高精度运动控制系统的关键技术及综合运用
运动控制系统中精度补偿与校正技术研究
运动控制系统中精度补偿与校正技术研究概述在现代工业生产中，运动控制系统起着至关重要的作用。
而在运动控制过程中，精度是一个非常关键的指标。
精度补偿与校正技术是提高运动控制系统精度的重要手段。
本文将就运动控制系统中的精度补偿与校正技术进行研究和探讨。
一、运动控制系统介绍运动控制系统是指通过控制运动装置、传感器和执行器来实现对物体的精确控制。
它应用于很多领域，如机械制造、自动化、机器人等。
一个良好的运动控制系统需要具备高精度、高速度和高稳定性等特点。
二、精度补偿与校正的重要性运动控制系统在长期运行和恶劣环境下容易受到机械磨损、温度变化和误差累计等因素的影响，从而导致系统精度下降。
精度补偿与校正技术可以弥补这些因素对系统精度的影响，提高系统的运动精度和稳定性。
因此，研究精度补偿与校正技术对于提高运动控制系统的性能至关重要。
三、精度补偿与校正技术研究内容1. 误差建模与预测精度补偿与校正技术的第一步是对系统误差进行建模与预测。
通过对系统进行实时监测和测量，分析误差来源，建立误差数学模型，可以预测系统的误差变化规律，为后续的补偿与校正提供依据。
2. 传感器校准技术传感器是运动控制系统中获取反馈信息的重要装置。
然而，传感器本身可能存在一定的误差。
传感器校准技术可以通过比对真实值和传感器测量值之间的差异，准确地估计出传感器的误差，并进行补偿校正，提高系统的测量精度。
3. 补偿与校正算法根据误差模型和传感器校准结果，可以采用多种补偿与校正算法来消除系统误差。
常用的算法包括PID控制算法、自适应控制算法、模型预测控制算法等。
通过合理选择和优化算法参数，可以实现对系统误差的实时补偿与校正，提高系统的运动精度。
4. 物理结构设计改进系统的物理结构设计对运动精度也有一定影响。
通过优化机械结构设计，减小机构刚度变化、减小摩擦力、减小回程误差等，可以降低系统的非线性误差，提高系统的运动精度。
四、精度补偿与校正技术的应用精度补偿与校正技术广泛应用于各种运动控制系统中。
运动控制系统原理及应用
运动控制系统原理及应用运动控制系统是指通过控制器对运动设备进行控制，实现运动控制的系统。
它是现代工业自动化的重要组成部分，广泛应用于机械加工、自动化生产线、机器人、航空航天等领域。
本文将介绍运动控制系统的原理及应用。
一、运动控制系统的原理运动控制系统的原理是通过控制器对运动设备进行控制，实现运动控制。
控制器通常由控制器主板、输入输出模块、通信模块、电源模块等组成。
输入输出模块用于接收传感器信号和控制执行器，通信模块用于与上位机通信，电源模块用于为控制器提供电源。
运动控制系统的控制方式有开环控制和闭环控制两种。
开环控制是指控制器根据预设的运动参数直接控制执行器，不考虑实际运动情况。
闭环控制是指控制器通过传感器反馈实际运动情况，根据反馈信号调整控制参数，实现精确控制。
二、运动控制系统的应用1. 机械加工运动控制系统在机械加工中的应用非常广泛，可以实现高精度的加工。
例如，数控机床通过运动控制系统控制刀具的运动轨迹，实现高精度的加工。
另外，运动控制系统还可以应用于激光切割、电火花加工等领域。
2. 自动化生产线运动控制系统在自动化生产线中的应用也非常广泛。
例如，自动化装配线通过运动控制系统控制机械臂的运动，实现自动化装配。
另外，运动控制系统还可以应用于自动化包装、自动化检测等领域。
3. 机器人运动控制系统是机器人的核心控制系统，可以实现机器人的运动控制、路径规划、力控制等功能。
例如，工业机器人通过运动控制系统控制机械臂的运动，实现自动化生产。
另外，运动控制系统还可以应用于服务机器人、医疗机器人等领域。
4. 航空航天运动控制系统在航空航天领域中的应用也非常广泛。
例如，飞行控制系统通过运动控制系统控制飞机的姿态、速度等参数，实现飞行控制。
另外，运动控制系统还可以应用于卫星控制、火箭发射等领域。
运动控制系统是现代工业自动化的重要组成部分，广泛应用于机械加工、自动化生产线、机器人、航空航天等领域。
随着科技的不断发展，运动控制系统的应用将会越来越广泛。
