热导率测量(归纳)

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导热系数检测内容及方法

导热系数检测内容及方法

导热系数检测内容及方法(1)防护热板法检测导热系数本方法适用于处于干燥状态下单一材料或者复合板材等中低温导热系数的测定。

依据标准:《绝热材料稳态热阻及有关特性的测定防护热板法》GB/T10294-88原理:在稳态条件下,防护热板装置的中心计量区域内,在具有平行表面的均匀板状试件中,建立类似于以两个平行匀温平板为界的无限大平板中存在的一维恒定热流。

为保证中心计量单元建立一维热流的准确测量热流密度,加热单元应分为在中心的计量单元和由隔缝分开的环绕计量单元的防护单元。

并且需有足够的边缘绝热或(和)外防护套,特别是在远高于或低于室温下运行的装置,必须设置外防护套。

通过测定稳定状态下流过计量单元的一维恒定热流量Q、计量单元的面积A、试件冷、热表面的温度差/T,可计算出试件的热阻R 或热导率CA(C1试验仪器:1.1平板导热仪(1)导热系数测定范围:(0∙020~L000)W∕(m∙K)(2)相对误差:±3%(3)重复性误差:±2%(4)热面温度范围:(0-80)℃(5)冷面温度范围:(5~60)℃1.2、钢直尺1.3、游标卡尺2、试件要求:1)尺寸试件测量范围:30OmmX30OnInIXI(10~38)mm试件的表面用适当方法加工平整,使试件与面板紧密接触,刚性试件表面应制作的与面板一样平整,并且整个表面的不平行度应在试件厚度的±2%。

试件的尺寸应该完全覆盖加热单元的表面,由于热膨胀和板的压力,试件的厚度可能变化,在装置中在实际的测定温度和压力下测量试件厚度。

热敏感材料不应暴露在会改变试件性质的温度下,当试件在实验室空气中吸收水分显著(如硅酸盐制品),在干燥结束后尽快将试件放入装置中以避免吸收水分。

3、试件加工试验前,将试件加工成30OnlnI(长)×300mm(宽)的正方形,并且保证冷热两个传热面的平行度,特别是硬质材料的试件,如果冷热两个测试面不平行,这种情况下必须将试件磨平后才能做实验。

导热系数的测定

导热系数的测定

实验4—7 导热系数的测定热传导是热量交换(热传导、对流、辐射)的三种基本方式之一,导热系数(又称热导率)是反映材料热传导性质的物理量,表示材料导热能力的大小。

材料的导热机理在很大程度上取决于它的微观结构,热量的传递依靠原子、分子绕平衡位置的振动以及自由电子的迁移。

在金属中电子流起支配作用,在绝缘体和大部分半导体中则以晶格振动起主导作用。

因此,某种材料的导热系数不仅与构成材料的物质种类密切相关,而且还与它的微观结构、温度、压力及杂质含量有关。

在科学实验和工程设计中,所用材料的导热系数都需要用实验的方法精确测定。

物体按导热性能可分为良导体和不良导体。

对于良导体一般用瞬态法测量其导热系数,即通过测量正在导热的流体在某段时间内通过的热量。

对于不良导体则用稳态平板法测量其导热系数。

所谓稳态即样品内部形成稳定的温度分布。

本实验就是用稳态法测量不良导体的导热系数。

【实验目的】1. 了解热传导现象的物理过程,巩固和深化热传导的基本理论。

2. 学习用稳态平板法测量不良导体的导热系数。

3. 学会用作图法求冷却速率。

4. 了解实验材料的导热系数与温度的关系。

【实验原理】1. 导热系数根据1882年傅立叶(J.Fourier )建立的热传导理论,当材料内部有温度梯度存在时,就有热量从高温处传向低温处,这时,在dt 时间内通过dS 面积的热量dQ ,正比于物体内的温度梯度,其比例系数是导热系数,即:dS dzdT dt dQ λ-= (4-7-1) 式中,dtdQ 为传热速率;dz dT 为与面积dS 相垂直方向上的温度梯度,负号则表示热量从高温处传到低温处;λ为导热系数。

