MEMS加速度传感器的研究报告
MEMS加速度计行业市场突围战略研究报告 (二)
MEMS加速度计行业市场突围战略研究报告(二)1. MEMS加速度计行业现状- MEMS加速度计是一种微型化的传感器，可用于测量物体在空间中的加速度和运动状态。
- 目前，MEMS加速度计已广泛应用于汽车、航空航天、智能手机等领域。
- MEMS加速度计市场规模不断扩大，预计到2025年将达到100亿美元。
2. MEMS加速度计市场竞争格局- MEMS加速度计市场竞争激烈，主要厂商包括STMicroelectronics、Bosch、Analog Devices、InvenSense等。
- STMicroelectronics是全球最大的MEMS加速度计供应商，其市场份额超过30%。
- Bosch是另一家领先的MEMS加速度计供应商，其市场份额约为20%。
3. MEMS加速度计市场发展趋势- 随着物联网、智能家居等新兴领域的兴起，MEMS加速度计市场需求将进一步增长。
- MEMS加速度计将逐渐向高精度、高稳定性、低功耗方向发展。
- MEMS加速度计将与其他传感器如陀螺仪、磁力计等结合，形成更加完善的传感器解决方案。
4. MEMS加速度计行业市场突围战略- 不断提高产品品质和性能，以满足不同领域的需求。
- 加强研发力度，不断推出新产品，提高市场占有率。
- 开拓新兴市场，如智能家居、医疗等领域。
- 与其他传感器厂商合作，形成更加完善的解决方案，提高市场竞争力。
5. MEMS加速度计行业面临的挑战- 市场竞争激烈，产品同质化严重，厂商需要不断提高产品差异化。
- MEMS加速度计的价格竞争压力较大，厂商需要寻找新的附加值，提高产品附加服务。
- 研发成本高，厂商需要不断加强技术创新，提高研发效率。
- MEMS加速度计的应用场景多样，厂商需要不断拓展市场，提高产品适用性。
基于MEMS技术的加速度传感器设计与制造
基于MEMS技术的加速度传感器设计与制造加速度传感器是一种能够测量物体加速度的微型传感器。
它被广泛应用于各种领域，如汽车安全系统、虚拟现实设备、运动跟踪设备等。
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器具有体积小、能耗低、成本低以及集成度高等优势。
本文将重点讨论基于MEMS技术的加速度传感器的设计与制造。
一、设计阶段在设计基于MEMS技术的加速度传感器之前，需要明确传感器的工作原理和性能指标。
加速度传感器通过测量微小质量在加速度作用下产生的惯性力来测量加速度。
在设计之初，需要明确量程、精度、频率响应等性能指标，以满足特定应用的需求。
1. 惯性力测量原理基于MEMS技术的加速度传感器利用微型质量与惯性力的相互作用关系进行测量。
一般来说，传感器中的微型质量会受到加速度作用下的惯性力，导致压电材料产生压电效应，通过对压电材料的检测，可以得到加速度的测量结果。
2. 量程和精度量程表示传感器能够测量的最大加速度范围。
在选择量程时，需要考虑传感器受力范围。
过大的量程可能导致传感器饱和，而过小的量程则无法满足需求。
精度表示传感器的测量误差，是评估传感器性能的重要指标。
在设计过程中，需要选择合适的压电材料、结构和电路，以提高传感器的精度。
3. 频率响应频率响应是指传感器对于输入信号频率的响应程度。
频率响应决定了传感器在不同频率下的工作性能。
在设计中，需要对传感器的机械结构和电路进行优化，以提高其频率响应。
二、制造阶段在设计完成后，就需要进行基于MEMS技术的加速度传感器的制造。
制造过程中需要关注材料选择、加工工艺和封装方式等因素。
1. 材料选择制造加速度传感器所需的材料应具备良好的力学性能和电学性能。
常用的材料包括硅、玻璃、金属等。
硅是MEMS制造中最常用的材料，具有良好的耐温性能和加工性能。
2. 加工工艺加速度传感器的制造通常采用微电子加工工艺，包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等步骤。
通过光刻技术，在硅片上制作出加速度传感器的微结构。
基于MEMS的微型加速度传感器研究