机器人运动控制的精确度提升
机器人运动控制的精确度提升随着科技的不断发展，机器人逐渐应用于各个领域，如制造业、医疗、物流等。
机器人的运动控制精确度对于其性能和应用场景的要求越来越高。
本文将探讨机器人运动控制的精确度提升的方法和技术。
一、传感器技术的应用传感器是提升机器人运动控制精确度的重要手段之一。
机器人常用的传感器包括视觉传感器、力觉传感器和惯性传感器等。
视觉传感器用于获取环境的图像信息，通过对图像进行处理和分析，可以精确地定位机器人的位置和姿态。
力觉传感器可以感知机器人与周围环境的力的大小和方向，从而使机器人的运动更加精确和安全。
惯性传感器可以感知机器人的加速度和角速度，在运动控制中起到重要的作用。
二、运动控制算法的优化机器人运动控制算法的优化是实现精确运动的关键。
传统的运动控制算法有PID控制算法和模糊控制算法等，但随着技术的进步，现代的优化算法如模型预测控制（MPC）和逆向问题求解（IP）等被广泛应用。
这些算法可以通过数学建模和优化求解方法，实现对机器人运动的精确控制。
例如，MPC算法可以根据机器人动力学模型对未来一段时间内的运动进行预测，并通过优化求解得到最优的控制指令，从而提高机器人的运动精确度。
三、驱动系统的改进机器人的驱动系统对于运动控制的精确度也有很大影响。
驱动系统包括关节传动装置和电机控制器等。
关节传动装置的刚度和精度对机器人运动的精确度有较大影响，传统的齿轮传动和皮带传动等已经不能满足高精度运动的要求，因此一些新型的驱动装置如直线电机、气动驱动和液压驱动等被引入。
同时，电机控制器的性能也需要不断提升，例如控制电流和速度的闭环控制算法的改进，可以提高机器人的运动控制精确度。
四、机器人模型的建立和校准准确的机器人模型对于运动控制的精确度也是至关重要的。
机器人模型可以通过运动学和动力学建模方法来描述机器人的运动特性，模型的准确性对于控制算法的设计和运动规划的有效性有很大的影响。
同时，由于制造误差和机器变形等因素的存在，机器人模型需要进行校准来修正模型的误差。
高精度运动控制系统的关键技术及综合运用ppt课件
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公司简介（二）
此外公司还与秦皇岛海纳科技公司 合作研发了国内首款可驱动直线电机和 旋转电机的通用型伺服驱动器。该驱动 器具有高阶轨迹生成、支持用户编程等 高端功能，产品性能已达到国际先进水 平，可广泛用于高精密运动控制系统的 驱动和控制。
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总结
❖ 运动控制技术是多学科复合技术：机械与电子、硬件和软件、算法 和分析
❖ 运动控制应用范围广：开环控制或闭环控制、半闭环或全闭环控制 ❖ 采用闭环控制首要考虑的是系统稳定性 ❖ 运动控制的性能不仅要考核时域响应，还要考核频域特性 ❖ 运动控制系统由控制平台、功率放大器/驱动器、执行机构/电机/
安装误差的影响
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实例：编码器安装对信号质量及精度的影响（续） 信号质量对误差影响
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运动控制系统的保护
软件级 •计算错误保护 •位置误差保护 •饱和保护 •震荡保护 •RMS功率保护 •电源故障保护 •急停保护
机械级 •机械限位装置 •机械刹车/卡紧装置 •机械防撞装置 •… …
硬件级 •限位传感器保护 •看门狗保护 •电源故障保护 •过功率保护 •驱动器短路保护 •驱动器过压/欠压保护 •驱动器过温保护 •驱动器RMS电流保护 •… …
➢ 光栅尺的精度
➢ 线距，或信号周期(每毫米线数，或每圈线)
➢ 光栅尺的热敏系数
➢ 差值技术
➢ 信号质量
➢ 频率响应与最高速度
旋转编码器最大速度 = [工作频率 (Hz) / (每转线数) ]*60 [RPM]
电机运动控制系统的设计与应用
电机运动控制系统的设计与应用电机运动控制系统是一个重要的工程领域。
