镀膜机操作说明书
镀膜机操作规范-czh
深圳富泰宏精密工业有限公司设备操作规范设备 Desc P/N镀膜机工站名称 Station Name镀膜规范编号.CMOO-0249版次 RevA页次 Page (共1页)1※ 操作步骤1.打开子控制柜的主电源旋钮2.打开中心控制柜主电源旋钮3.打开（外部）主要水阀:（1）Di water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡); （2）Water temperature:18±2.5℃;（3）Water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡)。
4.打开（外部）主要气体供应阀:（1）Ar gun primary:↑及Ar gun secondary:±;（2）N2 gunprimary:↑及N2 gun secondary: ±;（3）C2H2 gun primary:↑及C2H2 gun secondary:5. 将机械帮浦及鲁式帮浦手动开关切至”off ”6. 开启电脑、萤幕、印表机之电源。
7. 待WindosNT 程式执行完出现按钮画面後按Ctrl+Alt+Del 8. 待WindosNT 出现输入密码画面时於”NAME ”格子内确认机台编号,後按”Enter ”或以滑鼠点取”ok ”9. 待电脑自动执行FL 程式後出现输入密码画面时执行镀膜机自动系统启动作业。
※ 关机1. 选择[System OFF],在涡轮冷却并通风约10分钟后系统（设备）旋至SYSTEM OFF 状态2. 关闭（外部）主要空气供给阀3. 关闭（外部）主要气体供给阀4. 关闭（外部）主要水阀5.关闭子控制柜主要电源※ 注意事项1. 关闭其它阀时,设备应处在SYSTEM OFF 状态※ 图示图一 镀膜机核定 品管 工程 制作 李吉长制定日期 2005/05/17发行修订日期。
镀膜机安全技术操作规程（三篇）
镀膜机安全技术操作规程镀膜机是一种常用的表面涂覆设备，用于给物体表面增加一层薄膜，提高其耐磨、防腐蚀等性能。
由于涉及到化学物品和高温等危险因素，因此在操作镀膜机时必须严格遵守安全技术操作规程，以确保操作人员和设备的安全。
以下是镀膜机的安全技术操作规程，共计2000字。
一、使用前的准备工作1.操作人员必须接受相关的安全培训和操作指导，熟悉设备的结构和工作原理。
2.检查设备的各个部位，如输送带、喷涂系统、加热系统等，确保其正常运行，并进行必要的维护和保养。
3.确认所有的安全设施完好，如安全门、安全防护网、紧急停机按钮等。
二、穿戴个人防护装备1.操作人员必须穿戴适当的个人防护装备，如安全帽、安全鞋、护目镜、防护手套等。
2.针对具体镀膜材料和工艺，选择合适的防护服和口罩。
三、操作过程中的安全控制1.在操作镀膜机前，必须确保操作区域的绝对干燥，以避免与湿气产生反应或发生事故。
2.严禁在操作过程中穿插其他人员或随意接近设备。
3.确保机器运行稳定后再进行下一步操作，以免因异常造成安全事故。
4.操作人员必须时刻关注设备运行状态，发现异常情况及时采取应急措施，如关闭设备、紧急停机等。
5.禁止在操作过程中使用手机等与操作无关的电子设备。
6.严禁将任何非操作材料放入喷涂系统，以避免发生化学反应或堵塞设备。
四、应急措施和事故处理1.设备操作过程中，如发现异常燃烧、爆炸或其他突发事故，应第一时间切断电源，并立即报警和呼叫专业人员进行应急处理。
2.若发生泄漏、溢出等事故，应密切关注涉及范围的浓度是否达到爆炸或有毒的程度，确保工作区域的人员安全，及时进行清理和处理。
3.在事故处理中，操作人员必须穿戴好个人防护装备，并按照应急预案进行处置，有条件的情况下可启动应急喷淋系统或其他应急设备。
五、日常维护和保养1.设备日常维护和保养必须由专业人员进行，如定期检查设备运行情况、清理设备内部、更换易损件等。
2.定期组织设备的安全检查和保养记录，及时处理设备的故障和隐患，确保设备的正常运行和使用安全。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程RDBL/WJ-7.5.1-011概述:本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；2 适用范围: 镀膜机的操作3 操作步骤:3.1设备起动3.1.1 说明:设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。
各起动步骤可在自动和手动方式下实现。
3.1.2 设备准备:a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持2/3的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5～0.75Mpa范围内，供水温度＜30℃；压缩空气（压力值在0.6～0.8Mpa）；b 开设备总电源开关、开启PLC；c 检查PLC中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压3.4V）；d 按“急停复位”按钮；e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）f 开启温控单元，水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃；g 开启下列真空测量仪:TM210S、IM110D、IM210，其中IM110D、IM210要在传输室TM210S显示值小于5×10-2mbar时才能开启。