基于MEMS的微型加速度传感器研究在当今科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键器件，在众多领域发挥着至关重要的作用。
其中，基于 MEMS（微机电系统）技术的微型加速度传感器凭借其体积小、重量轻、功耗低、集成度高等显著优势，成为了研究的热点。
MEMS 技术的出现为微型加速度传感器的发展带来了革命性的变化。
传统的加速度传感器通常体积较大、成本较高，限制了其在一些对空间和成本敏感的应用中的使用。
而 MEMS 技术通过微加工工艺，能够在微小的硅片上制造出复杂的机械结构和电子线路，从而实现传感器的微型化。
微型加速度传感器的工作原理主要基于惯性原理。
当物体发生加速度运动时，质量块会受到惯性力的作用，从而产生位移或应力的变化。
通过检测这些变化，并经过一系列的信号处理和转换，就能够得到加速度的数值。
常见的检测方式有电容式、压阻式和压电式等。
电容式微型加速度传感器是利用电容的变化来检测质量块的位移。
在这种传感器中，通常有两个平行的极板，其中一个是固定的，另一个与质量块相连。
当加速度作用时，质量块的位移会导致电容值发生变化，通过测量电容的变化就可以得到加速度的信息。
压阻式微型加速度传感器则是基于半导体材料的压阻效应。
当质量块产生位移时，会引起电阻值的变化，通过测量电阻的变化来计算加速度。
压电式微型加速度传感器利用压电材料的压电效应来检测加速度。
当受到应力作用时，压电材料会产生电荷，通过测量电荷的变化来获取加速度的大小。
在 MEMS 微型加速度传感器的设计中，需要考虑众多因素。
首先是结构设计，要确保传感器具有足够的灵敏度和测量范围，同时还要考虑其稳定性和可靠性。
材料的选择也至关重要，需要具备良好的机械性能和电学性能。
此外，制造工艺的精度和一致性对传感器的性能有着直接的影响。
MEMS 微型加速度传感器在众多领域都有着广泛的应用。
在汽车工业中，它们被用于汽车安全系统，如碰撞检测和气囊触发。
在消费电子领域，如智能手机、平板电脑等设备中，用于自动旋转屏幕、运动检测等功能。
MEMS加速度传感器的研究报告
MEMS加速度传感器的研究报告MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）加速度传感器是一种基于微纳技术制造的传感器，用于测量物体加速度的工具。
它具有小尺寸、低成本、高精度等优点，被广泛应用于汽车安全系统、移动设备、航空航天等领域。
本文主要对MEMS加速度传感器的原理、制造工艺、应用以及发展趋势进行研究和分析。
首先，MEMS加速度传感器的原理是基于微机械系统的振动原理。
当传感器受到加速度作用时，会引起传感器内部的微结构振动。
通过测量这种振动信号的变化，即可获得物体的加速度信息。
通常，MEMS加速度传感器采用谐振质量块和弹性支撑等微结构来实现。
其次，MEMS加速度传感器的制造工艺主要包括光刻、离子刻蚀、薄膜沉积等步骤。
首先，利用光刻技术在硅片上形成所需的结构图案。
然后，通过离子刻蚀方法将不需要的部分去除，形成谐振质量块和弹性支撑等微结构。
最后，通过薄膜沉积技术在微结构上形成感应电极，完成传感器的制造。
MEMS加速度传感器在众多领域有着广泛的应用。
在汽车安全系统中，它可以检测到车辆的碰撞或急刹车等情况，从而触发安全气囊的部署。
在移动设备中，它可以用于屏幕自动旋转、运动跟踪等功能。
在航空航天领域，它可以用于飞机的姿态稳定和导航系统的精确定位等。
随着技术不断发展，MEMS加速度传感器也呈现出一些新的趋势。
首先，尽管MEMS加速度传感器已取得很大进展，但其精度仍有提高的空间。
未来的研究将集中于提高传感器的精度和稳定性，以满足更高精度的应用需求。
其次，为了应对多种复杂环境下的应用需求，MEMS加速度传感器还需要增强其抗干扰能力和适应性。
此外，随着物联网技术的快速发展，MEMS加速度传感器将与其他传感器相结合，为更广泛的应用提供数据和支持。
综上所述，MEMS加速度传感器是一种重要的微纳技术应用，具有广泛的应用前景。
通过对其原理、制造工艺、应用和发展趋势的研究，可以更好地理解和推动该技术的发展，为相关领域的应用提供更好的解决方案。
