大型零件表面平面度误差的测量方法_刘兴占
大型超精密平面度在线测量与误差补偿技术(精)
大型超精密平面度在线测量与误差补偿技术1平面度在线测量的数学模型与误差分离方法对于平面度在线测量，可以采用四测头电容式组合传感器装置安装在加工机床的 z轴上，按一定的测量走点路径对工件表面进行测量，测量结果中迭加了两项误差：基准误差(即导轨运动副误差)和工件表面误差。
因此，要精确测量工件平面度，必须采用误差分离技术。
对平面度在线测量可以采用三或四传感器进行。
其中三传感器布置方式如图 l所示。
传感器边距为L，这样以 L长为间隔可将被测平面分为M行N列网格，处于网格上的点即为被测量点，三传感器分别标记为(k，l)(k，l＝1，2)，对应第i行j列上的测量点标记为(i，j)。
以传感器(l，l)的零点作为基准点。
则传感器(1，2)、(2，1)的初始位置偏差分别记为）Δ12、Δ21。
图2所示为测量路线图(这里以4行4列测点为例)，网格上的点为测量点，实心小圆圈表示测头，i、j表示测量的当前行和列。
图3所示为传感器采集数据示意图。
这里假设测头装置为一刚体，导轨运动副作无偏摆的平动。
由图3给出的当前测量i行j列时的采集数据示意图可以得到传感器采样表达式，记传感器(k，l)(k，l＝1，2)在该位置时的采样值为 zijkl，则：图3所示为传感器采集数据示意图。
这里假设测头装置为一刚体，导执运动副作无偏摆的平动。
由图3给出的当前测量i行j列进的采集数据示意图可以得到传感器采样表达式，记传感器（k，l）（k，l=1，2）在该位置时的采样值为Zijkl，则：2测量误差源分析及实用误差分离方法的讨论对于平面度形状误差的误差分离方法，可以采用递推逐次两点(TSTP)法和最小二乘逐次两点(LSSTP)法。
对于大型精密、超精密平面度在线测量，则应采用混合逐次两点(HSTP)法，对于精密小平面工件，采用二维最小二乘插值逐次两点(LSISTP)法进行误差分离，2．1测量误差源分析逐次两点误差分离方法是以采样公式(1)为分析处理基础的，但在实际系统中，由于各种因素的影响，采样获得的传感器信息中不仅包含运动副误差和测量平面形状误差，而且还带有各种噪声信号。
大型圆环导轨平面度测量方法及在实际测量中的应用
、
／ Ｌ 、 、
三一
方便、准确可靠 。很好地解决了加工 中轴径测量的
“
一
径一卡”问题 。
（ ３ ）梯形卡规 结构简单 ，容 易制造 ，制 造成
图５ 梯形卡规的改进结构
本低 ，适用于批量生产中的轴径测量 。
（ 可测量≤１ ０ ０ ｍｍ ￣ Ｉ ］ ＞１ ０ ０ － － ． ２ ０ ０ ｒ ｎ ｍ的系列轴径）
偏 差 我 们 也 无 法 直 观 了 解 到 各 点 凸 出或 凹人 了 多
环中心方向上的倾斜角得到的数据来计算各点的偏
差 ，从而达到测量平面度的 目的。但是实际测量 中 因为随 着半径的增大 ，使得 测量的精 度成倍 的减 少 ，所以这个方法测量 的精度相对切 向测量法要低
发。
一
度 与直线导轨不 同，圆环导轨测量所得到的数据
做 出的 曲线不是一条直线，而是一 条规律变化的 曲
线。
设 想 有一 理 想 的 标 准 圆导 轨 ，它 和 物理 水 平 面 存在 一 微 小 的安 装倾 角 ，如 图 １ 所示。
图中圆环导轨面 与 水 平 面 间 夹 角 为
Ｂ０＝ ９０ 。 一 Ａ０ ＝ Ａ０Ｄ＝
表直接获得被测轴径的实际偏差值 。④按被测轴径
的 公差 要 求 ，判 断 被 测轴 径 是 否合 格 。
＋ ｝
３ Ｏ
－ ・ ・ －Ｉ
＿
２ ０ ｌ Ｏ
・ｌ… ．
｝
１ ｏ ２ Ｏ ３ ０
７ ． 结语
（ １ ）同样是用于大 批量的检测 ，用普通卡规 检测轴径 ，只是 判断被测轴径是否合格的 “ 定性 ” 方法 ；而用梯形卡规检测轴径 ，则是能获得被测轴
