无尘室验证标准及程序

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无尘车间标准要求

无尘车间标准要求

无尘车间标准要求一、引言无尘车间是一种高度洁净的生产环境,广泛应用于电子、医药、食品等行业。

为了确保无尘车间的洁净度和生产质量,制定一系列的标准要求是必要的。

本文将详细介绍无尘车间标准要求的内容,包括无尘车间的定义、洁净度等级、空气净化设备要求、工作人员要求、设备要求以及监测和验证要求。

二、无尘车间的定义无尘车间是指在一定的空气处理设备和控制措施下,通过控制空气中的颗粒物和微生物数量,使车间内的洁净度达到一定标准的特殊生产环境。

无尘车间的洁净度要求根据不同行业和产品的需要而定,通常通过空气中颗粒物的个数来衡量。

三、洁净度等级无尘车间的洁净度等级根据国际标准ISO 14644-1进行分类,分为ISO 1至ISO 9级。

ISO 1级为最高洁净度等级,ISO 9级为最低洁净度等级。

不同行业和产品对洁净度等级的要求有所不同,根据实际需要确定洁净度等级。

四、空气净化设备要求1. 空气过滤器:无尘车间必须安装高效空气过滤器,根据洁净度等级的要求选择合适的过滤器。

过滤器的效果应经过验证,并定期更换。

2. 空气净化设备:无尘车间应配备适当的空气净化设备,包括空气净化器、空气消毒设备等。

设备的性能和效果应符合相关标准要求,并定期进行维护和保养。

五、工作人员要求1. 培训要求:无尘车间的工作人员应接受专业的培训,了解无尘车间的特点、操作规程以及相关安全知识。

2. 人员穿戴:工作人员进入无尘车间前必须穿戴洁净服、洁净鞋等防护用品,并按要求进行洗手和消毒。

3. 人员行为:工作人员在无尘车间内应遵守相关规定,禁止吸烟、饮食等不符合卫生要求的行为。

六、设备要求1. 设备选择:无尘车间内的设备应符合洁净度等级的要求,并定期进行维护和保养,确保设备的正常运行。

2. 设备布局:无尘车间内的设备布局应合理,避免产生交叉污染,并方便清洁和维护。

七、监测和验证要求1. 监测设备:无尘车间应配备合适的洁净度监测设备,定期对车间内的洁净度进行检测和记录。

无尘室验收标准

无尘室验收标准

无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.检测方法:采用尘埃粒子计数器进行检测,按照国家相关标准进行操作。

2.检测标准:无尘室的空气洁净度应符合以下标准:3.a) 沉降法:以地面为参照物,室内空气中含尘量应小于等于3000个/m³。

4.b) 压差法:以相邻两个区域之间的压差为依据,压差值应大于等于5Pa。

5.结果判断:经过空气洁净度检测,无尘室应满足以上标准,方可视为合格。

二、温度和湿度检测1.检测方法:采用便携式温度计和湿度计进行测量,记录无尘室的温度和湿度数据。

2.检测标准:无尘室的温度和湿度应符合以下标准:3.a) 温度:20℃±2℃;4.b) 湿度:50%±5%。

5.结果判断:经过温度和湿度检测,无尘室的温度和湿度应满足以上标准,方可视为合格。

三、风速和风量检测1.检测方法:采用风速计和风量计进行测量,记录无尘室的风速和风量数据。

2.检测标准:无尘室的风速和风量应符合以下标准:3.a) 风速:小于等于0.3m/s;4.b) 风量:符合设计要求。

5.结果判断:经过风速和风量检测,无尘室的风速和风量应满足以上标准,方可视为合格。

四、压力检测1.检测方法:采用压力表进行测量,记录无尘室的压力数据。

2.检测标准:无尘室的压力应符合以下标准:3.a) 正压区:大于等于50Pa;4.b) 负压区:小于等于-50Pa。

5.结果判断:经过压力检测,无尘室的压力应满足以上标准,方可视为合格。

五、噪声和振动检测1.检测方法:采用噪声计和振动表进行测量,记录无尘室的噪声和振动数据。

2.检测标准:无尘室的噪声和振动应符合以下标准:3.a) 噪声:小于等于70dB;4.b) 振动:小于等于0.05mm/s。

5.结果判断:经过噪声和振动检测,无尘室的噪声和振动应满足以上标准,方可视为合格。

六、照明检测1.检测方法:采用亮度计和照度表进行测量,记录无尘室的照明数据。

2.检测标准:无尘室的照明应符合以下标准:3.a) 亮度:大于等于300LX;4.b) 照度:大于等于300勒克斯。

无尘室验收标准 (3)