硅微加速度计调研报告
I. 近十年硅微电容式加速度计发展综述I.1. 概述MEMS加速度计具有非常广泛的应用，由于其批量制造低成本的特性，在过去的若干年广泛应用于消费电子市场，取得了巨大的成功。
然而MEMS加速度计的发展并不止步于此，新的研究成果不断出现，使人们相信MEMS加速度计不仅能在其擅长的小型化低成本低功耗方向更进一步，而且还具有冲击中高性能应用的潜力。
MEMS电容式加速度计主要有两种实现形式，一种是面内检测(In-plane)，另外一种是面外检测(Out-of-plane)，也就是z轴敏感的加速度计。
而两者对比见下表所示：同时在04年以前的工作中，硅微加速度计的精度在不断提高，同时面内和面外敏感的加速度计由于其各有特点，应用目标也不尽相同，因此都取得了很大的进步。
下图为04年前电容式加速度计的发展趋势，可以看出面外传感的加速度计在性能上相对面内传感的结构有优势。
同时加速度计的性能也在按照类似摩尔定律的规律提升。
从05年到15年，硅微电容式加速度计又经历了一段发展时期，展现出了两条相对独立的发展路线，逐渐诞生了一些产品可以适用于高端应用领域。
同时也在低成本方面有了进一步的突破。
I.2. 主要团队成果介绍A. Colibrys结构简介：其目标定位实现一系列高性能MEMS加速度计，可能用于飞行器航姿稳定系统以及更严格的空间应用。
因此采用了面外敏感（z轴敏感）的原理来实现高精度加速度计。
该公司代表性产品RS9000系列采用了一种三层硅的结构，如下图所示：每层硅片采用DRIE（深反应离子刻蚀）技术实现了非常厚的检测质量，从而降低了结构的布朗噪声。
提高了分辨率。
该三层结构中，顶层和底层为固定电极。
中间层为检测质量和支撑系统，同时三层硅通过一种Silicon Fusion Bonding（SFB）的键合技术连接在一起，保证了不同硅片之间的平衡性，同时也可以实现一个密封的腔体，从而能够控制结构所处环境的气体阻尼。
最新动态：在这个基础上，colibrys 2012年发表的文章介绍了一款导航级Sigma-Delta MEMS加速度计。
MEMS加速度计分析
MEMS加速度计分析MEMS加速度计（Microelectromechanical systems accelerometer）是一种基于微电子技术和微机械结构的传感器设备，用于测量物体的加速度。
它具有小巧、低功耗、高精度等优势，在多个领域中得到了广泛的应用，如智能手机、车载导航系统、运动监测设备等。
本文将对MEMS加速度计的原理、结构、应用以及未来发展进行详细分析。
首先，MEMS加速度计利用微电子技术和微机械结构实现了对物体加速度的测量。
其基本原理是通过测量微结构在加速度作用下产生的位移或形变来确定物体的加速度。
一般来说，MEMS加速度计由感应质量块、弹簧结构和传感电路组成。
当物体加速度发生变化时，感应质量块会受到作用力的影响而移动，进而引起弹簧结构的形变。
通过测量感应质量块或弹簧结构的位移或形变，就可以确定物体的加速度。
其次，MEMS加速度计具有一系列优点。
首先，它具有小巧的尺寸，可以被集成到各种微型设备中，如智能手机、手表等。
其次，它具有低功耗的特点，由于采用了微电子技术，可以在工作过程中消耗较少的电能，延长设备的使用寿命。
再次，MEMS加速度计具有高精度的特点，可以测量微小的加速度变化，从而提供准确的加速度数据。
此外，MEMS加速度计还具有较低的成本，相对于传统的加速度计，其制造成本较低。
MEMS加速度计在各个领域中具有广泛的应用。
在智能手机中，MEMS加速度计用于屏幕自动旋转、运动感应和步态识别等功能。
在车载导航系统中，MEMS加速度计可以检测汽车的加速度，从而实现车辆的导航功能。
在运动监测设备中，MEMS加速度计可以测量人体的运动轨迹和交通模式，从而实现步数统计和运动状态监测等功能。
除此之外，MEMS加速度计还被应用于工业自动化、医疗健康、航空航天等领域。
然而，MEMS加速度计也存在一些局限性。
首先，由于其微小的尺寸和灵敏的结构，MEMS加速度计容易受到外界环境的干扰，如温度变化、震动等。
基于MEMS技术的加速度传感器研究
