激光微技术
2微米半导体激光器
2微米半导体激光器激光技术是一种重要的光学技术，在科学研究、医疗、工业制造等领域都有广泛的应用。
而2微米半导体激光器作为一种新兴的激光器件，具有许多独特的特性和应用潜力。
本文将对2微米半导体激光器的原理、性能、应用以及发展前景进行探讨。
一、2微米半导体激光器的原理2微米半导体激光器是利用半导体材料的能带结构产生激光的器件。
其基本结构包括激光腔、半导体材料和光波导等。
通过注入电流，激发半导体材料中的载流子，使其发生迁移和复合过程，从而产生光子。
利用正反馈和谐振腔效应，实现光子产生和放大，最终形成激光输出。
二、2微米半导体激光器的性能2微米半导体激光器具有很多独特的性能优势。
首先，2微米波段是近红外光谱中的一个重要窗口，具有较好的透明性和低吸收特性，能够穿透水和大部分生物组织。
其次，2微米半导体激光器具有较高的发光效率和较宽的工作温度范围。
此外，它还具有紧凑结构、高光束质量和较低的热失配等优点。
三、2微米半导体激光器的应用由于其独特的性能特点，2微米半导体激光器在许多领域中都有广泛的应用。
首先，医疗领域是2微米激光器的一个重要应用领域。
2微米光具有较强的水吸收能力，能够对水分子进行高效吸收，因此在激光手术、皮肤美容、眼科治疗等方面有着广泛的应用。
其次，2微米激光器还可以应用于光通信领域，实现光信号的传输和处理。
此外，2微米激光器还可以用于材料加工、环境监测以及国防安全等领域。
四、2微米半导体激光器的发展前景随着激光技术的不断发展和应用的不断扩大，2微米半导体激光器作为一种新兴的激光器件，具有巨大的发展潜力。
目前，研究人员正在不断改进半导体材料的性能和制备工艺，提高2微米激光器的效率和可靠性。
同时，针对不同领域的应用需求，开展了一系列的研究和应用探索。
未来，随着相关技术的不断突破和应用场景的不断拓展，2微米半导体激光器有望在更多领域发挥重要作用。
总结2微米半导体激光器作为一种新兴的激光器件，在医疗、光通信、材料加工等领域有着广泛的应用前景。
激光与光电子学技术的最新进展
激光与光电子学技术的最新进展在当代科技领域中，激光与光电子学技术是备受关注的两个领域。
它们凭借着自身的品质和特点，成为了众多领域的主要研究方向。
最新的进展更是让人们对这两个领域的未来充满了期待。
一、激光技术的最新进展现在的激光技术已经深入各个领域，并不再是像以前那样只用于医疗和军事领域。
激光技术在现在还能被用于3D 打印技术，制作高品质的产品。
同时，激光技术还在交通领域有着广泛的应用，使用激光雷达技术对行车道路和交通情况进行快速扫描，提高车辆行驶的安全性。
最新的激光技术发展方向是微型激光器技术，尺寸小，重量轻，功耗低且寿命长。
这种技术的应用范围非常广泛，比如说，它可以用于智能手机的光通讯技术等日常生活中的科技产品。
此外，激光技术还可以实现高效、低能量损耗或零能量损耗的物质加工。
例如，激光灰度拉微加工技术组合电子束、等离子体、化学剥蚀和光化学微纳加工的优点，可以实现在珂米级尺寸下进行各种形式的微纳标记、微纳加工和微纳装配等研究。
这些技术的成功实现将使设备微型化，降低制造成本，提高集成度，广泛应用于物联网、智能人机交互等领域。
二、光电子学技术的最新进展光电子学技术从其出现以来，便一直是一个原理相对简单，效果却非常出色的技术。
在半导体材料和光电探测器方面有了长足的发展。
例如，在早期的光电子学技术研究中，研究人员通过使用铟镓锗（InGaAs）和锗（Ge）材料制备了新型高效率光电探测器，并实现了高速、高灵敏度的探测。
最新的光电子学技术发展方向是研究高性能、小尺寸、低功耗等特点的新型半导体材料，如硝化镓（GaN）、氧化铝（Al2O3）、氮化硼（BN）等，其在新型半导体激光器、功率器件和光电探测器中的应用非常广泛。