控制系统能够将电机的速度、位置和加速度等运动参数控制到高精度，从而使得电机运动更为稳定、精确和高效率。
本文将介绍电机运动控制系统的设计方法、应用场景以及相关技术等内容。
一、电机运动控制系统的设计方法1.系统结构设计电机运动控制系统的结构设计包括硬件结构和控制算法结构。
硬件结构包括传感器、执行器、运动控制器和通信模块等。
传感器能够采集电机位置、速度等参数，执行器能够控制电机运动。
运动控制器对电机的控制算法进行实现，通信模块实现控制指令和数据的传输。
2.控制算法设计控制算法主要包括开环控制和闭环控制。
开环控制是指在电机运动过程中，控制器输出一个基本控制命令，以固定的运动规律进行调节。
闭环控制则根据电机传感器的反馈信号进行补偿和修正，输入实时控制命令，以更加准确的运动规律进行调节。
3.系统参数调节系统参数调节是指对电机运动控制系统的参数进行优化，以达到更好的控制效果。
对于不同的电机类型和不同的应用场景，需要进行不同的参数调节。
常用参数包括控制命令的周期、传感器采样频率等。
二、电机运动控制系统的应用场景电机运动控制系统的应用场景非常广泛。
常见的应用场景包括：1. 机器人控制电机运动控制系统是机器人控制的关键技术之一。
通过控制电机的角度、速度和加速度等参数，实现机器人的移动、抓取、拖动等动作。
2. 电动汽车电机运动控制系统是电动汽车的核心技术。
通过对电机的控制，可以实现电动汽车的加速、刹车、转向等功能，提高汽车的安全性、能效和舒适性。
3. 机床控制机床控制系统需要对电机的运动精度和速度等要求非常高。
通过控制系统对电机的位置和速度进行精细调节，能够保证机床的加工精度和工作效率。
4. 飞行器控制飞行器控制系统需要对电机的控制非常精确。
动力系统、姿态控制和飞行路径的设计都需要电机运动控制系统的协作。
三、电机运动控制系统相关的技术1.传感技术传感技术是电机运动控制系统的关键技术。
光刻机超精密工件台数据驱动运动控制
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光刻机超精密工件台数据 驱动运动控制的关键技术
问题
高精度运动控制技术
总结词
高精度运动控制技术是光刻机超精密工件台数据驱动运动控 制的核心问题，需要解决高精度位置控制和姿态控制难题。
详细描述
光刻机超精密工件台需要实现纳米级的位置控制和姿态控制 ，这需要采用先进的运动控制算法和高精度传感器技术。同 时，还需要解决运动过程中由于温度、湿度等环境因素引起 的误差问题。
03
光刻机超精密工件台数据 驱动运动控制的应用场景
芯片制造领域
芯片制造是光刻机超精密工件台数据驱动运动控制的主要应用场景之一。在芯片 制造过程中，需要使用光刻机进行微缩图案的刻画，而超精密工件台则可以实现 对芯片的精确位置和姿态调整，以确保刻画图案的准确性和一致性。
在芯片制造领域，光刻机超精密工件台数据驱动运动控制技术可以大大提高芯片 制造的效率和品质。通过对工件台的精确控制，可以实现刻画图案的纳米级精度 ，避免因位置和姿态不准确而引起的刻画错误和芯片性能下降的问题。
光刻机超精运密动工控件制台数据驱动
汇报人： 2023-11-20
目录
• 光刻机超精密工件台概述 • 数据驱动运动控制技术 • 光刻机超精密工件台数据驱动运动控制的
应用场景 • 光刻机超精密工件台数据驱动运动控制的
关键技术问题
目录
• 光刻机超精密工件台数据驱动运动控制的 发展趋势和挑战
• 光刻机超精密工件台数据驱动运动控制的 应用案例分析
稳定性的运动控制。
其他辅助系统
如冷却系统、真空系统等，保 证工件台在稳定的温度和压力
条件下工作。
02
数据驱动运动控制技术
数据驱动运动控制技术的定义
基于数据驱动的运动控制技术，主要 是通过采集设备运行数据，进行数据 分析，提取特征，建立模型，并对设 备进行实时监测与控制。
运动控制应用场景
运动控制应用场景全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：运动控制技术是指通过对运动物体的控制，实现对其位置、速度、加速度等运动参数进行精确控制的技术。