在国际单位制中,导热系数的单位为-1-1W m K ⋅⋅。

2. 用稳态平板法测不良导体的导热系数设圆盘B 为待测样品,如图4-7-1所示,待测样品B 、散热盘C 二者的规格相同(其位置如图4-7-2所示),厚度均为h 、截面积均为S (2S D π=,D 为圆盘直径),圆盘B大学物理实验 78 上下两面的温度1T 和2T 保持稳定,侧面近似绝热,则根据(4-7-1)式可知传热速率为: S h T T S h T T dt dQ 2112-=--=λλ (4-7-2) 为了减小侧面散热的影响,圆盘B 的厚度h 不能太大。

导热系数的测定讲解

导热系数的测定讲解

导热系数的测定导热系数(热导率)是反映材料导热性能的物理量,它不仅是评价材料的重要依据,而且是应用材料时的一个设计参数,在加热器、散热器、传热管道设计、房屋设计等工程实践中都要涉及这个参数。

因为材料的热导率不仅随温度、压力变化,而且材料的杂质含量、结构变化都会明显影响热导率的数值,所以在科学实验和工程技术中对材料的热导率常用实验的方法测定。

测量热导率的方法大体上可分为稳态法和动态法两类。

本测试仪采用稳态法测量不同材料的导热系数,其设计思路清晰、简捷、实验方法具有典型性和实用性。

测量物质的导热系数是热学实验中的一个重要内容。

【实验目的】1、了解热传导现象的物理过程2、学习用稳态平板法测量材料的导热系数3.学习用作图法求冷却速率4、掌握一种用热电转换方式进行温度测量的方法【实验仪器】1、YBF-3导热系数测试仪一台2、冰点补偿装置一台3、测试样品(硬铝、硅橡胶、胶木板)一组4、塞尺一把【仪器简介】仪器的面板图上面板图下面板图加热温度的设定:①.按一下温控器面板上设定键(S ),此时设定值(SV )显示屏一位数码管开始闪烁。

②. 根据实验所需温度的大小,再按设定键(S )左右移动到所需设定的位置,然后通过加数键(▲)、减数键(▼)来设定好所需的加热温度。

③.设定好加热温度后,等待8秒钟后返回至正常显示状态。

仪器的连接连线图从铜板上引出的热电偶其冷端接至冰点补偿器的信号输入端,经冰点补偿后由冰点补偿器的信号输出端接到导热系数测定仪的信号输入端。

【实验原理】为了测定材料的导热系数,首先从热导率的定义和它的物理意义入手。

热传导定律指出:如果热量是沿着Z 方向传导,那么在Z 轴上任一位置Z 0 处取一个垂直截面积d S (如图1)以 表示在Z 处的温度梯度,以 表示在该处的传热速率(单位时间内通过截面积d S 的热量),那么传导定律可表示成:(S1-1)式中的负号表示热量从高温区向低温区传导(即热传导的方向与温度梯度的方向相反)。

热导率测试标准

热导率测试标准

热导率测试标准热导率测试是用来确定物质传输热量能力的重要测试方法。

通过测量物质在温度梯度下的传热性能,可以评估材料的热导率,即决定了材料传导热量的能力。

以下是一些与热导率测试相关的标准和参考内容:1. ASTM D5470-20:该标准是美国材料和试验协会(ASTM)制定的用于测量绝缘材料和表面涂层的热导率的标准试验方法。

该标准描述了使用平面法进行热导率测量的程序和测试条件。

2. ISO 22007-2:这是国际标准化组织(ISO)制定的用于测量塑料和橡胶材料的导热性能的标准。

该标准提供了不同试样尺寸和测试条件的规范,以确保测试的准确性和可重复性。

3. GB/T 10294-2016:这是中国国家标准化管理委员会发布的有机非金属材料热导率测定方法的标准。

该标准详细描述了使用热盒法进行热导率测量的步骤和要求。

4. DIN 52612:这是德国标准化组织(DIN)制定的用于测量纺织品热传导性能的标准。

该标准提供了用于织物和纤维材料热导率测试的测试方法和测试设备的规范。

5. ASHRAE 90.1:这是美国制冷、供热和空调工程师协会(ASHRAE)发布的建筑能源标准。

该标准包括了建筑材料热性能的要求,包括热导率。

该标准通常用于评估建筑材料的热性能以及在建筑设计和施工中的应用。

除了上述标准外,还有一些专业文献和研究可供参考:1. "Handbook of Thermal Conductivity" by Carl L. Yaws:这本参考手册提供了各种材料热导率的数据和信息,包括金属、陶瓷、塑料、液体等。

