高级自动光谱椭偏仪产品介绍
光谱椭偏仪(MME)

光谱椭偏仪(MME)Spectroscopic Ellipsometer嘉仪通科技嘉仪通科技成立于2009年,总部位于武汉市东湖开发区未来科技城,拥有研发及办公面积1100多平方米,在北京、上海、成都建有办事处,并与当地科研院所合作建立了联合实验室。
嘉仪通科技是一家研发、生产和销售关于新材料、尤其是薄膜材料物性分析科学仪器的高新技术企业,从而为客户新材料的研发及改进提供理论依据和实验平台。
嘉仪通科技秉承技术创新、应用为上的价值理念,遵循“聚众之智,穷理致用”的原则,踏踏实实、认认真真做好每一台科学仪器。
嘉仪通科技拥有一批海归研发团队,解决了纳米级薄膜材料物性分析的国际难题,并获得多项荣誉。
作为薄膜材料物性分析领跑者,嘉仪通科技已建立完善的薄膜材料物性分析科学仪器产品线:●相变温度分析仪(PCA)●热膨胀系数分析仪(TEA)●光功率热分析仪(OPA)●热电参数测试系统(Namicro)●薄膜热电参数测试系统(MRS)●薄膜热导率测试系统(TCT)●薄膜热应力测试系统(TST)●薄膜变温电阻测试仪(TRT)●薄膜磁性测试系统(TMT)●霍尔效应测试系统(HET)●光谱椭偏仪(MME)......部分使用客户清华大学中科院金属所中科院电工所中科院上海微系统所福建省特检院华中科技大学北京科技大学武汉理工大学安徽工业大学武汉工程大学西华大学盐城工学院Queen Mary of University London,UK光谱椭偏仪(MME)光谱椭偏仪MME根据不同原理、特点以及应用,分为ME序列、MME序列和ME-L序列。
光谱椭偏仪采用光学技术,测量精度高,适合超薄膜,与样品非接触,对样品无破坏性且不需要真空,可用于检测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构。
ME序列快速摄谱型光谱椭偏仪ME序列光谱椭偏仪是针对工业和科研环境推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪,光谱范围覆盖紫外、可见到红外,适合于进行实时和非实时检测,包括:●单层纳米薄膜样品的膜厚、折射率n(λ)、消光系数k(λ)、介电函数ε(λ)●多层纳米薄膜样品的膜厚、折射率n(λ)、消光系数k(λ)、介电函数ε(λ)●块状材料的折射率n(λ)和消光系数k(λ)●材料带隙●纳米样品表面纳米级的微粗糙度●纳米薄膜样品交界面形成的混合膜层的膜厚、各组分比例●纳米薄膜的结晶度●纳米薄膜的物性不均一分布(如,折射率梯度分布等)●各向异性的纳米薄膜●波片的位相延迟差技术参数型号ME01ME03ME05产品外观光谱范围193-1700nm其它光谱范围可定制光谱分辨率 1.5nm膜厚测量重复性0.05nm折射率测量重复性0.001典型单次测量时间10s入射角度范围40°-90°40°-80°入射角度调节方式自动调节手动调节,步进5°固定角度可测量的样品尺寸200mmx200mm400mmx400mm样品方位调整Z轴高度调节:0-10mm;二维俯仰调节:±4°样品对准光学自准直和显微对准系统软件多语言界面切换;预设项目供快捷操作使用;安全的权限管理模式(管理员、操作员);方便的材料数据库;多种色散模型库;丰富的模型数据库,具有一键操作功能测量重复性:是指对标准样品(平面硅基底上100nm的SiO2膜层样品)上同一点连续测量30次所计算的标准差。
光谱椭偏仪

光谱椭偏仪
光谱椭偏仪是一种重要的天文仪器,它可以改变光束的方向。
它的结构很简单,主要由一个金属制的椭偏镜以及一个机械的旋转装置组成。
它的历史可以追溯到18世纪,当时由英国天文学家和物理学家William Herschel发明。
椭偏镜是光谱椭偏仪的重要组成部分。
椭偏镜是一个椭圆形的金属制平面镜,直径大概约为30厘米,以及一个有定位螺丝的金属框架。