无尘室验收标准 (3)

无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.检测方法:采用粒子计数器、尘埃粒子监测仪等仪器,对无尘室内的空气进行采样,分析粒子浓度和粒径分布。

2.检测指标:空气洁净度等级、粒子浓度、粒径分布等。

3.测试原理:根据无尘室的设计参数和技术要求,确定空气洁净度等级和相应的粒子浓度限值。

通过采样和分析,判断无尘室内的空气洁净度是否符合要求。

4.测试过程中需要注意的细节:选择合适的采样点,确保采样点的代表性;采样过程中要避免人为干扰;采样时间要足够,以保证结果的准确性。

二、温度和湿度检测1.检测方法:使用温湿度计对无尘室内的温度和湿度进行测量。

2.检测指标:温度、湿度。

3.测试原理:根据无尘室的设计参数和技术要求,确定温度和湿度的控制范围。

通过测量和分析,判断无尘室内的温度和湿度是否符合要求。

4.测试过程中需要注意的细节:选择合适的测量点,确保测量点的代表性;测量过程中要避免人为干扰;测量时间要足够,以保证结果的准确性。

三、风速和风量检测1.检测方法:采用风速计、风量计等仪器,对无尘室内的风速和风量进行测量。

2.检测指标:风速、风量。

3.测试原理:根据无尘室的设计参数和技术要求,确定风速和风量的控制范围。

通过测量和分析,判断无尘室内的风速和风量是否符合要求。

4.测试过程中需要注意的细节:选择合适的测量点,确保测量点的代表性;测量过程中要避免人为干扰;测量时间要足够,以保证结果的准确性。

四、压力检测1.检测方法:采用压力计对无尘室内的压力进行测量。

2.检测指标:压力差、正负压。

3.测试原理:根据无尘室的设计参数和技术要求,确定压力的控制范围。

通过测量和分析,判断无尘室内的压力是否符合要求。

4.测试过程中需要注意的细节:选择合适的测量点,确保测量点的代表性;测量过程中要避免人为干扰;测量时间要足够,以保证结果的准确性。

五、噪声和振动检测1.检测方法:采用噪声计、振动分析仪等仪器,对无尘室内的噪声和振动进行测量。

无尘室验收标准 (1)

无尘室验收标准 (1)

无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.目的:确保无尘室内的空气洁净度符合生产工艺要求,保证产品质量和生产安全。