2. "Thermal Design and Optimization" by Adrian Bejan and George Tsatsaronis:这本书介绍了热传导和热传递的基本原理,提供了设计高效热传导设备和系统的方法和技术。

3. "Thermal Measurements and Inverse Techniques" by Chaoqun Liu and James Beck:这本书讲解了热导率测量的原理和方法,介绍了反向技术在热导率测试中的应用。

实验11 导热系数的测量

实验11 导热系数的测量

实验11 导热系数的测量导热系数(热导率)是反映材料热性能的物理量,导热是热交换三种(导热、对流和辐射)基本形式之一,是工程热物理、材料科学、固体物理及能源、环保等各个研究领域的课题之一,要认识导热的本质和特征,需了解粒子物理而目前对导热机理的理解大多数来自固体物理的实验。

材料的导热机理在很大程度上取决于它的微观结构,热量的传递依靠原子、分子围绕平衡位置的振动以及自由电子的迁移,在金属中电子流起支配作用,在绝缘体和大部分半导体中则以晶格振动起主导作用。

因此,材料的导热系数不仅与构成材料的物质种类密切相关,而且与它的微观结构、温度、压力及杂质含量相联系。

在科学实验和工程设计中所用材料的导热系数都需要用实验的方法测定。

(粗略的估计,可从热学参数手册或教科书的数据和图表中查寻)1882年法国科学家J•傅里叶奠定了热传导理论,目前各种测量导热系数的方法都是建立在傅里叶热传导定律基础之上,从测量方法来说,可分为两大类:稳态法和动态法,本实验采用的是稳态平板法测量材料的导热系数。

【实验目的】(1)了解热传导现象的物理过程(2)学习用稳态平板法测量材料的导热系数(3)学习用作图法求冷却速率(4)掌握一种用热电转换方式进行温度测量的方法系数。

【实验仪器】YBF-3导热系数测试仪、测试样品(硬铝、橡皮、牛筋、陶瓷、胶木板)、塞尺YBF-3导热系数测试仪面板图:上面板图下面板图dzdTdt dQ h T T 21-【实验原理】为了测定材料的导热系数,首先从热导率的定义和它的物理意义入手。

热传导定律指出:如果热量是沿着Z 方向传导,那么在Z 轴上任一位置Z0 处取一个垂直截面积dS (如图1)以 表示在Z 处的温度梯度,以 表示在该处的传热速率(单位时间内通过截面积dS 的热量),那么传导定律可表示成:(2-1)式中的负号表示热量从高温区向低温区传导(即热传导的方向与温度梯度的方向相反)。

式中比例系数λ即为导热系数,可见热导率的物理意义:在温度梯度为一个单位的情况下,单位时内垂直通过单位面积截面的热量。

良导体热导率的测量实验报告

良导体热导率的测量实验报告

良导体热导率的测量1.引言热导率衡量的是一个物体对于热的传导能力,或者说对热的传导速率。

冬天相同的温度下我们触摸铁和塑料,铁会让人感觉更加冰冷,并不是因为铁的温度比塑料低,而是因为铁的热导率比塑料大,更快的将你体表的热量传导出去,从而让你感觉到更加寒冷。

不同热导率的物体有不同的应用场景。

比如神州飞船的返回舱表面需要贴有热导率非常低的隔热陶瓷,是为了从返回舱表面和大气剧烈摩擦产生的高温下保护宇航员。

而许多为了节省体积无法安装更多风扇的商务笔记本电脑也会选择使用金属外壳这种高热导率的材料帮助电脑主板更好地散热。

因此,不同材料热导率的测量十分重要。

本实验测量良导体的热导率。

所有结果不评估不确定度。

2.实验装置被绝热材料紧密包裹的、长度为L的均匀长铜棒,均匀分布在铜棒上间隔为d 的热电偶阵列,周期性热源,冷却水循环系统,电脑和自动化数据采集软件。

3.实验内容铜棒的一端面紧密接触周期性热源,另一端面使用冷却水循环冷却(图1)。

保证铜棒的热端面的温度随时间简谐变化,而冷端面始终维持一个恒定温度。

在达到动态平衡后,对于一被绝热材料紧密包裹的长铜棒来说,可以认为在任何一个时刻,在任何一个与铜棒轴线垂直的截面上,铜棒的温度是均匀的。

因此铜棒热传导问题可以简化为一个一维热传导问题。

理想状态下(绝热材料完全绝热),当系统达到动态平衡之后,可以解出温度随着铜棒位置和时间的变化函数。

图1取一小段线元(图2),根据热传导定律,单位时间内流过某垂直于传播方向上面积A的热量,即热流为dq dt =−kAðTðx(1)其中k为待测材料的热导率,A为截面积,文中ðTðx是温度对坐标x的梯度。