在现代工业生产和科学研究中，运动控制技术被广泛应用于各种领域，从工业生产、机器人操作到医疗设备和科学实验等方面都有着重要的作用。
本文将重点探讨运动控制技术的应用场景，以及在不同领域中的具体应用。
运动控制技术在工业生产中起着至关重要的作用。
在自动化生产线中，运动控制系统可以实现对机器人的精准操作，从而提高生产效率和产品质量。
汽车组装线上的焊接机器人、喷涂机器人等都需要运动控制系统进行精确的控制，确保每一道工序的准确完成。
在数控机床等工具机械中，也需要运动控制系统对刀具或工件的运动轨迹进行控制，以实现复杂的加工工艺。
运动控制技术在工业生产中扮演着不可或缺的角色。
运动控制技术在机器人领域有着广泛的应用。
机器人是人工智能和自动化技术的重要应用之一，其运动控制系统更是机器人能够自主完成各种任务的关键。
工业机器人可以通过运动控制系统对其末端执行器进行精确控制，完成各种复杂的操作，如装配、搬运、焊接等。
在医疗机器人领域，运动控制技术可以帮助手术机器人完成精细的手术操作，提高手术成功率和患者的安全性。
在服务机器人、教育机器人等领域，也需要运动控制系统实现机器人的运动功能，以更好地为人类提供服务。
运动控制技术还在科学研究和实验中得到广泛应用。
在物理学实验中，科学家可以通过运动控制系统对粒子加速器、望远镜、天文望远镜等设备进行精确控制，实现对自然界的探索和研究。
在生物医学领域，运动控制技术可以帮助研究人员对细胞、分子进行精确操作，从而推动生物医学研究的发展。
在航空航天领域，运动控制技术也可以用于飞行器的姿态控制、导航等方面，确保飞行器的飞行安全和准确性。
运动控制技术的应用场景非常广泛，在工业生产、机器人领域、科学研究和实验等方面都具有重要的作用。
随着科技的不断发展，运动控制技术也将继续发展和创新，为人类的生产生活和科学研究带来更多便利和可能性。
控制系统中的运动控制技术
控制系统中的运动控制技术控制系统中的运动控制技术在各个行业中起着至关重要的作用。
无论是在工业生产过程中的自动化控制，还是在机械设备中的精确定位，运动控制技术都扮演着至关重要的角色。
本文将介绍运动控制技术的概念、应用领域以及相关的算法和方法。
一、运动控制技术的概念运动控制技术是指通过控制系统对物体进行精确的位置、速度和加速度控制的技术。
它通过传感器获取物体位置信息，经过控制算法处理后，输出到执行机构，实现所需的运动状态。
运动控制技术广泛应用于各个行业，包括制造业、机械加工、自动化生产线等。
二、运动控制技术的应用领域1. 机械制造业：在机械制造业中，运动控制技术被广泛应用于数控机床、机器人和自动化生产线等设备中。
它通过精确的控制，实现工件的高精度加工和装配。
2. 医疗设备：在医疗设备中，运动控制技术用于精确的器械定位和手术过程中的运动控制。
比如，在手术机器人中，通过运动控制技术，医生可以实现对器械的远程精确操控，提高手术的安全性和精度。
3. 物流仓储：在物流仓储行业中，运动控制技术可以应用于自动化堆垛机、输送系统和分拣系统等设备中，实现物品的准确定位和高效运输。
4. 交通运输：在交通运输领域中，运动控制技术被应用于列车、汽车和飞机等交通工具中。
通过精确的运动控制，可以提高交通工具的安全性和舒适性。
三、运动控制技术的算法和方法1. 位置控制算法：位置控制算法通过计算当前位置与目标位置之间的误差，采取相应的反馈控制策略，实现物体的精确定位。
常见的位置控制算法有PID控制算法、LQR控制算法等。
2. 速度控制算法：速度控制算法通过控制物体的速度，使其达到设定的目标速度。
常见的速度控制算法有增量式PID控制算法、模糊控制算法等。
3. 轨迹规划算法：轨迹规划算法用于生成物体的运动轨迹，以实现复杂的运动路径。
常见的轨迹规划算法有贝塞尔曲线、样条插值等。
4. 运动控制设备：运动控制技术离不开执行机构的支持，常见的运动控制设备有伺服电机、步进电机等。
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装配工艺中应注意的问题