2.检测方法:采用尘埃粒子计数器进行空气洁净度检测,记录各个区域的尘埃粒子数。

3.检测频次:每季度检测一次,也可根据实际生产需要进行调整。

4.合格标准:无尘室内的尘埃粒子数应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。

二、温度和湿度检测1.目的:确保无尘室内的温度和湿度处于适宜状态,满足生产工艺要求。

2.检测方法:使用温湿度计对无尘室内的温度和湿度进行检测,记录数据。

3.检测频次:每班检测一次,也可根据实际生产需要进行调整。

4.合格标准:温度和湿度应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。

三、风速和风量检测1.目的:确保无尘室内的风速和风量符合生产工艺要求,保证空气流通和净化效果。

2.检测方法:使用风速计和风量计对无尘室内的风速和风量进行检测,记录数据。

3.检测频次:每月检测一次,也可根据实际生产需要进行调整。

4.合格标准:风速和风量应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。

四、压力检测1.目的:确保无尘室内的压力符合生产工艺要求,保证空气流向和净化效果。

2.检测方法:使用压力计对无尘室内的压力进行检测,记录数据。

3.检测频次:每班检测一次,也可根据实际生产需要进行调整。

4.合格标准:压力应符合GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》等相关国家标准的要求。

五、噪声和振动检测1.目的:确保无尘室内的噪声和振动处于可控范围,保障工作人员的身体健康和工作质量。

2.检测方法:使用声级计和振动计对无尘室内的噪声和振动进行检测,记录数据。

3.检测频次:每季度检测一次,也可根据实际生产需要进行调整。

4.合格标准:噪声和振动应符合GBZ1-2010《工业企业设计卫生标准》等相关国家标准的要求。

六、照明检测1.目的:确保无尘室内的照明符合生产工艺要求,保证工作人员能够清晰地观察周围环境。

洁净车间验证方案

洁净车间验证方案

洁净车间验证方案一、背景介绍洁净车间是指在生产或实验过程中,对空气质量、温度、湿度、洁净度等要求较高的特殊场所。

为了确保洁净车间的正常运行和符合相关标准要求,需要进行洁净车间验证。

本文将详细介绍洁净车间验证的目的、范围、验证方法和验证标准。

二、目的洁净车间验证的目的是验证洁净车间的设计、建设和运行是否符合相关标准和要求,以确保洁净车间能够提供适宜的环境条件,保证产品质量和工作人员的健康安全。

三、范围洁净车间验证的范围包括但不限于以下内容:1. 空气洁净度验证:通过采样和测试空气中的微粒、细菌等指标,评估洁净车间的空气质量。

2. 温湿度验证:通过测量洁净车间内的温度和湿度,验证是否符合工艺要求。

3. 风速验证:通过测量洁净车间内的风速,验证风速是否符合标准要求。

4. 压差验证:通过测量洁净车间内的正压差和负压差,验证是否符合要求。

5. 照度验证:通过测量洁净车间内的照度,验证是否符合工作要求。

6. 噪音验证:通过测量洁净车间内的噪音水平,验证是否符合相关标准。

四、验证方法洁净车间验证的方法包括但不限于以下步骤:1. 确定验证计划:根据洁净车间的设计和要求,制定详细的验证计划,明确验证的内容、方法和时间安排。

2. 采集样本:根据验证计划,采集空气、表面、水等样本,用于后续的实验和测试。

3. 实验和测试:根据验证计划,进行空气洁净度、温湿度、风速、压差、照度和噪音等指标的实验和测试。

4. 数据分析:对实验和测试得到的数据进行分析,评估洁净车间的性能和符合程度。

5. 缺陷整改:根据验证结果,对发现的不符合项进行整改,并重新进行验证,直至符合要求。

6. 编制验证报告:根据验证计划和结果,编制详细的验证报告,包括验证目的、范围、方法、结果和结论等内容。

五、验证标准洁净车间验证的标准可以参考以下标准:1. GB/T 16292-2008《空气洁净度分类》2. GB/T 50073-2013《洁净厂房设计规范》3. GB 50325-2001《建筑工程洁净室技术规范》4. GMP规范(药品生产质量管理规范)5. ISO 14644-1:2015《洁净室与相关受控环境的分类》6. ISO 14644-2:2015《洁净室与相关受控环境的监测》六、结论洁净车间验证是确保洁净车间正常运行和符合相关标准要求的重要环节。

无尘车间建设及验收技术指标

无尘车间建设及验收技术指标

无尘室的建设及验收标准一、无尘室的定义无尘室(Clean Room)是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。

其功能是把空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除室外,并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。

无尘室最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是对于一些精密产品生产,比如光学行业而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学行业产品的生产上,无尘是必然的要求。

二、无尘室的结构组成无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:(1)天花板系统:包括吊杆、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁;(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等; (3)隔墙板:包括窗户、门;(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板; (5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等;无尘室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;以上信息概括为:①组合式FFU机组②无尘送风管道③无尘回风管道④送风静压箱⑤高效过滤器⑥多孔扩散板⑦无尘室吊顶⑧无尘室隔断⑨高效送风口⑩新风口三、无尘室的等级1、无尘室等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

无尘车间建设及验收技术指标

无尘车间建设及验收技术指标

无尘室的建设及验收标准一、无尘室的定义无尘室(Clean Room)是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。

其功能是把空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除室外,并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。