新型光电子学技术不仅可以在科学研究、医学治疗、航天探测等领域中起到重要作用，并可以用于电子设备中，比如芯片内集成的激光器和探测器，大大提高了电子设备的工作效率和精度。
三、总结激光技术和光电子学技术已经广泛应用于各个领域，并构成了现代科技的重要组成部分。
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》一、引言随着微纳制造技术的飞速发展，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用日益广泛。
该技术以其高精度、高效率、低损伤等优点，在光学、光电子学、微机械等领域展现出了巨大的应用潜力。
本文将就飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术的研究现状、原理、实验方法、结果以及展望等方面进行详细介绍。
二、飞秒激光刻蚀技术原理飞秒激光刻蚀技术是一种利用飞秒激光器产生的高能量、高精度的激光脉冲对材料进行微纳加工的技术。
其原理是利用激光的超高能量和超快脉冲宽度，使石英玻璃材料在极短时间内发生非线性吸收、多光子电离等物理过程，从而达到局部快速熔化、汽化、烧蚀的效果，实现材料的高精度微加工。
三、石英玻璃微加工技术研究现状石英玻璃作为一种重要的光学材料，具有优良的物理化学性能和光学性能，广泛应用于光学仪器、光电子器件、传感器等领域。
然而，石英玻璃硬度高、脆性大，传统的机械加工方法难以实现高精度、低损伤的加工。
因此，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用成为了研究热点。
目前，国内外学者在飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工工艺、加工质量、加工效率等方面进行了大量研究，取得了一系列重要成果。
四、实验方法与步骤1. 实验材料与设备：选用高纯度石英玻璃作为实验材料，采用飞秒激光器作为加工设备。
2. 实验设计：根据实际需求，设计合理的激光参数（如激光脉冲能量、频率、扫描速度等）和加工路径。
3. 实验步骤：将设计好的加工路径导入飞秒激光器控制系统，启动激光器进行加工。
通过观察和记录实验过程中的现象和数据，分析飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工特性。
五、实验结果与分析1. 加工质量：飞秒激光刻蚀石英玻璃具有高精度、低损伤的特点，可实现微米级别的加工精度。
通过优化激光参数和加工路径，可以提高加工质量，降低表面粗糙度。
2. 加工效率：飞秒激光刻蚀技术具有高效率的优点，可以在短时间内完成复杂的微纳加工任务。
然而，过高的激光能量可能导致加工速度降低，需根据实际需求合理调整激光参数。
飞秒激光微纳加工技术在多种材料加工领域的应用
飞秒激光微纳加工技术在多种材料加工领域的应用1. 引言1.1 飞秒激光微纳加工技术概述飞秒激光微纳加工技术是一种基于飞秒激光的微纳米加工技术，其特点是在极短时间内（飞秒级别）完成材料的加工过程，具有高精度、低热影响区、无需后续加工等优点。
飞秒激光微纳加工技术通过聚焦激光光束在材料表面产生极高的局部能量密度，使材料在极短时间内产生非线性吸收或光离解效应，从而实现微纳米级的加工。
飞秒激光微纳加工技术在材料加工领域具有广泛的应用前景，可以用于金属、非金属、生物、光学、半导体等材料的加工。
随着激光技术和材料科学的不断发展，飞秒激光微纳加工技术将在高精度光学器件、生物医学器件、半导体器件等领域发挥越来越重要的作用。