基于MEMS技术的加速度传感器研究近年来，随着科技的发展，MEMS（微机电系统）技术在各个领域的应用越来越广泛。
其中，基于MEMS技术的加速度传感器在运动测量、姿态控制、安全监测等方面具有重要的应用价值。
本文将探讨基于MEMS技术的加速度传感器的原理、制备技术以及应用案例。
加速度传感器是一种能够测量物体加速度或者重力的传感器。
MEMS技术结合了微电子技术和微机械技术，使得传感器的尺寸变得非常小，并且能够批量生产。
基于MEMS技术的加速度传感器通常由微机械加速度传感器和集成电路两部分组成。
微机械加速度传感器通常采用质量悬浮结构，当受到外力作用时，质量将发生位移，由此测量加速度。
制备基于MEMS技术的加速度传感器需要经历多个步骤。
首先，通过光刻技术在硅衬底上形成质量悬浮结构。
然后，将金属电极沉积在衬底上，形成电容结构。
接着，通过刻蚀等工艺，雕刻出质量悬浮结构和电容结构。
最后，借助封装技术和集成电路，将传感器制作完整。
基于MEMS技术的加速度传感器具有许多优势。
首先，尺寸小，可以实现微型化和集成化，方便嵌入各类设备。
其次，价格相对较低，适用于大规模应用。
此外，基于MEMS技术制备的加速度传感器具有很高的灵敏度和稳定性，能够精确测量加速度和重力。
基于MEMS技术的加速度传感器在多个领域有广泛的应用。
在运动测量方面，加速度传感器可以用于测量运动物体的加速度和速度，应用于运动跟踪、步数统计等场景。
在姿态控制方面，加速度传感器可以用于测量物体的倾斜角度和旋转角度，应用于飞行器、机器人等设备的姿态控制。
另外，在安全监测方面，加速度传感器可以用于检测物体的碰撞、震动等，应用于汽车碰撞预警、地震预警等领域。
综上所述，基于MEMS技术的加速度传感器具有广泛的应用前景。
由于其尺寸小、灵敏度高和稳定性好等特点，使得加速度传感器在运动测量、姿态控制和安全监测等方面取得了重要的突破。
未来，随着MEMS技术的不断进步和创新，相信基于MEMS技术的加速度传感器将在更多领域发挥重要作用，为人们的生活带来更多便利和安全。
加速度传感器实验报告
加速度传感器实验报告
加速度传感器实验是一种研究加速度传感器的实验，它使用加速度传感器来检测物体的位置、加速度、以及其他物理参数。
主要用于测量机械结构、机械装置或控制系统对加速度变化的反应。
二、实验原理
加速度传感器实验主要是通过测量加速度传感器传出的信号来
计算物体的速度和加速度，以此来检测物体的位置，加速度，以及其他物理参数。
主要原理是利用微涨落电位（V/m）来判断加速度变化，并将其转化为加速度的数字信号。
三、实验设备
实验中所使用的设备主要包括加速度传感器、计算机或小型数字电路、激励源、仪器仪表等。
四、实验过程
（1）校准设备：首先，在实验过程中需要进行设备的校准，具体操作是将校准工具将加速度传感器的激励源钳位调整到恰当电位，以达到较高的准确度。
（2）测量加速度：启动加速度传感器，测量物体的加速度。
根据加速度参数，在实验记录表中进行记录。
（3）检查加速度：测量完成后，需要检查加速度是否与预期一致。
五、实验结果
通过实验，记录下的加速度参数如下：
实验编号 X加速度 Y加速度 Z加速度
A1 0.5 m/s2 0.3 m/s2 0.2 m/s2
A2 0.6 m/s2 0.8 m/s2 0.3 m/s2
A3 0.7 m/s2 0.9 m/s2 0.4 m/s2
六、结论
通过本次加速度传感器实验，我们发现物体在不同方向上的加速度值不同。
这些参数可以用来验证机械结构，机械装置，控制系统以及其他机械系统的性能和可靠性。
此外，本实验的结果还可以用于优化机械设计，以提高机械装置的运行效率。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
MEMS加速度传感器的研究
摘要：微传感器因其尺寸微小，测量准确度和灵敏度高而广泛应用于工程、医学、生物等各个领域。
本次报告中，我们将对MEMS技术在惯性传感器件应用——加速度传感器作为讨论学习的主要内容。
本报告选取电容式加速度传感器为例，分别从原理、工艺、检测电路、应用等几个方面展开说明，涉及MEMS电容式加速度传感器的各个方面，较为全面。
