(完整word版)无尘室环境检测标准
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准2006-1-23(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
无尘室验收标准
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.检测方法：采用尘埃粒子计数器进行检测，按照国家相关标准进行操作。
2.检测标准：无尘室的空气洁净度应符合以下标准：3.a) 沉降法：以地面为参照物，室内空气中含尘量应小于等于3000个/m³。
4.b) 压差法：以相邻两个区域之间的压差为依据，压差值应大于等于5Pa。
5.结果判断：经过空气洁净度检测，无尘室应满足以上标准，方可视为合格。
二、温度和湿度检测1.检测方法：采用便携式温度计和湿度计进行测量，记录无尘室的温度和湿度数据。
2.检测标准：无尘室的温度和湿度应符合以下标准：3.a) 温度：20℃±2℃；4.b) 湿度：50%±5%。
5.结果判断：经过温度和湿度检测，无尘室的温度和湿度应满足以上标准，方可视为合格。
三、风速和风量检测1.检测方法：采用风速计和风量计进行测量，记录无尘室的风速和风量数据。
2.检测标准：无尘室的风速和风量应符合以下标准：3.a) 风速：小于等于0.3m/s；4.b) 风量：符合设计要求。
5.结果判断：经过风速和风量检测，无尘室的风速和风量应满足以上标准，方可视为合格。
四、压力检测1.检测方法：采用压力表进行测量，记录无尘室的压力数据。
2.检测标准：无尘室的压力应符合以下标准：3.a) 正压区：大于等于50Pa；4.b) 负压区：小于等于-50Pa。
5.结果判断：经过压力检测，无尘室的压力应满足以上标准，方可视为合格。
五、噪声和振动检测1.检测方法：采用噪声计和振动表进行测量，记录无尘室的噪声和振动数据。
2.检测标准：无尘室的噪声和振动应符合以下标准：3.a) 噪声：小于等于70dB；4.b) 振动：小于等于0.05mm/s。
5.结果判断：经过噪声和振动检测，无尘室的噪声和振动应满足以上标准，方可视为合格。
六、照明检测1.检测方法：采用亮度计和照度表进行测量，记录无尘室的照明数据。
2.检测标准：无尘室的照明应符合以下标准：3.a) 亮度：大于等于300LX；4.b) 照度：大于等于300勒克斯。
无尘室验收标准 (3)
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.检测方法：采用粒子计数器、尘埃粒子监测仪等仪器，对无尘室内的空气进行采样，分析粒子浓度和粒径分布。
2.检测指标：空气洁净度等级、粒子浓度、粒径分布等。
3.测试原理：根据无尘室的设计参数和技术要求，确定空气洁净度等级和相应的粒子浓度限值。
通过采样和分析，判断无尘室内的空气洁净度是否符合要求。
4.测试过程中需要注意的细节：选择合适的采样点，确保采样点的代表性；采样过程中要避免人为干扰；采样时间要足够，以保证结果的准确性。
二、温度和湿度检测1.检测方法：使用温湿度计对无尘室内的温度和湿度进行测量。
2.检测指标：温度、湿度。
3.测试原理：根据无尘室的设计参数和技术要求，确定温度和湿度的控制范围。
通过测量和分析，判断无尘室内的温度和湿度是否符合要求。
4.测试过程中需要注意的细节：选择合适的测量点，确保测量点的代表性；测量过程中要避免人为干扰；测量时间要足够，以保证结果的准确性。
三、风速和风量检测1.检测方法：采用风速计、风量计等仪器，对无尘室内的风速和风量进行测量。
2.检测指标：风速、风量。
3.测试原理：根据无尘室的设计参数和技术要求，确定风速和风量的控制范围。
通过测量和分析，判断无尘室内的风速和风量是否符合要求。
4.测试过程中需要注意的细节：选择合适的测量点，确保测量点的代表性；测量过程中要避免人为干扰；测量时间要足够，以保证结果的准确性。
四、压力检测1.检测方法：采用压力计对无尘室内的压力进行测量。
2.检测指标：压力差、正负压。
3.测试原理：根据无尘室的设计参数和技术要求，确定压力的控制范围。
通过测量和分析，判断无尘室内的压力是否符合要求。
4.测试过程中需要注意的细节：选择合适的测量点，确保测量点的代表性；测量过程中要避免人为干扰；测量时间要足够，以保证结果的准确性。
五、噪声和振动检测1.检测方法：采用噪声计、振动分析仪等仪器，对无尘室内的噪声和振动进行测量。
（完整word版）无尘室环境检测标准
（完整word版）无尘室环境检测标准
4.8.2更换周期为1次/1年(依据检测结果而定)。
4.8.3 测试方法
4.8.3.1对于每个2`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数