飞秒激光微纳加工技术的发展离不开材料科学、光学技术、激光技术等多个学科的交叉融合，其应用前景非常广阔。
随着技术的不断进步和创新，飞秒激光微纳加工技术必将在未来取得更加广泛和深入的应用。
2. 正文2.1 飞秒激光微纳加工技术在金属材料加工领域的应用飞秒激光微纳加工技术在金属材料加工领域具有很广泛的应用前景。
飞秒激光可以实现高精度的加工，对于金属材料的微细加工非常适用。
飞秒激光可以在不损伤周围材料的情况下进行加工，因此可以避免出现热影响区和变质现象，保持加工件的完整性和质量。
飞秒激光加工速度快，效率高，可以大幅提升生产效率。
在金属材料加工领域，飞秒激光微纳加工技术被广泛应用于微孔加工、微槽加工、微纳米结构加工等领域。
飞秒激光可以用于制造微型零部件、微型器件和微型模具，广泛应用于微机械、精密仪器、光电子器件等领域。
飞秒激光还可以进行表面改性、激光打标等应用，为金属材料的功能性提升带来了新的可能性。
飞秒激光微纳加工技术在金属材料加工领域的应用前景十分广阔，将会为金属材料加工领域带来更多创新和发展机遇。
随着技术的不断进步和完善，相信飞秒激光在金属材料加工领域的应用将会得到进一步拓展和深化。
2.2 飞秒激光微纳加工技术在非金属材料加工领域的应用1. 陶瓷材料加工：飞秒激光可以在陶瓷材料上进行高精度的微纳加工，例如雕刻微小的凹坑、槽道等结构，可用于制作微型元器件、传感器等应用。
飞秒激光微加工技术在微加工中的应用
飞秒激光微加工技术在微加工中的应用1飞秒激光加工微结构基于能量高度集中、热影响区小、无飞溅无熔渣、不需特殊的气体环境、无后续工艺、双光子聚合加工精度可达0．7μm等优势，飞秒激光在诱导金属微结构加工应用方面和精细加工方面都取得了很大的进展。
(1>孔加工在1mm厚的不锈钢薄片上，飞秒激光进行了具有深孔边缘清晰、表面干净等特点的纳M级深孔加工(如图1a>；在金属薄膜上，钛宝石飞秒激光加工制备出了微纳M级阵列孔(如图1b>，孔径最小达2.5μm，孔直径在2．5～10μm间可调，最小间距可达10μm，很容易实现10-50μm间距调整。
(2>金属材料表面改性1999年，德国汉诺威激光中心Nolte S等人首次报道了结合钛宝石飞秒激光三倍频光(260 nm>和SNOM(扫描近场光学显微镜>在金属镉层制出了线宽仅200 nm的凹槽。
为以后的无孔径近场扫描光学显微镜(ANSOM>取代SNOM奠定了基础，获得了高达70 nm的空间分辨率，开拓了远场技术在纳M 范围下的物理化学特性以及输运机制的研究。
(3>金属纳M颗粒加工自1993年Henglein A等人首次利用激光消融法制备金属纳M颗粒以来，许多研究小组制备出高纯度、粒度分布均匀的金属纳M颗粒。
Link H等人进一步控制飞秒激光的能流密度和照射时间，将金属纳M棒完全融化为金属纳M点。
与其它激光脉冲相比，飞秒激光改变的金属颗粒尺寸大小和特定形状，使金属纳M颗粒特别是贵金属(Au、Hg、Pt、Pd等>在催化、非线性光学、医用材料科学等领域具有广阔的应用前景。
(4>金属掩模板加工新加坡南洋科技大学Venkatakrishnan K等人利用飞秒激光直写方法制作了以金属薄膜为吸收层、石英为基底的金属掩模板，并将前入射与后入射两种方案作了比较，发现采用前入射的方法能够得到更小的特征尺寸和好的边缘质量。
并且利用飞秒激光超衍射极限加工有效地修补了金属镉掩模板的缺陷，修复的线宽达到小于100 nm的精度。
超快激光微纳加工：原理、技术与应用