很多都是自己的理解，因此也易于接受。
关键词：MEMS 加速度传感器检测电路
0 引言
随着微机械系统和微加工技术的发展，微型传感器也随之迅速发展。
惯性系统已广泛用于航天、航空、航海和许多民用领域，成为目前各种航行体上应用的一种主要导航设备，能够提供比较精确的姿态与多种导航信息。
我们利用惯性敏感元件和初始位置就可以确定载体的动态位置、姿态和速度。
而加速度计作为惯性系统的一个核心敏感器件，虽然较陀螺仪发明较晚，但是发展速度很快。
各个较大的半导体公司如MOTOROLA和Analog Devices Inc. 等都在MEMS加速度计的研发生产中取得了很大的成就。
因此，此次对于MEMS加速度传感器的研究对于了解专业发展前沿和激发自己的学习兴趣都有很大的帮助。
根据原理不同，MEMS加速度传感器可以分为压阻式、压电式、电容式、谐振式和隧穿式等几大类，为了突出重点，对MENS传感器的原理、工艺及应用有个全面的了解，我们在此选择了其中的一种——电容式加速度传感器做深入研究。
1 电容式加速度传感器的原理
1.1 基本原理
电容式传感器是电容值随环境参数变化而发生改变的传感器。
根据平板电容器的表达式C=εS/d可知，S和d的变化都会导致电容的变化，因此电容式加速度计的测量原理又可分为变面积式和变间距式，由于变间距式在制造工艺上的优越性，因此当今大部分电容式加速度计都是采用变间距来改变电容进而来测量加速度。
电容式加速度传感器的结构示意如图1
所示。
微电容式加速度传感器的工作原理是：当传感器的质量块受到加速度作用的时候，会产生惯性力，这个惯性力会使梁发生变形。
把梁作为电容器的一个电极，当梁发生形变时，电容器两极板之间的距离将会发生变化。
根据平板电容关系式为:
式中ε，A，d分别是电极间的介电常数、有效面积和极板间距。
所以压力载荷引起的极板间距d的变化必然会使电容C发生相应的变化。
当极板间距减小x时，电容变为：
因此只要通过测得电容的变化量，就能求x的大小，进而出加速度的大小。
1.2 差分电容结构
由于采用MEMS技术制备的加速度计尺寸很小，所以惯性质量块响应加速度移和以及电容变化都非常微弱，为了提高测量精度，一般情况下所设计的微式加速度计都是采用差分电容测量方式。
差分测量的两个电容，由于在相同境下受到的外界干扰噪声一样，所以可以通过相减消除或抑制共模的环境变素影响，把绝大部分干扰噪声排除掉，大幅提高信噪比，差分电容原理如图2，图3为常用的梳状结构的差分电容。
图2 差分电容原理
图3 梳状结构的差分电容
2 电容式加速度计的工艺
微电容式加速度传感器是基于MEMS技术的，所以它应该符合MEMS的标准工艺。
MEMS 工艺是建立在IC工艺基础上的，主要包括：清洗、氧化、光刻、腐蚀、溅射、扩散、键合、引线与封装等。
微电容式加速度计工艺的关键步骤就是制造梳状电容，梳状电容的微观结构如图4所示。
图4梳状差分电容的微观结构
因此，电容式微加速度计的主要工艺流程图如下：
图5 电容式微加速度计工艺流程
在工艺流程中，除了SOI(Silicon．on．insulator)技术外，还用到了湿法腐蚀：先将材料氧化，再通过化学反应使一种或多种氧化物或络合物溶解。
干法腐蚀：ICP：等离子体刻蚀RIE：反应离子刻蚀，由于湿法腐蚀较难达到所需的精确长宽比要求，所以采用ICP和RIE等干法刻蚀技术进行器件的加工制作。
3 电容式加速度计的检测电路设计
3.1 检测电路的作用及其分类
前面我们讨论加速度计基本原理的过程中可以看到，电容式加速度传感器的基本原理是通过改变平板电容的面积或者平板间距来达到电容的变化，进而变换成加速度的大小，我们看到，只有测出电容的变化量，才能得到加速度的大小，因此，设计电容检测电路，是加速度计设计的又一重要内容，将硅微加速度传感器芯片与相应的检测电路相匹配才能构成一个完整的加速度传感器系统。
结合加速度传感器中差分电容的性质，对电容的检测从基本原理上划分，目前来说主要有四种：开关电容检测电路、AC桥式检测电路、谐振式检测电路和电荷放大式检测电路。
3.2 电荷放大式检测电路的原理