将式(1)两边对坐标求导d2q dtdx =−kAð2Tðx2(2)据能量守恒定律,任一时刻棒元的热平衡方程为CρA ðTðt=d2qdtdx=−kAð2Tðx2(3)其C,ρ分别为材料的比热容与密度,由此可得热流方程ðT ðt =Dð2Tðx2(4)其中D=kCρ,称为热扩散系数。

热导率的测量

热导率的测量

导热系数(W/m×K)
380 160 120 50 17 0.17 0.18 0.13 0.40 1.0 0.18 0.20 0.25 0.30 0.50 0.33 0.22 0.25
0.25 0.17 0.23 0.25
目前,测定这一热物性旳措施就温度与时间旳变化 关系而言,能够分为稳态和非稳态两大类
i
i
i
式中 ai为气体混合物中i组分旳摩尔分率;Mi气体混合物中i组分旳分子量。
常用材料旳导热系数
用途 窗框 玻璃 热断桥
防雨
材料
铜 铝 (硅合金) 黄铜 铁 不锈钢 PVC 硬木 软木 (常用于建筑构件中) 玻璃钢(UP树脂) 碳酸钙玻璃 PMMA (有机玻璃) 聚碳酸脂 聚冼氨 (尼龙) 尼龙 6.6和25%玻璃纤维 高密度聚乙烯HD 低密度聚乙烯 LD 固体聚丙烯
• 热流计法 热流计法是一种基于一维稳态导热原理旳比较法。如图所示,将厚度一定旳 方形样品插入两个平板间,在其垂直方向通入一种恒定旳单向旳热流,使用 校正过旳热流传感器测量经过样品旳热流,传感器在平板与样品之间和样品 接触。当冷板和热板旳温度稳定后,测得样品厚度、样品上下表面旳温度和 经过样品旳热流量,根据傅立叶定律即 可拟定样品旳导热系数:
1. 试样质地均匀,唯一旳传热方式为导热; 2. 试样内旳热流是一维旳; 3. 脉冲激光被试样前表面薄层均匀吸收; 4. 试样表面没有热损失; 5. 在较小旳温升范围内试样旳物性不随温度 变化; 6. 加热脉冲时间远不大于背面温度上升时间
• 稳态测量法: 具有原理清楚,可精确、直接地取得热导 率绝对值等优点,并适于较宽温区旳测量,缺陷是比较原 始、测定时间较长和对环境(如测量系统旳绝热条件、测 量过程中旳温度控制以及样品旳形状尺寸等)要求苛刻。 常用于低导热系数材料旳测量, 其原理是利用稳定传热 过程中, 传热速率等于散热速率旳平衡条件来测得导热 系数。