设备的装配质量受到多方面因素的影响，除了技术、工艺方面的问题以外，还与装 配工人的人为因素有关，这里我们重点介绍一下位置反馈传感器的选取与安装 光栅传感器精度的决定因素
光栅尺的精度 线距，或信号周期(每毫米线数，或每圈线) 光栅尺的热敏系数 差值技术 信号质量
旋转编码器最大速度 = [工作频率 (Hz) / (每转线数) ]*60 [RPM] 线性编码器最大速度 = [扫描频率(Hz)*信号周期 (micron) ]*10e-6 其中 信号周期 = 测量步距 (micron) * 细分倍数 * 4 [micron]
高精度运动控制系统的应用
龙门式双轴直线电机平台
构成：CNC（控制卡）+驱动+电 机+反馈 控制模式：位置/速度/力矩 控制接口：总线/模拟/脉冲 定位分辨率：0.5um-5um 重复定位精度：10um 最大加速度：5g 特点：多轴联动，精度高，功能 强，价格偏高 应用领域：数控机床、激光设备 、封装设备、测试测量
伺服驱动器的选择
HN伺服控制驱动器是一种通用型的 伺服控制驱动器，可驱动交流无刷旋 转电机和交流无刷直线电机等伺服电 机。该驱动器采用DSP作为核心控制 芯片，使用全数字电机控制算法，实 现了电流环、速度环、位置环的闭环 控制，此外该驱动器还具有：微动换 相、电机参数识别、控制参数自整定 、高阶运动轨迹生成、共振抑制、用 户程序控制等功能。
慧摩森
高精度运动控制系统 ----关键技术及综合运用 关键技术及综合运用
北京慧摩森电子系统技术有限公司
公司简介（ 公司简介（一）
北京慧摩森电子系统技术有限公司是以开发生 产高精度运动定位系统为主的高新技术企业，所研 发产品集成光机电一体化技术，采用的技术和产品 精度达到国际先进水平。 目前直线电机在运动控制领域的应用越来越广 泛，我公司所生产的SM系列直线电机性能稳定， 质量好，与PWM的驱动控制器及直线光栅编码器组 成伺服运动系统，代替传统的丝杠和皮带传动结构 形式，简化了结构，提高了运动控制系统的性能。 公司自主研制的0.1微米级精密运动平台及集成 控制系统是微电子制造和测试设备的核心部件，也 是生物医疗设备和精密制造业发展的关键部件，这 些产品在以上领域的应用可以极大提高我国的制造 水平，缩小和先进国家的差距。
信号质量对误差影响
运动控制系统的保护
软件级 •计算错误保护 •位置误差保护 •饱和保护 •震荡保护 •RMS功率保护 •电源故障保护 •急停保护 机械级 •机械限位装置 •机械刹车/卡紧装置 •机械防撞装置 •… … 硬件级 •限位传感器保护 •看门狗保护 •电源故障保护 •过功率保护 •驱动器短路保护 •驱动器过压/欠压保护 •驱动器过温保护 •驱动器RMS电流保护 •… …
通常在理想时间轨迹之外,还需加入补偿控制,以实现运动的快速性及平稳性。
关键技术： 关键技术：
高精度运动控制系统的关键技术涉及：运动控制、伺服控制、机械 结构设计及材料选择、装配工艺以及系统的保护等诸多方面的技术 。
运动控制中的关键技术
运动控制
产生相对于时间的空间轨迹,以及直接实现各机械模块之间的同 步控制, 例如: 电子齿轮变速(无级变速) 各种平面曲线,圆,椭圆, y(t) = f(x(t)) 各种空间曲线, z(t) = f(x(t), y(t)) 运动插补 高阶运动轨迹生成 运动控制系统的自学习与自调整 工业现场的高速网络化通讯 ……
公司简介（ 公司简介（二）
此外公司还与秦皇岛海纳科技公司 合作研发了国内首款可驱动直线电机和 旋转电机的通用型伺服驱动器。该驱动 器具有高阶轨迹生成、支持用户编程等 高端功能，产品性能已达到国际先进水 平，可广泛用于高精密运动控制系统的 驱动和控制。 公司还代理销售MicroE、SIKO、 ELMO等多家国外知名品牌的光栅、磁 栅、驱动器、控制器等产品，并为客户 提供技术支持和伺服运动控制系统集成 。
运动控制系统的关键技术
运动控制系统的基本构成
人机接口/高层指令生成
运动控制平台/运动控制卡
功率放大器/驱动器
执行机构/电机 被控对象 反馈传感器
运动控制系统的要求及所涉及关键技术
要求：
在机械结构允许的情况下,产生最快最平稳的时间轨迹.
