净化厂房的八种排风系统介绍
洁净厂房百级洁净区温湿度控及送风、回风、排风原理
洁净厂房是一种对环境要求极高的工业厂房，主要用于生产对环境要求特别严格的产品，如半导体、生物制药等。
而百级洁净区作为洁净厂房中最核心的部分，其温湿度控制及送风、回风、排风原理对于保障产品质量至关重要。
本文将围绕这一主题，从以下几个方面展开论述：一、百级洁净区的温湿度控制在百级洁净区内，温湿度是需要严格控制的重要参数。
温度过高或过低都可能对产品的生产质量造成影响，因此需要采取相应的措施对温度进行精准控制。
空气中的湿度也需要得到有效的控制，以保证产品的生产环境处于最佳状态。
二、百级洁净区的送风原理送风是百级洁净区内的基本工艺之一，通过送风系统，洁净空气可以被输送到生产区域，从而保证生产区域内的空气质量达到百级洁净标准。
送风系统应当具备一定的风量和风速，同时需要保证送风口的位置和数量符合工艺要求。
三、百级洁净区的回风原理回风是指洁净空气通过生产区域内的工艺设备后，重新经过净化处理后回到洁净空调系统的过程。
回风系统的设计应当合理，以保证回风空气的质量满足洁净空调系统的要求。
回风系统还应当具备合理的回风口布置和回风口数量，以保证回风的均匀性和充分性。
四、百级洁净区的排风原理排风是指将百级洁净区内的废气通过排风系统排出工厂外部的过程。
排风系统应当具备足够的排风量和排风速度，以保证排风口的排风质量满足相关排放标准。
排风系统还应当合理布置排风口的位置和数量，以保证排风的均匀性和高效性。
总结百级洁净区的温湿度控制及送风、回风、排风原理是保障洁净厂房产品质量的重要因素。
通过对这些原理的合理应用和控制，可以有效地保证生产区域内的空气质量处于最佳状态，从而保障产品的生产质量和生产环境的洁净程度。
随着科技的不断发展，相信未来百级洁净区的温湿度控制及送风、回风、排风原理会得到更加完善和先进的应用，为洁净厂房的发展带来新的机遇和挑战。
在百级洁净区的温湿度控制方面，通常会采用高效的空调系统和湿度控制装置进行调节，确保百级洁净区内的温湿度处于可控范围之内。
厂房通风有哪些措施
空气除臭
化学除臭
利用化学物质与臭气分子发生化 学反应，从而达到除臭目的。
物理除臭
利用吸附剂或离子交换剂等物理 手段去除臭气分子。
生物除臭
利用微生物降解作用将臭气分子 转化为无害物质。
空气消毒
紫外线消毒
通过紫外线照射破坏细菌和病毒的DNA结构，使 其失去活性。
臭氧消毒
利用臭氧的强氧化性破坏细菌和病毒的细胞膜和 DNA结构。
定期检查与维护
定期检查通风设备的 运行状况，如风机、 电机、过滤器等部件 是否正常。
定期检查风管的密封 性和完整性，防止空 气泄漏。
定期清理或更换过滤 器，以确保空气流通 畅通无阻。
系统故障排查与维修
当通风系统出现故障时，及时 排查并修复问题部件。
对于损坏严重的部件，及时更 换以保证系统的正常运行。
对空气进行加热或冷却，以满足室内温度要求。
3
空气加湿或除湿器
调节空气湿度，保持室内湿度适宜。
通风管道系统
送风管道
将经过处理的空气输送到室内，保证空气的洁净度和温度、湿度适 宜。
排风管道
将室内的空气排出，保持室内空气的新鲜和清洁。
通风口
连接通风管道和室内空间，保证空气的流通和交换。
06
通风系统的维护与管理
02
机械通风
局部送风
定义
局部送风是一种将新鲜空气直接 送到工作地点的通风方法，主要 适用于高温、有异味或粉尘较大
的工作地点。
优点
可以有效地将新鲜空气送到工作点 ，提高局部空气质量，同时减少对 整个厂房的影响。
缺点
需要针对不同的工作地点设置不同 的送风装置，维护成本较高。
全室送风
01
洁净室风口的型式(一)
送风口：洁净厂房送风通常使用高效送风口，高效送风口为千级、万级、十万级净化空调系统较为理想的终端过滤装置，可广泛于医药、卫生、电子、化工等行业的净化空调系统。
高效送风口是用作改造和新建1000-300000级各级洁净室的终端过滤装置，是满足净化要求的关键设备。
高效送风口包含静压箱，散流板，高效过滤器。
连接方式：与风管的接口可为顶接或侧接。
顶接就是接口位置在静压箱的顶部，侧接的接口位置在静压箱的侧部，侧接比顶接将节省更多的竖向空间，不如气流组织不如顶接的好。
接口的方式可分为圆形和方形，可根据需求定制需要的风口。
风管顶接风管侧接箱体材质：箱体的材质常用优质冷扎钢板制造，外表面静电喷塑处理，特殊场合也有采用不锈钢或者铝板等材质。
风口规格型号：高效风口常用以下几种规格，不同厂家风口及接管尺寸会不同，需与厂家联系：扩散板形式：常用的扩散板是中间孔洞送风，四周扩散送风，这也看使用场合来确定，一般的厂家是可以根据要求定制不同形式的扩散板。
高效送风口的构造静压箱与过滤器的安装密封：一般有两种密封形式，分别是聚氨酯发泡树脂密封条密封和液槽密封。
聚氨酯发泡树脂密封条形式聚氨酯发泡树脂密封：这种形式密封，整个的密封条没有接口，它的弹性更好、耐老化程度也很强。
它是在高效过滤器的边框上预先开一条槽，然后用机械将聚氨酯发泡树脂注入该槽内（见上图所示）。