各种材料的热导率实验测量方法与结果分析

各种材料的热导率实验测量方法与结果分析

各种材料的热导率实验测量方法与结果分析热导率是材料的一个重要物理性质,它描述了材料传导热量的能力。

了解材料的热导率对于工程和科学研究领域都具有重要意义。

本文将介绍各种材料的热导率实验测量方法,并对实验结果进行分析。

一、常用的热导率测量方法1. 热传导法热传导法是最常用的测量材料热导率的方法之一。

该方法基于热量在材料中传导的原理,通过测量材料上下表面的温差和传热定律,计算材料的热导率。

实验中,可以使用热电阻或热电偶来测量温差,并通过测量时间和距离来计算热导率。

2. 热对流法热对流法适用于气体和液体等流体材料的热导率测量。

该方法通过将流体材料置于一个加热器和一个冷却器之间,通过测量加热器和冷却器之间的温差和流体的流动状况,来计算热导率。

需要注意的是,在使用热对流法进行测量时,需要保证流动状态的稳定性,以保证测量结果的准确性。

3. 热辐射法热辐射法适用于材料的热导率测量,尤其是固体材料。

该方法基于热能的辐射传输原理,通过测量材料的辐射率和温度来计算热导率。

实验中,可以使用红外辐射热计或红外辐射测温仪来测量材料的辐射率,并结合温度变化来计算热导率。

二、实验结果分析1. 金属材料金属材料通常具有较高的热导率,这是由于金属材料的导电性较好。

实验测量结果中,金属材料的热导率通常较高且稳定。

不同金属材料之间的热导率差异较大,比如铜的热导率要高于铝。

2. 绝缘材料绝缘材料通常具有较低的热导率,这是由于绝缘材料的导电性较差。

实验测量结果中,绝缘材料的热导率通常较低且稳定。

不同绝缘材料之间的热导率差异较小。

3. 复合材料复合材料是由多种材料组合而成的材料,其热导率的测量较为复杂。

实验测量中,需要考虑复合材料中各组分的热导率和比例。

往往通过实验测量得到复合材料的整体热导率。

4. 纳米材料纳米材料具有特殊的物性,其热导率与粒径、晶格结构等因素密切相关。

实验测量中,需要考虑纳米材料的表面积效应和晶格尺寸效应对热导率的影响。

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如今测量导热系数方法与仪器有许多种。

使用Fourier方程所描述的稳态条件的仪器主要适用于测量中低导热系数材料。

使用动态(瞬时)方法的仪器,如热线法或激光散射法,用于测量中高导热系数材料。

一、稳态方法1、热流法如图1所示,将厚度一定的方形样品(例如长宽各30cm,厚10cm)插入于两个平板间,设置一定的温度梯度。

使用校正过的热流传感器测量通过样品的热流。

测量样品厚度、温度梯度与通过样品的热流便可计算导热系数。

图2示出了一种新型的热流法导热仪(HFM 436系列)。

样品的厚度可达到10cm,长与宽可达30或60cm。

测量温度为-20℃到100℃之间(取决于不同的型号)。

这种仪器能测量导热系数在0.005到0.5W/m·K之间的材料,通常用于确定玻璃纤维绝热体或绝热板的导热系数与k因子。

该仪器的优点是易于操作,测量结果精确,测量速度快(仅为同类产品的四分之一),但是温度与测量范围有限。

2、保护热流法对于较大的、需要较高量程的样品,可以使用保护热流法导热仪。

其测量原理几乎与普通的热流法导热仪相同。

不同之处是测量单元被保护加热器所包围,因此测量温度范围和导热系数范围更宽。

3、保护热板法热板法或保护热板法导热仪的工作原理和使用热板与冷板的热流法导热仪相似。

保护热板法的测量原理如图3所示。

热源位于同一材料的两块样品中间。

使用两块样品是为了获得向上与向下方向对称的热流,并使加热器的能量被测试样品完全吸收。

测量过程中,精确设定输入到热板上的能量。

通过调整输入到辅助加热器上的能量,对热源与辅助板之间的测量温度和温度梯度进行调整。

热板周围的保护加热器与样品的放置方式确保从热板到辅助加热器的热流是线性的、一维的。

辅助加热器后是散热器,散热器和辅助加热器接触良好,确保热量的移除与改善控制。

测量加到热板上的能量、温度梯度及两片样品的厚度,应用Fourier方程便能够算出材料的导热系数。

相比热流法,保护热板法的优点是温度范围宽(-180到650℃)与量程广(最高可达2W/m·K)。

此外,保护热板法使用的是绝对法——无需对测量单元进行标定。