h 手动方式下的起动过程见第3节，自动方式下起动过程见第4节3.1.3 手动方式下起动3.1.3.1 在大气压状态（1bar）下起动此方式只用于维修、维护或换靶后设备进大气的情况下。
a 开启“手动方式”；b 关入口室锁阀, 开传输室１的锁阀；c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元；d 入口室开始抽气；e 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度。
f 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀；g 进入“生产”一节3.1.3.2 溅射室P＝30mbar...1bar时的起动溅射室压力在P＝30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较(见“维护”一章中“真空检测”一节)如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。
镀膜机操作顺序
Duroch-1100镀膜机操作顺序
接通外部电源→先开空压机、冷水机→打开清洗机镀膜机电源→点击自动操作→输入密码→点击自动操作→上班开机→预热完成后→打开柜门、挂上零件，关门→打开氮气开关→点击自动操作→选择钛（保持架）或铬（内外圈，滚子）→点击运行→镀膜→停机到计时→停机到计时变绿并放气→完成一次镀膜过程→打开柜门、取出零件→关闭真空室大门→按返回键→下班关机→关机倒计时→关机倒计时结束后关闭空压机、冷水机→关闭电源
注意事项：
1、开机前必须检查冷却水路无泄露，冷水机去离子水足够。
2、开机前一定要检查泵组中各泵的润滑油是否达到规定值；
3、气瓶气压是否足够；
4、真空系统密封情况是否良好：
5、沉积室内部清理干净，观察窗玻璃保持干净；
6、弧电源，离子源冷却风扇是否正常工作。
7、轴承零件在装卡时必须带手套、口罩，并注意轴承零件间距。
8、轴承零件装卡后必须先旋转转架，防止装卡不合适，无法正常旋转转架。
镀膜机操作指引
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
1/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保 护）
/
镀膜机操作面板 各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
6/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间 注意：胶布不可沾到电
客户名称
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
21
打开盖子，取出 钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
10/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以 打开Chamber密封盖子，取出钢 网，检查线与钢网接触面是否 完好；
16.d
磁控溅射镀膜机使用说明
磁控溅射镀膜机使用说明磁控溅射镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子制造领域的设备，通过磁控溅射技术，可以在各种基底材料上沉积一层或多层金属、非金属或半导体薄膜。
该设备主要由真空室、磁控溅射源、进样室、控制系统等部分组成。
（1）确认电源连接正常，检查真空泵、冷却循环水等设备是否正常工作。
（2）打开真空室门，将基底材料放置在样品台上。
（3）关闭真空室门，启动真空系统，将室内抽至高真空状态。
（4）打开磁控溅射源，进行预溅射清洗靶材。
（5）调整工艺参数，如溅射功率、时间、气压等，开始进行溅射镀膜。
（6）镀膜过程中，监控各种参数，如气压、电流、功率等，确保设备正常运行。
定期检查和维护设备部件，如真空泵、冷却循环水系统等。
避免在镀膜过程中触摸设备内部部件，以免造成人身伤害。
如遇设备故障或异常情况，请立即停机检查，并专业人员进行维修。
保持设备清洁和整洁，定期进行清洁和维护。
磁控溅射镀膜技术的研究始于20世纪70年代，最初是为了满足空间电子器件对抗辐射损伤的需求。
随着科技的发展，磁控溅射镀膜技术的应用领域越来越广泛，然而也存在一些问题，如薄膜应力大、耐磨性差等，需要进一步研究和改进。
磁控溅射镀膜技术的基本原理是利用磁场控制下的电场放电，使靶材表面上的原子或分子被激发后沉积到基材表面，形成一层薄膜。
具体工艺过程包括：真空泵抽气、加热靶材、加磁场、加电场、溅射沉积等步骤。