它的工作原理是,有一组金属片在框架的两端,当旋转框架时,它们将相对应的金属片靠拢,使被经过的光束产生转换。
紧随其后,是一个机械的旋转装置用来改变椭圆镜上的金属片之间的间距,以此来控制光束的方向。
它由一个金属圆盘和一个环槽组成,环槽中装有金属按扭。
当按扭旋转时,它将圆盘拉扯,改变椭偏镜上片之间的间距,从而使光束转换。
光谱椭偏仪有许多用途。
最重要的应用之一是天文学家需要查看不同的天体时使用的数据收集仪器。
由于大部分的可见光源位于宇宙的极远处,这些光源可能随时间有所变化,而光谱椭偏仪则可以将光束转换到可以收集数据的方向上。
此外,在望远镜和投影显示系统中,也会使用到光谱椭偏仪。
此外,它还可以用来测量光线的波长,角度和强度等特性。
总之,光谱椭偏仪是一种重要的天文仪器,它可以改变光束的方向,并有多种用途。
它的发明让天文学家能够收集更多的数据,并为多种科学应用提供了更好的工具,让人类对自己的环境有更深刻的认
识。
光谱椭偏仪技术指标

光谱椭偏仪技术指标一、基本原理当线偏振光通过材料时,由于材料的菲涅尔吸收和几何相位差的改变,光的振幅和相位发生变化。
这些变化可以通过椭偏仪来测量。
光谱椭偏仪的基本组成部分包括偏振器、样品室、光源、检测器和计算机控制系统。
二、技术指标1.光学旋光测量范围光学旋光测量范围是指仪器能测量的旋光角度范围。
高性能的光谱椭偏仪通常具有广泛的测量范围,可以测量从几度到几百度的旋光角度。
2.分辨率分辨率是指仪器测量中的最小可分辨的旋光角度差异。
分辨率越高,仪器能够测量更细微的旋转角度变化。
3.波长范围波长范围是指仪器可以测量的光谱范围。
不同的材料对不同的波长的光有不同的吸收和旋光效应,因此光谱椭偏仪需要具有广泛的波长范围,以适应不同样品的测量需求。
4.光谱测量精度光谱测量精度是指测量结果的准确性。
高精度的仪器能够提供准确的吸收和旋光谱线的位置和强度信息。
光谱测量精度的提高可以通过优化光学系统和控制电路来实现。
5.自动化和计算机控制6.实时监测有些光谱椭偏仪具有实时监测功能,能够在材料发生变化时实时记录和监测材料的吸收和旋光特性。
实时监测对于进行动态实验或观察反应过程中旋光和吸收的变化非常有用。
7.敏感度和响应时间总结:光谱椭偏仪是一种用于研究材料的光学性质的仪器,主要用于测量材料的光学旋光和吸收特性。
其技术指标包括光学旋光测量范围、分辨率、波长范围、光谱测量精度、自动化和计算机控制、实时监测、敏感度和响应时间等。
这些技术指标直接关系到仪器的测量能力和数据准确性,是用户选择和评价光谱椭偏仪的重要参考依据。
VASE——精选推荐

J.A. Woollam Co., Inc.Ellipsometry Solutions VASE®可变角光谱椭偏仪AccurateV ASE ® 是一款高精度的通用型椭偏仪,它可以测量各类材料:半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等等。
融合了高准确性及高重复性的顶尖技术,测量的光谱范围可宽达193nm-3200nm。
可变角度及可变波长拓展了测试能力,可以轻松完成下列参量的测试:• 反射及透射椭偏• 通用椭偏术 (各向异性, 延迟, 双折射) • 反射及透射强度• 交叉偏振 R/T • 退偏• 散射• 穆勒矩阵能 力为何选用VASE ?准确的数据测量VASE是结合自了动相位延迟(AutoRetarder ®)专利技术的旋转检偏(RAE)椭偏仪,测量精准。
高精度的波长选择HS-190™ 扫描式单色仪是为光谱椭偏术专门设计的。
在自动控制波长选择及光谱分辨率时,它可以针对速度、波长准确性及光的输出进行优化。
测量灵活带有垂直样品台的 V-VASE ,可以适应各类测量,包括反射、透射、散射等。
Focused BeamV-VASE先进的技术自动相位延迟AutoRetarder ®技术旋转检偏椭偏术(RAE)可以在布鲁斯特角附近最大程度的获得高精度Ψ/Δ的测量。
然而,这个区域可能会受到低光强的限制。