平面度误差的测量方法
平面度误差的测量方法平面度误差的测量啊，就像是在给平面这个家伙做一场超级严格的“体检”。
你想啊，平面就像一个安静躺着的大板子，表面上看起来平平整整的，可实际上呢，它可能有着自己的小秘密，也就是那些我们要找出来的平面度误差。
测量平面度误差的方法那可是多种多样，就像厨师做菜有好多菜谱一样。
有一种方法就像是用超级敏感的小触角去探测平面的每一个角落。
比如说用水平仪，这水平仪就像是一个超级挑剔的小蜗牛，在平面上慢慢爬动，只要平面稍微有点高低起伏，就像小蜗牛遇到了小土坡或者小坑洼，它就能敏锐地察觉到。
还有用打表法来测量呢。
这就好比是给平面找了一群超级小侦探，那些表针就像一个个好奇的小指头，不停地在平面上指指点点。
表针稍微一动，就像小指头在兴奋地说：“嘿，这里有点不一样哦！”然后我们就能根据表针的跳动情况算出平面度误差，这就像是从小指头的汇报里分析出平面到底有多“调皮”。
光学平晶测量法就更酷啦。
光学平晶就像是一个有着神奇魔力的镜子，把平面照得清清楚楚。
平面上的一点点瑕疵在它面前就像妖怪在照妖镜下无所遁形。
它把平面的真实面貌反射出来，让我们能精准地找出那些误差，就像从魔法镜子里看到隐藏在平面世界里的小怪物。
干涉法也很有趣。
干涉条纹就像神秘的小河流在平面上流淌。
如果平面是完美的，这些小河流就会规规矩矩地排列。
但要是有平面度误差，那就像有调皮的小精灵在小河流里捣乱，条纹就会变得弯弯曲曲的。
我们就可以根据这些像被风吹乱的丝带一样的条纹来判断平面度误差，就像从丝带的扭曲程度猜出小精灵到底做了多少坏事。
三坐标测量机就像是一个来自未来的机械巨兽。
它的探头在平面上探索的时候，就像巨兽的爪子在轻轻地触摸。
它能精确地确定平面上各个点的坐标，然后通过复杂的计算找出平面度误差，就像巨兽用它那超级智慧的大脑分析平面的情况。
不管是哪种方法，都是为了揭开平面度误差的神秘面纱。
就像探险家们寻找宝藏一样，我们在寻找平面的真实平整度。
这些测量方法就像各种各样的探险工具，带着我们在平面的世界里穿梭，直到我们把那些隐藏的误差宝藏找出来。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是一个物体表面平整程度的指标，对于某些需要高精度加工的工件来说，平面度是一个非常重要的参数。
因此，需要对工件的平面度进行检测，以保证产品质量和工艺精度。
下面将介绍几种常见的平面度检测方法。
1. 直尺法。
直尺法是一种简单直观的平面度检测方法，它适用于一些表面较大的工件。
具体操作方法是将一根较长的直尺或平板放置在被检测的表面上，通过目视或使用游标卡尺等测量工具，来检测工件表面与直尺之间的间隙。
通过测量不同位置的间隙值，可以初步判断工件的平面度情况。
2. 对角线法。
对角线法是一种利用对角线测量工件平面度的方法。
具体操作方法是在工件的表面上绘制两条相交的对角线，然后使用测量工具（如游标卡尺、激光测距仪等）测量对角线的长度，通过对角线长度的差异来判断工件的平面度情况。
这种方法适用于一些较小的工件，对角线长度的测量精度较高。
3. 光栅法。
光栅法是一种利用光栅投影仪来检测工件平面度的方法。
光栅投影仪会在工件表面投射一系列平行的光栅线，然后通过光电传感器来测量光栅线在不同位置的偏移量，从而计算出工件表面的平面度。
这种方法适用于对工件平面度要求较高的情况，具有较高的测量精度和稳定性。
4. 数字化测量法。
数字化测量法是一种利用三维坐标测量仪或激光三维扫描仪来进行工件平面度检测的方法。
这种方法可以实现对工件表面的全面扫描和测量，通过数学算法对测量数据进行处理，得出工件表面的平面度情况。
数字化测量法适用于对工件平面度要求非常高的情况，可以实现对工件表面微小偏差的精确测量。