无尘室最主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。

也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是对于一些精密产品生产,比如光学行业而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学行业产品的生产上,无尘是必然的要求。

二、无尘室的结构组成无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:(1)天花板系统:包括吊杆、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁;(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等; (3)隔墙板:包括窗户、门;(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板; (5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等;无尘室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;以上信息概括为:①组合式FFU机组②无尘送风管道③无尘回风管道④送风静压箱⑤高效过滤器⑥多孔扩散板⑦无尘室吊顶⑧无尘室隔断⑨高效送风口⑩新风口三、无尘室的等级1、无尘室等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

无尘室验收标准(文字版)

无尘室验收标准(文字版)

无尘室验收标准无尘室验收标准一、空气洁净度检测1.应采用颗粒计数仪对无尘室内的空气洁净度进行检测,按照《洁净室施工及验收规范》的要求执行。

2.检测前应对无尘室进行全面清洁,检测时应选择无尘室内部和周边环境洁净度最高的时段进行。

3.空气洁净度检测结果应符合设计要求,并按照从高到低的顺序划分为A、B、C三个等级。

二、温度和湿度检测1.使用温湿度计对无尘室的温度和湿度进行检测,测量位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。

2.温度和湿度检测结果应符合设计要求,无尘室温度应控制在20℃~26℃,相对湿度应控制在50%~70%。

三、风速和风量检测1.使用风速计对无尘室内的风速进行检测,检测位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。

2.使用风量计对无尘室内的风量进行检测,检测位置应选择无尘室四周靠近送风口和回风口的位置。

3.风速和风量检测结果应符合设计要求,无尘室风速应控制在0.3m/s~0.5m/s之间,风量应控制在300m³/h~500m³/h之间。

四、压力检测1.使用压力计对无尘室的压力进行检测,检测位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。