自动相位延迟专利技术用计算机控制波片方位来改变延迟量,从而改变到达样品的光的偏振态,使得任何样品在任何条件下得到最优化的测量。
AutoRetarder 保证准确测量:• 整个光谱范围内Ψ 及 Δ 的测量!• 通用 (各向异性) 椭偏• 退偏数据• 穆勒矩阵数据自动旋转然而方位到最Aut • 整• 通• 退• 穆Generalized Ellipsometry is used to successfully measure anisotropy, twist and pre-tilt of a super twisted nematic liquid crystal fi lm.pre-tilt θΦ (Top)Φ (Bottom)各向异性Mueller-matrix measurement of a super twisted nematic liquid crystal.Wavelength (nm)3005007009001100-1.0-0.50.00.51.0Model FitDiagonal MM Data-1.0-0.50.00.51.0Model FitOff-Diagonal MM DataM u e l l e r -M a t r i x E l e m e n t sGlass SubstrateGlass SubstrateITO 20nmPolyimide 135nm STN Liquid Crystal3.6 μmPolyimide135nmITO20nm -500501001500.6 1.2 1.8 2.433.6Film thickness in micronsT w i s t i n D e g r e e s0246810Tilt in DegreesTwist in Degrees Tilt in Degrees激光光学使用单色仪可精确选择波长,使得测量可以在所需的工作波长上进行,例如 1550nm, 1310nm, 980nm, 632.8nm, 589nm …光敏材料由于单色仪前置,所以打到样品上的是低强度的单色光。
光谱氏椭偏仪原理

光谱氏椭偏仪原理
光谱氏椭偏仪原理是基于光的偏振现象和不同波长的光与物质相互作用的规律。
光谱氏椭偏仪采用的是光的偏振态和其在样品中的吸收、反射、散射等效应之间的关系。
椭偏仪工作原理如下:
1. 偏振光源:椭偏仪通过选择合适的偏振光源,如线偏振光源、环偏振光源等,来产生特定偏振态的光。
2. 样品和样品旋光现象:将要测量的样品置于光路中,样品会对透过的光进行吸收、散射或反射等作用,同时会引起光波的偏振轴发生旋转,即样品旋光现象。
3. 检测和分析:通过调整光路中的检测器,可以分离出偏振光经样品后被样品吸收、反射或散射后的不同成分,并测量其光的相关参数,如偏振态的旋转角度、振幅比、偏振椭圆的长短轴等。
4. 光谱测量:通过改变光源的波长,可以获取样品在不同波长下的偏振态变化,从而得到样品在不同波长下的光学特性和吸收或散射的规律。
总结来说,光谱氏椭偏仪原理利用光的偏振特性和样品对光的吸收、反射或散射的作用,通过测量偏振光的参数来获取样品的光学特性和分析样品的组成、结构等信息。
光谱椭偏仪

光谱椭偏仪
光谱椭偏仪是一种精密仪器,可以用于测量和分析光谱分布。
它最早由美国物理学家莱特曼发明,后经过不断的发展和改进,又重新出现了新的椭偏仪类型。
光谱椭偏仪的主要功能是可以把光谱分布分为几个分类,以使研究人员进一步深入研究光谱特征。
光谱椭偏仪的优点广泛,除了其主要功能外,还能够将相应的光谱和光谱反射率分析出来,以提供给研究者更多的信息。
此外,光谱椭偏仪本身也具有良好的热稳定性和安全性,可以得到准确的测量结果。
最后,光谱椭偏仪的结构简单,操作方便,也很容易实现自动化控制,是一种低廉的光学仪器。
由于光谱椭偏仪的优点,它已被广泛应用于不同的研究领域和行业,如分析化学、环境监测、航天技术、生物学、天文学和成像技术。