总结。
以上介绍了几种常见的平面度检测方法，每种方法都有其适用的场景和特点。
在实际工程中，可以根据工件的大小、精度要求、测量环境等因素选择合适的平面度检测方法。
通过科学合理的平面度检测方法，可以有效保证工件的加工质量和精度，提高产品的竞争力和市场占有率。
平面度误差测量的常用方法有如下几种
平面度误差测量的常用方法有如下几种：
1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。
主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。
2、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。
打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。
然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。
此法主要用于测量大平面的平面度误差。
4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。
除上述方法可测量平面度误差外，还有采用平面干涉仪、水平仪、自准直仪等用于测量大型平面的平面度误差。
平面度误差的测量方法
平面度误差的测量方法嘿，朋友们！今天咱就来唠唠平面度误差的测量方法。
你可别小瞧了这个平面度误差，它就像是一个爱捣蛋的小淘气，要是咱不把它抓住，那可就麻烦啦！咱先说说用打表法来测量平面度误差吧。
这就好比是我们在给平面这个大“家伙”做体检。
把表头在平面上到处溜达溜达，看看它哪里高了哪里低了，然后把这些数据都记下来。
这就像是我们在给平面画一幅高低起伏的地图一样，通过这些数据就能知道平面度误差有多大啦！你说神奇不神奇？还有一种叫水平仪法。
想象一下，水平仪就像是一个超级敏感的小侦探，它能敏锐地察觉到平面的一点点倾斜。
我们拿着它在平面上慢慢移动，它就会告诉我们这个平面到底平不平。
要是平面有点歪，它可就立马“报警”啦！再来讲讲干涉法，这可高级啦！就像是给平面穿上了一件特别的“衣服”，通过这件“衣服”上的纹路，我们就能清楚地看到平面哪里不平整。
这可真是个神奇的办法呀！然后是三坐标测量机法。
这就像是给平面请了一个超级厉害的“私人医生”，它能全方位、无死角地给平面做一个超级详细的检查。
任何一点点的不平整都逃不过它的“法眼”。
这得多厉害呀！那我们在测量的时候可得注意啦！要像对待宝贝一样小心翼翼，不能马虎大意。
要是测量错了，那可就糟糕啦！就好像我们要去一个地方，却走错了路，那不是白费力气嘛！所以呀，一定要认真认真再认真！测量平面度误差的方法还有很多很多呢，每一种都有它独特的魅力和用处。
我们要根据不同的情况选择合适的方法，这样才能把平面度误差测量得准确无误。
所以呀，朋友们，平面度误差的测量可真是一门大学问呢！我们要不断学习，不断探索，才能掌握这门技术。
让我们一起加油，把平面度误差这个小淘气给彻底制服吧！。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具一、引言。
平面度是指物体表面与一个理想平面之间的距离差异。
在工程制造中，平面度是一个非常重要的指标，它直接影响着零件的质量和使用性能。
因此，正确的测量平面度，选择合适的检测工具是非常关键的。
本文将介绍平面度的测量方法及常用的检测工具。
二、平面度的测量方法。
1. 直接测量法。
直接测量法是最常见的一种测量平面度的方法。
它通过使用平面度检测仪器，直接对被测平面进行测量。
在测量过程中，需要将平面度检测仪器放置在被测平面上，然后通过仪器显示的数值来判断平面度的情况。