在书中，我还了解到超快激光微纳加工技术的发展现状。随着技术的进步， 超快激光的脉冲宽度已经达到了飞秒级别，甚至阿秒级别，这使得我们能够在更 短的时间内对材料进行精细加工。同时，随着双光子聚合技术、飞秒激光直写技 术等的发展，我们能够实现更复杂的三维结构加工。透明介电材料内部的三维光 子学集成、飞秒激光直写制备微流控芯片和集成光流器件等新技术的发展，也为 超快激光微纳加工技术的应用开拓了新的领域。
目录分析
随着科技的不断发展，超快激光微纳加工技术逐渐成为一种重要的加工方法， 在基础科学与现代工业中获得了广泛应用。本书《超快激光微纳加工：原理、技 术与应用》对超快激光微纳加工的背景与原理、超快激光的特性与技术发展现状、 超快激光脉冲时空整形、超快激光对材料的表面处理、基于双光子聚合的飞秒激 光三维直写、透明介电材料内部的三维光子学集成、飞秒
在介绍超快激光微纳加工的原理时，书中写道：“超快激光脉冲的宽度小于 100fs，其能量被高度集中，可以在极短的时间内将能量传递给物质，产生高温、 高压、高密度的等离子体，从而实现微纳结构的加工。”这段描述将超快激光的 特性与微纳加工的需求完美结合，解释了为什么超快激光能成为微纳加工的理想 工具。
书中还详细介绍了超快激光微纳加工的技术，包括“利用高精度三维光束整 形技术，将激光束的形状和大小进行调控，以适应不同的加工需求；利用飞秒激 光双光子聚合技术，实现高精度、高分辨率的微纳加工；利用飞秒激光诱导击穿 阈值效应，实现纳米级精度的金属打标和刻蚀。”这些技术的描述展示了超快激 光微纳加工的广泛应用和巨大潜力。
本书对超快激光的特性与技术发展现状进行了详细阐述。超快激光具有脉冲 时间短、峰值功率高、空间尺度小等特点，使得它在材料加工领域具有广泛的应 用前景。随着技术的不断发展，超快激光的脉冲时间已经可以达到飞秒级别，峰 值功率也越来越高，这为超快激光微纳加工技术的发展提供了有力保障。
红外制导增透微结构的超快激光制造机理与方法研究
一、概述随着科学技术的不断进步，红外制导技术在军事、航天、航空、导航等领域的应用越来越广泛。
而增透微结构的超快激光制造技术作为红外制导技术的重要支撑，更是成为了研究的热点之一。
本文旨在探讨红外制导增透微结构的超快激光制造机理与方法，为相关研究提供一定的参考。
二、红外制导增透微结构的超快激光制造技术概述1.红外制导技术的发展与应用需求红外制导技术一般是指利用红外线传感器来探测目标并指导导弹、火炮等武器的弹道，实现精确打击目标的技术。
在军事作战、飞行器导航、火箭推进系统等方面都有着重要的应用需求。
2.增透微结构的超快激光制造技术概述增透微结构是指在光学器件表面采用微米级周期性结构，通过精确控制结构参数实现对光学性能的调制。
而超快激光制造技术则是利用超短脉冲激光对材料进行微加工，制备出微纳米级的表面结构。
三、红外制导增透微结构的超快激光制造机理研究1.超快激光在红外制导增透微结构制造中的作用超快激光具有极高的峰值功率和超短的脉冲宽度，能够实现对材料的高精度加工，并在微纳米尺度上实现对表面结构的调控，是制备红外制导增透微结构的关键工具。
2.红外制导增透微结构的光学性能分析利用超快激光制造的红外增透微结构在红外制导技术中具有较好的透过率和散射特性，能够有效提高系统的探测距离和抗干扰能力，为红外制导系统的性能提升提供了重要支持。
3.红外制导增透微结构的超快激光制造机理解析通过对超快激光在材料表面微加工过程中的物理过程和光学效应进行深入研究，揭示了红外制导增透微结构的制备机理，为进一步优化工艺参数和改善工艺质量提供了理论支持。
四、红外制导增透微结构的超快激光制造方法研究1.材料选择与加工工艺在超快激光制造红外制导增透微结构过程中，材料的选择和加工工艺的优化是关键环节。
常用的材料有玻璃、硅、金属等，而加工工艺则包括脉冲能量、聚焦深度、扫描速度等参数的优化。
