南光镀膜机说明书
南光镀膜机说明书
南光镀膜机说明书该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
镀膜机操作规范-czh
深圳富泰宏精密工业有限公司设备操作规范设备 Desc P/N镀膜机工站名称 Station Name镀膜规范编号.CMOO-0249版次 RevA页次 Page (共1页)1※ 操作步骤1.打开子控制柜的主电源旋钮2.打开中心控制柜主电源旋钮3.打开（外部）主要水阀:（1）Di water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡); （2）Water temperature:18±2.5℃;（3）Water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡)。
4.打开（外部）主要气体供应阀:（1）Ar gun primary:↑及Ar gun secondary:±;（2）N2 gunprimary:↑及N2 gun secondary: ±;（3）C2H2 gun primary:↑及C2H2 gun secondary:5. 将机械帮浦及鲁式帮浦手动开关切至”off ”6. 开启电脑、萤幕、印表机之电源。
7. 待WindosNT 程式执行完出现按钮画面後按Ctrl+Alt+Del 8. 待WindosNT 出现输入密码画面时於”NAME ”格子内确认机台编号,後按”Enter ”或以滑鼠点取”ok ”9. 待电脑自动执行FL 程式後出现输入密码画面时执行镀膜机自动系统启动作业。
※ 关机1. 选择[System OFF],在涡轮冷却并通风约10分钟后系统（设备）旋至SYSTEM OFF 状态2. 关闭（外部）主要空气供给阀3. 关闭（外部）主要气体供给阀4. 关闭（外部）主要水阀5.关闭子控制柜主要电源※ 注意事项1. 关闭其它阀时,设备应处在SYSTEM OFF 状态※ 图示图一 镀膜机核定 品管 工程 制作 李吉长制定日期 2005/05/17发行修订日期。
电镀设备操作说明书
页01电镀机操作说明书种类ES/ZY-CW 2-015EVER SHINE半自动1.按下电源的启动按钮，翻开电源，电源指示灯就会亮。
2.将开关或起重机开关放在半自动地点。
3.、挂上起重机开关即可上涨，等候上限开关动作时自动停止上涨。
4.按起重机开关降落，等候下限开关动作后自动停止降落。
5.起重机开关挂在东边，起重机快速行进，压口开关翻开后，起重时机以快速的速度行进。
进路以迟缓的速度行进，达到极点时自动在固定地点上停止。
6.开关向西，起重机快速退后，压力开关一开，起重机就快速退后。
以迟缓的速度退后达到极点时自动在固定地点上。
停止。
7.假如要停在没有铁板的地点上，起重时机以迟缓的速度飞走时取金属物体变轻。
稍微的感觉近距走开关，即立刻停止横行。
8.起重机在没有铁板的地点停止，不可以进行上涨或降落功能做。
9.选择滚筒启动开关，手动时连续旋转，停止时停止，自动上涨达到上限后，发动机自动旋转几秒后自动停止。
10.滚筒发动机旋转时间设置，计时器控制调整。
日期，日期20120301送修审批改正准核制度。
第一版次数第01版页01电镀机操作说明书种类ES/ZY-CW 2-015EVER SHINE全自动1.、将架子鼓放在各个固定地点，在指定起重机的地点上（步骤）图上的主场地点系有三角符号的人，将架子鼓指定的地点点搁置2.确认滚筒能否依据指定的符号搁置，而后将起重机转到指定地点。
配置。
地点3.将顶棚控制箱（半自动）选择开关置于全自动地点搁置4.去主控制箱按控制电源的按钮扭转。
停下来，把天车放在全自动地点。
5.第一依据程序进行冲洗（再按几次），而后在程序中随着启动。
假如要连续运行未运行的程序，请按程序冲洗别按了按吧。
节目开始了。
6.启动电源，千车自动启动。
7.程序暂停或停止方式（1）节天车的半自动（自动）将开关对半切断后自动启动行了。
（2）依据主控制箱的方式自动停止运行。
（3）依据主控制电源的停止切断电源。
（4）上下原料若有暂停开关，可临时运行原料或钢材可能。
国产镀膜机作业指导书
国产镀膜机作业指导书1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪：按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
镀膜机安全技术操作规程通用版
操作规程编号：YTO-FS-PD444镀膜机安全技术操作规程通用版In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers.标准/ 权威/ 规范/ 实用Authoritative And Practical Standards镀膜机安全技术操作规程通用版使用提示：本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。
文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。
一、目的消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。
二、适用范围本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。
三、安全操作规程1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。
2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到5Pa 时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。
3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。
4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。
5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。
6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。
7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。
8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。
镀膜机操作说明书
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程一、概述镀膜机是一种用于在物体表面涂覆一层薄膜的设备。
由于涉及到高温、高压和有毒化学物质等安全风险，所以必须要严格遵守安全操作规程，确保操作人员和设备的安全。
本文将详细介绍镀膜机的安全技术操作规程。
二、安全操作规程1. 操作人员应穿戴合适的工作服，戴好安全帽、防护眼镜、手套和护腿装备，确保个人安全。
2. 在操作镀膜机之前，必须对设备进行全面的检查，确保所有的安全装置和传感器都正常工作。
3. 在操作过程中，要严格按照操作手册的要求来进行操作，不得超负荷或违规操作。
4. 在操作镀膜机之前，应该对设备进行预热处理，直到达到设定的工作温度。
5. 在加入涂覆材料之前，必须确保容器和管道内没有残留物，以免引发意外事故。
6. 操作人员必须熟练掌握设备的电气控制系统，熟悉各个开关、按钮的功能，以便在紧急情况下采取正确的应对措施。
7. 每次操作结束后，应及时关闭电源、气源和液源，清理设备，确保设备处于安全状态。
8. 如果发现设备出现故障或异常情况，应立即停止操作，并及时通知维修人员进行检修。
9. 操作人员不得擅自调整设备的参数和设定值，必须经过相关人员的批准和指导才能进行。
10. 在操作镀膜机之前，要对设备周围的环境进行检查，确保安全出口畅通，消防设备齐全可用，以便在发生紧急情况时能够迅速撤离和灭火。
11. 镀膜机设备通常使用高温和高压气体，操作人员必须注意防止烫伤和烧伤，不得将身体靠近高温区域和气体喷口。
12. 镀膜机设备使用化学品进行涂覆，操作人员必须佩戴防护口罩和呼吸器，保护呼吸道免受有害气体的侵害。
13. 在涂覆过程中，要时刻关注设备运行状态和涂覆效果，如发现异常情况应立即停止操作，并及时进行维修和处理。
14. 镀膜机设备的维修和保养应由专业人员进行，操作人员不得擅自进行维修和拆卸。
15. 镀膜机设备在长期不使用时，应进行适当的防锈和保护措施，以延长设备的使用寿命。
三、紧急情况处理1. 如果发生火灾，应立即关闭设备电源，并使用灭火器或消防器材进行灭火。
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南光镀膜机说明书
该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.
一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa
二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.
(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)
NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.
一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.
二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.
2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.
3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.
4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,
再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).
(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.
四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。