发泡后自然形成一圈密封条，该密封条光滑、平整、没有接头。
液槽密封：这种形式能够更好的解决PAO 检测的泄漏问题，而且安装方便，液槽密封高效过滤器见下图所示。
液槽密封高效过滤器液槽密封果冻胶的选用也是非常关键的。
在配置时严格控制固化剂的比例，用试验来控制其表面张力。
使果冻胶形成合适的表面张力，既具有良好的“修复记忆性”还具有良好的“吸合密封性”，从而保障PAO 检测际使用时不会出现渗漏。
在高效的安装过程中如果对中不好，插入液槽果冻胶中的刀偏向任意一侧也会引起泄漏。
一般在它的送风口边上有限位装置。
洁净厂房的排气设施
洁净厂房的排气设施1.1 排气特点(1) 排气中含有的污染物/有害物差异大、种类多各行各业的洁净厂房内因生产的产品不同、产品的生产工艺不同，产品生产过程中排出的排气或传统称为废气中的污染物差异很大，包括污染物的种类、浓度、形态等均与产品种类、生产工艺及其设备和所在工序及其工艺状态、运行参数等密切相关。
近年来在我国已建成或正建设的洁净厂房中占比最大的微电子产品生产用洁净室和光伏电池、LED生产用洁净室排气中有害物、有毒物种类最为繁多、组分复杂，危害性较大，已受到有关环保部门的高度关注。
在集成电路晶圆片的生产过程中，主要的生产工序，如化学气相沉淀(CVD)、离子注入(implant)、刻蚀(etch)、扩散(diffusion) 等均需使用各类特性的特种气体和化学品，这些工艺介质在生产过程中除了参加反应生成所需的掺杂物、薄膜等，还会产生大量的有害气体、有毒气体以废气(排气)的形态经处理后排入大气。
表 1.7.1 是电子产品典型生产工序排出废气的主要成分，表 1.7.2是晶圆制造过程废气中的污染物及其来源。
从表中所列可知废气污染物具有酸性、碱性、毒性(有的还是剧毒)、可燃性(有的还是自燃物，如硅烷等)、腐蚀性等，这些有毒有害物质中大部分对人类的生存环境具有非常大的危害性。
如含酸废气未经有效的处理排入室外会造成大气污染，车间内的浓度超标会对操作人员器官造成损伤;而特种气体中的烷类物质毒性则最大，如砷烷(AsH3;)、乙硼烷(B2H6)、磷烷(PH3) 均为第一类A级剧毒物，其平均暴露许可浓度分别为0.05X10^-6、0.1X10^-6和0.3X10^-6。
对于AsH3.任何微小的泄漏都可能造成人员生命的危害:而空气中的PH;浓度为10mg/m³时，人接触6h 就会有中毒症状，如浓度达到409mg/m³，0.5~1h 就可能发生人员死亡。
烷类物质如处理不充分就排至室外则对大气的污染危害性极大。
洁净厂房通风方式及选择
车间通风第一节通风方式及选择一、通风的概念和方式(一)通风的概念通风是改善室内空气环境的一种重要手段。
把建筑物室内污浊的空气直接或净化后排至室外，再把新鲜的空气补充进来，从而保持室内的空气环境符合卫生标准的需要。
这一过程，就叫“通风”。
由此可见，通风包括从室内排除污浊的空气和向室内补充新鲜的空气两个方面。
其中，前者称为“排风”，后者称为“送风”或“进风”。
为实现排风或送风而采用的一系列设备、装置的总体，称为“通风系统”。
(二)通风方式根据空气流动的动力不同，通风方式可分为自然通风和机械通风两种。
所谓自然通风，就是依靠室内外空气所产生的热压和风压作用而进行的通风；所谓机械通风，就是依靠风机作用而进行的通风。
二、自然通风自然通风是借助于室内外空气自然的压力——风压和热压作用促使空气流动的。
风压作用下的自然通风，是利用室外空气流动(风力)的一种作用压力造成的室内外空气交换。
在它的作用下，室外空气通过建筑物迎风面上的门、窗、孔口进入室内，室内空气则通过背风面上的门、窗、孔口排出，如图4-8-1所示。
热压作用下的自然通风，是利用室内外空气温度的不同而形成的容重压力差造成的室内外空气交换。
当室内空气的温度高于室外时，室外空气的容重较大，便从房屋下部的门、窗、孔口进入室内，室内空气则从上部的窗口排出。
管道式自然通风，是依靠热压通过管道输送空气的另一种有组织的自然通风方式。
集中采暖地区的民用和公共建筑，常用这种方式作为寒冷季节里的自然排风措施，或做成热风采暖系统，如图4-8-3所示。
同时，利用风压和热压，以及无风时只利用热压进行全面换气，是对高温车间防暑降温的一种最经济有效的通风措施，如图4-8-4所示。
自然通风不消耗电能，比较经济，使用管理也比较简单，而且往往可以获得巨大的换气量，因此应优先采用这一种通风方式。
三、机械通风机械通风是依靠风机所产生的压力而强制空气流动的。
根据通风系统的作用范围不同，机械通风可划分为局部通风和全面通风两种。
10万级洁净车间气流组织形式
10万级洁净车间气流组织形式
随着微电子技术的不断发展,对的洁净度要求越来越高。
为满足10 万级甚至更高级别的洁净要求,常规的风管钻孔排放风方式已经不再适用于目前的高精密工艺生产。
一种新的工厂气流组织形式渐被重视,即“层流”式组织。
层流式气流组织方式的基本思想是:利用层流理论在车间内部实现不同区域的垂直分层,并通过隔离带等方法防止不同区域之间的污染扩散,进而实现不同区域的独立气流控制。