该技术的特点在于沉积速度快、薄膜质量高、适用范围广等。
磁控溅射镀膜技术在光电领域的应用主要是在太阳能电池上制备减反射膜和抗反射膜。
在光学领域，磁控溅射镀膜技术可以用来制备各种光学薄膜，如增透膜、反射膜、滤光片等。
在电子领域，磁控溅射镀膜技术可以用来制备各种电子薄膜，如半导体薄膜、绝缘薄膜、导电薄膜等。
未来，磁控溅射镀膜技术的发展趋势主要体现在以下几个方面：一是进一步完善磁控溅射镀膜技术的工艺参数，提高薄膜的质量和性能；二是研究磁控溅射镀膜技术在新型材料制备中的应用，如纳米材料、石墨烯等；三是探索磁控溅射镀膜技术在生物医学、环境治理等领域的应用可能性。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
磁控溅射镀膜机使用说明
磁控溅射镀膜机使用说明
1、检查水箱液面高于冷却管，三相电指示灯，出气管放到窗外。
（推荐用纯净水）
2、放样品
a、打开放气阀，打开侧门，关闭放气阀。
（或看真空计示数）
b、升顶盖
c、放靶材，放样品，用万用表检查靶材与外壳是否短路
d、降顶画，关侧门
3、抽真空
a、手按住侧门，开机械泵，开电磁阀，开预抽阀
b、清洗Ar气管，将Ar气减压阀关闭（逆时针），将Ar气开关打向（D08－1F）清洗，示数降为零（0.1－0.2）打到关闭，打开Ar气瓶上减压阀0.2Mpa
c、当气压计小于5pa，开分子泵（先合上电源，再按运行，运行一段时间后自动停止），关预抽阀，开抽板阀
d、烘烤（约半小时），关烘烤（未做）
e、等待真空至要求值。
4、溅射
关小抽板阀，打开Ar气开关至阀控，流量设置为要求值（文献），调节抽板阀令腔内气压至工作气压（文献Ar气压）20pa
打开偏压电源（直流），打开基底挡板，清洗基底（清洗完关基底挡板）。
恒电流：
打开射频电源，调节功率至要求值，打开靶材挡板，开始溅射。
射频电源要令Pr尽可能至零（调节LOAD，TUNE调占空比）。
打开基底挡板，开始溅射。
5、停机
溅射完，关射频电源off,流量调至0，关Ar气至关闭，打开抽板阀，抽真空1小时。
关抽板阀，关分子泵（先按STOP，一直到示数为0，再关闭电源），关电磁阀，关机械泵。
6、关气瓶（主）
注意：
1、不允许真空状态下，打开顶盖升降。
2、不允许分子泵，运行时，打开充气阀。
3、Ar气减压阀，一定逆时针关闭后才能清洗Ar气管。
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(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
(4)换钨丝：钨丝一般情况下6-8次换一次，即每天下班的时候需要换钨丝。
(5)换铝丝：铝丝在确定长度的情况下，需要对折2次，铝丝不能拧紧在一起，也不能太松散，只要4根铝丝靠在一起就行。
(6)精抽阀关掉后，一般需要等10S左右的时间再按下工作室放气——主要这时硅管刚处于高温发红的状态，空气过早的进入会氧化硅管，10S后硅管冷却后再按下工作室放气。
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
(1)以上过程为手动操作的过程。
一、真镀前准备
1、开机前准备操作：
气路——水路——开电源总闸——按下电源控制——开启真空计——开启粗抽泵——开启前置阀——（J1灯亮）开启扩散泵。
2、操作说明：
1.气路开启：开启楼而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时，虽然显示前置阀开启，但是前置阀却实际为关闭的——阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。
4.一般每次还完扩散泵油以及粗抽泵油后，都需对蒸发的参数进行略微的调整。
5.当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时，需要重新设置蒸发的参数。
6.蒸发过程的参数在触摸屏上面可以直接设置，需要密码验证，密码：8031.
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
四、镀膜机的日常维护
镀膜机常见问题排查：
1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
4.真镀产品上面有黑点一般是由于真镀腔体内不干净而造成的。
5.真镀产品上面有铝颗粒——即飞铝现象一般是由于熔融电压过大或者熔融保持时间过长造成的。
6.蒸发过程中有掉表——即真空度下降的情况，一般是由于扩散泵油有烧坏的情况、或者漏气以及腔体太脏的原因。
三、关机准备与关机
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(7)J5、J6的上限设置详见真空计使用说明。J5上限设置为一般为5.0的0次方，J6的上限设置为一般为5.0的-2次方。J5灯亮即为粗抽转精抽的标志，J6灯亮即为可镀的标志。J6的上限设置越小，镀出来的产品一般越亮。目前镀膜机的设置为4.0的-2次方，实验室镀膜机最小抽真空能力为2.0的-2次方左右。