2.超快激光制造设备的研制与改进针对红外制导增透微结构的特殊要求，研制适用于超快激光微加工的设备，并不断改进设备性能和工艺控制能力，以实现更高效、更精密的微结构制造。
飞秒激光技术 - 副本
飞秒激光技术1.激光器的基本原理激光器是20世纪60年代出现的一种新型光源。
激光具有四大特性：单色性好、方向性好、相干性好、能量集中。
1.1激光激光是基于受激发射放大原理而产生的一种相干光辐射。
处于激发态的原子是不稳定的，在没有任何外界作用下，激发态原子会自发辐射而产生光子。
而在有外界作用下，则会增加两种新的形式：受激辐射和受激吸收。
激光是通过受激辐射来实现放大的光，而光和原子系统相互作用时，总是同时存在着自发辐射、受激辐射、受激吸收（在有外界作用下，自发辐射相对较弱，可以忽略）。
为了能产生激光，就必须使受激辐射强度超过受激吸收强度，即使高能态的原子数多于低能态的原子数。
我们把这种不同于平衡态粒子分布的状态称为粒子数反转分布。
也就是，要产生激光，必须实现粒子数反转分布。
1.2激光器的基本结构与工作原理粒子数反转分布是产生激光的一个必要条件，而要实现粒子数反转分布和产生激光还必须满足三个条件：第一、要有能形成粒子数反转分布的物质，即激活介质（这类物质具有合适的能级结构）；第二、要有必要的能量输入系统给激活介质能量，使尽可能多的原子吸收能量后跃迁到高能态以实现粒子数反转，这一系统称作激励能源（或泵浦源）；第三、要有光的正反馈系统——光学谐振腔，当一定频率的光辐射通过粒子数反转分布的激活介质时，受激辐射的光子数多于受激吸收的光子数可使光辐射得到放大，要使这种光放大并且以一个副长光子感应产生一个受激发射光子的单次过程为主，还能形成高单色性高方向性高相干性和高亮度性的光放大，必须使用光学谐振腔。
因此，如图1所示，常用激光器由三部分组成：激活介质、激励能源、光学谐振腔。
只有具有亚稳态的物质才有可能实现粒子数反转，从而实现光放大。
因此，激活介质中必须存在一种特殊的能级——亚稳态能级。
如图2所示，在外界能源的激励下，基态E1上的粒子被抽运到激发态E3上，因而基态E1上的粒子数N1减少，由于激发态E3的寿命很短，粒子将通过碰撞，很快地以无辐射跃迁的方式转移到亚稳态E2上，由于亚稳态E2寿命较长，其上就积累了大量粒子，N2不断增加。
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1987 年美国科学家提出了微机电系统(MEMS)发展计划，这标志着人类对微机械的研究进入到一个新的时代。
目前，应用于微机械的制造技术主要有半导体加工技术、微光刻电铸模造(LIGA)工艺、超精密机械加工技术以及特种微加工技术等。
其中，特种微加工方法是通过加工能量的直接作用，实现小至逐个分子或原子的去除加工。
特种加工是利用电能、热能、光能、声能、化学能等能量形式进行加工的，常用的方法有：电火花加工、超声波加工、电子束加工、离子束加工、电解加工等等。
近年来发展起来一种可实现微小加工的新方法：光成型法，包括立体光刻工艺、光掩膜层工艺等。
其中利用激光进行微加工显示出巨大的应用潜力和诱人的发展前景。
2 常用激光微加工技术
激光微加工技术具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率、高的零件尺寸与形状的加工柔性等优点[1]。
实际上，激光微加工技术最大的特点是“直写”加工，简化了工艺，实现了微型机械的快速成型制造。
此外，该方法没有诸如腐蚀等方法带来的环境污染问题，可谓“绿色制造”。
在微机械制造中采用的激光微加工技术有两类：1)
材料去除微加工技术，如激光直写微加工、激光LIGA 等；2)材料堆积微加工技术，如激光微细立体光刻、激光辅助沉积、激光选区烧结等。