这就需要在下列系统限制的情况下确定算法: 机械机构的固有频率, 执行机构的响应时间, 伺服系统通带宽度, 电机功率, 驱动器功率, 传感器响应及限制 电源电压, …. 同时算法的复杂性还要受到系统实时性和计算机的速度的制约。
执行机构
运动系统的执行机构由电机及完成运动的机械结构组成，执行机构的 设计主要目的是提高系统刚性、抑制系统的低频共振。 执行机构/电机的设计 运动连接及动力传输 动力学分析与仿真 结构与振动分析 直线电机的兴起及应用 ……
执行机构的主要性能指标
系统刚度 系统共振频率 系统的承载能力 系统最大运行速度及加速度 ……
直线电机的特点
现代机床业的新宠—直线电机
无丝杠传动 结构简单 低成本 低噪声 无磨损/少维修（空气轴承无磨损） 直接驱动+直接反馈 高精度 高稳定性 北京慧摩森公司SM系列U型开口式直线电机是高速、轻型设备的首 选。其持续推力在1到20公斤之间，峰值推力可以到80公斤，配备 MicorE光栅和合适的控制系统，典型运行速度1到2米/秒，最大5米/ 秒。此系列电机结构简单、价格便宜、控制方便，主要应用于电子设 备、精密测量、精细加工等领域。
反馈装置的选择
MicroE光栅编码器及DRC编码器
尺寸下（硬币大小），重量轻（5克） 分辨率高：5um-0.1nm可选 速度快：高达7.2m/s 直线和旋转运动均可适用 提供栅尺、读取头、信号转换装置、显示表头。 信号输出方式：模拟、数字、绝对式 典型产品：MSK5000系列
• • • • • 数字信号输出，LED工作状态指示 最高分辨率：0.001毫米 最大速度：4m/s（0.001mm分辨率时） 应用于直线或角度测量 ……
频率响应与最高速度
[m/sec]
安装要求
反映真实的被测物理变量 对电气及机械噪声干扰不敏感 可允许的振动与冲击的工作环境 光栅尺与读数头的安装刚度 光栅传感器的非运动部件的振动隔离 传感器电缆的最小弯曲半径
实例： 实例：编码器安装对信号质量及精度的影响
安装误差的影响
实例：编码器安装对信号质量及精度的影响（ 实例：编码器安装对信号质量及精度的影响（续）
运动控制的主要技术指标
可产生的运动轨迹的种类(直线,圆,弧线,任意曲线) 轨迹相对时间的阶次 最高速度,最高加速度 位置,速度精度 可同时控制运动轴数(4 轴,8,轴,……) 运动轴之间的同步 伺服轴的数目 ………
伺服控制中的关键技术
伺服控制：运动控制在于如何产生运动控制指令(算法),而伺服控制在于如何让 机电系统快速，准确地跟踪运动控制指令 系统实验与系统辩识 振动分析与抑振技术 鲁棒控制技术 自适应控制 自学习与自调整 模糊训练
SIKO磁栅尺
Exr Interferometer） 1100B激光标定系统（Laser Calibration System） 1700A水平度/倾斜度传感器 (Level Sensor)
总结
运动控制技术是多学科复合技术：机械与电子、硬件和软件、算法 和分析 运动控制应用范围广：开环控制或闭环控制、半闭环或全闭环控制 采用闭环控制首要考虑的是系统稳定性 运动控制的性能不仅要考核时域响应，还要考核频域特性 运动控制系统由控制平台、功率放大器/驱动器、执行机构/电机/ 电机、反馈器件、被控对象及控制算法构成 运动系统部件的选择要综合考虑很多因素
伺服驱动器的主要性能指标
工作电压 输出电流 工作效率 伺服控制算法 闭环响应带宽 动/静态精度 控制刚度 稳态时间 分辨率 采样时间/控制频率 各种保护功能 过压保护/欠压报警、短路保护、最大电流持续时间、连续/RMS电流 保护、过温保护、停机保护、失控保护(电流反灌保护)
执行机构设计的关键技术