比如,在分析化学领域,光谱椭偏仪可用于研究某种物质的光谱特性,从而判断其组成成分;在环境监测领域,光谱椭偏仪可以用于监测大气污染物的变化情况;在航天技术领域,光谱椭偏仪是用于测量和分析地球、月球、火星等行星上空气质量的重要仪器;在生物学领域,光谱椭偏仪可以用于研究人体和其他生物体的光谱特征,从而探索其代谢规律;在天文学领域,光谱椭偏仪可以用于收集光谱数据,以研究星系星系和其他宇宙物体等;在成像技术领域,光谱椭偏仪可以用于收集各种光谱信息,以便更加准确地建立图像。
光谱椭偏仪的应用已经得到了广泛的认可,也让研究取得了重大进展。
在未来,随着科学技术和技术水平的不断提高,光谱椭偏仪将
越来越多地应用于更多的科学研究领域,以及工业和商业领域。
其准确性和可靠性将继续为不同的研究领域提供有价值的支持。
光谱椭偏仪

光谱椭偏仪
光学技术作为一门实用技术,已经深入到各个技术领域,如医学、电子、航空等等。
光谱技术自发展而来,在许多科学研究中发挥了重要作用。
光谱椭偏仪是一种用于测量物体的表面的三维形状的仪器。
它使用一个可动的扫描镜,可以实时采集物体表面反射光进行检测,从而得到精确的外形参数。
由于它具有自动化测量和仿真制图能力,可以对物体表面的几何形状进行迅速和准确的测量。
光谱椭偏仪的工作原理很简单:它将信号通过灵敏的传感器传递到一台计算机中,计算机会根据信号的不同情况作出不同的反应,一般情况下,当遇到表面反射光源时,传感器会发出一系列信号,计算机会根据这些信号,计算出物体表面的外形参数,并将这些参数显示在相应的显示器上。
光谱椭偏仪的应用广泛,可以用于医疗机器人、航空航天等领域。
在医疗机器人领域,可以用光谱椭偏仪来测量手术中缝合用的布片的形状,便于手术的质量控制。
由于它具有自动化的功能,可以在不影响手术进程的情况下测量布片的形状。
同样,在航空航天领域,可以用光谱椭偏仪来测量宇宙空间站的外形,也可以用它来测量航天器的残骸碎片的形状,从而获得有关航天器失事的宝贵信息。
此外,光谱椭偏仪还有其他用途,比如,它可用于汽车行业,可以检测汽车车身外形,以保证汽车安全性和质量。
此外,它还可以用来检测船舶外形,确保船舶在水上航行时的安全性和稳定性。
综上所述,光谱椭偏仪是一种先进而又多功能的仪器,它可以对物体表面的形状进行快速准确的测量,应用范围也很广泛,应用于许多不同的领域,如医疗机器人、汽车行业、航空航天等。
毫无疑问,光谱椭偏仪为众多行业提供了很大的帮助,将来还会发挥更大的作用,为人类带来更多的便利。
椭偏仪的应用领域及其原理介绍

椭偏仪的应用领域及其原理介绍椭偏仪,又称偏光测量仪,是一种利用偏振光原理测量样品光学特性的仪器。
它广泛应用于物理、化学、生物、材料科学等领域,在液体晶体、生物大分子、光学材料等领域具有重要的应用价值。
椭偏仪的工作原理基于偏振光的传播和干涉现象。
当平行振动方向的光通过样品时,其波长和振幅都会发生改变。
椭偏仪通过测量样品所引起的光的偏振状态变化,进而推测出样品的光学性质。
椭偏仪由光源、偏振片、样品架、旋转器和检测器等部分组成。
光源产生的白光经过偏振片偏振后,进入样品架并通过样品。
样品会引起光的相位差和振幅变化,再经过旋转器旋转一定角度后,进入检测器进行测量。
通过对测量结果的分析,可以得到样品的光学性质。
椭偏仪主要有以下几个应用领域:1.液晶研究:在液晶显示器等电子产品的研发和生产过程中,椭偏仪可以用于检测液晶的光学性质,如光学偏振方向、相位差、透射率等,以优化液晶的性能。
2.生物大分子研究:椭偏仪可以测量生物大分子的旋光性质,从而研究其结构和功能。
例如,可以通过椭偏仪测量蛋白质的二级结构、DNA和RNA的空间构型等,对生物大分子的结构和功能进行深入研究。
3.材料光学性质研究:椭偏仪可用于测量材料的光学常数、吸收系数、折射率等,从而研究材料的光学性质。
这对于光学材料的设计和应用具有重要意义,如用于太阳能电池、光学器件等的研究。