本次学习过程中，我主要对其中的在当今传感器产业中比较常用的电荷放大式检测电路进行的了些研究和调研。
其原理图如下图4所示：
图4 电荷放大检测电路
原理图中，V1，V2为两路同频同幅反相的正弦信号作为激励源，图中的反相运放的输入阻抗很低，反馈电容C f用来去除高频毛刺,C1,C2为差分电容的两个电容的的小，我们在此设定其初始值为C0，则有C1= C0+△c，C2= C0一△c，激励源为：
则有输出结果为：
至此，我们将电容的变化通过放大成电压的变化，达到了检测的目的，电荷放大式检测电路的灵敏度和分辨率都比较理想，非常适合对微机械电容式加速度传感器进行检测。
3.3 Anolog Device 公司的ADXL150 接口电路
该系统的工作原理为：基准电压源(未画出)为整个电路提供稳定的电压，信号发生器产生振荡频率为1MHz 的正弦波，一路直接加到传感器的固定电极上，另一路反向180º后加到传感器的另一个电极上。
当有加速度信号作用在活动梁上时，因加速度信号频率与信号源频
率相比很小(如为1kHz)，故实际上此时从传感器输出的信号可看作加速度信号经过调制的电压信号，信号包络就是与加速度成线性关系的电压信号，该电压信号经过电荷放大器放大，在经过解调后，就得到所需要的低频信号，在通过一个低通滤波电路滤除噪声信号和干扰信号，最后得到所需要的模拟信号，并把信号分别去控制加速度传感器的反馈电极。
4 加速度传感器的应用
加速度计是一种能测量加速度力的电子设备，通过加速度的测量，可以了解运动物体的运动状态，因此加速度传感器广泛运用于航空航天、武器系统、汽车、消费电子等领域。
4.1 MEMS加速度计在汽车上的应用
随着社会的进步和经济的发展，汽车已经成为人们生活中的一个重要工具，随着技术的提高，我们的汽车越来越舒适，越来越安全。
由于加速度传感器可以实时测量物体的加速度，并且MEMS加速度计体积很小，精度和灵敏度都很高，因此用在汽车的安全气囊系统中，通过MEMS加速度计测量加速度，并将加速度实时反馈给汽车的控制系统，当发生车祸碰撞的时候，由于加速度很大，控制系统受到信号后，就可以立即打开安全气囊，保护驾驶者的安全。
4.2 MEMS加速度计在消费电子领域的应用
消费电子有其自身的特点, 尤其是便携式设备, 总在要求其元器件体积小、功耗低, 而功能却不能少。
随着MEMS产业的发展，越来越多的MEMS产品被用到消费电子领域，MEMS 加速度计就是一个实例。
例如IBM的某一系列笔记本电脑开发出了MEMS加速度传感器的新用途,将加速度计集成在电脑的电路中，当电脑急速下坠时, 硬盘会迅速停止读写,避免撞击引起的数据损失。
还有将一个X，Y双轴加速度传感器被放置到普通的手机里以后, 就可以完全取代上下左右四个方向键, 只要晃一晃, 光标就会随心所欲的移动。
如果带摄像头的手机应用这项技术, 可以自动监测重力方向, 让横拍或是竖拍的照片在浏览时都能以正确的方向显示。
MEMS加速度计在消费电子领域的应用可以说非常广泛，只是需要我们运用自己的创造力和想象力去实现。
MEMS加速度计还有很多应用，如测量倾角反馈调整方向等，可以说MEMS加速度计产业的的前景非常好。
5 结束语
为了保证一个报告的完整性，将微加速度传感器完整的呈现给大家，本报告从电容式MEMS加速度传感器的基本原理、主要工艺、测试电路以及MEMS加速度计的应用四个主要方
面进行了阐述，很多都是本人对MEMS加速度计的一些理解，肯定有很多的不足，仅希望对大家有一定的启发。
参考文献：
徐爱东. MEMS惯性器件的新进展及应用. Semiconducor Technology
程未. 基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计.传感器世界
韩小林. 微机械电容式加速度计的设备及制备
王艳平. 为机械式电容式加速度计检测电路的设计
王佳能. 二维加速度传感器检测电路的研究
李跃进. 微机械加工硅电容式家速度传感器.传感器技术
郑志霞. 基于MEMS加速度微传感器制作工艺及测试
张海涛. MEMS 加速度传感器的原理及分析. 电子工艺技术
尤晖. 电容式微加速度传感器的现状及研究方向。