2.1 激光直写技术
准分子激光波长短、聚焦光斑直径小、功率密度高，非常适合于微加工和半导体材料加工。
在准分子激光微加工系统中，大多采用掩膜投影加工，也可以不用掩膜，直接利用聚焦光斑刻蚀工件，将准分子激光技术与数控技术相结合，综合激光光束扫描与X-Y 工作台的相对运动以及Z 方向的微进给，可以直接在基体材料上扫描刻写出微细图形，或加工出三维微细结构[2]。
图1 为准分子激光加工出来的微型齿轮，最小齿轮直径为50mm。
目前采用准分子激光直写方式可加工出线宽为数微米的高深宽比微细结构。
另外，利用准分子激光采取类似快速成型(RP)制造技术，采用逐层扫描的方式进行三维微加工的研究也已取得较好结果[3]。
2.2 激光LIGA 技术
它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻，从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题，同时激光光源的经济性和使用的广泛性大大优于同步辐射载光源，从而大大降低LIGA 工艺的制造成本，使LIGA技术得以广泛应用。
尽管激光LIGA 技术在加工微构件高径比方面比载射线差，但对于一般的微构件加工完全可以接受。
此外，激光LIGA 工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影，而是“直写”刻蚀，不存在化学腐蚀的横向浸
润腐蚀影响，因而加工边缘陡直，精度高，光刻性能优于同步载射线光刻[4]。
2.3 激光微立体光刻(mSL)技术
它是立体光刻(SLA)工艺这一先进的快速成型技术应用到微制造领域中衍生出来的一种加工技术，因其加工的高精度与微型化，故称为微立体光刻
(Microstere-olithography 或mSL)[5]。
同其他微加工技术相比，微立体光刻技术最大的特点是不受微型器件或系统结构形状的限制，可以加工包含自由曲面在内的任意三维结构，并且可以将不同的微部件一次成型，省去微装配环节，如图2所示。
此外，该技术还有加工时间短、成本低、加工过程自动化等优点，为微机械批量化生产创造了有利条件。
该技术的局限性在于两方面：1) 精度较低，目前基于快速成型的微加工技术的最高水平方向的精度在1mm 左右，而垂直方向大约为
3mm，显然这一精度无法同基于集成电路的硅微加工工艺相比。
2) 使用材料受到一定的限制，目前的树脂材料在电性能、机械性能、热性能方面与硅材料相比有一定差距。
近年来，激光微立体光刻技术得到了大力研究与开发。
在提高精度与效率方面有如下发展方向：
1) 以面曝光代替点曝光，从而进一步缩短加工时间，提高生产效率；
2) 在材料方面，研究开发出更高分辨率的光固化树脂，如已
研制出的双光近红外光聚合树脂为高精度制造奠定了良好基础；
3) 在工艺方面，研究开发无需任何支撑结构或牺牲层的工艺以及与平面微加工工艺的集成，
从而进一步简化工艺，提高加工精度与生产柔性。
2.4 激光辅助气相沉积(LCVD)技术在化学气相沉积(CVD)工艺
图1 采用准分子激光加工的微型齿轮
图2 (a) 两种微零件一次固化成型原理示意图；(b) 固化微成型的两种零件中，固态物质从气相通过化学反应沉积在基片表面上。
用激光辅助化学气相沉积来制作三维微结构，是将聚焦激光微光束通过定域加热基片，启动并维持CVD 过程，在沉积过程中通过移动基片或激光束，将固体结构以很高的分辨率沉积塑型。
塑造几何形状时不受平面投影和平面扫描的局
限，能制作出复杂几何形状的立体微结构。
如图3 所示的生长过程中，以特定方式运动工件台并使激光焦斑运动速度始终与晶体生长速度相同，即可做出所需的微结构。