2.压力检测结果应符合设计要求,无尘室压力应略高于外部环境压力,以保持空气流向。

五、噪声和振动检测1.使用声级计对无尘室的噪声进行检测,测量位置应选择无尘室中部距地面1m处。

2.使用振动仪对无尘室的振动进行检测,测量位置应选择无尘室四周靠近设备和人员操作区域的位置。

3.噪声和振动检测结果应符合设计要求,无尘室噪声应控制在70dB以下,振动应控制在0.5mm/s以下。

六、照明检测1.使用照度计对无尘室的照明进行检测,测量位置应选择无尘室中部距地面0.8m处。

2.照明检测结果应符合设计要求,无尘室照度应控制在300Lx~500Lx之间。

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As Built
–潔淨室建造完成,生產設備未搬入之狀態 At Rest –潔淨室建造完成,生產設備已搬入但未運轉之狀態 On Operation –潔淨室建造完成,生產設備已搬入且運轉之狀態
測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡,並已連續運轉 48小時以上.
濾網(filter)掃瞄路徑
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帆宣离为1英寸,看是否有探测到多于1 个粒子在来源于同一个地方. 所有已确定或是怀疑的过滤器做一下记录,在补救及整改之 后重新再测一次。当过滤器无法修补或更换,记录下来并反映 重新替换.
6.
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 10.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.测试开始前空调系统连续运行至少24小时以上. 3.每个温控区测试一个测试点,每个房间至少一个测试点. 4.洁净室测试表格分成不大于9平方米. 5.温度连同湿度传感器置于测试格中央,距地板的1米的位置. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免 洁净室入口位置进行测试 7.每次测量时间为10分钟. 8.采集所有读数并记录.
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方法 参照:IES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing Cleanrooms NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 5.) 1. 每个过滤器分成两个或四个测试格.
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方法 参照:IES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified of Cleanroom (Chapter 6.) 1.过滤器表面风速确保是在设计范围以内. 2.取上游气流,尘粒的尺寸在0.1 微米以上. 3.激光粒子计数器以 0.1 微米及以上 通道测试过滤器检漏,采样 量为1 ft3/min. 4.用粒子计数器的探头扫描过滤器,探头选择可获取均匀采样量 的尺寸, 扫描速度5cm/s.
Remark
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No
Test Description
Equipment/Instrumentation
Models
S/N
Accuracy
Remark
5
Temperature & Relative Humidity Test
Testo Data Loger
無塵室验证标准及程序
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1
大綱
壹. 測試驗證說明 貳. 測試驗證設備一覽表 參. 測試驗證步驟說明 肆. 測試驗證方法與程序
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壹、測試驗證說明
無塵室驗收測試規範依據如下: ISO-14644: 世界標準組織制定無塵室測試之標準規範 NEBB: 美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範 無塵室測試分三階段: 第一階段 As Built 第二階段 At Rest (由吉威配合業主部份需求點進行抽測) 第三階段 Operation (由吉威配合業主部份需求點進行抽測)
2.
装置好仪表和十字支架并调整好仪表的内部设定.
3.
十字支架尺寸为14’X14’,测试时把支架放在过滤器中间的 位 置,接触在过滤器的表面并且和过滤器边缘保持平行.
读取和记录每个格子的数据.
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4.
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二.濾網洩漏測試 (Filter leakage testing): As Built 目的 查证过滤器的安装瑕疵 (FILTER外緣和Ceiling Grid之间) 而且确定过滤器是否在安装中因过失产生小的漏洞. 规格 测试状态: 空态 1.没有额外的尘粒在被测试的过滤器的上游。 2.在ULPA/HEPA 过滤器下游0.1微米粒子检测后不能多于1 个. 3.对于每个过滤器,任何再修理过的表面不能超过 0.5 sq. 英寸.
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四.無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing): As Built
目的 判定洁净室系统的性能,使洁净室保持指 定的压差。 规格 压力差别: 依原設計各分區對外壓差 测试状态: 空态
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3423
0834380
+/- 4% of reading, +/- 1 digit
8
702
346016
+/-2% of reading
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參、測試驗證步驟說明 測試前準備工作:

竣工圖面與點數確認


備妥測試程序計劃及依據規範之標準.
測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以 上. 測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試 結果認同.
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方法: 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 8.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.在此测试期间,洁净室相邻的门都是关闭的.
3.测量和记下两个洁净室之间的压力差别.
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無塵室測試驗證項目 1. 濾網風速測試 (Air flow velocity testing) 2. 濾網洩漏測試 (Filter leakage testing) 3. 無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing) 4. 無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing) 5. 無塵室內噪音測試 (Noise level testing) 6. 無塵室內照度測試 (Lighting level testing) 7. 無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts) 8. 無塵室內地板靜電測試 (Floor Conductivity testing)
Testo 175-H2
20063695/507
6
Sound Level Meter
RION NL-21
00443361
7
Light Intensity Level Test
Floor Conductivity Test
Hioki Light Intensity Level Meter
3M megaohmmeter

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六.無塵室內照度測試 (Lighting level testing): As Built
目的 在洁净室内工作高度位置的光照度 规格 平均光照度: 依原設計規範需求 测试状态:空态
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 11.) 1.所有的荧光灯开过至少在100小时. 2.在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上. 3.洁净室每个测试格不大于25平方米. 4.光照仪表在测试格中央,距地板上1米的位置. 5.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免 洁净室入口位置进行测试. 6.采集所有读数并记录.
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三.無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing): As Built 目的 判定洁净室HVAC系统容量是否 能将洁净室内的 温度和相对湿度维持在指定的 范围内. . 规格 22 oC +/- 2 ℃ 55% +/- 5% 测试状态:空态
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肆. 測試驗證方法與程序 一.濾網風速測試 (Air flow velocity testing): As Built 目的 判定洁净室过滤器(ULPA/HEPA filter)的风速
规格
对于每个2`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数 对于每个4`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数 平均风速:0.45 m/s ± 20% 测试状态:空态
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五.無塵室內噪音測試 (Noise level testing): As Built 目的 测量洁净室里的机械和电力系统所 产生的噪声
规格 平均噪声:<= NC 65 测试状态:空态
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 9.) 1.测试之前所有气流平衡已经完成. 2.在读取读数之前所有的风机单元和空调设备均已开启. 3.洁净室每个测试格不大于40平方米. 4.噪声仪距地板以上1米的位置, 同时探头指向运行的设备. 5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并於避免 洁净室入口位置进行测试. 7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.
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