4、悬膜法在大部分实验中,薄膜往往沉积在衬底上,衬底势必对载流子的输运造成影响,进而影响输运性质。

有研究者认为,金属薄膜的热导率可通过测量其电导率,再利用Wiedemann-Franz定律来确定。

这一处理方法对微米尺度金属薄膜基本适用,但是对于纳米尺度金属薄膜,需要对热导率和电导率分别进行测试。

基于以上考虑,Zhang和Xie等人研发出悬膜测试技术,对自由悬架的金属纳米膜的热学和电学性能进行了实验研究。

Zhang 等人利用微制造技术,在硅基片上制备按测试需求设计的自由悬架金属纳米薄膜及附属结构。

利用扫描电镜(SEM)测量纳米膜的长度和宽度,厚度由椭圆偏振仪测定。

Zhang等人制备了多个纳米膜样品,用于不同的测试实验。

利用四点法测量纳米膜的电阻,其测试电路示于图1- 14。

测量时,硅片及其上的纳米膜置于可以精确设定温度的恒温槽内,根据所测得的不同温度下的电阻R结合纳米膜的几何参数计算出不同温度下的电导率σ。

热学性能测量采用电学性能相同的回路。

初始时,纳米膜及其连接部分均处于平衡温度T;测量时,在纳米膜内通以电流,由产生的焦耳热达到均匀加热的目的,同时该纳米膜本身也充当电阻温度计。

通过测量电流I和电压V,可以计算出在加热功率q(q =IV)下,纳米膜的电阻R(R= V/I)。

纳米膜通以电流时,处于一维传热状态,物理模型可用图 1- 15表示,纳米膜的热导率可由下式求得。

k=q∆T v∗l12wd5、微桥法Zhang和Grigoropoulos采用微桥法测量自由悬架h-SiN薄膜的热导率。

微桥结构如图 1-16所示,用微加热器加热单层无衬底薄膜,且用微热敏电阻测量温度变化,从而测得薄膜材料的热导率。

以恒定的直流加热电流通过微加热器,产生稳态热流,热流沿薄膜向四周扩散并在薄膜和硅热沉接触处很快降为零,则薄膜边缘的温度为环境温度T。

由一维热传导方程可求出,薄膜的热导率为:k=QT s−T0(L−X)式中:Ts为传感器处温度,L为薄膜边缘位置,X为传感器位置。

该方法简单直接,但要求避免辐射散热的影响,并且加热器、热敏电阻和硅热沉也应与薄膜有很好的接触。

加热丝通以周期电流,微桥法同时可以用来测量薄膜的热扩散率。

因此利用微桥法测量薄膜材料热导率有以下几方面优点:首先,利用一个实验装置可以进行两种测量,即通以稳恒电流或通以周期电流;再者,可以通过一次实验,同时确定热导率和热扩散率。

6、双热偶法Goldsmid设计了测量非晶态硅薄膜热导率的方法, 如图1- 17所示,衬底的表面一半淀积硅薄膜,另一半则裸露。

分别在薄膜表面和裸露衬底表面各淀积一金属带状铋(Bi)条,并在铋条中点处,垂直相交地淀积一带状金属锑( Sb ) ,形成两对热电偶,在图中虚线方框内镀上增强吸收层。

假设衬底的热阻为Rsub,热电偶节点的热阻为RT 。

分别把半径为rc的圆盘状激光全部照射在与衬底相接触和与待测样品相接触的热电偶节点上,两节点温度发生的变化值的比例和热阻的比例相等,待测薄膜层的热导率可用下式表示:k=dR T+IR sub(U T−1)其中d为薄膜厚度,UT 为温升比,Rsub为衬底热阻,RT为热偶节点热阻, rc为探针半径,ksub 为衬底材料热导率,dT为热电偶节点厚度,kT为热电偶材料的热导率。

Rsub和RT分别表示为:R sub=(πr c)/(4k sub)R T=d T/k T双热电偶法的优点是不需要测量样品吸收的热量,但必须估计热电偶边界热传导的效果。

7、双桥法Swartz 和Pohl 设计了可测定低温下金属镀层和介电衬底间界面热阻的技术。

Cahill将该技术用来测量薄膜层的热导率。

其结构如图1- 18示,在薄膜样品表面淀积两条宽度为1μm的长条带状金属丝,其间距为1μm,金属丝既作为加热元件,同时又是电阻温度计。

当电流通过其中一条金属丝时,该丝温度升高,热流将在薄膜层内扩散,影响薄膜层内的温度分布。

两金属丝可以用来测量与之接触的A 和C 处的温度TA 和TC,根据半无限大边界导热模型可以求得B处温度TB。

待测薄膜材料的有效热导率可表示为:k eff=Qdwl(T A−T B)其中keff为有效热导率,d为薄膜厚度,w为金属丝宽度,l为丝长度。

Brotzen、Goodson等研究者采用类似的技术测量测量了SiO2薄膜层的热导率, 对于0.3 μm和0.03μm 厚的薄膜,测量相对误差分别小于12 %和20 %,可见,测量很薄的薄膜,此技术值得注意。