4.8.3.2对于每个4`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数
4.8.3.3平均风速：0.45 m/s ± 20%
4.9 无尘室压力管控
4.9.1《洁净厂房设计规范》GB50073-2001 6.2.2 规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区
之间的压差，应不小于5pa，洁净区与室外的压差应不小于10pa.注：本司按实际情况而定。
4.10无尘室温湿度标准：
参考《车间条件环境规定》。
由温湿度记录表记录，各现场单位负责更换记录表和保存资料，其精确度由实验室定期校验。
无尘室验收标准 (1)
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.目的：确保无尘室内的空气洁净度符合生产工艺要求，保证产品质量和生产安全。
2.检测方法：采用尘埃粒子计数器进行空气洁净度检测，记录各个区域的尘埃粒子数。
3.检测频次：每季度检测一次，也可根据实际生产需要进行调整。
4.合格标准：无尘室内的尘埃粒子数应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。
二、温度和湿度检测1.目的：确保无尘室内的温度和湿度处于适宜状态，满足生产工艺要求。
2.检测方法：使用温湿度计对无尘室内的温度和湿度进行检测，记录数据。
3.检测频次：每班检测一次，也可根据实际生产需要进行调整。
4.合格标准：温度和湿度应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。
三、风速和风量检测1.目的：确保无尘室内的风速和风量符合生产工艺要求，保证空气流通和净化效果。
2.检测方法：使用风速计和风量计对无尘室内的风速和风量进行检测，记录数据。
3.检测频次：每月检测一次，也可根据实际生产需要进行调整。
4.合格标准：风速和风量应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。
四、压力检测1.目的：确保无尘室内的压力符合生产工艺要求，保证空气流向和净化效果。
2.检测方法：使用压力计对无尘室内的压力进行检测，记录数据。
3.检测频次：每班检测一次，也可根据实际生产需要进行调整。
4.合格标准：压力应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。
五、噪声和振动检测1.目的：确保无尘室内的噪声和振动处于可控范围，保障工作人员的身体健康和工作质量。
2.检测方法：使用声级计和振动计对无尘室内的噪声和振动进行检测，记录数据。
3.检测频次：每季度检测一次，也可根据实际生产需要进行调整。
4.合格标准：噪声和振动应符合GBZ1-2010《工业企业设计卫生标准》等相关国家标准的要求。
六、照明检测1.目的：确保无尘室内的照明符合生产工艺要求，保证工作人员能够清晰地观察周围环境。
无尘室验收标准(文字版)
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.应采用颗粒计数仪对无尘室内的空气洁净度进行检测，按照《洁净室施工及验收规范》的要求执行。
2.检测前应对无尘室进行全面清洁，检测时应选择无尘室内部和周边环境洁净度最高的时段进行。
3.空气洁净度检测结果应符合设计要求，并按照从高到低的顺序划分为A、B、C三个等级。
二、温度和湿度检测1.使用温湿度计对无尘室的温度和湿度进行检测，测量位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。
2.温度和湿度检测结果应符合设计要求，无尘室温度应控制在20℃～26℃，相对湿度应控制在50%～70%。
三、风速和风量检测1.使用风速计对无尘室内的风速进行检测，检测位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。
2.使用风量计对无尘室内的风量进行检测，检测位置应选择无尘室四周靠近送风口和回风口的位置。
3.风速和风量检测结果应符合设计要求，无尘室风速应控制在0.3m/s～0.5m/s之间，风量应控制在300m³/h～500m³/h之间。
四、压力检测1.使用压力计对无尘室的压力进行检测，检测位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。
2.压力检测结果应符合设计要求，无尘室压力应略高于外部环境压力，以保持空气流向。
五、噪声和振动检测1.使用声级计对无尘室的噪声进行检测，测量位置应选择无尘室中部距地面1m处。
2.使用振动仪对无尘室的振动进行检测，测量位置应选择无尘室四周靠近设备和人员操作区域的位置。
3.噪声和振动检测结果应符合设计要求，无尘室噪声应控制在70dB以下，振动应控制在0.5mm/s以下。
