无尘室等级
洁净室等级标准
洁净室等级标准【Federal Standard (FS)209E,1992】，可将无尘室分为六级。
分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0、5μm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0、5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如：10级在0、2μm(尘粒尺寸在0、2μm或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0、1μm(尘粒尺寸在0、1μm或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。
洁净度：洁净度10000级cleanliness class10000（P2万级实验室即ISO7级）即大于等于0、5μm的尘粒数大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的尘粒数大于300粒／m3(0、3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
压差及温湿度控制：1）温度:干盘管系统控制。
2）湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
3）正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
检测标准：气流速度及其均匀度检测，是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。
1）室内洁净度的检测：洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。
2）自净时间的检测：通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。
3）照度的检测：照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。
4）振动的检测：振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。
5）温、湿度的检测：温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。
其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。
实验室洁净级别的划分
实验室洁净级别的划分实验室洁净级别是指实验室内部空气中的微粒物质数量和尺寸分布的指标，它直接影响着实验室的实验质量和结果。
根据不同实验的需求，实验室的洁净级别可以分为不同等级，下面将介绍几种常见的实验室洁净级别划分。
一、ISO 14644洁净级别划分ISO 14644是国际标准化组织（ISO）制定的实验室洁净级别划分标准。
该标准将实验室洁净度分为ISO 1至ISO 9共九个等级，数字越小表示洁净度越高。
ISO 1级实验室被称为“无尘室”，通常应用于特殊领域的实验，如微尘颗粒的研究等。
ISO 1级实验室的洁净度要求非常高，空气中的微尘颗粒数量极少。
ISO 9级实验室则被称为“常规实验室”，是一般科研实验室的洁净度要求，空气中的微尘颗粒数量相对较高。
二、GMP洁净级别划分GMP（Good Manufacturing Practice）是药品行业的生产质量管理规范，也制定了实验室洁净级别划分标准。
根据GMP的要求，实验室洁净度分为A、B、C、D四个级别，其中A级洁净度要求最高。
A级实验室是指对生产产品质量要求非常高的实验室，如药品生产实验室、生物制品实验室等。
A级实验室的洁净度要求非常严格，空气中的微尘颗粒数量极少。
D级实验室则是指对生产产品质量要求相对较低的实验室，如药品包装实验室、药品仓库等。
D级实验室的洁净度要求较低，空气中的微尘颗粒数量相对较高。
三、实验室洁净级别的控制措施为了确保实验室能达到所需的洁净级别，需要采取一系列的控制措施。
实验室的空气处理系统是关键。
空气处理系统应具备过滤、通风和净化功能，能够过滤掉空气中的微尘颗粒。
实验室应采用合适的洁净室设计和建筑材料。
洁净室的设计应尽量减少尘埃产生和积聚的机会，建筑材料应具备防尘、易清洁等特性。
实验室的工作人员应穿戴洁净服。
洁净服能够将工作人员的微尘颗粒隔离，避免其进入实验室空气中。
实验室应定期进行洁净度检测和维护。
通过定期检测，可以及时发现洁净度不达标的问题，并采取相应的维护措施进行修复。
无尘室等级
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
1、1级：级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。
2、10级：十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3、100级：百级无尘车间并非无菌室，百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
4、1000级：千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。
5、10000级：万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。
6、100000级：十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统
的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
7、300000级别：三十万级无尘车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。
最全无尘室等级标准
最全无尘室洁净等级标准洁净室等级标准（国内和国外标准对比）ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3）0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μmISO1级10 2ISO2级100 24 10 4ISO3级1000 237 102 35 8ISO4级10000 2370 1020 352 83ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293ISO7级352000 83200 2930ISO8级3520000 832000 29300ISO9级35200000 8320000 293000《药品生产质量管理规范》(1992年修订)洁净级别活粒数/立方米活微生物数/立方米≥0.5μm ≥5μm100 级≤3,500 0 ≤510,000 级≤350,000 ≤2,000 ≤100100,000级≤3,500,000 ≤20,000 ≤500洁净手术部洁净用房等级标准等级沉降（浮游）细菌最大平均浓度表面最大染菌密度空气洁净度级别手术区周边区手术区周边区I 0.2个/30minΦ90皿（5个/ m3）0.4个/30minΦ90皿（10个/ m3）5个/cm2 100级1000级II 0.75个/30minΦ90皿（25个/ m3）1.5个/30minΦ90皿（50个/ m3）5个/cm2 1000级10000级III 2个/30minΦ90皿（75个/ m3）4个/30minΦ90皿（150个/ m3）5个/cm2 10000级100000级IV 5个/30min，Φ90皿（175个/ m3）5个/cm2 300000级美国联邦标准209E等级名称等极限值0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm国际单位英制单位/m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3M3.5 