二、动态(瞬时)方法动态测量法是最近几十年内开发的导热系数测量方法,用于研究中、高导热系数材料,或在高温度条件下进行测量。

动态法的特点是精确性高、测量范围宽(最高能达到2000℃)、样品制备简单。

1、热线法热线法是在样品(通常为大的块状样品)中插入一根热线。

测试时,在热线上施加一个恒定的加热功率,使其温度上升。

测量热线本身或与热线相隔一定距离的平板的温度随时间上升的关系。

测量热线的温升有多种方法。

其中交叉线法是用焊接在热线上的热电偶直接测量热线的温升。

平行线法是测量与热线隔着一定距离的一定位置上的温升。

热阻法是利用热线(多为铂丝)电阻与温度之间的关系测量热线本身的温升。

一般来说,交叉线法适用于导热系数低于2W/m·K的样品,热阻法与平行线法适用于导热系数更高的材料,其测量上线分别为15 W/m·K与20W/m·K。

2、激光闪射法激光闪射法直接测量材料的热扩散性能。

在已知样品比热与密度的情况下,便可以得到样品的导热系数。

激光闪射法的特点是,测量范围宽(0.1~2000W/m·K)测量温度广(-110~2000℃),并适用于各种形态的样品(固体、液体、粉末、薄膜等)。

此外,激光闪射法还能够用比较法直接测量样品的比热;但推荐使用差示扫描量热仪,该方法的比热测量精确度更高。

密度随温度的改变可使用膨胀仪进行测试4。

应用激光闪射法时,样品在炉体中被加热到所需的测试温度。

随后,由激光器产生的一束短促激光脉冲对样品的前表面进行加热。

热量在样品中扩散,使样品背部的温度上升。

用红外探测器测量温度随时间上升的关系。

3、3ω法3ω方法最早用于测量各向同性低热导率绝缘体材料的热导率的测量,后来这种方法成功地应用于沉积在良热导体衬底上的薄膜热导率的测量。

3ω方法的测量结构如图1.3所示。

在良热导体衬底(如Si)上生长一层厚度),薄膜上面制成如图1.3b所示形状的金属桥,其宽为d的绝缘待测薄膜(如SiO2度为b且满足b>>d,长度为l。

金属桥同时作热源和测温装置。

cosωt时,电流在金属桥上产生的焦耳热功在I+、I-两电极上通交流电I=I率为:P(t)=1I02R(1+cos2ωt)(1.3)2则有频率为2ω的热波向下扩散,其波长为:|q−1|=(D/2ω)1/2 ,其中,D 为衬底的热扩散率。

在用3ω方法测量热导率时,一般取波长|q−1|的值在10−3~10−5的范围。

只有当薄膜的厚度d<<|q−1|时,薄膜才能被忽略,可以认为温度波完全扩散到衬底中。

加热器阻值与温度成正比且满足:R(t)=R0[1+a∆Tcos(2ωt−ϕ)](1.4)那么电极V+、V-两端的电压为:V(t)=I(t)R(t)=I0R0cosωt+12I0R0a∆Tcos(ωt−ϕ)+12I0R0a∆Tcos(3ωt−ϕ)(1.5)可见,金属桥两端电压由频率为ω和3ω的分量组成,金属条上温度变化△T 与3ω频率的电压V3ω的关系如下:ΔT=2V3ωI0R0a(1.6)其中,温度系数a=1R dR dT 。

因为b>>d,而且厚度d很小,热流在薄膜介质的传导可视为一维传热,薄膜上下表面的温度差ΔT d与频率无关:ΔT d=Pdklb(1.7)衬底与介质层交界处的温度:ΔT m=Plπk m [12ln k mC m(b2)2+η−12ln(2ω)]=ΔT−ΔT d(1.8)其中, η是与材料有关的常数, k m和C m分别为衬底材料的热导率和热容,P 为加热器功率。

最后,用锁相放大的方法将频率为3ω的电压V3ω。

提取出来,由式(1.8)可求出被测薄膜样品的热导率k。

作为交流测量技术的3ω方法是测量纵向热导率有效的方法之一,当被测膜厚小于10μm时, 3ω方法是测量薄膜热导率纵向热导率很有用的方法,即使厚度为100Å数量级薄膜的热导率也能用这种方法来测量。

其优点是由于它对辐射损失不敏感,能有效地降低黑体辐射引起的误差;而且测量所用的时间短;适用温度范围宽,可在室温或更高的温度下进行测量;但这种方法要求穿透深度d Q要小于薄膜层的厚度d,而d Q与频率ω成反比,故薄膜厚度很小时,需要很高的频率,这是一种准稳态方法,一般可用来测厚度大于10μm的薄膜或块状固体材料。

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