六、照明检测1.使用照度计对无尘室的照明进行检测，测量位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。
2.照明检测结果应符合设计要求，无尘室照度应控制在300Lx～500Lx之间。
无尘室要求与等级标准
无尘室要求与等级标准
无尘室的要求与等级标准主要包括以下几个方面：
1.空气洁净度等级：无尘室的洁净度等级主要根据空气中悬浮粒
子浓度来划分，一般分为一级到十级。
一级无尘室主要适用于制作集成电路的微电子工业，十级无尘室主要用于带宽小于二微米的半导体工业，百级无尘室一般用于医药工业的无菌制作工艺等，千级无尘室主要用于高质量光学产品的生产，万级和十万级无尘室则多用于工业部门，如液压或气压体系的制作、食品饮料的出产等。
2.温湿度要求：无尘室的温度一般控制在20±2°C，相对湿度保
持在50±5%范围内。
3.照明与通风：无尘室内应有足够数量的局部照明装置及良好的
通风换气设备，同时，其风速和气流组织形式也有一定要求。
4.人员进出要求：人员进入洁净区必须穿防尘工作服或防静电工
作服，带好帽子口罩等个人防护用品，严禁非工作人员入内。
5.其他要求：如压差控制，相同洁净度等级的净化车间压差应保
持一致，对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要
≥5Pa，净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。
以上是无尘室的主要要求与等级标准，实际运用中可能根据具体情况有所调整。
如需更多信息，建议咨询无尘室设计或管理领域的专业人士。
无尘室验收标准 (2)
无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测空气洁净度检测是评估无尘室质量的重要环节。
在此环节中，我们会使用悬浮粒子计数器等科学仪器对无尘室内的空气进行定量检测，以确定空气中悬浮粒子的数量是否符合规定的标准。
同时，我们还会通过观察法、手触法等方式，评估空气的清洁程度。
二、温度和湿度检测无尘室的温度和湿度检测也是关键的环节。
在此环节中，我们会使用温度计和湿度计等仪器对无尘室的温度和湿度进行测量，以确定其是否符合生产工艺的要求。
对于温度和湿度的控制，我们将根据无尘室的使用要求和生产工艺进行合理调整。
三、风速和风量检测风速和风量检测可以反映无尘室的通风性能。
在此环节中，我们会使用风速计和风量计等仪器对无尘室的风速和风量进行测量，以确定其是否符合设计要求。
对于风速和风量的控制，我们将根据无尘室的设计要求进行合理调整。
四、压力检测压力检测是无尘室验收的重要环节。
在此环节中，我们会使用压力表等仪器对无尘室的压力进行测量，以确定其是否符合设计要求。
对于压力的控制，我们将根据无尘室的设计要求进行合理调整。
五、噪声和振动检测噪声和振动检测可以反映无尘室的环境状况。
在此环节中，我们会使用噪声仪和振动仪等仪器对无尘室的噪声和振动进行测量，以确定其是否符合标准。
对于噪声和振动的控制，我们将根据无尘室的设计要求和使用要求进行合理调整。
六、照明检测照明检测可以反映无尘室的照明情况。
在此环节中，我们会使用照度计等仪器对无尘室的照明进行测量，以确定其是否符合设计要求。
对于照明的控制，我们将根据无尘室的设计要求和使用要求进行合理调整。
七、静电防护检测静电防护检测可以反映无尘室的静电控制情况。
在此环节中，我们会使用静电计数器等仪器对无尘室的静电进行测量，以确定其是否符合标准。
对于静电的控制，我们将根据无尘室的设计要求和使用要求进行合理调整。
八、清洁度检测清洁度检测可以反映无尘室的清洁程度。
在此环节中，我们会使用积尘高度仪等仪器对无尘室的积尘高度进行测量，以确定其是否符合标准。
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4.8.2更换周期为1次/1年(依据检测结果而定)。
4.8.3 测试方法
4.8.3.1对于每个2`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数
4.8.3.2对于每个4`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数
4.8.3.3平均风速：0.45 m/s ± 20%
4.9 无尘室压力管控
4.9.1《洁净厂房设计规范》GB50073-2001 6.2.2 规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区
之间的压差，应不小于5pa，洁净区与室外的压差应不小于10pa.注：本司按实际情况而定。
4.10无尘室温湿度标准：
参考《车间条件环境规定》。
由温湿度记录表记录，各现场单位负责更换记录表和保存资料，其精确度由实验室定期校验。