2.5 激光选区烧结技术(SLS)
它是快速成型技术的一种，具有可加工材料范围广且可制作任意复杂三维形状的独特优势。
目前，人们尝试用SLS 工艺进行微机械的制造[6]。
在SLS 工艺中，首先在计算机上完成符合需要的三维CAD模型，再用分层软件对其进行分
层得到各层截面，采用自动控制技术，使激光有选择地烧结出与计算机内零件截面相对应部分的粉末，使粉末经烧结融化冷却凝固成型。
完成一层烧结后再进行下一层烧结，且两层之间烧结相连。
如此层层烧结、堆积，结果烧结部分恰好是与CAD 原型一致的实体，而未烧结部分则是松散粉末，可以起到支撑的作用，并在最后很容易清理掉。
图4 为SLS烧结金属粉末成形的微型汉字(旁边为一火柴头)。
烧结系统的精度受以下因素的影响：激光功率、激光焦斑直径、扫描速度、粉末颗粒直径、粉末的各向异性以及烧结过程中的温度控制等。
用
SLS 工艺进行三维成形，还可以在一个微结构内集成多种材料完成一定的功能。
3 其他激光微加工技术
脉冲激光刻蚀成型是激光技术的一个新的研究领域，它采用短波长的倍频激光或皮秒、飞秒激光结合高精度数控机床，刻蚀加工各种材料。
用短脉冲在这些材料表面刻蚀，再将材料去除，其表面形成的微结构的质量比用长脉冲加工高得多。
2001 年德国HEIDELBERG INSTRUMENTS 图3 LCVD 法的微弹簧制造示意图(a)及制造的硼弹簧图4 SLS 烧结的微型汉字（旁边为一火柴头）图5 激光刻蚀出的三维形状的电镜照片，材料：WC/Co 130mm 深
27 采用三倍频(波长354.7nm)，获得最小可达5mm 的聚焦光斑，最小可加工特征尺寸为10mm，精度为1mm。
图5 为脉冲激光刻蚀在WC/Co 上加工的三维形状。
图5(b)为局部放大图，可以看到表面刻蚀的微坑，激光焦斑直径5mm，x，y 方向进给5mm。
每层去除1.3mm，平均表面粗糙度为0.16mm。
激光微切割成形，原理上与激光刻蚀相同，也是采用倍频或飞秒激光为光源，对光束精细聚焦，精确控制能量的输入，热影响小，进行微细去除切割成形。
图6
所示为用飞秒激光在微细钛金属管上的切割微成型件，图7、图8 为德国Lambda Physik 利用三倍频激光进行微切割成形的事例[7∼9]。
由于具有一些独特的性质，双光子激光微成型加工技术近年来在微技术领域越来越受到关注[10，11]。
双光子激光微成型的特点主
要表现在：1) 信噪比高，由瑞利—拉曼散射导致的背景干扰可以忽略；2) 避免使用复杂的紫外波段的物镜和紫外光学元件；3)红外激光具有相对较深的传播距离，使得双光子激发共焦激光扫描荧光显微镜可对浑浊的样品表面以下较深
(>200mm)处进行成像；4) 双光子激发过程被紧紧局限在焦点附近的很小区域(体积数量级为l3)，如此小的有效作用体积使双光子具备极其优越的空间分辨率。
自从日本科学家S.Kawata 等于2001 年8 月在《Nature》上发表了利用双光子激光制作的长10mm、高7mm 的公牛模型以来，双光子激光微成型
技术成为世界广泛关注的激光微技术。
中国科技大学采用这种方法成功制作出了直径30mm 的齿轮，如图9 所示。
4 结束语
在工业化时代，世界各国均以制造出大型机器而自豪；在信息化时代，各先进工业国家，均致力于微观物质的研究，并制造越来越小的机械；而进入纳米科技时代，为了适应国防、航空航天、医学和生物工程等方面的发展，微加工是当今制造业最为活跃的研究方向之一，微机械技术的发展水平已经成为一个国家综合实力的衡量标准之一。
激光微加工技术在微加工技术中越来越显示出其独特的优越性，具有广阔的发展前景，我国必须开发具有自主知识产权的激光微制造技术，才能在未来的高科技领域占有一席之地。