这种方法简单直观，适用于一般的平面度测量。
2. 对比测量法。
对比测量法是一种间接测量的方法。
它通过将被测平面与一个标准平面进行对比，来确定平面度的情况。
在实际操作中，可以使用平面度对照板或平面度对照尺来进行对比测量。
这种方法适用于对平面度要求较高的情况，可以提高测量的精度。
3. 光学测量法。
光学测量法是一种非接触式的测量方法。
它通过使用光学测量仪器，如激光干涉仪、投影仪等，来对被测平面进行测量。
这种方法适用于对平面度要求较高，且需要高精度测量的情况。
光学测量法具有高精度、高效率的特点，但仪器的成本较高。
三、平面度的检测工具。
1. 平面度检测仪。
平面度检测仪是一种专门用于测量平面度的仪器。
它通常由主体、测头、显示屏等部分组成，可以直接对被测平面进行测量，并显示出平面度的数值。
平面度检测仪具有操作简单、测量精度高的特点，适用于一般的平面度测量。
2. 平面度对照板。
平面度对照板是一种用于对比测量的工具。
它通常由标准平面和被测平面两部分组成，通过将两个平面进行对比，来判断被测平面的平面度情况。
平面度对照板适用于对平面度要求较高的情况，可以提高测量的精度。
3. 激光干涉仪。
激光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，可以用于测量平面度。
它通过激光的干涉原理，可以实现对被测平面的高精度测量。
激光干涉仪具有测量精度高、非接触式测量的特点，适用于对平面度要求较高的情况。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指工件表面与某一基准面之间的最大有效间隙的距离，也就是工件表面的平整程度。
在工程制造中，平面度是一个非常重要的质量指标，直接影响着工件的装配和使用效果。
因此，正确的测量平面度以及选择合适的检测工具是非常重要的。
一、平面度的测量方法。
1. 使用平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它通过接触式或光学式的测量原理，可以快速、准确地测量出工件表面的平整程度。
在使用平面度测量仪时，需要将工件放置在测量台上，然后根据仪器的操作说明进行操作，即可得出工件的平面度数据。
2. 使用平面度测量块。
平面度测量块是一种用于检测工件平面度的标准工具，它通常由金属材料制成，具有非常高的平整度。
在进行平面度测量时，可以将平面度测量块放置在工件表面上，通过观察工件与测量块之间的间隙来判断工件的平面度情况。
3. 使用平面度测量夹具。
平面度测量夹具是一种用于固定工件并进行平面度测量的工具，它通常由夹具本体和测量传感器组成。
在使用平面度测量夹具时，可以将工件夹在夹具上，然后通过夹具上的测量传感器来获取工件的平面度数据。
二、检测工具的选择。
1. 平面度测量仪。
平面度测量仪是一种专门用于测量工件平面度的仪器，它具有高精度、高稳定性的特点，可以适用于各种不同形状和材质的工件。
在选择平面度测量仪时，需要考虑测量范围、测量精度、使用便捷性等因素。
2. 平面度测量块。
平面度测量块是一种用于检测工件平面度的标准工具，它具有高精度、高耐磨性的特点，可以作为平面度检测的参照标准。
在选择平面度测量块时，需要注意其表面平整度和材质的选择。
3. 平面度测量夹具。
平面度测量夹具是一种用于固定工件并进行平面度测量的工具，它具有固定性好、操作简便的特点，可以适用于各种不同形状和尺寸的工件。
在选择平面度测量夹具时，需要考虑夹具的稳定性和适用范围。
三、总结。
平面度的测量方法及检测工具是保证工件质量的重要手段，正确的测量方法和合适的检测工具可以有效地提高工件的加工精度和装配精度，从而提高产品的质量和可靠性。