法与数据处理简便迅速
晶粒尺寸：大量晶粒个别尺寸的一种统计平均。
1.2.1 物相分析
基本思想：
(1)对于一束波长确定的单色X射线，同一物相
产生确定的衍射花样。
(2)晶态试样的衍射花样在谱图上表现为一系列
衍射峰。各峰的峰位2θ(衍射角)和相对强度Ii/I0是确 定的。用2dsinθ = λ可求出产生各衍射峰的晶面族所
具有的面间距di。这样一系列衍射峰的di—Ii/I0，便
验后终于做出了X射线的衍射实验。
1.1 X-射线衍射简介（续）
X射线 X--ray
晶体 crystal
劳厄斑 Laue spots
1.1 X-射线衍射简介（续）
1.1 X-射线衍射简介（续）
1913年英国布喇格父子建立了
一个公式--布喇格公式。不但能解
释劳厄斑点，而且能用于对晶体结 构的研究。认为当能量很高的X射 线射到晶体各层面的原子时，原子 中的电子将发生强迫振荡，从而向
1.2.1 物相分析（续） 例
2θ=20°, 面间距d(nm)
未知物 0.4825 0.4450 PVDF 0.481 0.4430 Δd 0.0015 0.0020
1.2.1 物相分析（续） 基本内容： (3)识别晶体类型
将待定试样谱图与已知晶型谱图比较，看试样
谱图中是否出现已知晶型的各衍射峰。
对照检索，定识物相。
1.2.1 物相分析（续） 基本内容： (1)区分晶态与非晶态(鉴别是否有结晶)
出现弥散“隆峰”说明样品中有非晶态
尖锐峰表明存在结晶 既不尖锐也不弥散的“突出峰”显示有结晶存在， 但很不完善，有人称之为“仲晶”或“次晶”。
1.2.1 物相分析（续）
基本内容： (2)聚合物鉴定 对于非晶态聚合物，要将其衍射图与已知某种 非晶聚合物在同样实验条件下的衍射图比较，看 “隆峰”的峰位2θ是否吻合，并观察峰形是否相符， 若偏差不大，则可初步推断样品用于参比的那种聚 合物，但且不能断定，还需结合其他分析结果，相 互佐证或映证。 对于结晶性聚合物，通过样品与已知结晶高聚 物同样实验条件下的谱图比较，从衍射峰的峰位及 整个谱图线形进行分析。
周围发射同频率的电磁波，即产生
了电磁波的散射，而每个原子则是 散射的子波波源；劳厄斑正是散射
的电磁波的叠加。
1.1 X-射线衍射简介（续）
2d sin k
1.1 X-射线衍射简介（续）
X射线衍射的应用 已知X射线的波长测定 晶体的晶格常数。 1953年，用于测
定“DNA”脱氧核糖核
酸的双螺旋结构就是 用的此法。
1.1 X-射线衍射简介（续）
晶体是由原子、离子或分子在空间周期性的
排列而构成的固态物质。
刚玉
邻苯二甲酸 氢钾
锗酸铋
电气石
1.1 X-射线衍射简介（续）
均 匀 性： 晶体内部各个部分的宏观性质是 相同的。 各向异性： 晶体种不同的方向上具有不同的 物理性质。 固定熔点： 晶体具有周期性结构，熔化时， 各部分需要同样的温度。 规则外形： 理想环境中生长的晶体应为凸多 边形。 对 称 性： 晶体的理想外形和晶体内部结构 都具有特定的对称性。
晶 体 的 性 质
1.1 X-射线衍射简介（续）
当一束单色的X射线照射到试样上时，可以 观察到两个过程：
如果试样具有周期性结构，那么X射线被相干散 射，入射光与散射光之间没有波长的改变（X-射 线衍射效应）。在大角度上测量，称之为大角X 射线衍射（WAXD）
如果试样具有与散射光之间有 波长的改变（漫射X-射线衍射效应）。在小角度 上测量，称之为小角X射线衍射（SAXS）
1.2.1 物相分析（续）
例
被鉴定IPP的 XRD
含α型晶体IPP的 XRD
含β型晶体IPP的 XRD
1.2.2 结晶度测定
两态分明体系的衍射图由两部分简单叠加而 成。一部分是晶态产生的衍射峰，另一部分是非 晶态产生的弥散隆峰。
1.2.2 结晶度测定（续） 理论计算公式：
X
c
Ic I c kI a Sc Sc Sa
1.1 X-射线衍射简介（续）
半晶样品的谱图 c有尖锐峰，且被隆拱起，表明试样中晶态与非晶态 “两相”差别明显； d呈现为隆峰之上有突出峰，但不尖锐，表明试样中晶 相很不完整。
1.2 X-射线衍射在高聚物中的应用
物相分析：不仅能分析化学组成，还能给出元素间化
学结合状态和物质聚集态结构。
结晶度：物质或材料中晶态部分占总体的质量或体积 百分比，是体系聚集态结构的清晰表征 。 晶粒取向：大量晶粒的待定晶轴或晶面相对于某个参 考方向或平面的平行程度。
1.1 X-射线衍射简介（续）
利用多晶衍射仪可以得到材料或物质的衍 射谱图。根据衍射图中的峰位、峰形及峰的相
对强度，可以进行物相分析、非晶态结构分析
等工作。
1.1 X-射线衍射简介（续）
a表示晶态试样衍射，衍射峰尖锐，基线缓平。同 一样品，微晶的择优取向只影响峰的相对强度。 b为固态非晶试样散射，呈现为一个(或两个)相当 宽化的“隆峰”。
1.2.4 晶粒尺寸测定
晶粒尺寸是材料形态结构的指标之一。材料 中晶粒尺寸小于10μm时，将导致多晶衍射实验 的衍射峰显著增宽。 半晶高聚物材料中的晶粒尺寸大致在50～ 500nm之内。故根据衍射峰的增宽可以测定其晶 粒尺寸。 注意：对应所规定的不同晶面族，同一样品会有 不相等的晶粒尺寸。
1.2.4 晶粒尺寸测定（续）
与X射线及晶体衍射有关的部分诺贝尔奖获得者名单
年 份 学 科 1901 物理 1914 物理 1915 1917 1924 1937 1954 1962 1962 1964 1985 1986 1994 得奖者 伦琴Wilhelm Conral Rontgen 劳埃Max von Laue 亨利.布拉格Henry Bragg 物理 劳伦斯.布拉格Lawrence Bragg. 巴克拉Charles Glover Barkla 物理 卡尔.西格班Karl Manne Georg Siegbahn 物理 戴维森Clinton Joseph Davisson 物理 汤姆孙George Paget Thomson 鲍林Linus Carl Panling 化学 肯德鲁John Charles Kendrew 化学 帕鲁兹Max Ferdinand Perutz Francis H.C.Crick、JAMES d.Watson、 生理医学 Maurice h.f.Wilkins 化学 化学 物理 物理 Dorothy Crowfoot Hodgkin 霍普特曼Herbert Hauptman 卡尔Jerome Karle 鲁斯卡E.Ruska 宾尼希G.Binnig 罗雷尔H.Rohrer 布罗克豪斯 B.N.Brockhouse 沙尔 C.G.Shull 内 容 X射线的发现 晶体的X射线衍射 晶体结构的X射线分析 元素的特征X射线 X射线光谱学 电子衍射 化学键的本质 蛋白质的结构测定 脱氧核糖核酸DNA测定 青霉素、B12生物晶体测 定 直接法解析结构 电子显微镜 扫描隧道显微镜 中子谱学 中子衍射