具体来说,将整个车间分成上下多个隔断层,每层设置专门的供风和回风系统,同时利用边界层理论实现垂直方向的层流分离。
这种组织形式的优点在于:1每个作业区可以独立控制其供风量和回风量,实现精细化的气流管理;2利用隔断层隔离不同操作区之间的污染扩散,有效提高总体洁净程度;3垂直层流分离能最大限度避免不同层间的空气对流,彻底断绝污染传播通道。
以上就是以"10万级洁净车间气流组织形式"为标题的一篇文章内容。
文章从概念定义开始,介绍了层流式组织方式的基本思路和优点,从整体上解释了这种方式是如何满足高精密工艺对气流条件的严格要求的。
洁净室送风系统
洁净室送风系统（1）集中送风方式这种送风方式一般是数台大型新风处理机组和净化循环机组集中设置在空调机房内，空调机组可位于洁净室的侧面或顶部。
经过温湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压后通过风道送入送风静压箱，再由高效空气过滤器或超高效空气过滤器过滤后送入洁净室。
回风经格栅地板系统，流入回风静压箱再回到净化循环系统，如此反复循环运行。
集中送风方式的结构形式如图5-8和图5-9所示。
（2）隧道洁净室送风方式这种送风方式一般将洁净室划分为生产核心区和维护区，生产核心区要求高洁净度和严格的温湿度控制，设在单向流送风区内；维护区要求较低，设置在生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部或配管配线等。
生产区为送风区，维护区为回风区，构成空气循环系统。
一般隧道式送风是由多个空气循环系统组成，所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域生产环境的洁净度，并且各个循环系统可根据生产需要进行分区调控。
隧道送风方式结构形式如图5-10所示。
（3）风机过滤单元送风方式在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元（FFU）机组，构成循环系统，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱为负压。
空气由FFU送到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱。
根据洁净室的温度调节需要，一般在回风夹道设干式表冷器。
新风处理机可集中设在空调机房内，处理后的新风直接送人送风静压。
因送风静压箱为负压，有利于高效空气过滤器顶棚的密封；但由于FFU机组台数较多，在满布率较高时，一般投资较大，运行费用也高。
有些FFU噪声较大，选用时需要注意。
FFU送风方式如图5-11所示。
（4）模块式风机单元送风方式它是送风机安装在高效空气过滤器（High Efficiency Particulate Air Filter,HEPA）或超高效空气过滤器（Ultra Low Penetration Air Filter,ULPA）之上，1台送风机可配置数台过滤器的空气循环系统。
净化车间原理的新风和排风
净化车间原理的新风和排风净化车间的新风和排风是非常重要的部分，对于保持车间内空气质量起着核心作用。
下面我将详细介绍净化车间新风和排风的工作原理。
一、净化车间新风的工作原理净化车间的新风系统是通过新风机将新鲜空气引入车间，以替换原有车间内的污浊空气，从而保持车间内的空气质量。
新风系统的工作原理如下：1. 新风机引入新鲜空气：新风机采用机械通风的原理，通过设置外墙或屋顶上的进气口，将新鲜空气吸入车间。
通常情况下，新风机还带有过滤装置，可以对空气中的灰尘、颗粒物等进行过滤，确保引入车间内的空气质量。
2. 新风送风至车间：新风机将新鲜空气经过管道输送至车间各个区域。
为了保证新风的均匀分布，通常需要在管道上设置调节装置，如阀门、调节风门等，以调整送风量和风速。
3. 新风混合循环：为了满足车间内的温度要求，在送风过程中，新风通常还需要与车间内的室内空气进行混合。
这样可以避免新风直接进入车间带来的温度变化过大，影响生产过程或者造成能源浪费。
混合循环可以通过设置回风装置来实现，将部分车间内的空气回收再利用。
4. 实时监测和控制：为了保证新风系统的正常运行以及车间内的空气质量，通常需要设置空气质量监测仪器，可以实时监测空气中的各项指标，如PM2.5浓度、CO2含量等。
同时，还需要设置相应的控制系统，根据监测结果对新风系统进行自动调节，保持车间内的空气质量在合理范围内。
二、净化车间排风的工作原理净化车间排风系统是通过排风机将车间内的污浊空气排出，以确保车间内的空气质量。
排风系统的工作原理如下：1. 车间内的污浊空气收集：车间内的污浊空气通常通过安装在天花板或者墙壁上的吸风口收集。
这些吸风口通常需要设置在车间内的污染源附近，以便迅速收集到产生的污浊空气。
2. 污染空气经过管道输送：污染空气通过管道输送至排风机所在的排风管道。