100 26500 750 10600 300 3530 100M4 75700 21400 30900 875 10000 283M4.5 1000 35300 1000 247 7M5 100000 2830 618 17.5M5.5 10000 353000 10000 2470 70.0M6 1000000 28300 6180 175M6.5 100000 3530000 100000 24700 700M7 10000000 283000 61800 1750常用单位换算1米m = 3.28英尺ft 1CFM（ft3/min）= 0.4719L/s1平方米m2 = 10.76平方英尺ft2 1CFS(ft3/s) = 28.32L/s1立方米m3 = 35.3立方英尺ft3 1FPM(ft/min) = 0.00508m/s1英制加仑gallon = 4.55升L 1BTU/h = 0.2931W1美制加仑gallon = 3.79升L 1千瓦kw = 860千卡/小时kcal/h1磅lb = 454克g 1USTR美国冷吨= 3.516 kw1马力HP = 0.746千瓦kw 1巴bar = 100千帕kpa1摄氏度℃= 5(华氏度F-32)/9 1mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa。
无尘室等级
无尘室等级无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
它是污染控制的基础。
控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
1.乱流式(Turbulent Flow)空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。
气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多，净化级别越高)。
此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制无尘室程产品。
另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。
其型式可分为二种:⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
无尘室等级
无尘室等级
无尘室等级可以分为以下几个级别：一级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百万级。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称级别中的千级。
各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多。
1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗
100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗
数字越小,洁净等级越高，每个等级所管控的颗粒大小也不一样。
class 100,000 无尘标准等级
class 100,000 无尘标准等级一、概述Class100,000无尘标准等级是一种用于电子制造行业的环境标准，旨在确保生产环境中的尘埃粒子浓度控制在极低的水平，从而保证电子产品的质量、性能和寿命。
二、无尘标准等级的定义Class100,000无尘标准等级是指环境中尘埃粒子浓度小于或等于一百万个每立方英尺的空间体积。
这种高标准的洁净级别适用于大规模集成电路（LSI）和微电子制造等对环境要求极为严格的行业。
三、无尘室的设施和要求1.清洁设备：Class100,000无尘标准等级的无尘室通常配备有高效微粒过滤器（HEPA）和活性过滤器等先进的清洁设备，以有效捕获和消除尘埃粒子。
2.空气过滤系统：无尘室通常采用封闭式空气处理系统，通过循环和过滤空气来保持环境清洁。
这种系统通常包括初效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器以及高效微粒过滤器（HEPA）。
3.空气分布系统：无尘室应具备合理的空气分布系统，以确保空气均匀分布，避免尘埃粒子在局部区域积聚。
4.湿度控制：无尘室应具备适宜的湿度控制，以防止尘埃粒子凝结或飞扬。
5.人员进出控制：无尘室应采取严格的措施，控制人员进出，以减少尘埃污染。
通常要求工作人员穿戴防尘服、防尘鞋和佩戴防尘眼镜等防护装备。
6.尘埃监测设备：无尘室应配备专业的尘埃监测设备，定期进行尘埃粒子计数，确保环境符合标准要求。
四、无尘标准等级的应用Class100,000无尘标准等级适用于高精密电子制造过程，如大规模集成电路（LSI）、微处理器、硬盘驱动器等产品的生产。
这些产品对尘埃粒子和其他污染物的敏感度非常高，因此需要严格的环境控制。
同时，该标准也适用于电子元器件制造、半导体设备制造等领域。
五、验证与评估为了保证无尘室的环境符合Class100,000标准等级，通常需要进行定期的验证和评估。
这些评估通常包括尘埃粒子计数、空气质量检测、温湿度测量等多个方面。
此外，无尘室还应该定期进行清洁和维护，以确保其持续符合标准要求。
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准通常根据国家或行业规范制定。
以下是一些常见的车间无尘等级标准：
1. 美国联邦标准209E：该标准定义了无尘室的等级，从ISO Class 1到ISO Class 9。
ISO Class 1代表最高级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过0.1粒。
ISO Class 9则代表最低级别的无尘室，要求每立方英尺内的颗粒物数量不超过35,200粒。
2. ISO14644标准：该标准是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。
其中包括ISO Class 1到ISO Class 9，与美国联邦标准209E相似。
3. GMP标准：GMP（Good Manufacturing Practice）是一种世界范围内用于药品生产的质量管理体系标准。
GMP标准中对车间无尘等级有详细的规定，包括空气中颗粒物的数量、尺寸和分布要求等。
4. SEMI标准：SEMI是半导体工业协会，该组织制定了针对半导体生产车间无尘等级的标准，包括SEMI S2、SEMI S6和SEMI F18等。
需要注意的是，不同行业和应用领域对无尘等级的要求可能会有所不同，具体的无尘等级标准应根据实际情况进行确定。
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无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
它是污染控制的基础。
控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。
首先是等级定义的模式如下：
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。
意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。
这样可以减少纷争，以下是几个例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。
在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
Class X (at Y μm )，At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。