4.环境监测:椭偏仪可用于监测大气中的气溶胶和颗粒物的光学性质,如气溶胶的吸收和散射特性。
通过对气溶胶光学性质的测量,可以对大气环境进行研究和监测,从而对空气质量、气候变化等问题进行探究。
椭偏仪作为一种非常精确的光学测量仪器,具有高灵敏度和高分辨率的优点。
它可以测量样品的旋光、包括角的形状和位置在内的椭圆度等多种光学性质,对于研究和应用都具有很大的帮助和价值。
同时,椭偏仪的使用也需要一定的专业知识和技术,准确的操作和分析才能得到准确的结果。
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从深紫外到可见光再到近红外.深紫外波长非常适合测量超薄薄膜,比如纳米厚度薄膜厚度,比如硅晶圆的薄膜厚度, 其典型值在2nm左右。此外,对于测量许多材料的带隙,深紫外光谱椭偏仪也非常重要。
•先进的光学设计
该产品为变角椭偏仪,可以改变入射角大小,可获得许多组数据,这样就非常有助于优化椭偏仪测量薄膜或样本 表面的能力,因此变角椭偏仪功能远远大于固定角椭偏仪。
• 多样的可选配置
反射或透射光度测量配件,微点测量小面积,X-Y位移台用于厚度绘图,加热台/制冷台用于薄膜动力学研究,对于 垂直样品可安装测角计,扫描单色仪配置等。
椭偏仪的应用
固体薄膜光学性质 测量
应用椭偏仪可以对单层吸收膜 双层膜和多层膜进行测量 得到材料的性能参数
物理吸附与化学吸 附
用椭偏仪在现场且 无损的研究与气态, 液态周围媒介想接 触的表面上吸附分 子或原子形态的问 题
微电子领域
研究薄膜生长过 程;薄膜厚度; 半导体的表面状 况以及不同材料 的界面情况
主要竞争对手
我们的优势:波长范 围广,入射角范围大 且分辨率高,重复精 度高
产品的不足
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三.丰富知识储备 ①.熟悉产品的主要技术参数 ②.熟悉后着手准备产品资料 ③.搜集成熟的技术案例供客户参考
过去一周的工作
通过发送邮件开发供货商与客户 发微博提高产品曝光率 学习产品有关知识
积累行业 经验,不 断学习与 成长
接下来的任务
继续通过邮件开发供应商和客户
继• Click to add Text • Click to add Text • Click to add Text
产品的销售思路
一.充分了解产品的市场情况 ①.竞争品牌有哪些 ②.竞争品牌市场价格体系如何 ③.与竞争品牌的参数差异如何 ④.产品的优势有哪些
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二.确定产品的销售策略和定位 ①.确定目标客户类型(低or高) ②.主攻方向(企业or高校) ③.精准分析目标客户需求 ④.确定策略(直销or渠道)
孚光精仪(中国)有限公司
产品介绍
高级自动光谱椭偏仪
孚光精仪(中国)有限公司
高级自动光谱椭偏仪
椭偏仪 是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器
由于测量精度高,适用于超薄膜。其次与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真 空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
Hale Waihona Puke 仪器原理 特点 产品的销售思路 过去一周所做工作
工作计划
椭圆偏振原理 我们的优势与劣势 如何做好产品推广
工作总结 下周如何开展工作
椭偏仪测量原理
什么是椭偏仪?如何使用椭圆偏振来测量样品的材料 属性?
椭偏仪的基本光学物理结构。已知入射光的偏振态,偏振光在样品表 面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位),计算或拟合出材 料的属性。
产品的特点