为了满足车间内不同区域的排风需求，通常会设置多条排风管道，以便将污染空气从各个区域都排出。
3. 排风机排出污染空气：排风机是排风系统的核心部分，它通过旋转的风叶将污染空气排出车间，并排放到室外。
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在微电子用洁净室、药品生产用洁净室中，常常在产品生产过程中使用或产生，各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体；在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内，为此对于上述产品生产用洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序设置局部排风装置或全室排风装置，按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风装置（系统）大体划分为下列几种类型。
（1）一般排风系统
这是指在生产辅助用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。
（2）有机气体排风系统
在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场
所或设备均应设置排风装置。
在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。
有机排气的净化处理有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处理；液体吸收法，设备简单、耗能低，但吸收效率不高；催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处理。
有机气体处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。
（3）酸性气体排风系统
在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气。
实际设计时应根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸收塔的形式。
（4）碱性气体排风系统
在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。
近年来，由于大气排放标准越来越严格，需对含有碱性物质（或酸性物质）浓度较低的排气也应进行净化处理才能达到排放标准，为此可采用专用吸附剂对碱性排气（或酸性排气）进行处理达标后才能排入大气，此种吸附剂一般为一次性的，使用后应进行集中处理，通常作
为固体废弃物由城市垃圾处理场集中处理。
（5）热气体排风系统
对生产过程中的各种炉子、高温灭菌设备等均有热气排出，由于排气温度校高，有时可采用热回收等方式进行处理，若排气量较小或不便进行处理时，在采取必要的隔热措施后直接排入大气。
（6）含粉尘的排风系统
鉴于产品品种不同、生产工艺过程不同，排气中的粉尘性质、浓度均各不同，应根据其排气中的粉尘性质、浓度选用各类除尘装置，一般采用布袋除尘器、带过滤元件的过滤装置。
此类装置都可以采取取拍打反吹或更换过滤器元件的方式，使除尘装置可较长期的使用。
对于某些含尘浓度很高的排风系统根据工程具体情况有时尚需设置二级除尘装置将大部分粉尘去除后再送入前述的布袋或过滤除尘装置，这样做才能满足大气排放标准的要求，从而稳定、经济地运行。
（7）特殊气体排气系统
在半导体集成电路生产中常常需使用一些特殊气体，其中许多特殊气体均属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体，对于这类排气系统首先应按特气的品种、性质划分排气系统，必须防止在排气系统中产生化学反应；其次应选用专用的废弃处理装置，特气排气的处理设备由稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等；再者是排气系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特气性质选择相适应的额的材质，并不得与排放的特气发生反应。
首先在催化反应段中，将有害成分催化反应（燃烧）后，再送入吸附段吸附去除各类催化反应
生成物，达到排放标准后排入大气。
吸附剂按设计要求定期再生、活化恢复吸附能力。
（8）药品生产中有害、有毒的排风系统
在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有毒药物的房间、二类危险度以上病原体操作区的排风口，应安装高效过滤器，使这些药物引起的污染危险降低至最低限度。
并且此类排风系统的排入大气的排风口与其他药品生产用净化空调系统的新风进风口应相隔一定距离。